JP6231494B2 - ４つの金属機能層を含む、熱特性を有するマルチレイヤーを備えた基体 - Google Patents

Description

本発明は、特に剛性鉱物材料、例えばガラスから形成された透明基体であって、前記基体が、長波長の太陽放射線及び／又は赤外線に作用し得るいくつかの機能層を含む薄膜マルチレイヤーで被覆されている形式のものに関する。

本発明はさらに具体的には、薄膜マルチレイヤーを備えた基体、特に透明ガラス基体であって、薄膜マルチレイヤーが、「ｎ個」の機能金属層、特に銀又は銀含有金属合金を基材とする機能層と、「（ｎ＋１）個」の反射防止被膜（ｎは整数＝４である）とを交互に含んで、それぞれの機能層が２つの反射防止被膜の間に位置決めされるようになっている形式のものに関する。それぞれの被膜は少なくとも１つの反射防止層を含み、それぞれの被膜は好ましくは複数の層から成っており、これら複数の層のうちの少なくとも１つの層、又は場合によってはこれら複数の層のうちのそれぞれの層が反射防止層である。

本発明はさらに具体的には、断熱及び／又は太陽防護板ガラスを製造するためにこのような基体を使用することに関する。この板ガラスは同様に、特に空調負荷を低減すること、及び／又は過剰の加熱を防止すること（「ソーラーコントロール(solar control)」板ガラスと呼ばれる）、及び／又は建造物及び乗り物の客室内の板ガラス面の使用が増加しつつあることによってもたらされる、外部へ散逸されるエネルギー量を低減すること（「低放射(low-emissivity)」板ガラスと呼ばれる）を目的として、建造物及び乗り物の両方に装備するように意図されてもよい。

これらの基体は具体的には、電子装置に組み込まれてよく、マルチレイヤーはこの場合には電流の伝導のための電極として作用することができる（照明装置、ディスプレイ装置、起電力パネル、エレクトロクロミック板ガラスなど）。或いは、基体は、特定機能を有する板ガラス内、例えば加熱型板ガラス、具体的には加熱型の乗り物フロントガラス内に組み込まれてもよい。

４つの機能金属層を有するマルチレイヤーが知られている。

このタイプのマルチレイヤーの場合、それぞれの機能層が２つの反射防止被膜間に位置決めされている。反射防止被膜はそれぞれ、一般にいくつかの反射防止層を含んでいる。反射防止層はそれぞれ窒化物タイプ、特に窒化ケイ素又は窒化アルミニウムの材料、及び／又は酸化物タイプの材料から形成されている。光学的見地から、機能層に隣接するこれらの被膜の目的は、この機能層を「反射防止」することである。

しかしながら、１つ又はそれぞれの反射防止被膜と隣接機能層との間に、極めて薄いブロッカー被膜が挿入されることがある。すなわち或るブロッカー被膜は基体の方向で機能層の下側に位置決めされ、また或るブロッカー被膜は基体とは反対側で機能層上に位置決めされる。ブロッカー被膜は、上側の反射防止被膜の堆積中、及び任意に行われる曲げ及び／又は焼き戻しタイプの高温熱処理中の劣化から機能層を保護する。

４つの機能層を有するマルチレイヤーが従来技術において、例えば国際公開第２００５／０５１８５８号パンフレットから知られている。

上記文献に提示された４つの機能層を有するマルチレイヤーの場合、全ての機能層の厚さはほぼ同一であり、すなわち、基体に最も近い第１の機能層の厚さは、第２の機能層の厚さとほぼ同一であり、第２の機能層の厚さは第３の機能層の厚さとほぼ同一であり、或いは第４の機能層がある場合には、第３の機能層の厚さも第４の機能層の厚さとほぼ同一である。例えば上記文献の例２４を参照されたい。

しかしながら、国際公開第２００５／０５１８５８号パンフレットの例２４に記載された二重板ガラスの形態は全体的には満足のゆくものではないと思われる。それというのも、その光透過率が極めて高く（５８．０％）、その光反射率が極めて低く（１２．２％）、そしてそのエネルギー透過率が極めて低いとはいえ、そのソーラーファクター（solar factor)（本質的にエネルギー透過率よりも高い）がもたらす選択率は満足のゆくものではなく、加えて、Ｌａｂシステムのａ^*が著しく負であることによって、透過色も満足のゆくものではないからである。

２．３オーダーの高い選択率を得るためには、より高い二重板ガラス光透過率（６０％オーダー）、依然として低い光反射率（１２％オーダー）、及びより低いソーラーファクター（２６％オーダー）を得ることが好ましいと思われる。また、青−緑範囲内でよりニュートラルな、そして視角に伴ってほとんど変化することのない反射色を外側及び内側の両方から得ることも好ましいと思われる。

従って本発明の１つの目的は、これらの特徴を有するマルチレイヤーを提供することである。

別の目的は、シート抵抗が極めて低いマルチレイヤーを提供することであって、特には、このマルチレイヤーを組み込む板ガラスが高いエネルギー反射率及び／又は極めて低い放射率を呈し得るように、且つ／又は、マルチレイヤーに電気的に接続された２つのバスバー間に電流を印加することにより加熱され得るように、そしてまた特には二重板ガラス形態又は積層形態において高い光透過率及び比較的ニュートラルな色を呈し得るように、さらにこれらの特性が好ましくは曲げ及び／又は焼き戻し及び／又はアニールのタイプの１つ又は（２つ以上）の高温熱処理後に得られるように、又は場合によってはこれらの特性が、このような熱処理のうちの１つ又は（２つ以上）をマルチレイヤーに施すか否かとは無関係に、制限された範囲内で維持されるように、シート抵抗が極めて低いマルチレイヤーを提供することである。

従って本発明の１つの主題は、最も広い意味において、薄膜マルチレイヤーを備えた基体、特に透明ガラス基体であって、薄膜マルチレイヤーが、４つの機能金属層、特に銀又は銀含有金属合金を基材とする機能層と、それぞれが少なくとも１つの反射防止層を含む５つの反射防止被膜とを交互に含んで、それぞれの機能金属層が２つの反射防止被膜の間に位置決めされるようになっている形式のものにおいて、基体を出発点として第２、第３、及び第４の機能金属層の厚さがほぼ同一であって、１つの層の厚さの、先行層の厚さに対する比は０．９〜１．１（両端値を含む）であり、そして第１の機能金属層の厚さは、第２の機能金属層の厚さのほぼ半分であって、第１の機能金属層（４０）の厚さに対する第２の機能金属層の厚さの比は１．９〜２．２（両端値を含む）であることに注目すべき、薄膜マルチレイヤーを備えた基体である。

図１は、本発明による４つの機能金属層を含むマルチレイヤー構造の例を示す図である。 図２は、例１のＬａｂシステムにおける角度の関数としての反射色の変化を、外側（ｏｕｔ）及び内側（ｉｎ）から観察して示す図である。 図３は、例２のＬａｂシステムにおける角度の関数としての反射色の変化を、外側（ｏｕｔ）及び内側（ｉｎ）から観察して示す図である。 図４は、例３のＬａｂシステムにおける角度の関数としての反射色の変化を、外側（ｏｕｔ）及び内側（ｉｎ）から観察して示す図である。 図５は、例４のＬａｂシステムにおける角度の関数としての反射色の変化を、外側（ｏｕｔ）及び内側（ｉｎ）から観察して示す図である。 図６は、国際公開第２００５／０５１８５８号パンフレットに記載された例２４のＬａｂシステムにおける角度の関数としての反射色の変化を、外側（ｏｕｔ）及び内側（ｉｎ）から観察して示す図である。

２つの機能金属層の間にそれぞれ配置された反射防止被膜は極めて類似の光学的厚さを有している。２つの機能金属層の間に配置された各反射防止被膜の光学的厚さは、青−緑範囲内の反射色の獲得を支援するために、１６５ｎｍ〜１８１ｎｍ（両端値を含む）であることが好ましい。このことは、第１の機能金属層と他の機能金属層との厚さの不釣り合いを考えると、なおさら驚くべきことである。

「青−緑範囲内の色」という表現は、本発明では、Ｌａｂ色測定システムにおいて、ａ^*が０〜−６であることを意味する。

２つの機能金属層間に配置されたそれぞれの反射防止被膜は、１つ又は２つ以上の反射防止層だけから成っていることが好ましい。従って光透過を低減しないように、誘電被膜内に吸収層が存在しないことが好ましい。

第１の機能金属層の厚さは、他の全ての機能金属層の厚さのほぼ半分であって、第１の機能金属層の厚さに対する第２、第３及び第４の機能金属層の厚さの平均の比は１．９〜２．５（これらの値を含む）であることが好ましい。この法則は、青−緑範囲にある外部反射色の獲得を支援するのを可能にする。

「列」という用語は本発明では、基体を出発点として見たそれぞれの機能層の整数番号を意味する。すなわち、基体に最も近い機能層は列１又は第１の機能層であり、基体から離れる方向で次に存在する機能層は列２又は第２の機能層であり、以下同様である。

従って、「１つの層の厚さの、先行層の厚さに対する比」とは、当該層の厚さの、すぐ下の層の厚さに対する比を意味する。

それぞれの機能層の厚さは、十分に高い光透過率を得るために、６〜２０ｎｍ（両端値を含む）であることが好ましい。

前記基体を出発点として第１の機能金属層の厚さｅ₄₀（ｎｍ）（列１の厚さ）は、５．５≦ｅ₄₀≦１１（ｎｍ）、好ましくは６≦ｅ₄₀≦１０となるように形成されている。

前記基体を出発点として第２の機能金属層の厚さｅ₈₀（ｎｍ）（列２の厚さ）は、１１≦ｅ₈₀≦２２（ｎｍ）、好ましくは１２≦ｅ₈₀≦２０（ｎｍ）となるように形成されている。

前記基体を出発点として第３の機能金属層の厚さｅ₁₂₀（ｎｍ）（列３の厚さ）は、１１≦ｅ₁₂₀≦２２（ｎｍ）、好ましくは１２≦ｅ₁₂₀≦２０（ｎｍ）となるように形成されている。

前記基体を出発点として第４の機能金属層の厚さｅ₁₆₀（ｎｍ）（列４の厚さ）は、１１≦ｅ₁₆₀≦２２（ｎｍ）、好ましくは１２≦ｅ₁₆₀≦２０（ｎｍ）となるように形成されている。

機能金属層のこれらの厚さ範囲は、最良の結果、すなわち二重板ガラスにおける高い光透過率、低い光反射率、及びより低いソーラーファクターが得られる範囲であり、これにより、青−緑範囲内でニュートラルな反射色を外側及び内側の両方から得るとともに、高い選択率を得ることができる。

１つの好ましい変更形では、４つの機能金属層の総厚が３０〜７０ｎｍ（これらの値を含む）であり、或いは場合によってはこの総厚は３５〜６５ｎｍである。

ここで注意するべき重要な点は、４つの機能層の厚さ分布の特定の広がりが、（反射防止層を考慮に入れた）マルチレイヤーの全ての層の厚さ分布の広がりとは同じでないことである。

別に断りのない限り、本明細書中に示された厚さは物理的な又は実際の厚さである（光学的厚さではない）。

「光学的厚さ」という表現は本発明においては、慣例通り、層の物理的な（又は実際の）厚さと、５５０ｎｍで通常通り測定されたその屈折率との積を意味する。

「総光学的厚さ」という表現は本発明においては、当該層の全ての光学的厚さの和を意味する。それぞれの光学的厚さは、上述の通り、層の物理的な（又は実際の）厚さと、５５０ｎｍで通常通り測定されたその屈折率との積である。

従って、第１機能金属層の下側に位置する第１の反射防止被膜の総光学的厚さ（列１の厚さ）は、この被膜の誘電層の全ての光学的厚さの和から形成される。これらの誘電層は、基体と第１の機能金属層との間、又はアンダーブロッカー被膜が存在する場合には、基体と第１の機能金属層のアンダーブロッカー被膜との間に位置決めされている。

同様に、第４機能金属層の上側に位置する最後の反射防止被膜の総光学的厚さ（列５の厚さ）は、この被膜の誘電層の全ての光学的厚さの和から形成される。これらの誘電層は、基体とは反対側で第４の機能金属層の上面に、又はオーバーブロッカー被膜が存在する場合には、この第４の機能金属層のオーバーブロッカー被膜の上面に位置決めされている。

所定の機能金属層の上側に、そして基体から離れる方向に位置する後続の機能金属層の下側に位置する中間の反射防止被膜の総光学的厚さ（列２，３及び４の厚さ）はこの被膜の誘電層の全ての光学的厚さの和から形成される。これらの誘電層は、これら２つの機能金属層の間に、またオーバーブロッカー被膜が存在する場合には、この機能金属層のオーバーブロッカー被膜の上面に、そしてアンダーブロッカー被膜が存在する場合には、後続の機能金属層のアンダーブロッカー被膜の下側に位置決めされている。

さらに、層の鉛直方向位置（例えば下側／上面）について述べる場合、これは支持基体が底部に水平方向で位置決めされ、その上にマルチレイヤーが位置すると常に考える。層が別の層上に直接に堆積されることが指定されるときには、このことは、これら２つの層の間に１つ（又は２つ以上）の層を挿入することができないことを意味する。機能層列はこの場合常に、マルチレイヤーを支持する基体（マルチレイヤーが堆積された基体面）を出発点として、同じ性質の層を参照して定義される。

本発明の１つの具体的な変更形の場合、反射防止被膜のそれぞれが、任意には少なくとも１種の他の元素、例えばアルミニウムによってドープされた、窒化ケイ素を基材とする少なくとも１つの反射防止層を含む。このことは、曲げ／焼き戻しされるべき薄膜マルチレイヤーにとって、又は曲げ可能／焼き戻し可能な薄膜マルチレイヤーにとって特に有利である。

本発明の別の具体的な変更形の場合、機能金属層の下側にあるそれぞれの反射防止被膜の最後の層は、任意には少なくとも１種の他の元素、例えばアルミニウムによってドープされた、結晶性酸化物、特に酸化亜鉛を基材とする反射防止湿潤層であり、これにより結晶性機能層の獲得を支援する。

本発明はさらに、任意には少なくとも１つの他の基体と組み合わされた、本発明による少なくとも１つの基体を組み入れた板ガラス、特に二重板ガラス又は三重板ガラス又は合わせガラスのタイプの複層ガラス、特には合わせガラスであって、板ガラスが、加熱型合わせガラスを製造するのを可能にするために薄膜マルチレイヤーの電気接続手段を含み、マルチレイヤーを支持する前記基体が曲げられ且つ／又は焼き戻されるのが可能である、板ガラスに関する。

板ガラスのそれぞれの基体はクリアであるか又は着色されていてよい。基体のうちの少なくとも１つは特にバルク着色ガラスから形成されてよい。着色のタイプは、その製造完了時点で望まれる光透過レベル及び／又は比色外観に応じて選ばれる。

本発明による板ガラスは、特にガラス・タイプの少なくとも２つの剛性基体と、少なくとも１つの熱可塑性ポリマーシートとを組み合わせた積層構造を有することにより、次のタイプの構造、すなわち、ガラス／薄膜マルチレイヤー／シート／ガラス構造を有することができる。ポリマーは特に、ポリビニルブチラール（ＰＶＢ）、エチレン／ビニルアセテート（ＥＶＡ）、ポリエチレンテレフタレート（ＰＥＴ）、又はポリ塩化ビニル（ＰＶＣ）を基材としてよい。

板ガラスはこの場合、ガラス／薄膜マルチレイヤー／ポリマーシート／ガラスのタイプの構造を有してよい。

本発明による板ガラスには、薄膜マルチレイヤーを損傷することなしに熱処理を施すことができる。従ってこの板ガラスは任意に曲げ及び／又は焼き戻しが施される。

板ガラスには、これがマルチレイヤーを備えた単一の基体から形成されているときに曲げ及び／又は焼き戻しを施すことができる。この場合これは「モノリシック」板ガラスと呼ばれる。板ガラスが特に乗り物用板ガラスを形成する目的で曲げられる場合、薄膜マルチレイヤーは、少なくとも部分的に非平面状の面上に位置することが好ましい。

板ガラスは複層ガラス、特に二重板ガラスであってもよく、少なくとも、マルチレイヤーを支持する基体が、曲げられ且つ／又は焼き戻されるのが可能である。複層ガラス形態の場合、マルチレイヤーが中間ガス充填空間に面するように配置されることが好ましい。積層構造の場合、マルチレイヤーを支持する基体はポリマーシートと接触していてよい。

板ガラスは、対を成すガス充填空間によって分離された３枚のガラス板から成っていてもよい。三重板ガラス構造の場合、マルチレイヤー支持基体は、入射した太陽光が面番号の小さい順に面を通過すると考えて、面２及び／又は面５上にあってよい。

板ガラスがモノリシック板ガラス、又は二重板ガラス又は三重板ガラス又は合わせガラスのタイプの複層ガラスである場合、少なくともマルチレイヤー支持基体に、曲げ及び／又は焼き戻しを施すことができる。この基体には、マルチレイヤー堆積の前又は後に曲げ又は焼き戻しを施すことが可能である。

本発明はまた、高いエネルギー反射率を有する板ガラス、及び／又は極めて低い放射率を有する板ガラス、及び／又はジュール効果によって加熱される透明被膜を有する加熱型板ガラスを製造するために、本発明による基体を使用することに関する。

本発明はまた、エレクトロクロミック板ガラス、又は照明装置、又はディスプレイ装置、又は光起電力パネルの透明電極を製造するために、本発明による基体を使用することに関する。

本発明による基体は特には、高いエネルギー反射率を有する板ガラス、及び／又は極めて低い放射率を有する板ガラス、及び／又は加熱型板ガラスの加熱型透明被膜を製造するために使用してよい。

本発明による基体は具体的には、エレクトロクロミック板ガラス（この板ガラスはモノリシック板ガラス、又は二重板ガラス又は三重板ガラス又は合わせガラスのタイプの複層ガラスである）、又は照明装置、又はディスプレイ装置、又は光起電力パネルの透明電極を製造するために使用してよい。（「透明」という用語はここでは非オパーク(non-opaque)であることを意味する）。

本発明によるマルチレイヤーは、高い光透過率（＞５５％、場合によっては＞６０％）、低い光反射率（＜１４％）、低いソーラーファクター、及びあまり目立たない（Ｌａｂシステムのａ^*及びｂ^*の値がゼロに近い）、視角に応じた変化の少ない反射色を有するマルチレイヤーで被覆された基体を得ることを可能にする。

本発明によるマルチレイヤーはこうして、２．１を上回る高い選択率を達成することを可能にする。

本発明の詳細及び利点は、添付の図面によって示された下記の非制限的な例から明らかになる。

図１において、種々のエレメント間の比率は、エレメントの説明を容易にするため、重視していない。図２〜６に関して、矢印は外面に対する法線に対して０°（曲線の始点）から外面に対する法線に対して７０°（矢印方向に従って延びる曲線の終点）までの角度で得られた変化を示している。

図１は、４つの機能金属層４０，８０，１２０，１６０を有するマルチレイヤー構造を示している。この構造は、透明ガラス基体１０上に堆積されている。

各機能金属層４０，８０，１２０，１６０は、２つの反射防止被膜２０，６０，１００，１４０，１８０の間に位置決めされているので、基体を出発点として第１の機能金属層４０は反射防止被膜２０，６０の間に位置決めされており、第２の機能金属層８０は反射防止被膜６０，１００の間に位置決めされており、第３の機能金属層１２０は反射防止被膜１００，１４０の間に位置決めされており、そして第４の機能金属層１６０は反射防止被膜１４０，１８０の間に位置決めされている。

これらの反射防止被膜２０，６０，１００，１４０，１８０はそれぞれ、少なくとも１つの反射防止誘電層２４，２８；６２，６４，６８；１０２，１０４，１０８；１４２，１４４，１４８；１８２，１８４を含む。

任意には、一方ではそれぞれの機能層４０，８０，１２０，１６０は、機能層の下側の反射防止被膜と機能層との間に位置決めされたアンダーブロッカー被膜（図示せず）上に堆積されてよく、そして他方ではそれぞれの機能層４０，８０，１２０，１６０は、機能層と、この層の上側の反射防止被膜との間に位置決めされたオーバーブロッカー被膜５５，９５，１３５，１７５のすぐ下側に堆積されてよい。

これらのブロッカー被膜は、マルチレイヤーの反射防止被膜の光学的定義においては考慮に入れられていない。

最初の一連の４つの例を実施する。これらの例は以下において１から４まで番号付けされる。

これらの例では、（反射防止被膜を形成する反射防止材料屈折率が慣例通り、５５０ｎｍで測定されることを考えて）反射防止被膜２０，６０，１００，１４０，１８０は、光学的厚さによってのみ定義される。

下記表１には、マルチレイヤーを形成するそれぞれの層又は被膜の厚さ（ｎｍ）が、マルチレイヤーを支持する基体（表の最下段の最終行）に対する層又は被膜の位置の関数として要約されている。第１欄の厚さの下付文字は、図１の符号に相当する。

下記表２には、機能層の厚さ比が要約されている。

表３には、これらの例１〜４の主要光学特徴が、二重板ガラス内に組み込まれたマルチレイヤー支持基体に対して測定されて要約されている。この二重板ガラスの構造は、６ｍｍガラス／１５ｍｍ中間アルゴン充填空間／６ｍｍガラスである。マルチレイヤーは面２に位置決めされている（板ガラスの面１は、慣例通り、板ガラスの最も外側の面である）。

この二重板ガラスに関して、
− Ｔ_Lは、発光体Ａ／１０°観察者条件下で測定した可視範囲内の光透過率％を示しており；
− ａ^* _T及びｂ^* _Tは、発光体Ｄ６５／１０°オブザーバー条件下で測定し、ひいては板ガラスに対してほぼ垂直に測定したＬａｂシステムの透過色ａ^*及びｂ^*を示しており；
− Ｒ_Lextは、最外面（面１）の側から発光体Ａ／１０°オブザーバー条件下で測定した、可視範囲内の光反射率％を示しており；
− ａ^* _Rext及びｂ^* _Rextは、最外面の側から発光体Ｄ６５／１０°オブザーバー条件下で測定し、ひいては板ガラスに対してほぼ垂直に測定したＬａｂシステムの反射色ａ^*及びｂ^*を示しており；
− ａ^* _Rext-45°及びｂ^* _Rext-45°は、最外面の側から発光体Ｄ６５／１０°オブザーバー条件下で測定し、そして板ガラスに対する垂線に対してほぼ４５°の角度で測定したＬａｂシステムの反射色ａ^*及びｂ^*を示しており；
− ａ^* _Rext-60°及びｂ^* _Rext-60°は、最外面の側から発光体Ｄ６５／１０°オブザーバー条件下で測定し、そして板ガラスに対する垂線に対してほぼ６０°の角度で測定したＬａｂシステムの反射色ａ^*及びｂ^*を示しており；
− Ｒ_Lintは、最内面（面４）の側から発光体Ａ／１０°オブザーバー条件下で測定した、可視範囲内の光反射率％を示しており；
− ａ^* _Rint及びｂ^* _Rintは、最内面の側から発光体Ｄ６５／１０°オブザーバー条件下で測定し、ひいては板ガラスに対してほぼ垂直に測定したＬａｂシステムの反射色ａ^*及びｂ^*を示しており；
− ＳＦはソーラーファクター、すなわち、総入射太陽エネルギーに対する、板ガラスを通って室内に入る総エネルギーのパーセンテージを、基準ＥＮ４１０に従って計算したものを示す。

本発明による例１及び２の場合、基体から最も遠い３つの機能層はほとんど同一の厚さを有する。すなわち一方では、第３機能層の厚さｅ₁₂₀に対する第４機能層の厚さｅ₁₆₀の比、そして他方では、第２機能層の厚さｅ₈₀に対する第３機能層の厚さｅ₁₂₀の比はほとんど同一である。これらの比は０．９〜１．２であり、より正確には１．０〜１．１５である。

本発明によるこれらの例１及び２の場合、基体に最も近い機能層の厚さｅ₄₀は、第２の機能層の厚さｅ₈₀のほぼ半分、又は場合によっては半分未満であり（表２の最後から２行目参照）、第１の機能層の厚さｅ₄₀に対する第２の機能層の厚さｅ₈₀の比は１．９〜２．２である。

本発明によるこれらの例１及び２の場合、基体に最も近い機能金属層の厚さｅ₄₀は、他の全ての機能金属層の平均厚のほぼ半分であり、又は場合によっては半分未満である（表２の最終行参照）。これらの比は１．９〜２．５であり、さらには２．０〜２．４である。

本発明に基づくものではない例３の場合、機能層の厚さは、基層から遠ざかるに従って徐々に増大し、１つの機能層の厚さの、基体に向かって設けられた先行機能層の厚さに対する比は１．３〜１．５のオーダーである。

本発明に基づくものではない例３の場合、基体に最も近い機能層の厚さｅ₄₀は、他の全ての機能層の平均厚のほぼ半分である（表２の最終行）にもかかわらず、基体に最も近い機能層の厚さｅ₄₀は、第２の機能層の厚さｅ₈₀のほぼ半分ではない（表２の最後から２行目）。

本発明に基づくものではない例４の場合、基体から最も遠い３つの機能層はほとんど同一の厚さを有する。すなわち一方では、第３機能層の厚さｅ₁₂₀に対する第４機能層の厚さｅ₁₆₀の比、そして他方では、第２機能層の厚さｅ₈₀に対する第３機能層の厚さｅ₁₂₀の比はほとんど同一である。これらの比は０．９〜１．２である。

本発明に基づくものではない例４の場合、基体に最も近い機能層の厚さｅ₄₀は、第２の機能層の厚さよりも確かに小さい（表２の最後から２行目参照）が、しかし第１の機能層の厚さｅ₄₀に対する第２の機能層の厚さｅ₈₀の比は１．９未満である。

本発明に基づくものではない例４の場合、基体に最も近い機能層の厚さは、他の全ての機能層の平均厚の半分を大きく上回る（表２の最終行）。

表３を検討すると明らなように、ＵＶ範囲及び赤外範囲では極めて急勾配であるとともに可視範囲全体を通しては低く平らである光反射率と、理想的な方形波帯域スペクトルに明らかに近似する透過スペクトルとを有する、４つの機能金属層を備えたマルチレイヤーを製造することが可能であり、ひいては６０／２６のオーダーの極めて有利な選択率（Ｔ_L／ＳＦ比）を得ることが可能になる。このことは例１及び２によって得られたものである。

さらに、例１及び２にそれぞれ対応する図２及び３から明らかなように、外側及び内側の両方の反射色は、青−緑範囲内に含まれ、角度とともに僅かしか変化しない。

図２からは、例１に関して、具体的には法線に対して０°の角度における外部反射色（［ｏｕｔ」、実線）に対応する表３の値ａ^* _Rext＝−１．９及びｂ^* _Rext＝−４．８を見いだすことができる。これは実線で示す曲線の始点である。

図２からは、例１に関して、具体的には法線に対して０°の角度における内部反射色（［ｉｎ」、点線）に対応する表３の値ａ^* _Rext＝０．４及びｂ^* _Rext＝−５．７を見いだすことができる。これは点線で示す曲線の始点である。

例３は、例１及び２よりも悪い、ほぼ６０／２８の選択率を有する。さらに外側及び内側の両方における反射色は図４から判るように、角度とともに大きく変化する。

例４は、例１及び２よりも僅かに良い、ほぼ６１／２６の選択率を有するが、しかし、その反射色は赤みを帯びており、これは図５から判るように、角度とともに大きく変化する。

国際公開第２００５／０５１８５８号パンフレットの例２４それ自体も、上記例１〜４と同じコンピュータ手段を用いたシミュレーション分析の対象であった。その結果を図６に示す。

外部反射色も内部反射色も角度とともに大きく変化している。

下記例５では、上記例２に基づいて、SAINT-GOBAINによって販売されている厚さ６ｍｍのクリアなソーダ石灰ガラスから成る基体上に薄膜マルチレイヤーを堆積する。

この例の場合、スパッタリング（マグネトロン・スパッタリング）によって堆積された層を堆積する条件は下記の通りである：

下記表５には、それぞれの層の材料及び厚さ（ナノメートル）と、例５のマルチレイヤーを形成する層の組成とが、マルチレイヤーを支持する基体（表の最下段の最終行）に対する層の位置の関数として要約されている。第１欄及び第２欄の番号、及び最終欄の下付番号は図１の符号に相当する。

機能層４０，８０，１２０，１６０の下側にあるそれぞれの反射防止被膜２０，６０，１００，１４０は、アルミニウムによってドープされた結晶性酸化亜鉛を基材とする最後の湿潤層２８，６８，１０８，１４８を含む。この湿潤層は真上に堆積された機能層４０，８０，１２０，１６０と接触している。

それぞれの反射防止被膜２０，６０，１００，１４０，１８０は、アルミニウムでドープされた窒化ケイ素を基材とする、平均屈折率を有する層２４，６４，１０４，１４４，１８４を含む。この層の実際の性質は現実には、上述したようなＳｉ₃Ｎ₄：Ａｌであるものの、簡略化のためにこの材料をここではＳｉＡｌＮと呼ぶ。

窒化ケイ素を基材とするこれらの層は、熱処理中に酸素バリア効果を得るために重要である。

従って例５は、焼き戻し及び曲げを施すことができるという付加的な利点を有する。

この例５は、上記表３において例２について示された特徴を測定誤差及び測定不確実性の範囲を含めて実際に有し、そして図３に示された特徴を実際に有することが検証された。

銀層の総厚が大きい（ひいては得られるシート抵抗が低い）こと、そして光学特性（具体的には可視範囲の光透過率）が良好なことに起因して、本発明によるマルチレイヤーで被覆された基体を使用して、透明電極基体を製造することもさらに可能である。

この透明電極基体は、具体的には、例５の窒化ケイ素層１８４の一部の代わりに導電層（具体的には抵抗率１０⁵Ω・ｃｍ未満）、特に酸化物系層を配置することによって、有機発光装置に適合させることができる。この層は、例えば酸化錫から形成され、又は任意にはＡｌ又はＧａでドープされた酸化亜鉛を基材とし、又は混合酸化物、特に任意には（例えばＳｂ，Ｆで）ドープされたインジウム錫酸化物ＩＴＯ、インジウム亜鉛酸化物ＩＺＯ、錫亜鉛酸化物ＳｎＺｎＯを基材としてよい。この有機発光装置は、照明装置又はディスプレイ装置（スクリーン）を製造するために使用することができる。

一般に、透明電極基体は、加熱型板ガラス、具体的には加熱型積層フロントガラスのための加熱型基体として適している。これはまた、エレクトロクロミック板ガラス、ディスプレイ・スクリーン、又は光起電力セルのための透明電極基体、特に透明光起電力セルのための前面又は後面のための透明電極基体としても適している。

本発明は一例として前述のように説明されている。請求項によって定義された特許請求の範囲を逸脱することなしに、当業者が本発明の種々の変更形を実施し得ることは明らかである。
本発明の典型的な態様としては、以下を挙げることができる：
《態様１》
薄膜マルチレイヤーを備えた基体（１０）、特に透明ガラス基体であって、該薄膜マルチレイヤーが、４つの機能金属層（４０，８０，１２０，１６０）、特に銀又は銀含有金属合金を基材とする機能層と、それぞれが少なくとも１つの反射防止誘電層を含む５つの反射防止誘電被膜（２０，６０，１００，１４０，１８０）とを交互に含んで、それぞれの機能金属層（４０，８０，１２０，１６０）が２つの反射防止被膜（２０，６０，１００，１４０，１８０）の間に位置決めされるようになっている形式のものにおいて、
該基体を出発点として第２、第３、及び第４の機能金属層（８０，１２０，１６０）の厚さがほぼ同一であって、１つの層の厚さの、先行層の厚さに対する比は０．９〜１．１（両端値を含む）であり、そして第１の機能金属層（４０）の厚さは、該第２の機能金属層（８０）の厚さのほぼ半分であって、該第１の機能金属層（４０）の厚さに対する第２の機能金属層の厚さの比は１．９〜２．２（両端値を含む）である
ことを特徴とする、薄膜マルチレイヤーを備えた基体。
《態様２》
２つの機能金属層の間に配置された各反射防止被膜（６０，１００，１４０）の光学的厚さは１６５ｎｍ〜１８１ｎｍ（両端値を含む）であることを特徴とする、態様１に記載の基体（１０）。
《態様３》
前記第１の機能金属層（４０）の厚さは、前記他の全ての機能金属層（８０，１２０，１６０）の厚さのほぼ半分であって、該第１の機能金属層（４０）の厚さに対する前記第２、第３及び第４の機能金属層の厚さの平均の比は１．９〜２．５（両端値を含む）であることを特徴とする、態様１又は２に記載の基体（１０）。
《態様４》
前記基体を出発点として前記第１の機能金属層（４０）の厚さｅ ₄₀ （ｎｍ）は、５．５≦ｅ ₄₀ ≦１１（ｎｍ）、好ましくは６≦ｅ ₄₀ ≦１０となるように形成されていることを特徴とする、態様１から３までのいずれか１つに記載の基体（１０）。
《態様５》
前記基体を出発点として前記第２の機能金属層（８０）の厚さｅ ₈₀ （ｎｍ）は、１１≦ｅ ₈₀ ≦２２（ｎｍ）、好ましくは１２≦ｅ ₈₀ ≦２０（ｎｍ）となるように形成されていることを特徴とする、態様１から４までのいずれか１つに記載の基体（１０）。
《態様６》
前記基体を出発点として前記第３の機能金属層（１２０）の厚さｅ ₁₂₀ （ｎｍ）は、１１≦ｅ ₁₂₀ ≦２２（ｎｍ）、好ましくは１２≦ｅ ₁₂₀ ≦２０（ｎｍ）となるように形成されていることを特徴とする、態様１から５までのいずれか１つに記載の基体（１０）。
《態様７》
前記基体を出発点として前記第４の機能金属層（１６０）の厚さｅ ₁₆₀ （ｎｍ）は、１１≦ｅ ₁₆₀ ≦２２（ｎｍ）、好ましくは１２≦ｅ ₁₆₀ ≦２０（ｎｍ）となるように形成されていることを特徴とする、態様１から６までのいずれか１つに記載の基体（１０）。
《態様８》
前記４つの機能金属層（４０，８０，１２０，１６０）の総厚が３０〜７０ｎｍ（両端値を含む）であり、或いは場合によってはこの総厚は３５〜６５ｎｍであることを特徴とする、態様１から７までのいずれか１つに記載の基体（１０）。
《態様９》
前記反射防止被膜（２０，６０，１００，１４０，１８０）のそれぞれが、任意には少なくとも１種の他の元素、例えばアルミニウムによってドープされた、窒化ケイ素を基材とする少なくとも１つの反射防止層（２４，６４，１０４，１４４，１８４）を含むことを特徴とする、態様１から８までのいずれか１つに記載の基体（１０）。
《態様１０》
機能金属層（４０，８０，１２０，１６０）の下側にあるそれぞれの反射防止被膜の最後の層は、任意には少なくとも１種の他の元素、例えばアルミニウムによってドープされた、結晶性酸化物、特に酸化亜鉛を基材とする反射防止湿潤層（２８，６８，１０８，１４８）であることを特徴とする、態様１から９までのいずれか１つに記載の基体（１０）。
《態様１１》
任意には少なくとも１つの他の基体と組み合わされた、態様１から１０までのいずれか１つに記載の少なくとも１つの基体（１０）を組み入れた板ガラス、特に二重板ガラス又は三重板ガラス又は合わせガラスのタイプの複層ガラス、さらには合わせガラスであって、該板ガラスが、加熱型合わせガラスを製造するのを可能にするために薄膜マルチレイヤーの電気接続手段を含み、該マルチレイヤーを支持する前記基体が曲げられ且つ／又は焼き戻されるのが可能である、板ガラス。
《態様１２》
態様１から１０までのいずれか１つに記載の基体の使用であって、加熱型板ガラスの加熱型透明被膜を製造するため、又はエレクトロクロミック板ガラス、又は照明装置、又はディスプレイ装置、又は光起電力パネルの透明電極を製造するための、基体の使用。

Claims (20)

1. 薄膜マルチレイヤーを備えた透明基体（１０）であって、該薄膜マルチレイヤーが、銀を基材とする４つの機能金属層（４０，８０，１２０，１６０）と、それぞれが少なくとも１つの反射防止誘電層を含む５つの反射防止誘電被膜（２０，６０，１００，１４０，１８０）とが交互になったものであり、それぞれの機能金属層（４０，８０，１２０，１６０）が２つの反射防止誘電被膜（２０，６０，１００，１４０，１８０）の間に位置決めされるようになっている形式のものにおいて、
   該基体を出発点として第２、第３、及び第４の機能金属層（８０，１２０，１６０）の厚さがほぼ同一であって、１つの層の厚さの、先行層の厚さに対する比は０．９〜１．１（両端値を含む）であり、そして第１の機能金属層（４０）の厚さは、該第２の機能金属層（８０）の厚さのほぼ半分であって、該第１の機能金属層（４０）の厚さに対する第２の機能金属層の厚さの比は１．９〜２．２（両端値を含む）である
   ことを特徴とする、薄膜マルチレイヤーを備えた基体。
2. 透明ガラス基体である、請求項１に記載の基体（１０）。
3. ２つの機能金属層の間に配置された各反射防止誘電被膜（６０，１００，１４０）の光学的厚さは１６５ｎｍ〜１８１ｎｍ（両端値を含む）であることを特徴とする、請求項１又は２に記載の基体（１０）。
4. 前記第１の機能金属層（４０）の厚さは、前記他の全ての機能金属層（８０，１２０，１６０）の厚さのほぼ半分であって、該第１の機能金属層（４０）の厚さに対する前記第２、第３及び第４の機能金属層の厚さの平均の比は１．９〜２．５（両端値を含む）であることを特徴とする、請求項１から３までのいずれか１項に記載の基体（１０）。
5. 前記基体を出発点として前記第１の機能金属層（４０）の厚さｅ₄₀（ｎｍ）は、５．５≦ｅ₄₀≦１１（ｎｍ）となるように形成されていることを特徴とする、請求項１から４までのいずれか１項に記載の基体（１０）。
6. 前記基体を出発点として前記第２の機能金属層（８０）の厚さｅ₈₀（ｎｍ）は、１１≦ｅ₈₀≦２２（ｎｍ）となるように形成されていることを特徴とする、請求項１から５までのいずれか１項に記載の基体（１０）。
7. 前記基体を出発点として前記第３の機能金属層（１２０）の厚さｅ₁₂₀（ｎｍ）は、１１≦ｅ₁₂₀≦２２（ｎｍ）となるように形成されていることを特徴とする、請求項１から６までのいずれか１項に記載の基体（１０）。
8. 前記基体を出発点として前記第４の機能金属層（１６０）の厚さｅ₁₆₀（ｎｍ）は、１１≦ｅ₁₆₀≦２２（ｎｍ）となるように形成されていることを特徴とする、請求項１から７までのいずれか１項に記載の基体（１０）。
9. 前記４つの機能金属層（４０，８０，１２０，１６０）の総厚が３０〜７０ｎｍ（両端値を含む）であることを特徴とする、請求項１から８までのいずれか１項に記載の基体（１０）。
10. 前記反射防止誘電被膜（２０，６０，１００，１４０，１８０）のそれぞれが、窒化ケイ素を基材とする少なくとも１つの反射防止誘電層（２４，６４，１０４，１４４，１８４）を含むことを特徴とする、請求項１から９までのいずれか１項に記載の基体（１０）。
11. 前記窒化ケイ素が少なくとも１種の他の元素によってドープされていることを特徴とする、請求項１０に記載の基体（１０）。
12. 前記少なくとも１種の他の元素がアルミニウムであることを特徴とする、請求項１１に記載の基体（１０）。
13. 機能金属層（４０，８０，１２０，１６０）の下側にあるそれぞれの反射防止誘電被膜の最後の層は、結晶性酸化物を基材とする反射防止誘電層（２８，６８，１０８，１４８）であることを特徴とする、請求項１から１２までのいずれか１項に記載の基体（１０）。
14. 前記結晶性酸化物は少なくとも１種の他の元素によってドープされていることを特徴とする、請求項１３に記載の基体（１０）。
15. 前記少なくとも１種の他の元素はアルミニウムであることを特徴とする、請求項１４に記載の基体（１０）。
16. 前記結晶性酸化物は酸化亜鉛であることを特徴とする、請求項１３に記載の基体（１０）。
17. 請求項１から１６までのいずれか１項に記載の少なくとも１つの基体（１０）を組み入れた板ガラスであって、該板ガラスが、加熱型合わせ板ガラスを製造するのを可能にするために薄膜マルチレイヤーの電気接続手段を含み、該マルチレイヤーを支持する前記基体が、該薄膜マルチレイヤーを損傷することなしに、曲げられ、又は焼き戻され、又は曲げられ且つ焼き戻されるのが可能である、板ガラス。
18. 前記基体（１０）が少なくとも１つの他の基体と組み合わされている、請求項１７に記載の板ガラス。
19. 二重板ガラス又は三重板ガラス又は合わせ板ガラスのタイプの複層板ガラス、あるいは合わせ板ガラスである、請求項１８に記載の板ガラス。
20. 請求項１から１６までのいずれか１項に記載の基体の使用であって、加熱型板ガラスの加熱型透明被膜を製造するため、又はエレクトロクロミック板ガラス、又は照明装置、又はディスプレイ装置、又は光起電力パネルの透明電極を製造するための、基体の使用。

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