JP4611841B2 - 研磨装置 - Google Patents
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Description
C キャリア
W ウエハ(ワーク)
1 上定盤
2 下定盤
3 回転支持軸
4 荷重調整機構
5 上定盤昇降機構
6 ハウジング
7 回転駆動用モータ
8 ジョイント部材
41 モータ
42 昇降ラック
43 バネ
44 荷重検出器
45 ワイヤ
46 ベアリング部
51 昇降ベース
52 直動ガイド
52a ベアリングケース
52b レール
54 アクチュエータ
61 軸受
71 傘歯車
81 ボール
82 ホルダ
83 キャップ
Claims (2)
- ワークを挟持可能に対向配置された上定盤および下定盤と、
上記上定盤を吊り下げ可能であり、かつ上記上定盤に回転駆動力を伝達する回転支持軸と、を備えており、
上記上定盤が上記ワークに対して相対回転させられることにより、上記ワークの少なくとも上面を研磨する、研磨装置であって、
上記上定盤は、上記回転支持軸の軸方向において上記回転支持軸に対して相対動可能であり、かつ上記回転支持軸に対して傾動可能であり、
上記回転支持軸とは別に、弾性体を用いて上記上定盤の重量の少なくとも一部を負担し得る荷重調整機構を備えており、
上記回転支持軸は、中空軸であり、
上記荷重調整機構は、上記回転支持軸を貫通する部分を有することを特徴とする、研磨装置。 - 上記上定盤と上記回転支持軸とは、ボールジョイントまたはギアカップリングを介して連結されている、請求項1に記載の研磨装置。
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2005
- 2005-08-22 JP JP2005240146A patent/JP4611841B2/ja not_active Expired - Fee Related
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