KR101654259B1 - 특히 가열 글레이징을 생산하기 위해 열적 특성을 가지는 다층을 구비하는 기판을 제조하는 방법 - Google Patents
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Abstract
본 발명은 "n"개의 금속 기능성 층(40, 80, 120, 160), 특히 실버(silver) 또는 실버를 포함하는 금속 합금에 기초한 기능성 층과, "(n+1)"개의 반사방지 코팅(20, 60, 100, 140, 180)의 교대를 포함하는 박막 다층을 각 기판이 구비하며, 여기서 n은 3보다 큰 정수이고, 각 반사방지 코팅은 각 기능성 층(40, 80, 120, 160)이 2개의 반사방지 코팅(20, 60, 100, 140, 180)들 사이에 위치하도록 적어도 하나의 반사방지 층(24, 64, 104, 144, 184)을 포함하는, 기판(10), 특히 투명한 유리 기판을 제조하는 방법으로서, 상기 박막 다층은 진공 기술에 의하여 증착되고, 상기 다층은 2개의 기능성 층(40, 80, 120, 160)의 두께들이 적어도 서로 다르고 기능성 층(40, 80, 120, 160)의 두께들이 다층의 중심에 대하여 다층 내에서 대칭을 가지도록 구성되는, 기판을 제조하는 방법에 관한 것이다.
Description
본 발명은 특히 유리와 같은 강성의 미네랄 물질로 이루어진 투명한 기판으로서, 태양 광선 및/또는 긴 파장의 적외선 복사선에 작용할 수 있는 수 개의 기능성 층을 포함하는 박막 다층으로 코팅된 투명한 기판을 제조하는 것에 관한 것이다.
본 발명은 보다 상세하게는 "n" 금속 기능성 층, 특히 실버(silver) 또는 실버를 포함하는 금속 합금에 기초한 기능성 층과, "(n + 1)"개의 반사방지 코팅(n은 3보다 큰 정수이다)의 교대를 포함하는 박막 다층을 각 기판이 구비하며, 2개의 반사방지 코팅들 사이에 각 기능성 층이 위치하는, 기판, 특히 투명한 유리 기판을 제조하는 것에 관한 것이다. 각 코팅은 적어도 하나의 반사방지 층을 포함하며, 각 코팅은 바람직하게는 복수의 층으로 구성되고, 적어도 하나의 층 또는 심지어 각 층은 반사방지 층으로 구성된다.
본 발명은 보다 상세하게는 단열 및/또는 태양광선 보호 글레이징 유닛을 제조하기 위한 상기 기판의 사용에 관한 것이다. 이들 글레이징 유닛은 동일하게 특히 공기 조화 부하(air-conditioning load)를 감소시키거나 및/또는 과도한 과열을 방지하거나("태양광선 제어" 글레이징이라고 불리우는 글레이징) 및/또는 빌딩과 차량 승객 객실에 글레이징 면이 점점 더 많이 사용되는 것에 의해 야기되는 외부로 방사되는 에너지의 양을 감소시키기("low-E" 또는 "낮은 방사율" 글레이징이라고 불리우는 글레이징) 위하여 빌딩과 차량에 장착하도록 의도될 수 있다.
이들 기판은 특히 전자 디바이스에 통합될 수 있으며 다층은 전류의 전도를 위한 전극(조명 디바이스, 디스플레이 디바이스, 발전 패널, 전기변색 글레이징 등)으로 작용하거나 또는 예를 들어 가열되는 글레이징 유닛 및 특히 차량을 위한 가열 윈드실드와 같은 특정 기능성을 가지는 글레이징 유닛에 통합될 수 있다.
본 발명의 의미에서, 수 개의 기능성 층을 가지는 다층(multilayer)이란 적어도 3개의 기능성 층을 포함하는 다층을 의미하는 것으로 이해된다.
수 개의 기능성 층을 가지는 다층은 알려져 있다.
이들 다층은 연속적이지 않고 일반적으로 유리 산업에서 약 3m의 폭과 약 6m의 길이를 가지는 기판 위에 (산업적 생산 사이클 동안 적어도) 연속적으로 기능하는 증착 기계를 사용하여 일반적으로 증착된다.
이런 유형의 다층에서 각 기능성 층은 2개의 반사방지 코팅들 사이에 위치하고, 각 반사방지 코팅은 일반적으로 수 개의 반사방지 층을 포함하며 각 반사방지 층은 질화물 유형과 특히 실리콘 질화물 또는 알루미늄 질화물 및/또는 산화물 유형의 물질로 이루어진다. 광학적 관점에서 기능성 층의 측면에 있는 이들 코팅의 목적은 이 기능성 층이 "반사하는 것을 방지"하는 것이다.
그러나, 매우 얇은 차단제 코팅은 종종 하나 또는 각 반사방지 코팅과 그 인접한 기능성 층 사이에 배치되고, 기판 방향으로 기능성 층 아래에 배치된 차단제 코팅과, 기판과 반대측 기능성 층에 위치된 차단제 코팅은 상부 반사방지 코팅을 증착하는 동안 그리고 벤딩(bending) 및/또는 강화(toughening) 유형의 선택적인 고온 열 처리 동안 이 층이 열화하는 것을 방지한다.
수 개의 기능성 층을 가지는 다층은 종래 기술, 예를 들어 국제 특허 출원 번호 WO 2005/051858호로부터 알려져 있다.
이 문헌에서 제시된 3개 또는 4개의 기능성 층을 가지는 다층에서, 모든 기능성 층의 두께는 실질적으로 동일하고, 다시 말해 기판에 가장 가까운 제 1 기능성 층의 두께는 제 2 기능성 층의 두께와 실질적으로 동일하고, 제 2 기능성 층의 두께는 제 3 기능성 층의 두께와 실질적으로 동일하거나 또는 심지어 제 4 기능성이 존재할 때 제 4 기능성 층의 두께와 실질적으로 동일하다.
이 문헌은 기판에 가장 가까운 것인 제 1 기능성 층의 두께가 유럽 특허 출원 번호 EP 645 352호의 내용에 따라 제 2 기능성 층의 두께보다 더 작고 제 2 기능성 층의 두께가 제 3 기능성 층의 두께보다 더 작은 실시예인 예 14를 더 제시한다.
수 개의 기능성 층(적어도 3개의 기능성 층)을 가지는 이런 유형의 다층을 산업적 규모로 제조하는 것은 복잡하다. 기판 위에 증착된 다층 내에 있는 이들 층들의 이론적인 두께에 대하여 기능성 층들의 두께의 차이에 대한 공차와, 하나의 기판으로부터 그 다음 기판 사이의 공차는 기능성 층들이 전체 증착 두께(일반적으로 약 3m)에 걸쳐 큰 정밀도로 증착될 수 있으므로 상대적으로 낮다.
한편, 기판 위에 증착된 다층의 반사방지 코팅 내에서 반사방지 층의 두께의 차이에 대한 공차와, 또한 다층으로 코팅된 하나의 기판과 그 다음 기판 사이의 공차는 이들 반사방지 층들의 증착 동안 모든 주의를 다한다 하더라도 대부분 상대적으로 크다.
이것은 반응 방법 그리고 특히 화학적 증기 증착(CVD) 방법 또는 반응 스퍼터링 증착 방법(질화물 및/또는 산화물을 각각 형성하기 위하여 질소 및/또는 산소를 포함하는 대기에서 반응 마그네트론 스퍼터링)에 의하여 증착된 반사방지 층들에 특히 그러하다.
이들 반사방지 층들을 증착하기 위해 산업적으로 허용가능한 공차는 원하는 광학 특성을 가지지 않거나 또는 허용가능하지만 약간 다른 광학 특성을 가지는 기판 또는 기판 부분의 제조를 가능하게 하며, 이 차이는 인간의 눈에 지각가능하다는 것이 발견되었다.
사실, 다층에 있는 반사방지 층의 개수(적어도 4개 그리고 예를 들어 3개의 기능성 층을 가지는 다층에 대해 약 10개 또는 이보다 훨씬 더 많은 개수; 적어도 5개 그리고 예를 들어 4개의 기능성 층을 가지는 다층에 대해서는 약 12개 또는 이보다 훨씬 더 많은 개수)에 대하여, 각 층에 대해 허용가능한 공차의 누적된 효과는 결국 광학적으로 간과할 수 없는 다층에 반사방지 층의 물질의 총 두께를 초래할 수 있다.
기판(산업적으로 약 6m x 3m의 크기를 가지는 기판) 위에 증착된 다층 내에 문제가 있을 때 그리고 이 문제가 일련의 모든 기판들에서 동일한 방식으로 정확히 재현되는 경우, 하나의 해법은 모든 기판에 걸쳐 과도하게 큰 차이를 가지는 부분을 절단하고 이들 부분을 제거하는 것이다. 그러나, 이것은 산업적 제조에 상당한 비용 프리미엄을 발생시킨다.
하나의 기판으로부터 다른 기판 사이에 문제가 있을 때 하나의 해법은 기준에 비해 과도하게 큰 차이를 가지는 모든 기판을 제거하는 것이다. 그러나, 이것은 허용가능하지 않은 비용 프리미엄을 발생시킨다.
그러나, 이 문제는 상당한 영향을 가질 수 있다.
따라서, 수 개의 기능성 층을 가지는 기판을 각각이 포함하는 비-열전도성 윈드실드를 각각이 구비하는 동일한 모델의 2개(또는 더 많은) 차량들이 나란히 배치될 때, (이들 윈드실드는 동일한 유리 제조사에 의해 제공된 것이어서 통상 동일하다) 이 윈드실드는 실제로 동일한 공간 내 관찰 지점으로부터 (그리하여 실질적으로 동일한 관찰 각도를 따라) 보았을 때 서로 다른 외부 반사 컬러를 가지는 일이 발생할 수 있다.
2개의 윈드실드의 외부 반사 컬러의 이러한 차이는 자명한 것이 아니고 주의 깊고 경험이 있는 사람의 눈에는 관찰될 수 있다.
이들은 물론 적절한 장비를 사용하여 컬러를 측정하는 것에 의해 관찰될 수도 있다.
이것은 잠재적인 구매자가 2개의 차량의 윈드실드의 반사 컬러의 이러한 차이를 윈드실드의 에너지 반사 효율의 차이로 해석할 수 있게 할 수 있어 - 이것이 기술적으로는 사실이 아니라 하더라도 - 문제시될 수 있다. 예측할 수 없는 효율의 지각은 이리하여 반사 컬러의 차이와 연관될 수 있으며 이것은 2개의 차량의 가치를 손상시킬 수 있다.
이와 유사한 문제가 또한 물론 빌딩 외관(facade) 또는 디스플레이 스크린 외관 또는 수 개의 기능성 층을 가지는 기판을 각각이 포함하는 수 개의 윈도우/스크린/패널을 통합한 광전 패널 외관에서 발생할 수 있다.
본 발명의 목적은 적어도 하나의 (그리고 선택적으로 수 개의) 반사방지 층(들)의 두께가 기판의 길이 및/또는 폭을 따라 변하더라도, 주어진 각도를 따라 관찰했을 때 기판 측에서 (적어도 또는 심지어 다층 측에서) 반사 컬러가 기판의 전체 면에 걸쳐 실질적으로 동일한 수 개의 기능성 층을 가지는 박막 다층의 새로운 유형을 개발하는 것에 의해 종래 기술의 단점을 해소하는 것이다.
다른 중요한 목적은 적어도 하나의 (그리고 선택적으로 수 개의) 반사방지 층(들)의 두께가 하나의 기판으로부터 그 다음 기판 사이에 변하더라도, 주어진 각도를 따라 관찰했을 때 기판 측에서 (적어도, 또는 심지어 다층 측에서) 반사 컬러가 하나의 기판으로부터 그 다음 기판 사이에서 실질적으로 동일한 수 개의 기능성 층을 가지는 박막 다층의 새로운 유형을 제공하는 것이다.
또 다른 중요한 목적은 낮은 표면 저항(그리하여 낮은 방사율), 높은 광 투과율 및 특히 층들 측에서 (또한 "기판 측"과 반대쪽에서) 반사시 상대적으로 중립 컬러를 가지는 다층으로서, 이들 특성이 다층이 벤딩(bending) 및/또는 강화(toughening) 및/또는 어닐링(annealing) 유형의 하나의 (또는 그보다 많은 수의) 고온 열 처리(들)를 거치는지에 상관없이 제한된 범위 내에서 바람직하게 유지되는 다층을 제공하는 것이다.
더 다른 중요한 목적은 가시광 스펙트럼에서 낮은 광 반사율을 가지면서 낮은 방사율을 가지고 또한 특히 적색 스펙트럼이 아닌 허용가능한 반사 컬러를 가지는 수 개의 기능성 층을 구비하는 다층을 제공하는 것이다.
본 발명의 하나의 주제는 이에 따라 가장 넓은 의미에서 특허청구범위 제1항에 따른 기판을 제조하는 방법에 있다.
본 발명은 본 발명에 따른 방법으로 제조된 제10항에 따른 기판 세트와, 또한 본 발명에 따른 방법으로 제조된 적어도 하나의 기판을 각 글레이징 유닛이 포함하는 제11항에 따른 글레이징 유닛 세트에 더 관한 것이다.
종속 청구항은 대안적인 실시예를 개시한다.
특히 투명한 유리 기판인 기판들 각각은 "n"개의 금속 기능성 층, 특히 실버(silver) 또는 실버를 포함하는 금속 합금에 기초한 기능성 층과, "(n + 1)"개의 반사방지 코팅 (여기서, n은 3보다 큰 정수이다)의 교대를 포함하는 박막 다층을 구비하며, 여기서 각 반사방지 코팅은 2개의 반사방지 코팅들 사이에 각 기능성 층이 위치하도록 적어도 하나의 반사방지 층을 포함한다.
본 발명에 따르면, 한편 박막 다층은 스퍼터링, 선택적으로 마그네트론 스퍼터링 유형의 진공 기술에 의하여 기판 상에 증착된다. 기판 위에 증착된 다층은 2개의 기능성들의 두께들이 적어도 서로 다르고 기능성 층의 두께들이 다층의 중심에 대하여 다층 내에서 대칭성을 가지게 구성된다.
본 발명에 따르면, 다른 한편 기판 세트의 적어도 2개의 박막 다층의 적어도 하나의 반사방지 코팅의 적어도 하나의 반사방지 층의 두께는 하나의 다층으로부터 그 다음 다층 사이에서 다르고 ±2.5% 내지 ±20%, 특히 ±2.5% 내지 ±15%의 변동을 나타내고, 0°에서 2개의 기판들 사이의 기판 측에서 반사 컬러의 차이(ΔE0 *)는 제로(0)에 가깝고 60°에서 2개의 기판들 사이의 기판 측에서 반사 컬러(ΔE60 *)는 제로(0)에 가깝다.
본 발명에 따른 다층의 대칭적인 시스템에서는, 그리하여 서로 다른 두께를 가지는 적어도 2개의 기능성 층이 있으나; 다층 내 기능성 층의 두께의 대칭성은 완전히 놀랍게도 하나의 (또는 수 개의) 반사방지 층(들)의 두께들이 지지 기판의 길이 및/또는 폭을 따라 다층 내에서 변하더라도 또는 하나의 (또는 수 개의) 반사방지 층(들)의 두께들이 하나의 기판 위에 적층된 하나의 다층으로부터 다른 기판 위에 적층된 (통상 동일한 조성으로 된) 다른 다층 사이에서 변하더라도 제한된 범위(또는 "컬러 박스") 내의 반사 컬러를 얻을 수 있게 한다.
본 발명의 주제인 대칭성은 (반사방지 층을 고려하여) 다층 내 모든 층의 분포 내에서 중심 대칭성이 아니고 기능성 층의 분포 내에서 중심 대칭성이라는 것을 관찰하는 것이 여기서 중요하다.
서로 다른 두께를 가지는 2개의 기능 층들은 바람직하게는 (반사방지 코팅에 의해 분리된 채) 인접해 있다.
달리 언급하지 않는 한, 본 문헌에서 언급된 두께는 물리적 또는 실제 두께이다(광학적 두께가 아니다).
나아가, 층의 수직 위치(예를 들어, 층의 하부/상부)가 언급될 때, 이것은 항상 지지 기판이 바닥에 수평으로 위치되고 이 위에 다층이 있는 것을 고려하여 이루어진다. 층이 다른 층 바로 위에 적층되는 것으로 특정된 경우, 이것은 이들 2개의 층들 사이에 배치된 하나의 (또는 그보다 많은 수의) 층(들)이 없다는 것을 의미한다.
전술된 바와 같이 각 반사방지 코팅에 적어도 포함된 반사방지 층은 550nm에서 측정했을 때 1.8과 2.5를 포함하여 1.8 내지 2.5 사이의 범위의 굴절률(optical index)을 가지거나 또는 바람직하게는 1.9와 2.3를 포함하여 1.9 내지 2.3 사이의 범위의 굴절률, 즉 높은 것으로 고려될 수 있는 굴절률을 가진다.
기판 세트의 적어도 2개의 박막 다층의 적어도 하나의 반사방지 코팅의 적어도 하나의 반사방지 층의 두께들이 서로 다른 것으로 고려될 때, 이것은 이 기판 세트의 2개의 박막 다층에서 이들 다층이 동일한 정성적 조성을 가지지만 2개의 다층의 여러 반사방지 층의 두께들의 비교는 2개의 다층에서 동일한 위치에 위치된 2개의 반사방지 층들이 동일한 두께를 가지지 않는 것을 초래하는 것을 의미하며, 여기서 다른 두께에 비해 하나의 두께에 대해 관측된 변동은 ± 2.5% 내지 ± 20%, 특히 ± 2.5% 내지 ± 15%이다.
하나의 특정 변형예에서, 다층은 4개의 반사방지 코팅과 교대로 배치된 3개의 기능성 층을 포함하며, 기능성의 두께들은 다층의 2개의 말단에 위치된 기능성 층의 두께들이 모두 동일하지만 중심 기능성 층의 두께와는 다르게 구성된다.
3개의 기능성 층을 가지는 이 특정 변형예에서, 대칭 중심에 있는 기능성 층의 두께는 바람직하게는 대칭 중심으로부터 가장 멀리 있는 2개의 다른 기능성 층의 두께보다 더 크다.
이 원리는 짝수 개의 반사방지 코팅과 교대로 배치된 홀수 개의 기능성 층을 가지는 임의의 다층으로 일반화할 수 있고, 다층의 2개의 말단에 위치된 기능성 층의 두께들은 모두 동일하지만 중심 기능성 층의 두께와는 다르며, 말단에 있는 2개의 기능성 층과 중심 기능성 층 사이에 위치된 중간 기능성 층들의 두께들은 중심 기능성 층에 비해 쌍으로 동일하다.
홀수 개의 기능성 층을 가지는 이러한 일반화 원리에 따르면, 대칭 중심에서 기능성 층의 두께는 바람직하게는 대칭 중심에서 가장 멀리 있는 기능성 층의 두께보다 더 크다. 기능성 층의 두께는 바람직하게는 다층의 중심으로부터 다층의 2개의 말단 쪽으로 가면서 감소한다.
다른 특정 변형예에서, 다층은 5개의 반사방지 코팅과 교대로 배치된 4개의 기능성 층을 포함하며, 이 기능성 층의 두께들은 대칭 중심에서 가장 멀리 있는 2개의 기능성 층의 두께들이 모두 동일하며 대칭 중심에 가장 가까이 있는 2개의 기능성 층의 두께들이 모두 동일하도록 구성된다.
4개의 기능성 층을 가지는 이 다른 특정 변형예에서, 대칭 중심에 가장 가까이 있는 2개의 기능성 층의 두께들은 바람직하게는 대칭 중심에서 가장 멀리 있는 2개의 다른 기능성 층의 두께보다 더 크다.
그러나, 4개의 기능성 층을 가지는 이 다른 특정 변형예에서, 대칭 중심에 가장 가까운 2개의 기능성 층의 두께는 대칭 중심에서 가장 멀리 있는 2개의 다른 기능성 층의 두께보다 더 작을 수 있다.
이 원리는 홀수 개의 반사방지 코팅과 교대로 배치된 짝수 개의 기능성 층을 가지는 임의의 다층에도 일반화할 수 있고, 다층의 2개의 말단에 위치된 기능성 층의 두께들은 모두 동일하고 다층의 중심에 위치된 기능성 층의 두께들은 모두 동일한 반면, 다층의 2개의 말단에 위치된 기능성 층의 두께와는 다르며, 2개의 중심 기능성 층들과 말단에 있는 2개의 기능성 층들 사이에 위치된 중간 기능성 층의 두께는 중심 대칭에 비해 쌍으로 동일하다.
짝수 개의 기능성 층을 가지는 이 일반화된 원리에 따르면, 대칭 중심에 가장 가까이 있는 2개의 기능성 층의 두께는 바람직하게는 대칭 중심에서 가장 멀리 있는 2개의 기능성 층의 두께보다 더 크다. 기능성 층의 두께는 바람직하게는 다층의 중심으로부터 다층의 2개의 말단 쪽으로 가면서 감소한다.
그러나, 대칭 중심에 가장 가까이 있는 2개의 기능성 층의 두께는 대칭 중심에서 가장 멀리 있는 2개의 기능성 층의 두께보다 더 작은 것도 가능하다. 기능성 층의 두께는 바람직하게는 다층의 중심으로부터 다층의 2개의 말단 쪽으로 가면서 증가한다.
각 기능성 층의 두께는 바람직하게는 7 내지 16nm이다.
본 발명에 따른 다층은 스퀘어당 옴(ohms per square) 단위의 그 표면 저항(R□)이 바람직하게는 임의의 열 처리 전에 또는 더욱더 벤딩, 강화 또는 어닐링 유형의 선택적 열 처리 후에 스퀘어당 1옴 이하이도록 낮은 표면 저항을 가지는 다층이며 이는 그러한 처리가 일반적으로 표면 저항을 감소시키는 효과를 가지기 때문이다.
상기 반사방지 코팅들 각각은 바람직하게는 알루미늄과 같은 적어도 하나의 다른 요소로 선택적으로 도핑된 실리콘 질화물에 기초한 적어도 하나의 층을 포함한다.
하나의 아주 특정한 변형예에서, 기능성 층 아래에 있는 각 반사방지 코팅의 맨 마지막 층은 알루미늄과 같은 적어도 하나의 다른 요소로 선택적으로 도핑된 산화물, 특히 아연 산화물에 기초한 습윤층(wetting layer)이다.
이 변형예에서, 기능성 층 아래에 있는 적어도 하나의 반사방지 코팅은 바람직하게는 혼합된 산화물로 이루어진 적어도 하나의 비결정질 평활화 층을 포함하며, 상기 평활화 층은 위쪽에 있는 결정질 습윤층과 접촉한다.
본 발명은 본 발명에 따라 제조된 적어도 하나의 기판을 각각 포함하는 글레이징 유닛으로서, 이 기판은 적어도 하나의 다른 기판과, 특히 이중 글레이징 또는 삼중 글레이징 또는 적층된 글레이징 유형의 다중 글레이징 유닛과 선택적으로 결합되며, 특히 적층된 글레이징은 가열되는 적층된 글레이징을 생산할 수 있도록 박막 다층을 전기적으로 연결하기 위한 수단을 포함하며, 다층을 구비하는 상기 기판은 굴곡(curved)되거나 및/또는 강화(toughened)될 수 있는 글레이징 유닛에 더 관한 것이다.
본 발명에 따른 글레이징 유닛은 적어도 하나의 다른 기판과 선택적으로 결합될 수 있는 본 발명에 따라 제조된 다층을 구비하는 적어도 하나의 기판을 포함한다. 각 기판은 투명하거나 색조(tinted)가 있을 수 있다. 기판들 중 적어도 하나는 특히 벌크 색조 있는 유리(bulk-tinted glass)로 이루어질 수 있다. 색채 유형의 선택은 그 제조가 완료된 후 글레이징에 요구되는 광 투과율 레벨 및/또는 외관 색채 수준에 따라 좌우된다.
본 발명에 따른 글레이징 유닛은 유리/박막 다층/시트(들)/유리 유형의 구조를 가지기 위하여 특히 유리 유형의 적어도 2개의 강성 기판을 적어도 하나의 열가소성 폴리머 시트와 결합시키는 적층된 구조를 가질 수 있다. 폴리머는 특히 폴리비닐 부티랄(polyvinyl butyral)(PVB), 에틸렌/비닐 아세테이트(ethylene/vinyl acetate)(EVA), 폴리에틸렌 테레프탈레이트(polyethylene terephthalate)(PET) 또는 폴리비닐 클로라이드(polyvinyl chloride)(PVC)에 기초한 것일 수 있다.
글레이징 유닛은 유리/박막 다층/폴리머 시트(들)/유리 유형의 구조를 가질 수 있다.
본 발명에 따른 글레이징 유닛은 박막 다층을 손상시킴이 없이 열 처리를 거칠 수 있다. 이들은 그리하여 굴곡되거나 및/또는 강화될 수 있다.
글레이징은 다층을 구비하는 단일 기판으로 구성될 때 굴곡되거나 및/또는 강화될 수 있다. 그러한 글레이징은 "단일" 글레이징이라고 불리운다. 이들이 특히 차량을 위한 글레이징 유닛을 만들기 위하여 굴곡될 때, 박막 다층은 바람직하게는 적어도 부분적으로 비평면인 면 상에 있다.
글레이징은 또한 다중 글레이징 유닛, 특히 이중 글레이징 유닛일 수 있으며, 다층을 구비하는 적어도 하나의 기판은 굴곡되거나 및/또는 강화될 수 있다. 다중 글레이징 구성에서 다층은 가스로 채워져 있는 중간 공간을 향하도록 배치되는 것이 바람직하다. 적층된 구조에서, 다층을 구비하는 기판은 폴리머 시트와 접촉할 수 있다.
글레이징은 또한 가스로 채워져 있는 공간에 의해 쌍으로 분리된 3개의 유리 시트로 구성된 삼중 글레이징 유닛일 수 있다. 삼중 글레이징 유닛으로 이루어진 일 구조에서, 다층을 구비하는 기판은 태양광선이 입사하는 방향이 그 번호가 증가하는 순서로 면을 통해 지나간다고 생각할 때 면 2 및/또는 면 5 상에 있을 수 있다.
글레이징이 단일 글레이징이거나 또는 이중 글레이징, 삼중 글레이징 또는 적층된 글레이징 유형의 다중 글레이징 형태일 때, 다층을 구비하는 적어도 하나의 기판은 굴곡되거나 강화된 유리로 이루어질 수 있으며, 이 기판은 다층을 적층하기 전 또는 후에 굴곡되거나 강화될 수 있다.
본 발명은 또한 본 발명에 따른 기판 세트 또는 본 발명에 따른 글레이징 유닛 세트로서, 기판 세트 또는 글레이징 유닛 세트의 적어도 2개의 박막 다층의 적어도 하나의 반사방지 코팅의 적어도 하나의 반사방지 층의 두께들이 서로 다르고 ± 2.5% 내지 ± 20%, 특히 ± 2.5% 내지 ± 15%의 변동을 나타내며, 0°에서 2개의 기판들이나 글레이징 유닛들 사이의 기판 측에서 반사 컬러의 차이(ΔE0 *)는 제로(0)에 가깝고, 60°에서 2개의 기판들이나 글레이징 유닛들 사이의 기판 측에서 반사 컬러(ΔE60 *)는 제로(0)에 가까운 본 발명에 따른 기판 세트 또는 본 발명에 따른 글레이징 유닛 세트에 더 관한 것이다.
이 세트에 있는 모든 기판들 또는 글레이징 유닛들은 하나의 동일한 열 처리를 거치거나 또는 어느 것도 열 처리를 거치지 않는다.
다층의 층들의 제 1 층이 진공 기술이 아닌 기술, 예를 들어 열분해 유형의 열 분해 기술에 의하여 증착될 수 있다. 그러나, 기능성 층들은 반드시 진공 기술에 의해 증착될 필요가 있으며, 이것은 박막 다층이 진공 기술에 의해 그 기판 상에 증착되는 것으로 본 명세서에서 기록되어 있기 때문이다.
본 발명은 또한 가열되는 글레이징 유닛을 위해 주울 효과(Joule effect)에 의해 가열되는 투명한 코팅을 생산하기 위해 또는 전기변색 글레이징 유닛이나 조명 디바이스 또는 디스플레이 디바이스 또는 광전 패널을 위한 투명한 전극을 생산하기 위하여 본 발명에 따라 제조된 기판을 사용하는 것에 더 관한 것이다.
본 발명에 따라 제조된 기판은 특히 가열되는 글레이징 유닛을 위한 투명한 가열 코팅을 생산하기 위하여 또는 전기변색 글레이징 유닛(이 글레이징 유닛은 단일 글레이징이거나 또는 이중 글레이징 또는 삼중 글레이징 또는 적층된 글레이징 유형의 다중 글레이징 유닛이다) 또는 조명 디바이스 또는 디스플레이 스크린 또는 광전 패널을 위한 투명한 전극을 생산하기 위하여 사용될 수 있다. (여기서 "투명한"이라는 용어는 "불투명하지 않은" 것을 의미하는 것으로 이해되어야 한다).
본 발명에 따른 방법은 각 반사방지 층의 적층 두께의 공차를 개선시킬 필요 없이 다층의 일반적인 제조 공차를 증가시킬 수 있게 하고 또 기판의 부분이나 전체 기판을 사용가능하게 하기 때문에 이전의 방법보다 더 유리하다.
본 발명에 따른 방법에 의하면, 가열되는 글레이징 유닛의 세트 또는 전기변색 글레이징 유닛의 세트 또는 조명 디바이스의 세트 또는 디스플레이 스크린의 세트 또는 광전 패널의 세트를 생산하는 것이 가능하다. 이들 세트에서 이들 세트를 구성하는 부품들이 병렬 배치된 경우 이들 부품에 포함된 다층이 서로 다르고 또 이 차이가 통상 외관의 차이를 초래한다 하더라도 인간의 눈이 이 외관(특히 컬러)의 차이를 검출하는 것은 가능하지 않다.
본 발명은 적어도 하나의 (그리고 선택적으로 수 개의) 반사방지 층(들)의 두께가 기판의 길이 및/또는 폭을 따라 변하더라도, 주어진 각도를 따라 관찰했을 때 기판 측에서 (적어도 또는 심지어 다층 측에서) 반사 컬러가 기판의 전체 면에 걸쳐 실질적으로 동일한 수 개의 기능성 층을 가지는 새로운 유형의 박막 다층을 제공할 수 있는 등의 효과가 있다.
본 발명의 상세한설명과 유리한 특징은 첨부된 도면에 의하여 예시된 이하 비제한적인 설명으로부터 보다 잘 나타날 것이다.
도 1은 3개의 기능성 층을 가지는 다층으로서, 각 기능성 층이 하부 차단 코팅(underblocker coating)을 구비하지만 상부 차단 코팅(overblocker coating)을 구비하지는 않으며 이 다층은 선택적인 보호 코팅을 또한 구비하는 다층을 도시하는 도면.
도 2는 4개의 기능성 층을 가지는 다층으로서, 각 기능성 층이 하부 차단 코팅을 구비하지만 상부 차단 코팅을 구비하지는 않으며 이 다층은 선택적인 보호 코팅을 더 구비하는 다층을 도시하는 도면.
도 3은 예 3에 대한 광학 특성을 도시하는 도면.
도 4는 예 4에 대한 광학 특성을 도시하는 도면.
도 5는 예 5에 대한 광학 특성을 도시하는 도면.
도 6은 예 6에 대한 광학 특성을 도시하는 도면.
도 7은 예 3 및 예 4에 대한 실리콘 질화물의 총 두께의 변동에 따른 컬러 변동을 도시하는 도면.
도 8은 예 5 및 예 6에 대한 반사방지 코팅의 총 두께의 변동에 따른 컬러 변동을 도시하는 도면.
도 2는 4개의 기능성 층을 가지는 다층으로서, 각 기능성 층이 하부 차단 코팅을 구비하지만 상부 차단 코팅을 구비하지는 않으며 이 다층은 선택적인 보호 코팅을 더 구비하는 다층을 도시하는 도면.
도 3은 예 3에 대한 광학 특성을 도시하는 도면.
도 4는 예 4에 대한 광학 특성을 도시하는 도면.
도 5는 예 5에 대한 광학 특성을 도시하는 도면.
도 6은 예 6에 대한 광학 특성을 도시하는 도면.
도 7은 예 3 및 예 4에 대한 실리콘 질화물의 총 두께의 변동에 따른 컬러 변동을 도시하는 도면.
도 8은 예 5 및 예 6에 대한 반사방지 코팅의 총 두께의 변동에 따른 컬러 변동을 도시하는 도면.
도 1 및 도 2에서 여러 층들의 두께들 사이의 비율은 그 판독을 용이하게 하기 위하여 엄격히 고려되지 않았다.
도 1은 투명한 유리 기판(10) 위에 적층된 3개의 기능성 층(40, 80, 120)을 구비하는 다층 구조를 도시한다.
각 기능성 층(40, 80, 120)은 이 기판으로부터 시작하여 제 1 기능성 층(40)이 반사방지 코팅(20, 60)들 사이에 위치하고, 제 2 기능성 층(80)이 반사방지코팅(60, 100)들 사이에 위치하며, 제 3 기능성 층(120)이 반사방지 코팅(100, 140)들 사이에 위치하도록 2개의 반사방지 코팅(20, 60, 100, 140)들 사이에 위치한다.
이들 반사방지 코팅(20, 60, 100, 140)들 각각은 적어도 하나의 유전체 층(24, 26, 28; 62, 64, 66, 68; 102, 104, 106, 108; 142, 144)을 포함한다.
선택적으로, 일측에서 각 기능성 층(40, 80, 120)이 아래에 있는 반사방지 코팅과 기능성 층 사이에 위치된 하부 차단 코팅(35, 75, 115) 위에 적층되고 다른 측에서 각 기능성 층이 기능성 층과, 위쪽에 있는 반사방지 코팅 사이에 위치되는 상부 차단 코팅(미도시) 바로 아래에 적층될 수 있다.
도 1은 다층이 특히 화학량론적으로 산소가 부족한 특히 산화물에 기초한 선택적인 보호 층(200)으로 종료하는 것을 도시한다.
본 발명에 따르면, 3개의 기능성 층들을 가지는 다층의 2개의 말단에 위치하는 기능성 층(40, 120)의 두께들은 모두 동일하지만 중심 기능성 층(80)의 두께와는 서로 다르다.
도 2는 4개의 기능성 층(40, 80, 120, 160)을 가지는 다층 구조를 도시하며 이 구조는 투명한 유리 기판(10) 위에 적층된다.
각 기능성 층(40, 80, 120, 160)은 이 기판으로부터 시작하여 제 1 기능성 층(40)이 반사방지 코팅(20, 60)들 사이에 위치되며, 제 2 기능성 층(80)이 반사방지 코팅(60, 100)들 사이에 위치되고, 제 3 기능성 층(120)이 반사방지 코팅(100, 140)들 사이에 위치하며, 제 4 기능성 층(160)이 반사방지 코팅(140, 180)들 사이에 위치하도록 2개의 반사방지 코팅(20, 60, 100, 140, 180)들 사이에 위치된다.
이들 반사방지 코팅(20, 60, 100, 140, 180)들 각각은 적어도 하나의 유전체 층(24, 26, 28; 62, 64, 66, 68; 102, 104, 106, 108; 144, 146, 148; 182, 184)을 포함한다.
선택적으로, 일측에서 각 기능성 층(40, 80, 120, 160)이 아래에 있는 반사방지 코팅과 기능성 층 사이에 위치된 하부 차단 코팅(35, 75, 115, 155) 위에 적층될 수 있고, 다른 측에서 각 기능성 층이 기능성 층과, 위쪽에 있는 반사방지 코팅 사이에 위치되는 상부 차단 코팅(미도시) 바로 아래에 적층될 수 있다.
도 2는 다층이 특히 화학양론적으로 산소가 부족한 특히 산화물에 기초한 선택적인 보호 층(200)으로 종료하는 것을 도시한다.
본 발명에 따르면, 4개의 기능성 층을 가지는 다층의 대칭 중심으로부터 가장 멀리 있는 2개의 기능성 층(40, 160)의 두께들은 모두 동일하고, 대칭 중심에 가장 가까운 2개의 기능성 층(80, 120)의 두께들은 모두 동일하지만 다층의 대칭 중심에 가장 멀리 있는 2개의 기능 층(40, 160)과는 서로 다르다.
4개의 기능성 층을 가지는 다층에 대해 수치적인 시뮬레이션이 먼저 수행되었으며(아래 예 3 내지 예 6), 이후 박막 다층이 이들 시뮬레이션들을 검증하기 위해 실제 적층되었다(예 8).
아래 표 1은 예 1 및 예 2로부터 층들 각각의 나노미터 단위의 물리적 두께를 도시한다:
표 1
위 표에서 볼 수 있는 바와 같이, 비교예 1에서 4개의 기능성 층(Ag1/40, Ag2/80, Ag3/120 및 Ag4/160)들 모두는 동일한 두께, 즉 e40 = e80 = e120 = e160 = 10.25 nm를 갖는다.
본 발명에 따른 예 2에서는, 모든 층들이 동일한 두께를 가지지 않고 그레이 박스(gray box)로부터 시작하여 기능성 층들의 두께들의 분포에 중심 대칭이 존재한다, 이 대칭 중심에 가장 가까운 2개의 기능성 층, 즉 층(Ag2/80)과 층(Ag3/120)은 동일한 두께, 즉 각각 e80 = e120 = 11.5 nm를 가지고, 이 대칭 중심에서 가장 멀리 있는 2개의 기능성 층, 즉 층(Ag1/40)과 층(Ag4/160)은 동일한 두께, 즉 각각 e40 = e160 = 9 nm를 가지며, 대칭 중심에서 가장 멀리 있는 기능성 층의 이 두께는 대칭 중심에 가장 가까운 2개의 기능성 층의 두께보다 더 낮다.
예 2로부터 기능성 층들 모두의 두께들의 합은 예 1로부터 기능성 층들 모두의 두께들의 합과 동일하다, 즉 예 1에 있는 e40 + e80 + e120 + e160 = 예 2에 있는 e40 + e80 + e120 + e160 = 41 nm.
이들 2개의 예들은 동일한 기능성 층의 총 두께를 가지며, 이들은 동일한 표면 저항과 동일한 에너지 반사율과 에너지 투과율 특성을 가진다.
그 다음에, 특정 반사방지 층들의 두께의 변경이 W. Theiss에 의해 분포된 COAT 소프트웨어를 사용하여 시뮬레이팅되었다.
제 1 일련의 이중 시뮬레이션에서, 예 1 및 예 2에 있는 Si3N4로 이루어진 반사방지 코팅들(24, 64, 104, 144 및 184)의 두께만이 변경되었다.
예 3의 시리즈는 Si3N4로 이루어진 반사방지 층들(24, 64, 104, 144 및 184)의 두께를 변경시킴으로써 예 1에 있는 기능성 층의 구조에 기초하여 수행되었으며, 예 4의 시리즈는 Si3N4로 이루어진 반사방지 층들(24, 64, 104, 144 및 184)의 두께를 변경시킴으로써 예 2에 있는 기능성 층의 구조에 기초하여 수행되었다.
아래 표 2는 nm 단위로 시뮬레이팅된 두께와, 맨 마지막 컬럼에 이 표의 중심에서 그레이로 도시된 비교예(예 1 및 예 2)에 있는 Si3N4 의 총 두께에 대해 예 3 및 예 4의 총 포지티브 또는 네거티브 두께 퍼센트를 요약한다.
표 2
예 3에서는, 0°(즉, 기판에 수직한 방향) 및 60°(즉, 기판에 수직한 방향에 대해 60°방향)에서 얻은 La*b* 색채 측정 시스템의 값들이 도 3에서 표 3으로 주어져 있고, 예 4에서는 동일한 시스템으로 얻은 값들은 도 4에서 표 4로 주어져 있다.
표 3에 주어진 컬러 변화값들(ΔE0 * and ΔE60 *)은 빈 삼각형으로 0°에서 측정된 값들과, 빈 사각형으로 60°에서 측정된 값들이 도 8에 도시되어 있고, 표 4에 주어진 컬러 변화값들(ΔE0 * and ΔE60 *)은 꽉 찬 삼각형으로 0°에서 측정된 값들과, 꽉 찬 사각형으로 60°에서 측정된 값들이 도 8에 도시되어 있다.
이 도 8은 본 발명에 따른 다층 내에서 기능성 층들이 반사방지 층들의 주어진 총 두께 변동에 대해 분포될 때(예 4) 0°및 60°에서 컬러 변화 값들이 기능성 층들이 다층 내에서 모두 동일한 두께일 때(예 3)보다 더 작은 것을 명확히 도시한다. 그러한 효과는 또한 다른 관찰 각도에서 다른 시뮬레이션에 의해서도 디스플레이될 수 있다.
나아가, 도 8은 반사방지 층들의 총 두께 변동이 크게 증가할 때(예를 들어, 공칭값에 대해 12.5% 또는 15%)에도, 0°및 60°에서 컬러 변화 값들이 기능성 층들이 다층 내에서 모두 동일한 두께일 때(예 3)보다 기능성 층들이 본 발명에 따른 다층 내에서 분포될 때(예 4)보다 더 작은 것을 도시한다. 그러한 효과는 또한 다른 관찰 각도에서 다른 시뮬레이션에 의해서도 디스플레이될 수 있다.
제 2 이중 시리즈의 시뮬레이션에서, Si3N4으로 이루어진 반사방지 층들(24, 64, 104, 144 및 184)의 두께와 ZnO으로 이루어진 반사방지 층들(28, 62, 68, 102, 108, 142, 148 및 182)의 두께가 변경되었다.
예 5의 시리즈는 Si3N4로 이루어진 반사방지 층들(24, 64, 104, 144, 184)의 두께와 ZnO로 이루어진 반사방지 층들(28, 62, 68, 102, 108, 142, 148, 182)의 두께를 변경함으로써 예 1에 있는 기능성 층들의 구조에 기초하여 수행되었으며, 예 6의 시리즈는 Si3N4로 이루어진 반사방지 층들(24, 64, 104, 144, 184)의 두께와 ZnO로 이루어진 반사방지 층들(28, 62, 68, 102, 108, 142, 148, 182)의 두께를 변경함으로써 예 2에 있는 기능성 층들의 구조에 기초하여 수행되었다.
예 5에서는 0°(즉, 기판에 수직한 방향) 및 60°(즉, 기판에 수직한 방향에 대해 60°방향)에서 얻은 La*b* 색채 측정 시스템의 값은 도 5에서 표 5로 제시되어 있고, 예 6에서는 동일한 시스템으로 얻은 값들은 도 6에서 표 6으로 제시되어 있다.
도 7에 있는 표 7은 처음 다섯 개의 컬럼에 5개의 반사방지 코팅들 각각의 층들을 nm 단위로 시뮬레이팅한 두께와, 또 맨 마지막 컬럼에 이 표의 중심에서 그레이로 도시된 비교예(예 1 및 예 2)의 Si3N4 및 ZnO의 총 두께에 대해 총 포지티브 또는 네거티브 두께 퍼센트를 요약한다.
표 5에 제시된 값들은 빈 삼각형으로 0°에서 측정된 값이 그리고 빈 사각형으로 60°에서 측정된 값이 도 9에 도시되어 있고, 표 6에 제시된 값들은 꽉 찬 삼각형으로 0°에서 측정된 값이 그리고 꽉 찬 사각형으로 60°에서 측정된 값이 도 9에 도시되어 있다.
이 도 9에 대한 관찰은 도 8에 이루어진 것과 유사하다.
도 9는 기능성 층들이 본 발명에 따른 다층 내에서 반사방지 층들의 주어진 총 두께 변동에 대해 분포될 때(예 6) 0° 및 60°에서 컬러 변화값들이 기능성 층들이 다층 내에서 모두 동일한 두께일 때(예 5)보다 더 작은 것을 명확히 보여준다.
나아가, 도 9는 반사방지 층들의 총 두께 변동이 크게 증가할 때(예를 들어, 공칭값에 대해 12.5% or 15%)에도, 0° 및 60°에서 컬러 변화 값들이 기능성 층들이 다층 내에서 모두 동일한 두께를 가질 때(예 5)보다 본 발명에 따른 다층 내에서 기능성 층들이 분포될 때(예 6) 더 작은 것을 보여준다.
수행된 예 8은 예 2의 것과 유사한 구조를 가지며 특히 예 2의 것과 동일한 기능성 층들의 두께 분포를 가지며; 이들 반사방지 코팅들 각각의 총 광학적 두께의 실제 변화 없이 처음 4개의 반사방지 코팅의 조성만이 변화한다.
아래 표 8은 예 8에 있는 층들 각각의 nm 단위의 물리적 두께를 요약한다:
표 8
국제 특허 출원 번호 WO 2007/101964호의 내용에 따른 이 예에서, 기능성 층 아래에 있는 각 반사방지 코팅은 실리콘 질화물에 기초한 유전체 층과, 혼합된 산화물, 이 경우에 안티몬으로 도핑될 수 있는 아연과 주석이 혼합된 산화물(Zn:Sn:Sb에 대해 각각 65:34:1의 중량비로 구성된 금속 타겟으로부터 증착된 것)로 이루어진 적어도 하나의 비결정질 평활화 층을 포함하며, 상기 평활화 층은 아연 산화물에 기초한 상기 위쪽에 있는 습윤층과 접촉한다.
이 다층에서, (알루미늄 2 wt%로 도핑된 아연으로 구성된 금속 타겟으로 증착된) 알루미늄 도핑된 아연 산화물(ZnO:Al)로 이루어진 습윤층(28, 68, 108, 148)들은 실버 기능성 층(40, 80, 120, 160)들의 결정화를 개선시킬 수 있게 하며 이는 그 전도도를 개선시킬 수 있게 한다; 이 효과는 위쪽에 있는 습윤층의 성장과 이에 따라 위쪽에 있는 실버 층들의 성장을 개선시키는 비정질 SnZnOx:Sb의 평활화 층(26, 66, 106, 146)의 사용으로 증강된다.
실리콘 질화물로 이루어진 층들은 알루미늄 10wt%로 도핑된 Si3N4로 이루어진다.
이 다층은 강화될 수 있는 잇점을 더 가지고 있다.
이 기판은 2.1mm의 투명한 유리 페인(glas pane) 위에 증착되고, 다층을 증착한 후에 이 기판은 적층된 글레이징 유닛을 형성하기 위하여 0.76mm의 PVB 시트와 결합된 후 제 2의 2.1mm의 투명한 유리 페인과 결합된다.
아래 표 9는 이 예 8의 특성을 요약한다. 임의의 처리 전에 기판 단독에 대한 데이터는"BHT" 라인으로 표시된다. 3분(min) 동안 650℃에서 어닐링 열 처리 후에 기판 단독에 대한 데이터는 "AHT" 라인으로 표시된다. 열 처리 없이 적층된 글레이징 유닛에 통합된 기판에 대한 데이터는 "LG" 라인으로 표시된다.
표 9
실버 층들의 큰 총 두께(그리고 이에 따라 얻어진 낮은 표면 저항)와 또한 우수한 광학적 특성(특히 가시광 스펙트럼에서의 광 투과율)으로 인해, 투명한 전극 기판을 생성하기 위해 본 발명에 따른 다층으로 코팅된 기판을 사용하는 것이 더 가능하다.
이 투명한 전극 기판은 특히 예 8에 있는 실버 질화물 층(184)을 전도성 층(특히 105 Ω.cm 미만의 고유 저항을 가지는 것)과 특히 산화물에 기초한 층으로 대체함으로써 유기 발광 디바이스에 사용하기에 적합할 수 있다. 이 층은 예를 들어 주석 산화물로 이루어지거나 또는 Al 또는 Ga로 선택적으로 도핑된 아연 산화물에 기초하거나 또는 혼합된 산화물 및 특히 인듐 주석 산화물(ITO), 인듐 아연 산화물(IZO), 선택적으로 (예를 들어 Sb, F로) 도핑된 주석 아연 산화물(SnZnO)에 기초할 수 있다. 이 유기 발광 디바이스는 조명 디바이스 또는 디스플레이 디바이스(스크린)를 생산하는데 사용될 수 있다.
일반적으로 투명한 전극 기판은 가열되는 글레이징 유닛 및 특히 가열되는 적층된 윈드실드를 위한 가열되는 기판으로 사용하기에 적합할 수 있다.
이것은 또한 임의의 전기변색 글레이징, 임의의 디스플레이 스크린 또는 그밖에 광전 셀 및 특히 투명한 광전 셀의 전면 또는 후면을 위한 투명한 전극 기판으로 적합할 수 있다.
본 방법은 바람직하게는 스크린 필터를 위한 기판을 제조하기 위해 사용되는 것을 의미하는 것이 아니다.
본 발명은 앞에서 예로써 기술되어 있다. 이 기술분야에 통상의 지식을 가진 자라면 특허청구범위에 한정된 특허청구범위를 벗어남이 없이 본 발명의 여러 변형을 수행할 수 있을 것이라는 것이 이해될 것이다.
20, 60, 100, 140 : 반사방지 코팅 26, 66, 106, 146 : 평활화 층
24, 26, 28; 62,64,66,68; 102,104,106,108; 142,144 : 유전체 층
28, 68, 108, 148 : 습윤층 35, 75, 115 : 하부 차단 코팅
40, 80, 120 : 기능성 층 200 : 보호층
24, 26, 28; 62,64,66,68; 102,104,106,108; 142,144 : 유전체 층
28, 68, 108, 148 : 습윤층 35, 75, 115 : 하부 차단 코팅
40, 80, 120 : 기능성 층 200 : 보호층
Claims (12)
- 실버(silver) 또는 실버를 포함하는 금속 합금에 기초한 "n"개의 금속 기능성 층(40, 80, 120, 160)과, "(n+1)"개의 반사방지 코팅(20, 60, 100, 140, 180)을 교대로 포함하는 박막 다층을 각 기판이 구비하며, 여기서 n은 3보다 큰 정수이고, 각 반사방지 코팅은 적어도 하나의 반사방지 층(24, 64, 104, 144, 184)을 포함하며, 각 기능성 층(40, 80, 120, 160)은 2개의 반사방지 코팅(20, 60, 100, 140, 180)들 사이에 위치하는, 기판(10)을 제조하는 방법으로서,
상기 박막 다층은 스퍼터링의 진공 기술에 의하여 증착되고, 상기 다층은 2개의 기능성 층(40, 80, 120, 160)의 두께들이 적어도 서로 다르고 기능성 층(40, 80, 120, 160)의 두께들이 다층의 중심에 대하여 다층 내에서 대칭을 가지도록 구성되는, 기판을 제조하는 방법에 있어서,
상기 반사방지 코팅(20, 60, 100, 140, 180) 각각은 실리콘 질화물에 기초한 적어도 하나의 층(24, 64, 104, 144, 184)을 포함하고,
기판 세트의 적어도 2개의 박막 다층의 적어도 하나의 반사방지 코팅(20, 60, 100, 140, 180)중의 적어도 하나의 반사방지 층의 두께들을 갖는 복수의 기판(10) 중 2개의 기판 사이는 서로 다르고 ± 2.5% 내지 ± 20%의 변동을 나타내며,
0°에서 2개의 기판들 사이의 기판 측에서 반사 컬러의 차이(ΔE0 *)는 제로(0)이고, 60°에서 2개의 기판들 사이의 기판 측에서 반사 컬러(ΔE60 *)는 제로(0)인 것을 특징으로 하는, 기판을 제조하는 방법. - 제 1 항에 있어서, 다층은 4개의 반사방지 코팅(20, 60, 100, 140)과 교대로 배치된 3개의 기능성 층(40, 80, 120)을 포함하며, 다층의 2개의 말단에 위치된 기능성 층(40, 120)의 두께(e40, e120)는 모두 동일하지만 중심 기능성 층(80)의 두께(e80)와는 다른 것을 특징으로 하는, 기판을 제조하는 방법.
- 제 2 항에 있어서, 대칭 중심에 있는 기능성 층의 두께(e80)는 대칭 중심에서 가장 멀리 있는 2개의 다른 기능성 층(40, 120)의 두께보다 더 큰 것을 특징으로 하는, 기판을 제조하는 방법.
- 제 1 항에 있어서, 다층은 5개의 반사방지 코팅(20, 60, 100, 140, 180)과 교대로 배치된 4개의 기능성 층(40, 80, 120, 160)을 포함하며, 대칭 중심에서 가장 멀리 있는 2개의 기능성 층(40, 160)의 두께(e40, e160)는 모두 동일하고, 대칭 중심에 가장 가까이 있는 2개의 기능성 층(80, 120)의 두께(e80, e120)는 모두 동일한 것을 특징으로 하는, 기판을 제조하는 방법.
- 제 4 항에 있어서, 대칭 중심에 가장 가까이 있는 2개의 기능성 층(80, 120)의 두께(e80, e120)는 대칭 중심에서 가장 멀리 있는 2개의 다른 기능성 층(40, 160)의 두께(e40, e160)보다 큰 것을 특징으로 하는, 기판을 제조하는 방법.
- 제 4 항에 있어서, 대칭 중심에서 가장 가까이 있는 2개의 기능성 층(80, 120)의 두께(e80, e120)는 대칭 중심에서 가장 멀리 있는 2개의 다른 기능성 층(40, 160)의 두께(e40, e160)보다 작은 것을 특징으로 하는, 기판을 제조하는 방법.
- 삭제
- 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 있어서, 기능성 층(40, 80, 120, 160) 아래에 있는 각 반사방지 코팅의 맨 마지막 층은 아연 산화물에 기초한 습윤층(28, 68, 108, 148)인 것을 특징으로 하는, 기판을 제조하는 방법.
- 제 8 항에 있어서, 기능성 층(40, 80, 120, 160) 아래에 있는 적어도 하나의 반사방지 코팅은 혼합된 산화물로 이루어진 적어도 하나의 비결정질 평활화 층(26, 66, 106, 146)을 포함하며, 상기 평활화 층(26, 66, 106, 146)은 위쪽에 있는 결정질 습윤층(28, 68, 108, 148)과 접촉하는 것을 특징으로 하는, 기판을 제조하는 방법.
- 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 따른 방법으로 제조된 기판(10) 세트에 있어서, 기판 세트의 적어도 2개의 박막 다층의 적어도 하나의 반사 방지 코팅(20, 60, 100, 140, 180)중의 적어도 하나의 반사방지 층의 두께들은 서로 다르고 ± 2.5% 내지 ± 20%의 변동을 나타내며, 0°에서 2개의 기판들 사이의 기판 측에서 반사 컬러의 차이(ΔE0 *)는 제로(0)이고, 60°에서 2개의 기판들 사이의 기판 측에서 반사 컬러(ΔE60 *)는 제로(0)인 것을 특징으로 하는, 기판 세트.
- 제 1 항 내지 제 6 항 중 어느 한 항에 따른 방법으로 제조된 적어도 하나의 기판(10)을 각 글레이징 유닛이 포함하는 글레이징 유닛 세트에 있어서,
기판 세트의 적어도 2개의 박막 다층의 적어도 하나의 반사방지 코팅(20, 60, 100, 140, 180)중의 적어도 하나의 반사방지 층의 두께들은 서로 다르고 ± 2.5% 내지 ± 20%의 변동을 나타내며, 0°에서 2개의 글레이징 유닛들 사이의 기판 측에서 반사 컬러의 차이(ΔE0 *)는 제로(0)이고, 60°에서 2개의 글레이징 유닛들 사이의 기판 측에서 반사 컬러(ΔE60 *)는 제로(0)인 것을 특징으로 하는, 글레이징 유닛 세트. - 제 11 항에 있어서, 각 글레이징 유닛은 적어도 하나의 기판(10)을 포함하며, 다층을 구비하는 상기 기판은 굴곡되거나 또는 강화되는, 글레이징 유닛 세트.
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| JP5881560B2 (ja) * | 2012-08-30 | 2016-03-09 | 株式会社東芝 | 半導体発光装置及びその製造方法 |
| DK2898534T3 (da) * | 2012-09-20 | 2022-02-21 | Ecole Polytechnique Fed Lausanne Epfl | Interferensfilter med vinkeluafhængig orange reflektionsfarve og høj soltransmittans, egnet til tag-integration af solenergisystemer |
| US8900729B2 (en) * | 2012-11-19 | 2014-12-02 | Guardian Industries Corp. | Coated article with low-E coating including zinc oxide inclusive layer(s) with additional metal(s) |
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| US9499899B2 (en) * | 2013-03-13 | 2016-11-22 | Intermolecular, Inc. | Systems, methods, and apparatus for production coatings of low-emissivity glass including a ternary alloy |
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| ES2647988T3 (es) * | 2013-05-30 | 2017-12-27 | Agc Glass Europe | Acristalamiento con una baja emisividad y antisolar |
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| KR101768257B1 (ko) * | 2013-09-02 | 2017-08-14 | (주)엘지하우시스 | 저방사 코팅 및 이를 포함하는 창호용 건축 자재 |
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| BR112018013788A2 (pt) * | 2016-05-17 | 2018-12-11 | Saint-Gobain Glass France | vidraça transparente |
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| WO2018131863A1 (ko) * | 2017-01-10 | 2018-07-19 | 주식회사 케이씨씨 | 코팅유리 및 이를 포함하는 접합유리 |
| LU100018B1 (en) | 2017-01-11 | 2018-08-14 | Luxembourg Inst Science & Tech List | Infrared reflective and electrical conductive composite film and manufacturing method thereof |
| US11078718B2 (en) * | 2018-02-05 | 2021-08-03 | Vitro Flat Glass Llc | Solar control coatings with quadruple metallic layers |
| FR3083227A1 (fr) * | 2018-06-27 | 2020-01-03 | Saint-Gobain Glass France | Vitrage muni d'un empilement de couches minces muni d'une couche de protection |
| GB201820002D0 (en) * | 2018-12-07 | 2019-01-23 | Pilkington Group Ltd | Coated glass pane |
| KR20210145225A (ko) * | 2019-03-28 | 2021-12-01 | 비트로 플랫 글래스 엘엘씨 | 높은 가시광 반사율 및 중성색을 갖는 물품 |
| FR3103810B1 (fr) * | 2019-11-29 | 2021-12-10 | Saint Gobain | Materiau comportant un empilement a sous-couche dielectrique fine d’oxide a base de zinc et procede de depot de ce materiau |
| FR3103811B1 (fr) * | 2019-11-29 | 2022-05-27 | Saint Gobain | Materiau comportant un empilement a sous-couche dielectrique fine d’oxide a base de zinc et procede de depot de ce materiau |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JP2000294980A (ja) | 1999-04-06 | 2000-10-20 | Nippon Sheet Glass Co Ltd | 透光性電磁波フィルタおよびその製造方法 |
Family Cites Families (13)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| AU585426B2 (en) * | 1986-01-29 | 1989-06-15 | Pilkington Brothers Plc | Coated glass |
| US5071206A (en) * | 1986-06-30 | 1991-12-10 | Southwall Technologies Inc. | Color-corrected heat-reflecting composite films and glazing products containing the same |
| JPH0280352A (ja) * | 1988-09-14 | 1990-03-20 | Central Glass Co Ltd | 車輛用窓ガラス |
| FR2748743B1 (fr) * | 1996-05-14 | 1998-06-19 | Saint Gobain Vitrage | Vitrage a revetement antireflet |
| US6490091B1 (en) * | 1999-01-21 | 2002-12-03 | Viratec Thin Films, Inc. | Display panel filter and method of making the same |
| JP2004128220A (ja) * | 2002-10-02 | 2004-04-22 | Central Glass Co Ltd | 電磁波シールド膜付き基板 |
| JP2004334012A (ja) * | 2003-05-09 | 2004-11-25 | Nobumasa Nanbu | 反射防止膜及び光学フィルター |
| FR2859721B1 (fr) * | 2003-09-17 | 2006-08-25 | Saint Gobain | Substrat transparent muni d'un empilement de couches minces pour un blindage electromagnetique |
| US7335421B2 (en) * | 2005-07-20 | 2008-02-26 | Ppg Industries Ohio, Inc. | Heatable windshield |
| FR2893024B1 (fr) * | 2005-11-08 | 2008-02-29 | Saint Gobain | Substrat muni d'un empilement a proprietes thermiques |
| TW200712579A (en) * | 2005-08-12 | 2007-04-01 | Dainippon Printing Co Ltd | Protective film for polarizing plate and polarizing plate |
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| US7807248B2 (en) * | 2007-08-14 | 2010-10-05 | Cardinal Cg Company | Solar control low-emissivity coatings |
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