JPH0438282Y2

JPH0438282Y2 -

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Publication number: JPH0438282Y2
Application number: JP2977287U
Authority: JP
Priority date: 1987-02-27
Filing date: 1987-02-27
Publication date: 1992-09-08
Also published as: JPS63137855U

Description

【考案の詳細な説明】〔産業上の利用分野〕この考案は、光学式の微粒子検出装置の光学系
の調整装置に関するものである。

〔従来の技術〕

一般に、光学式の微粒子検出装置においては、
流体中に微小な粒子を間隔をおいて一列に並べて
流してそこへ光を照射し、粒子から発せられる散
乱光を検出することにより、粒子の個数や大きさ
を測定している。この場合には、光線照射手段
と、粒子が照射されるフローセルと、受光装置と
は所定の光軸上に配置する必要がある。また、フ
ローセル中心部分における光のビーム径は、粒子
の測定が実質的に可能となる程度まで充分に小さ
く絞られねばならない。というのは、ビーム径が
充分に絞られていないと、発する散乱光の強度が
弱かつたり、ビームスポツトの中に同時に複数の
粒子が存在してしまい、粒子の個数や大きさを正
しく測定できないからである。

これら光軸の設定やビームの絞りは、対象とす
る粒子が微小となればなるほど高い精度が要求さ
れる。このため光学系の設計や組立てにおいて
は、高度の機構設計の技術と生産技術が要求され
ている。

〔考案が解決しようとする問題点〕

しかし、測定粒子が、たとえば1um以下の大き
さであると、光学系の機構精度だけで光軸の設定
やビームの絞りを所望の精度範囲内におさえるこ
とは不可能となる。

そこで、光学系を一応組立てた後、光軸の設定
やビームの絞りを所定の範囲に調整する必要があ
る。

この考案の目的は、これら光学系の調整を容易
に、短時間で行える微粒子検出装置の光学系の調
整装置を提供することである。

〔問題点を解決するための手段〕

この考案の微粒子検出装置の光学系の調整装置
は、第１軸上に光軸を揃えて配置した光線照射手
段を内装したコンデンサユニツトと、このコンデンサユニツトを光線照射方向上手側
で保持し光学台上に配置された発光系調整装置
と、前記コンデンサユニツトの光線照射方向下手側
に配置され前記第１軸と直交する第２軸上に粒子
列を形成した状態に流体を流すフローセルと、このフローセルを保持しこのフローセルを前記
第１軸および第２軸を含む平面と交わる第３軸方
向に移動調整可能でかつ前記発光系調整装置に対
し前記第１軸方向に互いの距離を相対的に伸縮可
能に前記光学台上に配置されたフローセル調整装
置と、前記フローセルの光線照射方向下手側に配置さ
れ前記光線が前記粒子列に当たつて反射した散乱
光を集める集光装置と、この集光装置を保持しこの集光装置を前記第１
軸と直交して前記第１軸上で相交わる第４軸およ
び第５軸の方向へ移動調整可能でかつ前記発光系
調整装置に対し前記第１軸方向に互いの距離を相
対的に伸縮可能に前記光学台上に配置された集光
系調整装置と、前記集光装置の光線照射方向下手側に配置され
前記集光装置からの前記散乱光を検出する受光装
置と、この受光装置を保持しこの受光装置を前記第１
軸と直交して前記第１軸上で相交わる第６軸およ
び第７軸の方向へ移動調整可能でかつ前記発光系
調整装置に対し前記第１軸方向に互いの距離を相
対的に伸縮可能に前記光学台上に配置された受光
系調整装置とを備えたものである。

〔作用〕

この考案の構成によれば、フローセルは、フロ
ーセル調整装置により第１軸（光線照射方向）お
よび第２軸（粒子列方向）を含む平面と交わる第
３軸方向へ移動調整可能なので、光軸を粒子列上
に一致させることができる。また、発光系調整装
置とフローセル調整装置とは第１軸方向に互いの
距離を相対的に伸縮可能なので、光ビームの最も
幅の細い部分を粒子列に照射することができる。

集光装置は、第１軸と直交して第１軸上で相交
わる第４軸および第５軸の方向へ移動調整可能で
あり、受光装置は、第１軸と直交して第１軸上で
相交わる第６軸および第７軸の方向へ移動調整可
能なので、集光装置および受光装置を光軸上に一
致させることができる。さらに、集光系調整装置
および受光系調整装置は、各々発光系調整装置に
対し第１軸方向に互いの距離を相対的に伸縮可能
なので、受光装置の中心位置にフローセル通過光
の焦点を一致させることができる。

このように、光軸の設定やビームの絞り等を一
定範囲内に収める光学系の調整を容易に短時間で
行うことができる。

〔実施例〕

この考案の一実施例を第１図ないし第１５図に
基づいて説明する。この微粒子検出装置の光学系
の調整装置は、第１軸Ａ上に光軸を揃えて配置し
た光線照射手段１を内装したコンデンサユニツト
２と、このコンデンサユニツト２を光線照射方向上手
側で保持し光学台３上に配置された発光系調整装
置４と、コンデンサユニツト２の光線照射方向下手側に
配置され第１軸Ａと直交する第２軸Ｂ上に粒子列
を形成した状態に流体を流すフローセル５と、このフローセル５を保持しこのフローセル５を
第１軸Ａおよび第２軸Ｂを含む平面と交わる第３
軸Ｃ方向に移動調整可能でかつ発光系調整装置４
に対し第１軸Ａ方向に互いの距離を相対的に伸縮
可能に光学台３上に配置されたフローセル調整装
置７と、フローセル５の光線照射方向下手側に配置され
前記光線が前記粒子列に当たつて反射した散乱光
を集める集光装置８と、この集光装置８を保持しこの集光装置８を第１
軸Ａと直交して第１軸Ａ上で相交わる第４軸Ｄお
よび第５軸Ｅの方向へ移動調整可能でかつ発光系
調整装置４に対し第１軸Ａ方向に互いの距離を相
対的に伸縮可能に光学台３上に配置された集光系
調整装置９と、集光装置８の光線照射方向下手側に配置され集
光装置８からの前記散乱光を検出する受光装置１
０と、この受光装置１０を保持しこの受光装置１０を
第１軸Ａと直交して第１軸Ａ上で相交わる第６軸
Ｆおよび第７軸Ｇの方向へ移動調整可能でかつ発
光系調整装置４に対し第１軸Ａ方向に互いの距離
を相対的に伸縮可能に光学台３上に配置された受
光系調整装置１１とを備えたものである。

第１図において、コンデンサユニツト２は、円
柱状をしており、光線照射手段１、コリメータレ
ンズおよびコンデンサレンズから成る。光線照射
手段１は、レーザダイオード等から成り、水平な
第１軸Ａ上に光軸を有する。光線照射手段１より
発せられた発散光は、コリメータレンズにより平
行光に変えられ、コンデンサレンズにより微小な
ビームスポツトに絞り込まれる。このコンデンサ
ユニツト２は、すでに調整済のものを使用する。

光学台３は、長手方向が第１軸Ａ方向である長
尺状の平板であり、上面に光学台３の長手方向に
延びるレール部３ａを有している。

発光系調整装置４は、コンデンサユニツト保持
部１２、コンデンサ微動ステージ１３、スプリン
グ支持部１４およびコンデンサ微動ねじ１５とか
ら成る。コンデンサユニツト２は、コンデンサユ
ニツト保持部１２の円柱孔に一対のコンデンサユ
ニツト取付ねじ１６により固定される。コンデン
サユニツト保持部１２は、コンデンサ微動ステー
ジ１３の上面に一対のコンデンサ保持部取付ねじ
１７により固定される。コンデンサ微動ステージ
１３は、下面のスライド部（図示せず）を光学台
３上面のレール部３ａに嵌合させて、光学台３上
の長手方向に移動可能である。スプリング支持部
１４は、レール部３ａの一端部において光学台３
上面に固定されている。コンデンサ微動ねじ１５
は、ねじ込まれるとスプリング１８に抗してコン
デンサ微動ステージ１３を押して移動させる。

フローセル５は、角パイプ状をしており、粒子
を含む懸濁液を中心にして周囲に高速流体を通し
ており、中心流に鉛直な第２軸Ｂに沿う粒子列が
形成されている。フローセル保持部取付具１９
は、下縁部１９ａ、立上がり部１９ｂおよび上縁
部１９ｃとから成るコ字形断面の部材である。フ
ローセル保持部２０は、フローセル上部保持部２
１とフローセル下部保持部２２とから成る。フロ
ーセル上部保持部２１は、フローセル５の上部を
保持し、フローセル保持部取付ねじ２３によりフ
ローセル保持部取付具１９の上縁部１９ｃに取付
けられる。フローセル下部保持部２２は、フロー
セル５の下部を保持しフローセル保持部取付具１
９の下縁部１９ａに取付けられる。フローセル保
持部取付具１９の立上がり部１９ｂは、フローセ
ル５よりもコンデンサユニツト２側に配置され、
光線を通す円孔部１９ｄを有している。

フローセル調整装置７は、第１軸Ａ方向の調整
を行うフローセル長手方向調整装置２４と第１軸
Ａと直交する水平な第３軸Ｃ方向の調整を行うフ
ローセル幅方向調整装置２５とから成る。以下、
特に記載ない限り、長手方向と幅方向は、各々、
光学台３の長手方向と幅方向を示すものとする。
フローセル長手方向調整装置２４は、フローセル
長手方向微動ステージ２６、スプリング保持部２
７、フローセル長手方向微動ねじ２８および一対
のスプリング２９とから成る。スプリング保持部
２７は、光学台３上面に固定されている。フロー
セル長手方向微動ステージ２６は、下面のスライ
ド部（図示せず）を光学台３上面のレール部３ａ
と嵌合させて長手方向に移動可能である。フロー
セル長手方向微動ねじ２８は、スプリング保持部
２７を貫通してねじ込まれ、先端部がフローセル
長手方向微動ステージ２６の一端面を押してい
る。スプリング２９は、スプリング保持部２７と
フローセル長手方向微動ステージ２６との間に設
けられ、両者を引つ張る付勢をする引つ張りコイ
ルばねである。フローセル長手方向微動ねじ２８
をねじ込めば、フローセル長手方向微動ステージ
２６をコンデンサユニツト２側に移動させること
ができ、ねじ戻せばスプリング２９の引張力によ
りスプリング保持部２７側に移動させることがで
きる。

フローセル幅方向調整装置２５は、フローセル
幅方向微動ステージ３０、スプリング保持部３
１、フローセル幅方向微動ねじ３２および一対の
スプリング（図示せず）とから成る。スプリング
保持部３１は、フローセル長手方向微動ステージ
２６の上面の幅方向端部に固定されている。フロ
ーセル幅方向微動ステージ３０は、フローセル長
手方向微動ステージ２６上面の幅方向に立設され
たレール部（図示せず）に下面のスライド部（図
示せず）を嵌合させており、幅方向に移動可能で
ある。フローセル幅方向微動ねじ３２は、スプリ
ング保持部３１に貫通してねじ込まれ、先端部が
フローセル幅方向微動ステージ３０の一端面を押
している。前記スプリングは、スプリング保持部
３１とフローセル幅方向微動ステージ３０との間
に設けられ、両者を引つ張る付勢をする引つ張り
コイルばねである。フローセル幅方向微動ねじ３
２のねじ込み、ねじ戻しによりフローセル幅方向
微動ステージ３０を幅方向に移動させることがで
きる。

集光装置８は、ビームストツパ３３、ビームス
トツパホルダ３４およびコレクタレンズ筒３５か
ら成る。ビームストツパ３３は、光線照射手段１
からの直進光すなわち粒子列に当たらなかつた光
線を遮断する働きをする。第７図に示すように、
ビームストツパ３３は、水平に配置された平板状
で一側端部に長方形形状の開口部３３ａを有し、
この開口部３３ａの中央に遮断板３３ｂが上下に
設けられている。ビームストツパ３３は、中央部
に水平方向の長穴３３ｃを有しこの長穴３３ｃを
貫通するビームストツパ取付ねじ３６によりビー
ムストツパホルダ３４の先端部に固定される。ビ
ームストツパ３３は、ビームストツパ取付ねじ３
６に対し長穴３３ｃをずらすことにより、水平方
向に移動可能である。ビームストツパホルダ３４
は円筒形をしておりコレクタレンズ筒３５に外嵌
されてビームストツパホルダ取付ねじ３７により
コレクタレンズ筒３５に固定される。コレクタレ
ンズ筒３５は、コレクタレンズを内装した円筒形
状をしており前記スプリング保持部２７に設けら
れた第１軸Ａ上に中心のある円柱孔のコレクタレ
ンズ筒保持部３８に遊嵌されている。フランジ部
３５ａは、コレクタレンズ筒３５の中央部に外嵌
され、スプリング保持部２７のフローセル５側の
側面と接している。

集光系調整装置９は、コレクタレンズ筒３５が
取り付けられるコレクタフランジ３９と、このコ
レクタフランジ３９が取付けられるスプリング保
持部２７とから成る。コレクタフランジ３９は、
フランジ取付ねじ４０によりスプリング保持部２
７に固定される。このフランジ取付ねじ４０がコ
レクタフランジ３９を貫通する部分の内径はねじ
外径よりもやや大きくなつている。そのため、フ
ランジ取付ねじ４０を少し緩めるとコレクタフラ
ンジ３９がスプリング保持部２７の側面に沿つて
一定範囲で全方向に移動可能となり、コレクタレ
ンズ筒３５の位置調整ができる。

受光装置１０は、ピンホール筒４１と受光器４
２とから成る。ピンホール筒４１は、円筒形の一
端面にピンホール板４３を有し、他端面に受光器
４２を取付けている。ピンホール板４３は中央部
に散乱光を通過させるピンホール４７を有してい
る。ピンホール筒４１と受光器４２とは予め軸合
わせされて一体化している。

受光系調整装置１１は、受光装置保持部４４、
受光系上下微動ねじ４５および受光系幅方向微動
ねじ４６から成る。受光装置保持部４４は、光学
台３上面に立設された平板で第１軸Ａ上にピンホ
ール筒挿通孔４４ａを有している。受光系上下微
動ねじ４５は、受光装置保持部４４の上面に設け
られ先端部がピンホール筒挿通孔４４ａ内に達し
ピンホール筒４１と接触している。この受光系上
下微動ねじ４５と同軸上で、ピンホール筒４１の
下面とピンホール筒挿通孔４４ａとの間にスプリ
ング（図示せず）が設けられ、このスプリングが
ピンホール筒４１を上方へ押している。受光系幅
方向微動ねじ４６は、受光装置保持部４４の幅方
向の一側面に設けられ、先端部がピンホール筒挿
通孔４４ａ内に達し、ピンホール筒４１と接触し
ている。この受光系幅方向微動ねじ４６と同軸上
でピンホール筒４１を受光系幅方向微動ねじ４６
の反対側から押すスプリングが設けられている。

次に、この調整装置を用いた調整の手順につい
て説明する。

(a) コンデンサユニツト２を保持した発光系調整
装置４と受光装置１０を保持した受光系調整装
置１１とを光学台３上に組立てる。

(b) 受光装置１０のピンホール４７を光軸上に一
致させる。

第２図に示すように、中心孔４８を有しピン
ホール筒挿通孔４４ａと同径の厚肉の位置合わ
せ円盤４９をピンホール筒挿通孔４４ａに挿入
し、第３図に示すように、受光系上下微動ねじ
４５および受光系幅方向微動ねじ４６を操作し
て位置合わせ円盤４９の中心孔４８とピンホー
ル４７とを一致させる。これによりピンホール
４７はピンホール筒挿通孔４４ａの中心位置に
移動し、光軸上に一致する。この操作が終わる
と、位置合わせ円盤４９は取りはずす。

(c) 光線の楕円ビームの長径を上下方向に一致さ
せる。

第４図に示すように、位置決め蛍光板５０
（図において肉厚を示さず）を受光装置保持部
４４に取り付ける。位置決め蛍光板５０には上
下、左右方向に十字線５１が表示されており、
十字線の中心５２は、位置決め蛍光板５０の取
り付け状態でピンホール挿通孔４４ａの中心と
一致するよう設定されている。光線照射手段１
に光線を照射させると位置決め蛍光板５０上に
は、たとえば、第５図に示すような縦長の楕円
形ビームの照射スポツト５３が見える。ここ
で、コンデンサ保持部取付ねじ１７を２箇所共
緩めると、コンデンサ保持部１２がコンデンサ
微動ステージ１３上でわずかに移動可能とな
る。コンデンサ保持部１２の位置、向きを調整
することにより、位置決め蛍光板５０上の楕円
形ビームの照射スポツト５３の短径、長径が、
第６図に示すように、位置決め蛍光板５０上の
十字線５１に一致する状態にし、この状態でコ
ンデンサ保持部取付ねじ１７を締め付ける。な
お、位置決め蛍光板５０上の２本の補助線５４
は、この間にビームの照射スポツト５３の短径
がおさまつていることを確認するためのもので
ある。以上の操作の後、位置決め蛍光板５０を
とりはずす。コレクタレンズ筒３５をコレクタ
フランジ３９に取付け、コレクタフランジ３９
をスプリング保持部２７に取付ける。

(e) コンデンサユニツト２と受光装置１０との一
応のピント合わせを行う。

これは、以後の調整を行い易くするために行
う。コンデンサ微動ねじ１５を操作し、ピンホ
ール４７付近のビームの照射スポツト５３が、
第８図に示すように横長の小さなスポツトにな
るように調節する。

(f) 集光装置８の中心軸を光軸上に一致させる。
フランジ取付ねじ４０を緩め、コレクタフラン
ジ３９がスプリング保持具２７に対してわずか
にスライドするようにする。コレクタフランジ
３９を動かすことにより、ピンホール４７付近
の楕円の照射スポツト５３の中心がピンホール
４７に一致するように調整した（第９図）後、
フランジ取付ねじ４０を締め付ける。

コレクタレンズの入射開口付近でのビーム形
状がたとえば鉛直方向に長い楕円形になるよう
設計されている場合には、ビームストツパ３３
の方向が鉛直方向に向くようにビームストツパ
ホルダ３４を回転させて調整したのち、ビーム
ストツパホルダ取付ねじ３７を締めつける。

(g) フローセル５およびフローセル調整装置７を
光学台３上に組立てる。

このとき、フローセル５が光路中に入るとピ
ントが若干ずれる。また、ビームの照射スポツ
ト５３の位置も若干ずれる。

(h) ピントおよび照射スポツト５３の位置の再調
整を行う。

前記の(g)のようにずれが生ずるので、以下の
再調整を行う。

コンデンサ微動ねじ１５を操作してピンホー
ル４７付近のビームの照射スポツト５３が横長
の楕円スポツトになるようにしてピント合わせ
する。また、フローセル上部保持部２１を回転
させることによりフローセル５の向きを調整
し、ピンホール４７付近の照射スポツトが（第
９図に示すように）ピンホール４７に一致する
ようにした後、フローセル保持部取付ねじ２３
を締め付ける。このことによつて、ビームの主
光線がフローセル５の面に垂直に入射するよう
に調整される。

(i) 以後の調整を行い易くする為に、受光装置１
０のピントを故意にはずす。

コンデンサ微動ねじ１５を動かしてピントを
わざとはずし、ピンホール４７上の照射スポツ
ト５３が、第１０図に示すような横幅５mm程度
の縦長の楕円形になるように調整する。フロー
セル５の断面をコンデンサユニツト２側から見
ると第１１図のようになり、フローセル５の横
幅は約300um、フローセル５の中心を流れる試
料流５５の幅は約10umであり、そのまわりを
シース液５６が流れる。フローセル５付近での
ビーム照射スポツト５７は最終的には図で示さ
れるような横長の楕円に絞られなければならな
い。このビーム照射スポツト５７の短径は約
8um、長径は約160umである。しかし、第１０
図のようにピンホール４７上の照射スポツト５
３が広がつた状態になるときは、フローセル５
付近でのビームの照射スポツト５７はフローセ
ル５の横幅以上に広がつている。すなわち、第
１０図のピンホール４７付近の照射スポツト５
３は光がフローセル５の壁５ａに当たつて散乱
した結果を反映している。

(j) 以後の調整を行い易くする為に、集光装置８
のピントを故意にはずす。

フローセル長手方向微動ねじ２８を操作し、
コレクタレンズのピントをはずす。

(k) ピンホール板４３での照射スポツト５３上に
暗線５８（フローセルの壁の影）が見える状態
にする。

フローセル幅方向微動ねじ３２をゆつくり回
していくと、ピンホール４７付近の照射スポツ
ト５３中に幅１mm程度の暗線５８が数mmの間隔
で２本続けて現れる。このうちの１本がスポツ
ト上に現れている状態にする（第１２図）。コ
レクタレンズのピントをはずしたのは、この暗
線５８を見つけ易くするためである。

(l) コレクタレンズのピント合わせる。

受光装置保持部４４に位置決め蛍光板５０を
第４図に示すように再度取付ける。そして、暗
線５８が、第１３図に示すように、最も細く、
かつ明瞭に見えるように、フローセル長手方向
微動ねじ２８を調整する。これで、コレクタレ
ンズのピントが合つたことになる。

(m) フローセル５中心付近から出る光をピンホー
ル４７へ入射させる。

フローセル幅方向微動ねじ３２を操作し、２
本の暗線５８が、第１４図に示すように十字線
５１の縦線に関して左右対称に現れるように調
整する。これは、フローセル５の壁面５ａを目
安として、フローセル５中心付近から出る光が
ピンホール４７へ入射するように調整している
ものである。

調整が終われば位置決め蛍光板５０を取りは
ずす。

(n) コレクタレンズの焦点位置をフローセル５の
中心に一致させる。

コンデンサ微動ねじ１５を操作し、ピンホー
ル板４３上の照射スポツト５３の縦幅が、第９
図のように最も狭くなるように調整する。これ
は、フローセル５の中心にビームウエスト（ビ
ームの一番細いところ）が一致するようにコン
デンサレンズの焦点位置を動かしているもので
ある。

(o) コンデンサユニツト２からの直接光を完全に
遮断する。

ビームストツパ取付ねじ３６を緩めて、ビー
ムストツパ３３を光軸に近づく方へ送り出して
いき、ピンホール板４３上の照射スポツト５３
が完全に消える位置でビームストツパ取付ねじ
３６を締めつける。このとき、ビームストツパ
３３の遮断板３３ｂ部分には、第１５図に示す
ように、縦長の楕円照射スポツト５９が映つて
いる。このようにして、直接の照射光はビーム
ストツパ３３で完全にカツトされ、検出粒子に
よつて散乱された光のみがピンホール４７に入
射するようになる。

以上のように(a)〜(o)の手順により、コンデン
サユニツト２からの光線はフローセル５中心の
粒子列に照射され、粒子に当たつて反射した散
乱光のみが受光装置１０の中心に入射する状態
に調整が行われる。

〔作用〕

このように、この実施例の構成によれば、フロ
ーセル５は、フローセル調整装置７により第１軸
Ａ（光線照射方向）および第２軸Ｂ（粒子列方向）
を含む平面と交わる第３軸Ｃ方向へ移動調整可能
なので、光軸を粒子列上に一致させることができ
る。また、発光系調整装置４とフローセル調整装
置７とは第１軸Ａ方向に互いの距離を相対的に伸
縮可能なので、光ビームの最も幅の細い部分を粒
子列に照射することができる。

集光装置８は、第１軸Ａと直交する平面内で全
方向に移動調整可能であり、受光装置１０は、第
１軸Ａと直交して第１軸Ａ上で相交わる第６軸Ｆ
および第７軸Ｇの方向へ移動調整可能なので、集
光装置８および受光装置１０を光軸上に一致させ
ることができる。さらに、集光系調整装置９およ
び受光系調整装置１１は、各々発光系調整装置４
に対し第１軸Ａ方向に互いの距離を相対的に伸縮
可能なので、受光装置１０の中心位置にフローセ
ル５通過光の焦点を一致させることができる。

また、本調整装置は、位置決め蛍光板５０等の
治具を使用することが容易であり、光学系の調整
の能率を高めている。

そのため、光学系に過度な機械精度を要しな
い。

発光系調整装置４は光学台３上に固定し、集光
系調整装置９および受光系調整装置１１が第１軸
Ａ方向へ移動調整可能としても良い。

フローセル調整装置７は光学台３上に固定し、
集光系調整装置９および受光系調整装置１１が第
１軸Ａ方向へ移動調整可能としても良い。

円形ビームの光線を発するコンデンサユニツト
２を用いる場合は、コンデンサユニツト２は、コ
ンデンサユニツト保持部１２に対し回転可能でな
くても良い。

第１軸Ａは水平軸でなくても良い。

フローセル５の粒子列の方向（第２軸Ｂ方向）
は、鉛直軸方向でなくとも良い。

第３軸Ｃは、第１軸Ａ、第２軸Ｂと直交しなく
ても良い。

第４軸Ｄと第５軸Ｅは第１軸Ａと直交して第１
軸Ａ上で相交わる２軸であれば良い。

第６軸Ｆと第７軸Ｇとは直交しなくても良い。

〔考案の効果〕

この考案の微粒子検出装置の光学系の調整装置
によれば、フローセルは、フローセル調整装置に
より第１軸（光線照射方向）および第２軸（粒子
列方向）を含む平面と交わる第３軸方向へ移動調
整可能なので、光軸を粒子列上に一致させること
ができる。また、発光系調整装置とフローセル調
整装置とは第１軸方向に互いの距離を相対的に伸
縮可能なので、光ビームの最も幅の細い部分を粒
子列に照射することができる。

【図面の簡単な説明】

第１図はこの考案の一実施例の全体斜視図、第
２図および第３図は位置決め円盤の使用説明図、
第４図ないし第６図は位置決め蛍光板の使用説明
図、第７図はビームストツパ部分の斜視図、第８
図は受光装置のピント合わせの説明図、第９図は
集光装置のピント合わせの説明図、第１０図は受
光装置のピントぼかしの説明図、第１１図はフロ
ーセルの光線照射部分の断面図、第１２図はピン
ホール板上の暗線の説明図、第１３図は集光装置
のピント合わせ説明図、第１４図はピンホールへ
の光軸合わせの説明図、第１５図はビームストツ
パの調整説明図である。１……光線照射手段、２……コンデンサユニツ
ト、３……光学台、４……発光系調整装置、５…
…フローセル、７……フローセル調整装置、８…
…集光装置、９……集光系調整装置、１０……受
光装置、１１……受光系調整装置、Ａ……第１
軸、Ｂ……第２軸、Ｃ……第３軸、Ｄ……第４
軸、Ｅ……第５軸、Ｆ……第６軸、Ｇ……第７
軸。

Claims

【実用新案登録請求の範囲】第１軸上に光軸を揃えて配置した光線照射手段
を内装したコンデンサユニツトと、このコンデンサユニツトを光線照射方向上手側
で保持し光学台上に配置された発光系調整装置
と、前記コンデンサユニツトの光線照射方向下手側
に配置され前記第１軸と直交する第２軸上に粒子
列を形成した状態に流体を流すフローセルと、このフローセルを保持しこのフローセルを前記
第１軸および第２軸を含む平面と交わる第３軸方
向に移動調整可能でかつ前記発光系調整装置に対
し前記第１軸方向に互いの距離を相対的に伸縮可
能に前記光学台上に配置されたフローセル調整装
置と、前記フローセルの光線照射方向下手側に配置さ
れ前記光線が前記粒子列に当たつて反射した散乱
光を集める集光装置と、この集光装置を保持しこの集光装置を前記第１
軸と直交して前記第１軸上で相交わる第４軸およ
び第５軸の方向へ移動調整可能でかつ前記発光系
調整装置に対し前記第１軸方向に互いの距離を相
対的に伸縮可能に前記光学台上に配置された集光
系調整装置と、前記集光装置の光線照射方向下手側に配置され
前記集光装置からの前記散乱光を検出する受光装
置と、この受光装置を保持しこの受光装置を前記第１
軸と直交して前記第１軸上で相交わる第６軸およ
び第７軸の方向へ移動調整可能でかつ前記発光系
調整装置に対し前記第１軸方向に互いの距離を相
対的に伸縮可能に前記光学台上に配置された受光
系調整装置とを備えた微粒子検出装置の光学系の
調整装置。