JPH11211990A - 全反射照明型顕微鏡装置および試料ステージ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 高感度で操作性に優れた全反射照明型顕微鏡
装置を提供する。 【解決手段】 照明光Ａは、スライドガラス１の下方か
らプリズム３１を介してスライドガラス１へ導入され、
スライドガラス１の上面および下面で全反射を繰り返し
ながらスライドガラス１内部を伝搬し、プリズム３２を
介して外部へ廃棄される。スライドガラス１の上面に載
置された試料２は、スライドガラス１内部を伝搬する照
明光Ａによりエバネセント照明される。エバネセント照
明に伴い試料２から発生した被測定光は、スライドガラ
ス１の下方に配された対物レンズ４１に入射し、検出器
により検出される。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は、試料をエバネセン
ト照明しその試料の特定部位を観察する全反射照明型顕
微鏡装置、および、これに好適に用いられる試料ステー
ジに関するものである。

【０００２】

【従来の技術】試料をエバネセント照明して観察する全
反射照明型顕微鏡装置は、その試料の極めて限られた特
定部位のみを照明して観察するものであり、不要な散乱
光の発生が少ないことから、その特定部位のみをＳ／Ｎ
比よく観察することができる。例えば、全反射照明型顕
微鏡装置が蛍光顕微鏡として用いられる場合には、試料
の特定部位のみに励起光が照射され、その特定部位のみ
から発生した蛍光が観察される。

【０００３】このような全反射顕微鏡装置の光学系とし
て種々の態様のものが従来より知られている。図９〜図
１１それぞれは従来の倒立型の全反射顕微鏡装置の光学
系を示すものであり、図１２〜図１４それぞれは従来の
正立型の全反射顕微鏡装置の光学系を示すものである。

【０００４】図９に示す光学系では、ステージ１０１の
上にスライドガラス１０２を置き、そのスライドガラス
１０２の上方に配された断面が三角形のプリズム１０３
の底面で励起光Ａを全反射させ、スライドガラス１０２
とプリズム１０３との間に置かれた試料１０４をエバネ
セント照明する。そして、試料１０４から発生した蛍光
を、スライドガラス１０２の下方に配された対物レンズ
１０５により観察する。

【０００５】図１０に示す光学系では、ステージ１１１
の上にスライドガラス１１２を置き、そのスライドガラ
ス１１２の上方に配された断面が台形のプリズム１１３
の底面で励起光Ａを全反射させ、スライドガラス１１２
とプリズム１１３との間に置かれた試料１１４をエバネ
セント照明する。そして、試料１１４から発生した蛍光
を、スライドガラス１１２の下方に配された対物レンズ
１１５により観察する。

【０００６】図１１に示す光学系では、ステージ１２１
の上にスライドガラス１２２を置き、そのスライドガラ
ス１２２の上面に密着して配されたプリズム１２３によ
り励起光Ａをスライドガラス１２２内に導入し、その励
起光Ａをスライドガラス１２２の上面および下面で全反
射させながら伝搬させ、スライドガラス１２２の上に置
かれた試料１２４をエバネセント照明する。そして、試
料１２４から発生した蛍光を、スライドガラス１２２の
下方に配された対物レンズ１２５により観察する。

【０００７】図１２に示す光学系では、ステージ１３１
の上にスライドガラス１３２を置き、そのスライドガラ
ス１３２の下面に断面が三角形のプリズム１３３を密着
して配し、下方から励起光Ａをプリズム１３３を介して
導入しスライドガラス１３２の上面で全反射させ、スラ
イドガラス１３２の上面に置かれた試料１３４をエバネ
セント照明する。そして、試料１３４から発生した蛍光
を、スライドガラス１３２の上方に配された対物レンズ
１３５により観察する。

【０００８】図１３に示す光学系では、ステージ１４１
の上にスライドガラス１４２を置き、そのスライドガラ
ス１４２の下面に断面が台形のプリズム１４３を密着し
て配し、下方から励起光Ａをプリズム１４３を介して導
入しスライドガラス１４２の上面で全反射させ、スライ
ドガラス１４２の上面に置かれた試料１４４をエバネセ
ント照明する。そして、試料１４４から発生した蛍光
を、スライドガラス１４２の上方に配された対物レンズ
１４５により観察する。

【０００９】図１４に示す光学系では、ステージ１５１
の上にスライドガラス１５２を置き、そのスライドガラ
ス１５２の上面に密着して配されたプリズム１５３によ
り励起光Ａをスライドガラス１５２内に導入し、その励
起光Ａをスライドガラス１５２の上面および下面で全反
射させながら伝搬させ、スライドガラス１５２の上に置
かれた試料１５４をエバネセント照明する。そして、試
料１５４から発生した蛍光を、スライドガラス１５２の
上方に配された対物レンズ１５５により観察する。

【００１０】

【発明が解決しようとする課題】上記従来の光学系それ
ぞれは以下のような問題点を有している。すなわち、図
９，図１０，図１１および図１４それぞれに示す光学系
では、試料の観察部位を変更しようとしてスライドガラ
スをステージ上で移動させると試料の照明部位が対物レ
ンズの視野外に出ることから、試料観察が容易ではな
い。図９〜図１４それぞれに示す光学系では、ステージ
上面にプリズムまたは対物レンズがあることから、試料
に対して何等かの操作を施す際の妨げとなる。図１２お
よび図１３それぞれに示す光学系では、プリズムとスラ
イドガラスとの間に通常存在するマッチングオイルで蛍
光が発生し、その蛍光がノイズとなることから感度が低
い。図９，図１０，図１１および図１４それぞれに示す
光学系では、試料交換の度にプリズムを取り外す必要が
あることから、その度に光学系の調整が必要となり、取
り扱いが容易ではない。

【００１１】本発明は、上記問題点を解消する為になさ
れたものであり、高感度で操作性に優れた全反射照明型
顕微鏡装置を提供することを目的とする。また、この全
反射照明型顕微鏡装置に好適に用いられ得る試料ステー
ジを提供することをも目的とする。

【００１２】

【課題を解決するための手段】本発明に係る全反射照明
型顕微鏡装置は、(1) 透明平板を一方の面の側に支持す
る支持板と、(2) 支持板により支持された透明平板の互
いに平行な２つの表面それぞれで全反射しながら所定方
向に伝搬する照明光を支持板側から透明平板内に導入
し、その導入位置から一定距離だけ離れた透明平板上の
所定位置に置かれた試料をエバネセント照明する照明光
導入手段と、(3) エバネセント照明された試料から発生
した被測定光を入力する対物レンズと、を備えることを
特徴とする。

【００１３】この全反射照明型顕微鏡装置によれば、照
明光は、照明光導入手段により、支持板により支持され
た透明平板内に支持板側から導入され、透明平板の互い
に平行な２つの表面それぞれ全反射しながら所定方向に
伝搬する。その導入位置から一定距離だけ離れた透明平
板上の所定位置に置かれた試料は照明光によりエバネセ
ント照明されて、被測定光が発生する。その被測定光は
対物レンズに入射し検出される。なお、照明光導入手段
は例えばプリズムであり、支持板による透明平板の支持
は該プリズムを介した支持を含むものとする。

【００１４】また、本発明に係る全反射照明型顕微鏡装
置は、支持板が開口を有するとともに、透明平板が支持
板の開口上に支持され、対物レンズが支持板の開口を通
過した被測定光を入力することを特徴とする。この場合
には、エバネセント照明された試料から発生した被測定
光は、透明平板を透過し、支持板の開口を通過して対物
レンズに入射する。

【００１５】また、本発明に係る全反射照明型顕微鏡装
置は、透明平板内から支持板側の外部へ照明光を廃棄す
る照明光廃棄手段を更に備えることを特徴とする。この
場合には、透明平板内部を伝搬し試料をエバネセント照
明した後の照明光は、照明光廃棄手段により、透明平板
内から支持板側の外部へ廃棄される。

【００１６】また、本発明に係る全反射照明型顕微鏡装
置は、透明平板の表面に平行であって上記所定方向に略
垂直な方向に透明平板を移動させる透明平板移動手段を
更に備えることを特徴とする。この場合には、透明平板
移動手段により透明平板を移動させることにより、透明
平板上の試料の観察部位を変更することができる。

【００１７】また、本発明に係る全反射照明型顕微鏡装
置は、装着された対物レンズを上記所定位置付近におい
て透明平板の表面に平行であって上記所定方向に略垂直
な方向に移動させるレボルバを更に備えることを特徴と
する。この場合には、それぞれの倍率が互いに異なる複
数の対物レンズをレボルバに装着し、このレボルバを回
転させることにより対物レンズを移動させることがで
き、試料の観察倍率を変更することができる。

【００１８】本発明に係る試料ステージは、(1) 透明平
板を一方の面の側に支持する支持板と、(2) 支持板によ
り支持された透明平板の互いに平行な２つの表面それぞ
れで全反射しながら所定方向に伝搬する照明光を支持板
側から透明平板内に導入し、その導入位置から一定距離
だけ離れた透明平板上の所定位置に置かれた試料をエバ
ネセント照明する照明光導入手段と、を備えることを特
徴とする。また、支持板が開口を有するとともに、透明
平板が支持板の開口上に支持される、ことを特徴とす
る。また、透明平板内から支持板側の外部へ照明光を廃
棄する照明光廃棄手段を更に備えることを特徴とする。
これらの試料ステージは、上記全反射照明型顕微鏡装置
において好適に用いられ得るものである。

【００１９】

【発明の実施の形態】以下、添付図面を参照して本発明
の実施の形態を詳細に説明する。尚、図面の説明におい
て同一の要素には同一の符号を付し、重複する説明を省
略する。

【００２０】先ず、本発明に係る全反射照明型顕微鏡装
置の１実施形態の要部の構成について図１〜図４を用い
て説明する、なお、当該要部は本発明に係る試料ステー
ジの１実施形態でもある。

【００２１】図１は、本実施形態に係る全反射照明型顕
微鏡装置の要部である試料ステージの構成図である。図
１（ａ）は平面図であり、図１（ｂ）は正面図であり、
図１（ｃ）は側面図である。円形支持板１０は、中央領
域に略矩形の開口１０ａを有する円形平板である。この
円形支持板１０の略矩形の開口１０ａの互いに対向する
２辺それぞれの近傍には、支持具２１および２２がねじ
止めにより取り付けられている。支持具２１はプリズム
３１を保持し、支持具２２はプリズム３２を保持する。
そして、プリズム３１の上面３１ａおよびプリズム３２
の上面３２ａの上に透明平板であるスライドガラス１が
置かれる。すなわち、円形支持板１０は、支持具２１，
２２それぞれを介してプリズム３１，３２を固定し、さ
らに、これらを介してスライドガラス１をその上方に支
持するものである。

【００２２】図２は、支持具の斜視図である。支持具２
１は、３つの平面部２１ａ〜２１ｃからなる。平面部２
１ａには、円形支持板１０にねじ止めするための２つの
孔部２１ｄおよび２１ｅが設けられている。平面部２１
ｂは、平面部２１ａと垂直であり、矩形の孔部２１ｆが
設けられている。また、平面部２１ｃは、平面部２１ｂ
と繋がっており、プリズム３１の位置決めを行うもので
ある。支持具２２も同様である。

【００２３】図３は、支持具およびプリズムの斜視図で
ある。プリズム３１は、互いに直交する上面３１ａおよ
び側面３１ｂを有し、直角三角形の断面形状を有する。
プリズム３１は、その側面３１ｂが支持具２１の平面部
２１ｂに接して保持される。そして、円形支持板１０に
支持具２１が取り付けられ且つ支持具２１にプリズム３
１が取り付けられた状態では、プリズム３１の上面３１
ａは、円形支持板１０の反対側の面の上方に現れる（図
１（ｂ）を参照）。支持具２２およびプリズム３２も同
様である。

【００２４】そして、図１に示すように、円形支持板１
０、支持具２１，２２およびプリズム３１，３２が組み
立てられた状態では、プリズム３１の上面３１ａおよび
プリズム３２の上面３２ａは互いに同一の平面上にあ
り、プリズム３１および３２それぞれの側面は互いに略
平行である。

【００２５】図４は、本実施形態に係る全反射照明型顕
微鏡装置の要部の説明図である。この図には、既述した
円形支持板１０、支持具２１，２２およびプリズム３
１，３２の他に、対物レンズ４１も記されている。スラ
イドガラス１は、プリズム３１の上面３１ａおよびプリ
ズム３２の上面３２ａの上にマッチングオイルを介して
置かれる。試料２は、スライドガラス１表面上であっ
て、プリズム３１による照明光の導入位置から一定距離
だけ離れた所定位置に載置される。対物レンズ４１は、
スライドガラス１の下方に配されている。

【００２６】次に、本実施形態に係る全反射照明型顕微
鏡装置の要部の作用について図４を用いて説明する。

【００２７】光源（図示せず）から出力された照明光Ａ
は、支持具２１の平面部２１ｂの矩形の孔部２１ｆを通
過してプリズム３１の側面３１ｂに入射し、プリズム３
１内部を透過し、プリズム３１の上面３１ａの先端から
出射し、マッチングオイルを経てスライドガラス１へ導
入される。スライドガラス１へ導入された照明光Ａは、
スライドガラス１の上面および下面で全反射を繰り返し
ながらスライドガラス１内部を伝搬する。そして、スラ
イドガラス１内部を伝搬した照明光Ａは、スライドガラ
ス１とプリズム３２とがマッチングオイルを介して接し
ている位置に到達すると、スライドガラス１の下面から
出射し、マッチングオイルを経てプリズム３２の上面３
２ａの先端に入射し、プリズム３２内部を透過し、プリ
ズム３２の側面３２ｂから外部へ廃棄される。

【００２８】すなわち、プリズム３１は、スライドガラ
ス１の上面および下面の間で全反射しながら伝搬する照
明光Ａをスライドガラス１の下方から導入する照明光導
入手段として作用する。また、プリズム３２は、スライ
ドガラス２内から下方の外部へ照明光Ａを廃棄する照明
光廃棄手段として作用する。

【００２９】このように照明光Ａがスライドガラス１の
上面および下面で全反射を繰り返しながらスライドガラ
ス１内部を伝搬する際に、スライドガラス１の上面およ
び下面それぞれの近傍の外部にエバネセント波が生じ
る。したがって、スライドガラス１上の所定位置に載置
された試料２のうちスライドガラス１表面近傍の部分の
みが、このエバネセント波により照明される。

【００３０】このようにして試料２がエバネセント照明
されると、試料２の照明部位から被測定光が発生する。
その被測定光の一部は、スライドガラス１を透過して、
円形支持板１０の開口１０ａを通過して対物レンズ４１
に入射し、例えば検出器（図示せず）により検出され
る。ここで、この全反射照明型顕微鏡装置が通常の顕微
鏡として用いられる場合には、被測定光は散乱光であ
る。また、全反射照明型顕微鏡装置が蛍光顕微鏡として
用いられる場合には、照明光Ａは試料２中の蛍光物質を
励起する励起光であり、被測定光は蛍光である。

【００３１】したがって、スライドガラス１に対して円
形支持板１０およびプリズム３１，３２は互いに同一の
側にあるので、スライドガラス１の移動や交換が容易に
行える。また、試料２の観察部位を変更しようとしてス
ライドガラス１を移動させても、プリズム３１に依る照
明光Ａの導入位置およびプリズム３２に依る照明光Ａの
廃棄位置は共に不変であるので、対物レンズ４１から見
たときに、スライドガラス１内部を照明光Ａが伝搬する
経路も不変である。すなわち、スライドガラス１が移動
したとしても、対物レンズ４１を含む光学部品の何れを
も移動させたり調整したりする必要はないので操作性に
優れる。さらに、蛍光顕微鏡として用いられる場合に、
マッチングオイルで発生し対物レンズ４１に入射する蛍
光量は極めて微弱であるので、高感度な観察が可能であ
る。

【００３２】図５は、本実施形態に係る全反射照明型顕
微鏡装置の要部周辺を斜め上方から見た斜視図である。
この図には、中央部において円形支持板１０を保持する
ステージ５１、および、スライドガラス１を移動させる
透明平板移動手段であるＸＹメカニカルステージ５２も
示されている。

【００３３】ステージ５１は、中央部に開口を有してお
り、その開口に円形支持板５１を保持することができ
る。また、このステージ５１の下方に対物レンズ４１が
配されている。ＸＹメカニカルステージ５２は、つまみ
５２ａの回転に伴い固定部材５２ｂに対して可動部材５
２ｃが平行移動するものであり、また、スライドガラス
１を保持する保持部材５２ｄおよび５２ｅが可動部材５
２ｃに取り付けられている。

【００３４】このＸＹメカニカルステージ５２に依るス
ライドガラス１の移動方向は、２つのプリズム３１およ
び３２それぞれの上面に平行な平面上の任意の方向であ
ってもよいが、特に、スライドガラス１内部における照
明光Ａの伝搬方向に略垂直な方向であるのが好適であ
る。すなわち、スライドガラス１上の試料２を当該垂直
方向に亘って観察するのが好適である。何故なら、スラ
イドガラス１内部における照明光Ａの伝搬方向にスライ
ドガラス１を移動させるとすれば、プリズム３１，３２
とスライドガラス１との間のマッチングオイルがスライ
ドガラス１に付着した部分が対物レンズ４１の上方に来
て、このマッチングオイルがノイズ源となり検出感度が
低下するからである。

【００３５】次に、本実施形態に係る全反射照明型顕微
鏡装置の全体の構成について図６および図７を用いて説
明する、図６は、本実施形態に係る全反射照明型顕微鏡
装置の要部周辺を斜め上方から見た斜視図であり、図７
は、本実施形態に係る全反射照明型顕微鏡装置の要部周
辺を斜め下方から見た斜視図である。これらの図には、
ＸＹメカニカルステージ５２は示されていないが、光源
６１、反射鏡６２，６３、対物レンズ４２，４３、レボ
ルバ７０、鏡筒８０および検出器９０が更に示されてい
る、なお、光源６１および検出器９０は模式的に示され
ている。

【００３６】光源６１は、スライドガラス１上の試料２
をエバネセント照明する為の照明光Ａを出力するもので
あり、光源６１から出力された照明光Ａは、反射鏡６２
および６３により順次に反射された後にプリズム３１の
側面３１ｂに入射する。上述したように、スライドガラ
ス１を移動させたり交換したりしても何ら光学系を調整
する必要はなく、したがって、光源６１ならびに反射鏡
６２および６３は、一度光学調整がなされた後は再調整
の必要がない。

【００３７】レボルバ７０には、試料２を観察する際の
倍率を変更するために倍率が互いに異なる複数の対物レ
ンズ４１〜４３が取り付けられている。レボルバ７０
は、中心軸の周りに回転が可能である。このレボルバ７
０の回転に際して、試料２を観察し得る位置にある対物
レンズ（この図では対物レンズ４１）は、プリズム３１
および３２それぞれの上面すなわちスライドガラス１の
下面に平行であって、スライドガラス１内部における照
明光Ａの伝搬方向に略垂直な方向に移動するのが好適で
ある。このような方向に対物レンズ４１〜４３を移動さ
せることにより、対物レンズ４１〜４３の移動がプリズ
ム３１，３２により妨害されることはない。

【００３８】鏡筒８０は、エバネセント照明された試料
２で発生し対物レンズ４１に入射した被測定光Ｂを検出
器９０へ導くものである。検出器９０はその被測定光Ｂ
を検出する。

【００３９】次に、本実施形態に係る全反射照明型顕微
鏡装置において好適に用いられ得るプリズムの断面形状
等について図８を用いて説明する。

【００４０】図８（ａ）に示すプリズムは、断面形状が
直角三角形であり、互いに直交する一方の面に照明光Ａ
を入射し、その照明光Ａを他方の面からスライドガラス
１へ導入する。図８（ｂ）に示すプリズムは、断面形状
が五角形であり、スライドガラス１に接する第１の面と
平行な第２の面に照明光Ａを入射し、その照明光Ａを第
３の面で全反射させた後に第１の面からスライドガラス
１へ導入する。図８（ｃ）に示すプリズムは、断面形状
が扇形であり、円弧の面に照明光Ａを入射し、その照明
光Ａを他の面からスライドガラス１へ導入する。図８
（ｄ）に示すプリズムは、断面形状が二等辺三角形であ
り、底面に照明光Ａを入射し、その照明光Ａを他の面か
らスライドガラス１へ導入する。

【００４１】対物レンズ４１の配置を考慮すると、スラ
イドガラス１へ照明光Ａを導入するプリズム３１の先端
の角度θ、および、スライドガラス１から照明光Ａを廃
棄するプリズム３２の先端の角度θは、鋭角であること
が望ましく、また、例えば３０度以下にまで小さいのが
好適である。プリズムの先端の角度θが小さいほど、対
物レンズ４１を試料２に近づけることができるので、観
察倍率を大きくすることができる。また、プリズムの先
端の角度θが小さいほど、照明光導入用のプリズム３１
と対物レンズ４１の先端との間の間隔を狭くすることが
でき、スライドガラス１内部における照明光Ａの試料２
の観察部位までの伝搬距離を短くすることができので、
効率よく試料２をエバネセント照明することができる。

【００４２】また特に、図８（ｃ）に示すような扇形の
断面形状を有するプリズムである場合には、常に照明光
Ａをプリズム先端に向けて入射すればよい。また、この
場合、プリズムへの照明光Ａの入射方向を変更すること
により、スライドガラス１内部における上面および下面
への照明光Ａの入射角を容易に調整することができ、試
料２における照明光Ａに依るエバネセント照明の有効距
離（スライドガラス１の表面に垂直な方向についての有
効距離）を容易に調整することができる。

【００４３】なお、プリズムの材質は、スライドガラス
１の屈折率と同程度の屈折率を有するものであるのが好
適である。また、マッチングオイルもこれらと同程度の
屈折率を有するものが好適であり、例えば、グリセリン
や顕微鏡用イマージョンオイルが用いられる。

【００４４】本発明は、上記実施形態に限定されるもの
ではなく種々の変形が可能である。例えば、対物レンズ
４１は、上述したようにスライドガラス１に対してプリ
ズム３１，３２と同一側（スライドガラス１の下方）に
配されるのが最も好適ではあるが、反対側（スライドガ
ラス１の上方）に配されてもよい。この場合にも、スラ
イドガラス１の移動は容易であり、スライドガラス１を
移動しても光学系の再調整は不要である。

【００４５】スライドガラス１内部を伝搬した照明光を
廃棄するプリズム３２は必ずしも必要ではない。また、
プリズム３２に替えて、黒色のゴムや紙などの如く照明
光を吸収し得る材料を用いてもよい。

【００４６】

【発明の効果】以上、詳細に説明したとおり、本発明に
係る全反射照明型顕微鏡装置によれば、照明光は、照明
光導入手段により、支持板により支持された透明平板内
に支持板側から導入され、透明平板の互いに平行な２つ
の表面それぞれ全反射しながら所定方向に伝搬する。そ
の導入位置から一定距離だけ離れた透明平板上の所定位
置に置かれた試料は照明光によりエバネセント照明され
て、被測定光が発生する。その被測定光は対物レンズに
入射し検出される。

【００４７】このような構成としたことにより、透明平
板に対して支持板および照明光導入手段は互いに同一の
側にあるので、透明平板の移動や交換が容易に行える。
また、試料の観察部位を変更しようとして透明平板を移
動させても、対物レンズから見たときに、透明平板内部
を照明光が伝搬する経路は不変である。すなわち、透明
平板が移動したとしても、対物レンズを含む光学部品の
何れをも移動させたり調整したりする必要はないので操
作性に優れる。さらに、蛍光顕微鏡として用いられる場
合に、マッチングオイルで発生し対物レンズに入射する
蛍光量は極めて微弱であるので、高感度な観察が可能で
ある。

【００４８】支持板が開口を有するとともに、透明平板
が支持板の開口上に支持され、対物レンズが支持板の開
口を通過した被測定光を入力する場合には、エバネセン
ト照明された試料から発生した被測定光は、透明平板を
透過し、支持板の開口を通過して対物レンズに入射する
ので、特に操作性に優れ好適である。

【００４９】透明平板内から支持板側の外部へ照明光を
廃棄する照明光廃棄手段を更に備える場合には、透明平
板内部を伝搬し試料をエバネセント照明した後の照明光
は、照明光廃棄手段により、透明平板内から支持板側の
外部へ廃棄される。したがって、高感度な試料観察が可
能である。

【００５０】透明平板の表面に平行であって上記所定方
向に略垂直な方向に透明平板を移動させる透明平板移動
手段を更に備える場合には、透明平板移動手段により透
明平板を移動させることにより、透明平板上の試料の観
察部位を変更することができる。このとき、マッチング
オイルが付着した透明平板の部分は対物レンズの視野内
に入って来ないので、高感度な試料観察が可能である。

【００５１】装着された対物レンズを上記所定位置付近
において透明平板の表面に平行であって上記所定方向に
略垂直な方向に移動させるレボルバを更に備える場合に
は、それぞれの倍率が互いに異なる複数の対物レンズを
レボルバに装着し、このレボルバを回転させることによ
り対物レンズを移動させることができ、試料の観察倍率
を変更することができる。このとき、対物レンズの移動
は照明光導入手段および照明光廃棄手段により妨害され
ることなく行える。

【図面の簡単な説明】

【図１】本実施形態に係る全反射型照明型顕微鏡装置の
要部である試料ステージの構成図である。

【図２】支持具の斜視図である。

【図３】支持具およびプリズムの斜視図である。

【図４】本実施形態に係る全反射型照明型顕微鏡装置の
要部の説明図である。

【図５】本実施形態に係る全反射型照明型顕微鏡装置の
要部周辺を斜め上方から見た斜視図である。

【図６】本実施形態に係る全反射型照明型顕微鏡装置の
要部周辺を斜め上方から見た斜視図である。

【図７】本実施形態に係る全反射型照明型顕微鏡装置の
要部周辺を斜め下方から見た斜視図である。

【図８】本実施形態に係る全反射照明型顕微鏡装置にお
いて好適に用いられ得るプリズムの断面形状の説明図で
ある。

【図９】従来の倒立型の全反射型顕微鏡装置の光学系の
説明図である。

【図１０】従来の倒立型の全反射型顕微鏡装置の光学系
の説明図である。

【図１１】従来の倒立型の全反射型顕微鏡装置の光学系
の説明図である。

【図１２】従来の正立型の全反射型顕微鏡装置の光学系
の説明図である。

【図１３】従来の正立型の全反射型顕微鏡装置の光学系
の説明図である。

【図１４】従来の正立型の全反射型顕微鏡装置の光学系
の説明図である。

【符号の説明】

１…スライドガラス、２…試料、１０…円形支持板、２
１，２２…支持具、３１，３２…プリズム、４１，４
２，４３…対物レンズ、５１…ステージ、５２…ＸＹメ
カニカルステージ、５３…ステージ、６１…光源、６
２，６３…反射鏡、７０…レボルバ、８０…鏡筒、９０
…検出器。

Claims (8)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 透明平板を一方の面の側に支持する支持
   板と、 前記支持板により支持された前記透明平板の互いに平行
   な２つの表面それぞれで全反射しながら所定方向に伝搬
   する照明光を前記支持板側から前記透明平板内に導入
   し、その導入位置から一定距離だけ離れた前記透明平板
   上の所定位置に置かれた試料をエバネセント照明する照
   明光導入手段と、 エバネセント照明された前記試料から発生した被測定光
   を入力する対物レンズと、 を備えることを特徴とする全反射照明型顕微鏡装置。
2. 【請求項２】 前記支持板は開口を有するとともに、前
   記透明平板は前記支持板の前記開口上に支持され、前記
   対物レンズは前記支持板の前記開口を通過した前記被測
   定光を入力する、ことを特徴とする請求項１記載の全反
   射照明型顕微鏡装置。
3. 【請求項３】 前記透明平板内から前記支持板側の外部
   へ前記照明光を廃棄する照明光廃棄手段を更に備えるこ
   とを特徴とする請求項１記載の全反射照明型顕微鏡装
   置。
4. 【請求項４】 前記透明平板の表面に平行であって前記
   所定方向に略垂直な方向に前記透明平板を移動させる透
   明平板移動手段を更に備えることを特徴とする請求項１
   記載の全反射照明型顕微鏡装置。
5. 【請求項５】 装着された前記対物レンズを前記所定位
   置付近において前記透明平板の表面に平行であって前記
   所定方向に略垂直な方向に移動させるレボルバを更に備
   えることを特徴とする請求項１記載の全反射照明型顕微
   鏡装置。
6. 【請求項６】 透明平板を一方の面の側に支持する支持
   板と、 前記支持板により支持された前記透明平板の互いに平行
   な２つの表面それぞれで全反射しながら所定方向に伝搬
   する照明光を前記支持板側から前記透明平板内に導入
   し、その導入位置から一定距離だけ離れた前記透明平板
   上の所定位置に置かれた試料をエバネセント照明する照
   明光導入手段と、 を備えることを特徴とする試料ステージ。
7. 【請求項７】 前記支持板は開口を有するとともに、前
   記透明平板は前記支持板の前記開口上に支持される、こ
   とを特徴とする請求項６記載の試料ステージ。
8. 【請求項８】 前記透明平板内から前記支持板側の外部
   へ前記照明光を廃棄する照明光廃棄手段を更に備えるこ
   とを特徴とする請求項６記載の試料ステージ。