JP6232297B2 - 基板保持装置および研磨装置 - Google Patents
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Description
上記実施形態によれば、第二の材料にゴム部材を用いることにより、大きな振動減衰効果を得ることができる。
上記実施形態の好ましい態様は、前記連結部は複数の連結用アームから構成される。
本発明によれば、ドライブリングの中心部とリング部との接続部に設けたゴム部材により、大きな振動減衰効果を得ることができる。
本発明によれば、ドライブリングとガイドシャフトの接続部にゴム部材を設けているため、リテーナリングからの振動がドライブリングを介してガイドシャフトに伝達される際に、ゴム部材で減衰されることになる。したがってトップリング全体の振動が軽減される。
本発明の好ましい態様は、前記ゴム部材は、EPDM、フッ素ゴム、ニトリルゴム、ウレタンゴム、シリコンゴム又は、減衰能力が高められた合成ゴムからなることを特徴とする。
本発明によれば、部品間にすきまを設け、そこにゴムを流し込むモールド式によっても、接続部にある部品間にゴム部材を設けることができる。
本発明によれば、球面軸受とガイドシャフトのはめあいによって、ドライブリングおよびリテーナリングの上下移動および傾動を許容する一方で、ドライブリングおよびリテーナリングの横方向の移動(水平方向の移動)を制限する。基板の研磨中は、リテーナリングは基板と研磨パッドとの摩擦に起因した横方向の力(基板の半径方向外側に向かう力)を基板から受ける。この横方向の力は、ドライブリングを介して球面軸受に伝わり、球面軸受によって受けられる。このように、球面軸受は、基板の研磨中に、基板と研磨パッドとの摩擦に起因してリテーナリングが基板から受ける横方向の力(基板の半径方向外側に向かう力)を受けつつ、リテーナリングの横方向の移動を制限する(すなわちリテーナリングの水平方向の位置を固定する)。また、本発明によれば、各連結用アームは、キャリアに固定された一対のローラーにより挟まれており、ドライブリングの回転方向の自由度が拘束される。
また、本発明によれば、基板と研磨パッドの間の高い摩擦力と基板と研磨パッドの低い相対速度を組み合わせた研磨条件で発生していた振動を抑制することができるため、基板の破損を防止することができ、研磨条件の組み合わせ(プロセスウインドウ)を広げることができる。
図1は、本発明の一実施形態に係る基板保持装置を備えた研磨装置の全体構成を示す模式図である。図1に示すように、研磨装置は、研磨パッド2を支持する研磨テーブル3と、研磨対象物であるウェハ等の基板Wを保持して研磨パッド2に押圧する基板保持装置としてのトップリング1とを備えている。
球面軸受55の材質は、エンジニアリングプラスティック等の摩擦抵抗が低く耐磨耗性の高い樹脂やセラミックが用いられるが、ステンレス等の金属材料でもよい。
図5は、内輪と外輪の間にゴムがモールドされたローラーを示す断面図である。図5に示すように、連結用アーム41Aは一対のローラー49,49により挟まれている。各ローラー49と連結用アーム41Aとの間には、上述したように、0.2〜0.5mm程度のすき間が設定されている。各ローラー49は、内輪49aと外輪49bと内外輪間にモールドされたゴム49cとから構成されている。内輪49aの内側にはシャフト49dが設けられており、シャフト49dの両端はキャリア44に支持されている(図示せず)。図5に示すように、内輪49aと外輪49bの間にゴム49cがモールドされることにより、振動の吸収と、製作誤差によるローラー49とドライブリング41の位置ずれが吸収できる。
図7(a)に示すように、中心部41aの連結用アーム41Aの端部とリング部41bの連結用アーム41Aの端部との間にはゴムシート67が設けられ、リング部41bの連結用アーム41Aの端部とクランプ66との間にはゴムシート67が設けられている。クランプ66にはねじ穴66sが形成されている。リング部41bの連結用アーム41Aの端部には、上下面に凸部t,tが形成されている。また、中心部41aの連結用アーム41Aの端部下面およびクランプ66の上面にも、それぞれ凸部tが形成されている。
図7(b)に示すように、ボルト65をクランプ66のねじ穴66sに締め込むことにより、中心部41aの連結用アーム41Aの端部とクランプ66とでリング部41bの連結用アーム41Aの端部を2枚のゴムシート67と一緒に挟み込んで固定している。これによって、中心部41aとリング部41bの間にはゴムシート67が介在することになり、リテーナリング40で発生した振動はゴムシート67により減衰されて中心部41aに伝わることになるので、トップリング全体の振動は軽減される。接続部(締結部)の固定力を高めるため、図7(a),(b)に示すように、ゴムシート67を挟み込む部分に凹凸を付けてゴムに各部品が食い込む形状にすることが望ましい。また、この例のように、中心部41aとリング部41bとは互いが面で接触してゴムを圧縮する形状にすることで、引っ張り、圧縮、せん断、曲げの力を受けることができるようになる。
図6および図7に示す例においては、連結用アーム41Aの端部相互の横方向の自由度は各部品のはめ合い部のすきまで設定し、回転方向の自由度は、図7(c)に示すように連結用アーム41Aの端部にくの字形の凹凸を設け、すなわち、中心部41aの連結用アーム41Aの端部にはくの字形の凸部Taを設け、リング部41bのアームAの端部にはくの字形の凹部Tbを設け、凹凸部Ta,Tbの噛み合いによって設定する。
なお、図7(c)に示すように、連結用アーム41Aの端部のくの字形の凹凸部Ta,Tbの対向面間にゴム68,68を設けて、凹凸部Ta,Tbの直接接触を防止するようにしてもよい。
図6および図7に示す例ではゴムシートを挟む組立式であるが、部品間にすきまを設け、そこにゴムを流し込むモールド式でもよい。
図8に示すように、第2の態様においては、ドライブリング41は、リング部材41Rと中心部材41Cと複数の連結用アーム41Aとが分割構造ではなく一体構造になっている。振動を減衰するゴムシート71,71、上フランジ72および下フランジ73がドライブリング41の中心部材41Cのガイドシャフト58を固定する部分に配置されている。ドライブリング41の中心部材41Cには、ゴムシート71,71、上フランジ72、下フランジ73が設置できるように窪みrと切り欠きnが設けられている。下フランジ73には複数のネジ穴73sが形成されている。
図10に示すように、ドライブリング41は中心部41aとリング部41bとに二分割されている。中心部41aは中心部材41Cと複数の連結用アーム41Aとから構成され、中心部41aの複数の連結用アーム41Aはリング部41bの環状部分まで延びている。リング部41bはリング部材41Rのみから構成されている。連結用アーム41Aの端部とリング部材41Rとの間にはゴムシート75が配置されている。連結用アーム41Aの端部の上方には複数のボルト74が配置されている。
図11(a)に示すように、中心部41aの連結用アーム41Aの端部とリング部41bのリング部材41Rとの間にはゴムシート75が設けられている。中心部41aの連結用アーム41Aの上方にはボルト74が配置されている。リング部材41Rには複数のネジ穴41sが形成されている。
図11(b)に示すように、中心部41aの複数の連結用アーム41Aの端部がリング部41bのリング部材41Rにボルト74によって固定されることでドライブリング41が一体化され、前記連結用アーム41Aがリング部材41Rに接続される面にゴムシート75が挟まれている。これによって、リテーナリング40からの振動がドライブリング41を介してガイドシャフト58に伝達される際に、ゴムシート75で減衰されることになる。したがってトップリング全体の振動が軽減される。
2 研磨パッド
2a 上面
3 研磨テーブル
3a テーブル軸
5 研磨液供給機構
10 トップリング本体
11 トップリングシャフト
12 ガイドシャフト
13 モータ
14 タイミングプーリ
16 トップリングヘッド
18 トップリング用モータ
19 タイミングベルト
20 タイミングプーリ
21 トップリングヘッドシャフト
25 ロータリージョイント
26 軸受
27 上下動機構
28 ブリッジ
29 支持台
30 支柱
32 ボールねじ
32a ねじ軸
38 サーボモータ
39 トップリング高さセンサ
40 リテーナリング
40R リング部材
41 ドライブリング
41A 連結用アーム
41C 中心部材
41R リング部材
41a 中心部
41b リング部
41s ネジ穴
42 フランジ
43 スペーサ
44 キャリア
45 メンブレン(弾性膜)
45a 基板保持面
45b 隔壁
46 ボルト
48 ボルト
49 ローラー
50〜53 圧力室
55 球面軸受
56 外輪
57 内輪
57h 貫通孔
58 ガイドシャフト
59 フランジ
60 リテーナリング押圧機構
61 ピストン
62 エアバック(ローリングダイヤフラム)
64 磁石
65 ボルト
66 クランプ
66s ねじ穴
67 ゴムシート
71 ゴムシート
72 上フランジ
73 下フランジ
74 ボルト
75 ゴムシート
Claims (9)
- 基板を保持して研磨面に押圧する基板保持面を有するトップリング本体と、前記基板を囲むように配置され前記研磨面に接触するリテーナリングとを有する基板保持装置であって、
下面に前記リテーナリングを保持するリング部材と、前記トップリング本体の中心部に配置され前記トップリング本体に支持される中心部材と、前記リング部材と前記中心部材とを連結するための複数の連結用アームとを有したドライブリングを備え、
前記ドライブリングは、前記中心部材と前記複数の連結用アームとを含む中心部と、前記リング部材からなるリング部とを締結具によって接続して構成されるか、または前記中心部材と前記複数の連結用アームの半径方向内側部分とを含む中心部と、前記複数の連結用アームの半径方向外側部分と前記リング部材とを含むリング部とを締結具によって接続して構成され、
前記中心部は第一の材料で構成され、前記中心部と前記リング部との接続部に、第一の材料よりも縦弾性係数の小さい第二の材料で構成される部分を設けたことを特徴とする基板保持装置。 - 基板を保持して研磨面に押圧する基板保持面を有するトップリング本体と、前記基板を囲むように配置され前記研磨面に接触するリテーナリングとを有する基板保持装置であって、
下面に前記リテーナリングを保持するリング部材と、前記トップリング本体の中心部に配置され前記トップリング本体に支持される中心部材と、前記リング部材と前記中心部材とを連結するための複数の連結用アームとを有したドライブリングを備え、
前記ドライブリングは、前記中心部材と前記複数の連結用アームとを含む中心部と、前記リング部材からなるリング部とを締結具によって接続して構成されるか、または前記中心部材と前記複数の連結用アームの半径方向内側部分とを含む中心部と、前記複数の連結用アームの半径方向外側部分と前記リング部材とを含むリング部とを締結具によって接続して構成され、
前記中心部と前記リング部との接続部にゴム部材を設けたことを特徴とする基板保持装置。 - 基板を保持して研磨面に押圧する基板保持面を有するトップリング本体と、前記基板を囲むように配置され前記研磨面に接触するリテーナリングとを有する基板保持装置であって、
下面に前記リテーナリングを保持するリング部材と、前記トップリング本体の中心部に配置され前記トップリング本体に支持される中心部材と、前記リング部材と前記中心部材とを連結するための複数の連結用アームとを有したドライブリングを備え、
前記中心部材は第一の材料で構成され、
前記ドライブリングの中心部材に固定されるとともに前記トップリング本体内に設置された軸受に挿入されるガイドシャフトと、前記ドライブリングの中心部材との間に該第一の材料よりも縦弾性係数の小さい第二の材料で構成される部分を設けたことを特徴とする基板保持装置。 - 前記第二の材料はゴム部材であることを特徴とする請求項3に記載の基板保持装置。
- 前記ゴム部材は、EPDM、フッ素ゴム、ニトリルゴム、ウレタンゴム、シリコンゴム又は、減衰能力が高められた合成ゴムからなることを特徴とする請求項2または4に記載の基板保持装置。
- 前記ゴム部材は、モールドされたゴム部材であることを特徴とする請求項2または4または5に記載の基板保持装置。
- 前記連結用アームの接続部は、引っ張り、圧縮、せん断、曲げ方向の荷重を受けられるように互いが面で接触して面間にあるゴム部材を圧縮する形状であることを特徴とする請求項2に記載の基板保持装置。
- 前記ドライブリングは、該ドライブリングの中心部材に接続されたガイドシャフトと前記トップリング本体の中心部に配置された球面軸受によって傾きと上下動作が可能になるように支持され、前記連結用アームはメンブレンを保持するキャリアに支持された一対のローラーによって挟まれ、前記ドライブリングの回転方向の動きが拘束されることを特徴とする請求項1乃至7のいずれか一項に記載の基板保持装置。
- 請求項1乃至8のいずれか一項に記載の基板保持装置と、
研磨面を有する研磨パッドを支持する研磨テーブルとを備えたことを特徴とする研磨装置。
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