JP6231153B2 - 光学測定装置のための保持機器 - Google Patents
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Description
11 シャフト
12 平面表面
13 本体
14 案内柱
15 案内装置
16 案内レール
17 キャリッジ
20 回転テーブル
21 回転駆動装置
22 心押台
23 マンドレル
25 光学ユニット
26 光源
27 受光器
30 保持機器
31 保持ユニット
32 支持部
33 枢動ジャーナル
34 ボディ
37 第1のベアリング装置
38 第2のベアリング装置
39 第1のベアリング位置
40 第1のベアリング要素
41 第2のベアリング位置
42 第2のベアリング要素
43 第3のベアリング位置
44 第3のベアリング要素
49 第4のベアリング位置
50 第4のベアリング要素
55 くぼみ
56 フランク
57 固定フランジ
58 保持クリップ
59 肢
60 接続部
64 保持要素
65 ストップ
66 環状フランジ
α 角度
E1 第1の調節平面
E2 第2の調節平面
H 鉛直方向
J1 第1の調節軸
J2 第2の調節軸
J3 第3の調節軸
J4 第4の調節軸
L 縦方向
O1 第1の光学軸
O2 第2の光学軸
Q 横方向
T テレセントリック領域
Claims (14)
- 光学測定装置(10)のための保持機器(30)であって、
前記光学測定装置(10)の光学ユニット(25)のための少なくとも1つの保持ユニット(31)を備え、前記保持ユニット(31)は、光学軸(O1、O2)の方向において互いに隔てて配置された第1のベアリング装置(37)と第2のベアリング装置(38)とを有し、
前記第1のベアリング装置及び前記第2のベアリング装置(37、38)はそれぞれ、第1のベアリング位置(39)における第1のベアリング要素(40)と、第2のベアリング位置(41)における第2のベアリング要素(42)と、第3のベアリング位置(43)における第3のベアリング要素(44)とを有し、
前記第1のベアリング要素(40)は第1の調節軸(J1)に沿って位置決めされ、前記第2のベアリング要素(42)は第2の調節軸(J2)に沿って位置決めされ、第1の調節軸(J1)と第2の調節軸(J2)とは光学軸(O1、O2)に対して直角に延在するとともに、
前記保持ユニット(31)は、前記光学軸(O1、O2)に平行に方向付けられている第4の調節軸(J4)に沿って位置決め可能な、第4のベアリング位置(49)における第4のベアリング要素(50)を有し、
少なくとも1つの前記光学ユニット(25)はテレセントリックであり、前記光学軸(O1、O2)の一部に沿ったテレセントリック領域(T)を有することを特徴とする、
保持機器。 - 前記第3のベアリング要素(44)は第3の調節軸(J3)に沿って位置決めされることを特徴とする、
請求項1に記載の保持機器。 - 前記第1、第2、及び第3の調節軸(J1、J2、J3)は、前記光学軸(O1、O2)に対して放射状に方向付けられていることを特徴とする、
請求項1又は請求項2に記載の保持機器。 - 前記第1のベアリング装置及び前記第2のベアリング装置(37、38)のそれぞれの前記第1の調節軸(J1)と前記第2の調節軸(J2)とは、それぞれの共通の調節平面(E1、E2)内に配置されていることを特徴とする、
請求項1〜請求項3のいずれか一項に記載の保持機器。 - 前記保持ユニット(31)の2つの前記調節平面(E1、E2)は互いに平行に方向付けられていることを特徴とする、
請求項4に記載の保持機器。 - 前記少なくとも1つの保持ユニット(31)は、前記光学軸(O1、O2)に対して直角に方向付けられている枢動軸(S)の周りで枢動可能であり、枢動された位置において固定可能であることを特徴とする、
請求項1〜請求項5のいずれか一項に記載の保持機器。 - 少なくとも1つの前記光学ユニット(25)はテレセントリックであり、前記光学軸(O1、O2)の一部に沿ったテレセントリック領域(T)を有し、前記枢動軸(S)は少なくとも1つの前記テレセントリック領域(T)を通過することを特徴とする、
請求項6に記載の保持機器。 - 前記第4のベアリング要素(50)は、前記光学ユニット(25)を前記第4の調節軸(J4)に沿って移動させるように適合され、これによって前記テレセントリック領域(T)は、前記枢動軸(S)が前記テレセントリック領域(T)を通過する位置に移動される、
請求項7に記載の保持機器。 - 前記枢動軸(S)は、前記光学軸(O1、O2)の方向において、前記第1の調節軸(J1)及び前記第2の調節軸(J2)から隔てて配置されることを特徴とする、
請求項6又は請求項7に記載の保持機器。 - 2つの前記光学ユニット(25)のための2つの保持ユニット(31)を備え、前記2つの保持ユニット(31)が、関連する前記光学軸(O1、O2)に平行に互いに隔てて配置されることを特徴とする、
請求項1〜請求項9のいずれか一項に記載の保持機器。 - 前記2つの保持ユニット(31)は共通の支持部(32)上に配置されることを特徴とする、
請求項10に記載の保持機器。 - 前記支持部(32)は、枢動軸(S)の周りで枢動可能であるとともに枢動された位置において固定可能であるようにボディ(34)上に配置されることを特徴とする、
請求項11に記載の保持機器。 - 前記ボディ(34)は、移動可能に案内される様態で案内装置(15)上に取り付けられることを特徴とする、
請求項12に記載の保持機器。 - 対象物(11)の平面表面(12)を測定するように構成される、少なくとも1つの光学ユニット(25)を備える光学測定装置(10)における、請求項1〜請求項13のいずれか一項に記載の保持機器の使用。
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US4298281A (en) * | 1979-07-16 | 1981-11-03 | Libbey-Owens-Ford Company | Laser system for aligning conveyor rolls |
JPS6242678A (ja) * | 1985-08-09 | 1987-02-24 | Olympus Optical Co Ltd | 固体撮像装置 |
DE3531156C1 (de) * | 1985-08-31 | 1986-09-04 | Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln | Verfahren zum Ausrichten der Achse eines zweiten Halters in bezug auf die Achse eines ersten Halters bei einer Pruef- oder Bearbeitungsmaschine |
DE3630702A1 (de) * | 1986-09-09 | 1988-03-17 | Ulrich Wagensommer | Vorrichtung zum vermessen eines werkstueckes |
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JPH0497307A (ja) * | 1990-08-15 | 1992-03-30 | Toshiba Corp | レーザ発振管支持装置 |
DE4030994A1 (de) * | 1990-10-01 | 1992-04-02 | Hoefler Messgeraetebau Gmbh Dr | Pruefeinrichtung fuer rotationssymmetrische werkstuecke |
US5457577A (en) * | 1992-01-22 | 1995-10-10 | The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army | Quick-set precision optical holder |
US5363559A (en) * | 1992-11-16 | 1994-11-15 | Burris Company | Telescope inner tube locking device and method |
IT1272101B (it) * | 1993-03-17 | 1997-06-11 | Fondazione Centro S Romanello | Dispositivo di sostegno e posizionamento per filtri ottici |
IT1296542B1 (it) * | 1997-11-07 | 1999-07-09 | Marposs Spa | Apparecchiatura optoelettronica per il controllo dimensionale e/o di forma di componenti con forme tridimensionali complesse. |
US5956190A (en) * | 1998-01-09 | 1999-09-21 | Sieg; Brian T. | Astronomy guide scope mounting system |
DE19840801B4 (de) * | 1998-09-08 | 2005-09-15 | Walter Maschinenbau Gmbh | Werkzeugmaschine mit automatischer Prozesssteuerung/Überwachung und Verfahren zum Bearbeiten |
DE19927872A1 (de) * | 1999-04-01 | 2000-10-26 | Werth Messtechnik Gmbh | Vorrichtung und Verfahren zum Messen eines Objektes bzw. dessen Struktur, insbesondere solcher mit Vorsprüngen wie Zähnen eines Fräswerkzeuges |
EP1337886B1 (en) | 2000-11-28 | 2009-01-14 | Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha | Method of and apparatus for adjusting optical component, and optical unit |
DE10152038C5 (de) | 2001-10-19 | 2008-06-26 | Hommel-Etamic Gmbh | Verfahren zur optoelektronischen Bestimmung von Gewindeparametern |
DE10319947B4 (de) * | 2003-05-02 | 2010-06-02 | Hommel-Etamic Gmbh | Einrichtung zur Messung der Umfangsgestalt rotationssymmetrischer Werkstücke |
JP5622068B2 (ja) * | 2005-11-15 | 2014-11-12 | 株式会社ニコン | 面位置検出装置、露光装置、およびデバイスの製造方法 |
EP2857902B1 (en) * | 2006-01-19 | 2016-04-20 | Nikon Corporation | Immersion exposure apparatus, immersion exposure method, and device fabricating method |
JP4512627B2 (ja) * | 2007-10-03 | 2010-07-28 | キヤノン株式会社 | 測定装置、露光装置及びデバイス製造方法 |
US8550444B2 (en) * | 2007-10-23 | 2013-10-08 | Gii Acquisition, Llc | Method and system for centering and aligning manufactured parts of various sizes at an optical measurement station |
DE102008013308A1 (de) * | 2008-03-08 | 2009-09-10 | Carl Mahr Holding Gmbh | Erweiterbare Werkzeugmessmaschine |
US8004694B2 (en) * | 2009-03-27 | 2011-08-23 | Gll Acquistion LLC | System for indirectly measuring a geometric dimension related to an opening in an apertured exterior surface of a part based on direct measurements of the part when fixtured at a measurement station |
DE202010017205U1 (de) * | 2010-02-18 | 2011-05-12 | Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V. | Vorrichtung zur optischen Vermessung eines stift- oder stabförmigen Körpers |
DE102010054742A1 (de) * | 2010-12-16 | 2012-06-21 | E. Zoller GmbH & Co. KG Einstell- und Messgeräte | Einstell- und/oder Messgerätevorrichtung |
US8528140B1 (en) * | 2011-07-01 | 2013-09-10 | McCann Industries, LLC | Adjustable scope mount |
US9354437B2 (en) * | 2012-02-29 | 2016-05-31 | Suzhou Synta Optical Technology Co., Ltd. | Object finder mounting apparatus, systems for viewing objects and methods for using same |
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DE102013201136B4 (de) * | 2013-01-24 | 2023-01-19 | Siemens Healthcare Gmbh | Vorhersage eines voraussichtlichen Kontrastmittelverlaufs |
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