JP6233445B2 - 電子部品 - Google Patents
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図4に示す電子部品200は、熱酸化膜102を表面に有する基板101上に、密着層103を介して電子部品素体110が形成されている。
かかる構造からなる電子部品200を製品として出荷する前に、良品と不良品の選別が行われる。電子部品200の選別は一般的に、プローブを実装用電極113の表面に当てて電気容量等の特性を測定することにより実施される。
図1に、本発明の実施形態にかかる電子部品100の平面図を示す。また、図3(g)に、図1の電子部品100におけるA−A線での断面図を示す。
いる。
次に、図2(c)に示すように、プラズマ化学蒸着(PECVD:Plasma Enhanced Chemical Vapor Deposition)法により、キャパシタ部6の上面および側面を覆うように、膜厚700nmの酸化シリコンからなる無機保護膜7を形成する。
Claims (3)
- 電子部品素体と、
前記電子部品素体の表面上に設けられた複数の実装用電極と、
前記電子部品素体の表面上に設けられ、前記複数の実装用電極の少なくとも1つと電気的に接続された測定用電極と、を備え、
前記複数の実装用電極および前記測定用電極は、同一材料で連続的に形成された引き出し電極の、同一高さの有機保護膜の上に形成された部分の上に、それぞれ形成されていて、
前記測定用電極の表面には、前記実装用電極の表面よりも硬い上層部が設けられており、
前記測定用電極の表面高さは、前記実装用電極の表面高さよりも高い、電子部品。 - 前記実装用電極は少なくとも1層以上の層構造であり、
前記測定用電極は、前記実装用電極と同一の層構造からなる下層部と、当該下層部上に形成され前記実装用電極の表面より硬い上層部とからなる、請求項1に記載された電子部品。 - 前記実装用電極の表面がAuからなり、前記測定用電極の表面がTiまたはTiの自然酸化膜からなる、請求項1または2に記載された電子部品。
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