CN106066159B - 用于光学测量装置的保持器件 - Google Patents

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Abstract

本发明涉及用于光学测量装置的保持器件。保持器件具有两个保持单元，以用于测量装置的两个优选地远心的光学单元。各保持单元具有第一支承装置和第二支承装置。两个支承装置沿光学单元的光轴的方向布置在距彼此一定距离处。用于相关光学单元的通过三个支承元件进行的三点支承提供在各支承装置上。支承元件中的至少两个可沿相应调节轴线定位。调节轴线相对于相应光轴基本上以直角延伸。光学单元因此可在由调节轴线跨过的平面中移位且可基于与彼此间隔的两个支承装置而倾斜或歪斜。

Description

用于光学测量装置的保持器件
技术领域
本发明涉及用于光学测量装置的保持器件。该光学测量装置优选地设计为用于测量目标，具体而言为轴，且具体而言是具有平面表面的轴。
背景技术
DE 103 19 947 A1描述了用于测量旋转对称工件的表面轮廓的装置。光源和光学传感器相对于待测量的工件相对地布置，使得该工件可定位在光束中。以此方式，透射的光的测量是可能的。
还例如在DE 36 30 702 A1中描述了用于透射光测量的测量装置。工件可夹紧在滑架上，该滑架能够沿工件轴线移动。该工件因此可沿其纵向轴线移动穿过照射源与照射探测器之间的光路，且可测量阴影。由此，可确定工件的轴向和径向尺寸。
在DE 40 30 994 A1中描述的用于旋转对称工件的测试装置中，提供机械探头和光学测量装置。它们相对于待测量的旋转对称工件布置沿径向方向与彼此相对地布置。确定用于光学测量装置的位置，以便工件浸到光学测量装置的所产生射束条中(直到一半)。该射束条在测量点处与切向方向平行地定位在工件轮廓处。由于该工件浸到该射束条中直到一半，所以将在具有最清晰成像的点处进行该工件轮廓的测量，因此能够进行精确的测量。
根据当前技术，已知用于测量轴的各种光学测量装置。申请人例如出售“MarShaftScope”类型的光学测量机器，可利用其来测量轴。此种光学测量装置可具有两个光学单元，具体而言发光单元和接收单元，例如以便测量轴或透射光中的其他物体。还已知出于该目的使用远心单元(telecentric unit)，因为通过远心光学单元，可不依赖距该物体的距离地确定尺寸。
在实践中仍存在多个挑战。甚至在使用远心接收单元和远心发光装置的情况下，可发生测量错误，该测量错误当待在轴的两个平面表面之间进行长度测量时(例如，在不同直径的轴的两个圆柱形部分接触彼此的平面表面上)尤其具有影响。另一难题在于以下事实：当光学单元的光轴相对于彼此倾斜和/或与彼此偏移时，发生测量误差。
发明内容
从已知器件出发，本发明的目标可考虑为创造用于光学测量装置的保持器件，该保持器件用于减少测量误差且可经济地生产。
通过具有权利要求1的特征的保持器件来实现该目标。
保持器件设置以用在光学测量装置中。其具有至少一个保持单元，以用于测量装置的各所提供的光学单元，即，用于发光单元和用于接收单元。各保持单元具有第一支承装置和第二支承装置。保持单元的两个支承装置沿相应光学单元的光轴或机械轴线的方向布置在距彼此一定距离处。该机械轴线为光学单元的中央纵向轴线，其一般与光轴近似一致。
各支承装置具有在第一支承位置处的第一支承元件、在第二支承位置处的第二支承元件、和在第三支承位置处的第三支承元件。支承位置围绕光轴沿外围方向分布。沿外围方向的支承位置之间的距离在直接邻近的支承位置之间可不同。每个支承装置沿外围方向围绕光轴优选地提供正好三个支承位置，使得可预先限定沿相对于光轴在径向方向上的明确位置而没有冗余。
第一支承元件和第二支承元件且优选地还有第三支承元件可定位。为了定位，第一、第二、和第三支承元件可朝光轴或机械轴线或远离光轴或机械轴线移动(在各情形中分别沿第一、第二或第三调节轴线)，且可固定在期望的位置中。第一调节轴线、第二调节轴线、和第三调节轴线相对于光轴基本上以直角定向。应认为这些调节轴线的基本上直角的定向意味着第一调节轴线或第二调节轴线或第三调节轴线之间的角度从直角偏离至多30°或15°或10°的值。
作为该布置的结果，可能通过三个支承元件的帮助而与光轴横向地定位光学单元。因为保持单元的两个支承装置沿光轴或机械轴线布置在距彼此一定距离处，可相对于测量装置的基准轴线来额外地提供被保持在保持单元中的光学单元的光轴的倾斜，该基准轴线例如另一光学单元的光轴，待测量物体围绕该光轴可旋转地安装。以此方式，通过保持单元的帮助而相对于至少一个其他基准轴线定向光学单元的光轴是可能的。因此可减少因光学单元的未对准导致的测量错误。光轴的最大可能的倾斜调节取决于单独的支承元件沿调节轴线的移位的可能路径和保持单元的两个支承装置之间的沿光轴或机械轴线的距离。例如，最大可能的倾斜调节可为5.2°。
可通过支承元件的帮助来容易地执行该调节。作为示例，螺纹螺栓可作用为支承元件。
一个或更多个或所有的调节轴线可相对于光轴基本上径向地定向。
当支承装置的第一调节轴线、第二调节轴线、和第三调节轴线布置在公共的调节平面中时，也是有利的。因此确保支承装置的相应支承元件的定位在光轴的倾斜上具有基本上相同的影响。
在优选的示范实施例中，保持单元的支承装置的调节平面平行于彼此地定向。因此简化保持单元中的光学单元的调节。
在优选实施例中，各保持单元具有在第四支承位置处的第四支承元件。第四支承元件可沿第四调节轴线定位。第四调节轴线基本上平行于光轴或机械轴线地定向。认为该基本上平行的定向意味着第四调节轴线之间的角度最多为30°或15°或10°。作为示例，光学单元的远心区域或场深度区域可通过能够沿第四调节轴线定位的第四支承元件的帮助而沿光学或机械轴线的方向定位。例如，沿光学或机械轴线的调节的最大可能的路径可为4mm。
当至少一个保持单元可围绕枢转轴线枢转且可固定在枢转位置中时，可为额外有利的，该枢转轴线相对于光轴基本上以直角定向。应认为相对于光轴基本上以直角延伸的枢转轴线意味着枢转轴线与光轴之间的角度与直角偏离至多10°或5°。借助于可枢转性，光轴可相对于基准轴线以直角定向。枢转轴线优选地沿光轴的方向布置在距保持单元的调节轴线一定距离处。该枢转轴线优选地平行于调节平面地定向。
在保持器件的优选实施例中，对各光学单元提供两个保持单元。该两个保持单元平行于光轴地布置，认为在距彼此一定距离处。光轴可通过两个保持单元而相对于彼此定向。目标是平行地且优选地对准地定向光轴。
当两个保持单元布置在公共的支撑部分上时，是有利的。该支撑部分可一体地形成而没有分离点和接缝。该支撑部分优选地形成为轻质构件，具体而言，形成为定形主体。作为示例，该支撑部分可由突出的外形产生。该支撑部分可由金属或金属合金组成。
为了提供保持单元的可枢转性，当支撑部分布置在主体上使得其可围绕枢转轴线枢转且可固定在期望的枢转位置中时，是有利的。以此方式，通过支承装置的支承元件相对于彼此定向且优选地对准的光学单元的光轴可共同地枢转，使得它们相对于基准轴线采用期望的定向，例如，相对于基准轴线以直角定向。
当主体以被可移动地引导的方式安装在引导装置上时，是优选的，支撑部分可枢转地布置在该主体上。作为示例，该主体可形成能够直线地移动的滑架。两个测量单元因此可通过被可移动地引导的主体的帮助而例如直线地沿路径共同地移动。
至少一个且更具体而言两个所提供的光学单元优选地形成为远心光学单元。当枢转轴线布置成使得其穿过远心光学单元或多个光学单元的远心区域且具体而言两个远心区域时，是优选的。
上述保持器件优选地设置以用于在光学测量装置中使用，该光学测量装置包括至少一个光学单元和优选地至少一个远心光学单元。测量装置设计成测量物体(优选地轴)上的平面表面。该平面表面具体而言相对于轴的纵向轴线倾斜地或以直角延伸。
附图说明
保持器件的有利实施例将从所附权利要求、说明、和附图变得显而易见。此后将基于附图详细地解释本发明的优选示范实施例，在附图中：
图1示出光学测量装置的示范实施例的透视例示图，
图2示出沿竖直方向的视图中的图1的测量装置的类似于框图的例示，
图3示出根据图1和2的测量装置的保持器件的示范实施例的透视例示图，
图4示出沿与光学单元的光轴近似平行的纵向方向的来自图3的保持器件的视图，
图5示出在具有平面表面的轴的测量期间的根据图1和2的光学测量装置的远心区域的类似于框图的示意例示图，且
图6示出保持器件的示范实施例的支承装置的第四支承位置的区域中的类似于框图的局部例示图。
参考标号列表
1 光学测量装置
1 轴
12 平面表面
13 主要主体
14 引导柱
15 引导装置
16 引导轨道
17 滑架
20 旋转台
21 旋转驱动器
22 尾架
23 心轴
25 光学单元
26 光源
27 接收器
30 保持器件
31 保持单元
32 支撑部分
33 枢转轴颈
34 主体
37 第一支承装置
38 第二支承装置
39 第一支承位置
40 第一支承元件
41 第二支承位置
42 第二支承元件
43 第三支承位置
44 第三支承元件
49 第四支承位置
50 第四支承元件
55 缺口
56 侧缘
57 固连凸缘
58 保持夹具
59 分支
60 连接部分
64 保持元件
65 止动件
66 环形凸缘
α 角度
E1 第一调节平面
E2 第二调节平面
H 竖直方向
J1 第一调节轴线
J2 第二调节轴线
J3 第三调节轴线
J4 第四调节轴线
L 纵向方向
O1 第一光轴
O2 第二光轴
Q 横向方向
T 远心区域。
具体实施方式
图1和2例示用于测量物体的光学测量装置10的实施例，该物体例如轴11且具体而言为轴11上的平面表面12。在图5中示意性地例示具有平面表面12的示范轴11。待测量的物体可为但不必须为旋转对称的。
在图1和2中例示的示范实施例中，光学测量装置10具有主要主体13。引导柱14固连至主要主体13且沿竖直方向H从主要主体13开始延伸。引导装置15设在引导柱14上且根据示例由两个引导轨道16形成，这两个引导轨道16沿竖直方向H平行于彼此地延伸。滑架17以沿竖直方向H可移位地被引导的方式布置在引导装置15上。
竖直方向H、纵向方向L和横向方向Q形成笛卡尔坐标系。
在此处例示的示范实施例中，旋转台20布置在主要主体13上，所述旋转台的旋转轴线D平行于竖直方向H且因此平行于引导柱14地定向。可经由旋转驱动器21来围绕旋转轴线D驱动旋转台20。
尾架22布置在引导柱14上，以便能够手动地并且/或者以马达驱动的方式移位。为了测量，轴11可被布置且保持在尾架22与旋转台20之间。为此，在该示范实施例中，心轴23提供在尾架22和旋转台20二者上。轴11可在两个心轴23之间被接收在布置在各端面上的对应的定心开孔中，且可围绕旋转轴线D可旋转地得到保持。
光学测量装置具有两个光学单元25，它们根据示例形成为远心光学单元25。一个光学单元25是光源26，而另一光学单元25为接收器27，例如矩阵相机或线扫描相机。两个远心光学单元25相对于旋转轴线D相对地布置在相对侧上。各光学单元25具有光轴，其中，光源26的光轴标为第一光轴O1，且接收器27的光轴标为第二光轴O2(图2、3和5)。
为了安装和调节两个光学单元25，提供保持器件30。保持器件30具有用于各光学单元25的保持单元。在示范实施例中，这两个保持单元31布置在公共的支撑部分32上。在示范实施例中，支撑部分32围绕枢转轴线S可枢转地安装。枢转轴线S沿横向方向Q延伸。支撑部分32相对于横向方向Q以直角延伸且作为示例可基本上沿纵向方向L延伸。然而，由于可枢转性，支撑部分32还可与纵向方向L倾斜地延伸。
在图2中示意地例示围绕枢转轴线S的支撑部分32的枢转支承。枢转轴颈33将支撑部分32连接至主体34，支撑部分32可枢转地安装在该主体34上。在示范实施例中，主体32由滑架17形成。由于支撑部分32的该枢转支承，光学单元25的光轴O1、O2可围绕枢转轴线S共同地倾斜。因此可能相对于基准轴线以直角定向光轴O1、O2，例如，相对于旋转轴线D以直角定向光轴O1、O2。
在期望的枢转位置中，支撑部分32和主体34或滑架17相对于彼此锁紧，使得保持该期望的枢转位置且在测量装置10的操作期间保持不变。围绕枢转轴线S的可枢转性用于在第一时间试车的情况下或在测量装置10的维修或维护之后校准测量装置。在测量操作期间，不发生围绕枢转轴线S的枢转移动。
各保持单元31具有第一支承装置37和第二支承装置38。保持单元31的两个支承装置37、38沿所讨论的光轴O1或O2的方向布置在距彼此一定距离处。支承装置37、38具体而言可在图3和4中更详细地观察。各支承装置37、38具有在第一支承位置39或支承点处的第一支承元件40、在第二支承位置41或支承点处的第二支承元件42、和在第三支承位置43或支承点处的第三支承元件44。可定位支承元件40、42、44中的至少一些。所讨论的支承位置39、41、43因此可在空间中且根据示例相对于所讨论的光轴O1、O2以直角位移。在各支承位置39、41、43处，所讨论的支承元件40、42、44与相关光学单元25接触。当定位支承位置39、41、43时，从而定位或调节光学单元25。
在示范实施例中，第一支承元件40可沿第一调节轴线J1定位，第二支承元件42可沿第二调节轴线J2定位，且第三支承元件44可沿第三调节轴线J3定位。沿相应调节轴线J1、J2、J3定位支承元件40、42、44的可能性通过图3和4中的双头箭头且通过到图2中的图平面中和与其垂直的箭头例示。沿相应调节轴线J1、J2、J3定位支承元件40、42、44的可能性是利用所有的支承装置37、38提供的，尽管出于清晰原因在图3和4中中的各个中仅对第一支承装置37例示。
在示范实施例中，第一、第二和第三调节轴线J1、J2、J3各自布置在公共的调节平面中。在此，第一支承装置37形成第一调节平面E1，且第二支承装置38形成第二调节平面E2。在此处描述的示范实施例中，两个调节平面E1、E2平行于彼此地定向。
如特别可在图4中看见的，在示范实施例中，第一、第二、和第三调节轴线J1、J2、J3在公共点处，优选地在相应光轴O1或O2处与彼此相交。
枢转轴线S平行于调节平面E1、E2地延伸。与保持单元31相关的光学单元25可沿两个维度或自由度(图2)而定位在各调节平面E1、E2中。相应光轴O1、O2因此可倾斜或歪斜，且因此相对于支撑部分32或枢转轴线S或旋转轴线D或测量装置10的另一基准部分定向。因此每个保持单元31设有正好两个支承装置37、38。
因为对各光学单元25提供具有两个支承装置37、38的对应保持单元31，所以两个光轴O1、O2可相对于彼此并且/或者相对于至少一个基准轴线(例如旋转轴线D)定向。具体而言，可能定向两个光轴O1、O2，使得它们平行于彼此地延伸，且理想地与彼此对准。在图3中示意地且仅作为示例例示光轴O1、O2的未对准。这些轴线以角度α与彼此相交。未理想地定向的光轴O1、O2还可以在没有相交点的情况下相对于彼此以偏斜的方式延伸。通过支承装置37、38的帮助，可消除或至少减少这些未对准。
在例示的示范实施例中，第一支承装置37具有第四支承位置49或支承点，该第四支承位置49或支承点具有第四支承元件50。在第四支承位置49处，第四支承元件50与相关光学单元25接触。第四支承元件50可沿第四调节轴线J4定位。第四调节轴线J4基本上平行于所讨论的光轴O1或O2且根据示例相对于枢转轴线S以直角延伸。通过可定位的第四支承元件50的帮助，光学单元25可朝枢转轴线S或远离枢转轴线S地定位。
在此处例示的保持器件30的优选示范实施例中，支承元件40、42、44、50各自由调节螺钉形成。它们可通过锁紧螺母而固定在它们的位置中。可能在起始位置中靠着所讨论的光学单元25弹性地预加载第一或第二或第三支承元件40、42、44，且布置所述支承元件，以便于能够逆着预加载元件的力移动。
根据示例，支撑部分32在其两个端部区域中的各个处具有棱柱形缺口55，所述缺口由两个侧缘(flank)56形成，这两个侧面56相对于彼此以直角延伸。两个侧面56与彼此相交处的切割边缘相对于枢转轴线S径向地定向。第一支承元件40以可定位的方式布置在一个侧缘56中，且第二支承元件42以可定位的方式布置在另一侧缘56中，根据示例，所述支承元件能够经由可锁紧的螺纹连接而定位。
各侧缘56在其自由端部边缘处具有固连凸缘57。两个固连凸缘57优选地在公共平面中延伸。至少一个保持夹具58可固连至固连凸缘，且例如旋紧。作为示例，各支承装置37、38具有保持夹具58，第三支承元件44以可定位的方式布置在该保持夹具58上。第三支承元件44可通过螺纹连接的帮助来调节且可布置在保持夹具58上，以便于能够锁紧在其期望的位置中，或者，如上所述，可以以被逆着预载元件的力弹性地预加载的方式可移动地安装。
保持夹具具有U形或V形设计。在示范实施例中，其具有平行于彼此地延伸的两个分支，该两个分支的自由端部被分配至紧固凸缘57。保持夹具58的两个分支59在与支撑部分32相对的侧面上通过连接部分60而相互连接。
在示范实施例中，第一调节轴线J1和第二调节轴线J2近似围住直角。在各情形中，第一调节轴线或第二调节轴线J1或J2与第三调节轴线J3之间的角度为例如135°。
至少一个保持元件，且根据示例，两个保持元件64额外地布置在第一支承装置37的保持夹具58上。保持元件64近似平行于保持夹具58的连接部分60在两个分支59之间延伸。第四支承元件50布置在一个保持元件64上，其中，固连是与其他支承元件40、42、44类似地实现的。支撑第四支承元件50的保持元件64根据示例布置在第一支承装置37的保持夹具58的背朝相同保持单元31的第二支承装置38的侧面上。根据示例提供的另一保持元件64在面朝第二支承装置38的侧面上布置在保持夹具58的相对侧面上。此外，可布置止动件65，其能够沿第四调节轴线J4调节。
在图6中高度示意地例示该布置。为了改善的清晰性，在此不例示保持夹具58，而仅例示两个保持元件64。根据示例的光学单元25具有环形凸缘66，该环形凸缘66部分地在两个保持元件64之间延伸。环形凸缘66因此可被由第四支承元件50且还由止动件65作用。光学单元25的轴向位置因此可沿第四调节单元J4或沿所讨论的光轴O1或O2调节和固定。止动件65可通过与支承元件50类似的螺纹连接而可被调节地保持在保持元件64上，且可例如通过锁紧螺母固定在其期望位置中，这也与支承元件40、42、44、50的情况一样。
第一支承装置37的第一支承元件40、第二支承元件42和第三支承元件44还可作用在环形凸缘66上。
在图5中以高度示意的方式例示轴11的借助于测量装置10的测量，其中，仅例示两个光学单元25。这两个光学单元25通过相关的保持单元31而相对于彼此定向，使得两个光轴O1、O2平行于彼此地延伸，且优选地与彼此对准而不偏移。此外，使两个光轴O1、O2围绕枢转轴线S枢转，使得它们相对于旋转轴线D以直角定向。
通过使光学单元25沿相应光轴O1、O2移位，远心区域T可围绕旋转轴线D布置。从光源26照射的光束在远心区域T中充分地平行于彼此，使得维度测量可在必要的精确度下进行。这还使得能够测量轴11上的平面表面12，该平面表面12相对于旋转轴线D基本上以直角定向。
由于在测量装置10中使用保持器件30，可使由光学单元25的不正确定向引起的测量误差最小化，设置该测量装置10以用于测量轴11和设在其上的平面表面12。光源26的光轴O1和接收器27的光轴O2可相对于彼此定向，且理想地可对准。此外，在光源26与接收器27之间在最低的远心偏差下近似中央地设置的远心区域T可围绕旋转轴线D或待通过光源26和/或接收器27沿相应光轴O1、O２的定位来测量的轴而布置。
本发明涉及用于光学测量装置10的保持器件30。保持器件30具有两个保持单元31，以用于测量装置10的两个优选地远心的光学单元25。各保持单元31具有第一支承装置37和第二支承装置38。两个支承装置37、38沿光学单元的光轴O1、O2的方向布置在距彼此一定距离处。通过三个支承元件40、42、44进行的用于相关光学单元25的三点支承提供在各支承装置37、38上。支承元件40、42、44中的至少两个可沿相应调节轴线J1、J2、J3定位。调节轴线J1、J2、J3相对于相应光轴O1、O2基本上以直角延伸。光学单元25因此可在由调节轴线J1、J2、J3跨过的平面中移位且可基于与彼此间隔两个支承装置37、38而倾斜或歪斜。所讨论的光轴O1、O2通过支承元件40、42、44沿调节轴线J1、J2、J3的相同调节而在两个支承装置37、38上以直角移位。

Claims (14)

1.一种用于光学测量装置(10)的保持器件(30)，
包括用于所述测量装置(15)的光学单元(25)的至少一个保持单元(31)，其中，所述保持单元(31)具有第一支承装置(37)和第二支承装置(38)，它们沿光轴(O1、O2)的方向布置在距彼此一定距离处，
其中，各支承装置(37、38)具有在第一支承位置(39)处的第一支承元件(40)、在第二支承位置(41)处的第二支承元件(42)、和在第三支承位置(43)处的第三支承元件(44)，
其中，所述第一支承元件(40)可沿第一调节轴线(J1)定位，且所述第二支承元件(42)可沿第二调节轴线(J2)定位，且其中，所述第一调节轴线(J1)和所述第二调节轴线(J2)相对于光轴(O1、O2)基本上以直角延伸；
其中所述保持器件(30)具有用于相应光学单元(25)的两个保持单元(31)，用于各光学单元(25)的两个保持单元(31)平行于相应光轴(O1、O2)地布置在距彼此一定距离处，所述两个保持单元(31)布置在公共的支撑部分(32)上，所述支撑部分(32)布置在主体(34)上，使得其可围绕枢转轴线(S)枢转且可固定在枢转位置中，所述支撑部分(32)被整体地形成而没有任何分离点和接缝；
其中所述支撑部分(32)在各个端部区域处具有棱柱形缺口(55)，所述棱柱形缺口(55)由两个侧缘(56)限定，这两个侧缘(56)相交边缘处与彼此相交，所述相交边缘相对于所述枢转轴线(S)径向地定向，沿相应调节轴线(J1,J2)相应支承装置(37、38)的第一支承元件(40)以可定位的方式布置在一个侧缘中，而相应的第二支承元件(42)以可定位的方式布置在另一侧缘(56)中。
2.根据权利要求1所述的保持器件，
其特征在于，所述第三支承元件(44)可沿第三调节轴线(J3)定位。
3.根据权利要求2所述的保持器件，
其特征在于，至少所述第一、第二、或第三调节轴线(J1、J2、J3)相对于所述光轴(O1、O2)基本上径向地定向。
4.根据权利要求1所述的保持器件，
其特征在于，至少所述第一或第二调节轴线(J1、J2)相对于所述光轴(O1、O2)基本上径向地定向。
5.根据权利要求1-3中的任一项所述的保持器件，
其特征在于，支承装置(37、38)的第一调节轴线(J1)和第二调节轴线(J2)布置在公共的调节平面(E1、E2)中。
6.根据权利要求5所述的保持器件，
其特征在于，保持单元(31)的两个调节平面(E1、E2)平行于彼此地定向。
7.根据权利要求1-3中的任一项所述的保持器件，
其特征在于，各保持单元(31)具有在第四支承位置(49)处的第四支承元件(50)，所述第四支承元件(50)可沿第四调节轴线(J4)定位，所述第四调节轴线(J4)基本上平行于所述光轴(O1、O2)地定向。
8.根据权利要求1-3中的任一项所述的保持器件，
其特征在于，至少一个光学单元(25)为远心的且具有沿所述光轴(O1、O2)的一部分的远心区域(T)。
9.根据权利要求7所述的保持器件，
其特征在于，至少一个光学单元(25)为远心的且具有沿所述光轴(O1、O2)的一部分的远心区域(T)。
10.根据权利要求1-3中的任一项所述的保持器件，
其特征在于，所述枢转轴线(S)相对于所述光轴(O1、O2)基本上以直角定向且可固定在枢转位置中。
11.根据权利要求10所述的保持器件，
其特征在于，至少一个光学单元(25)为远心的且具有沿所述光轴(O1、O2)的一部分的远心区域(T)，并且所述枢转轴线(S)穿过该至少一个远心区域(T)。
12.根据权利要求10所述的保持器件，
其特征在于，所述枢转轴线(S)沿所述光轴(O1、O2)的方向布置在距所述第一调节轴线(J1)和所述第二调节轴线(J2)一定距离处。
13.根据权利要求1所述的保持器件，
其特征在于，所述主体(34)以被可移动地引导的方式安装在引导装置(15)上。
14.用于使用根据前述权利要求中的任一项的在光学测量装置(10)中的保持器件测量物体(11)上的平面表面(12)的方法，所述光学测量装置(10)包括至少一个光学单元(25)，其设置以用于测量所述物体(11)上的所述平面表面(12)。
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Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US10409023B2 (en) 2016-09-07 2019-09-10 Sensors Unlimited, Inc. Laser alignment systems
JP1589602S (zh) * 2017-03-30 2020-10-26
DE102017113695B3 (de) * 2017-06-21 2018-12-27 Carl Mahr Holding Gmbh Wippenloses Messsystem für ein Messgerät
DE102017113699B3 (de) 2017-06-21 2018-06-28 Carl Mahr Holding Gmbh Messsystem mit einer Kugelführungseinheit für ein Messgerät
CN113866928B (zh) * 2020-06-12 2024-03-15 深圳市大族数控科技股份有限公司 用于光学器件的调节架及其调节方法
CN112678484B (zh) * 2020-12-25 2021-09-07 马拉兹(江苏)电梯导轨有限公司 电梯导轨双向翻转装置
JP7456051B1 (ja) 2023-07-18 2024-03-26 Dmg森精機株式会社 工作機械

Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4298281A (en) * 1979-07-16 1981-11-03 Libbey-Owens-Ford Company Laser system for aligning conveyor rolls
US5956190A (en) * 1998-01-09 1999-09-21 Sieg; Brian T. Astronomy guide scope mounting system
DE19927872A1 (de) * 1999-04-01 2000-10-26 Werth Messtechnik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Messen eines Objektes bzw. dessen Struktur, insbesondere solcher mit Vorsprüngen wie Zähnen eines Fräswerkzeuges
US6425188B1 (en) * 1997-07-11 2002-07-30 Marposs Societa' Per Azioni Optoelectric apparatus for the dimension and/or shape checking of pieces with complex tridimensional shape
CN102566036A (zh) * 2012-02-29 2012-07-11 苏州信达光电科技有限公司 多功能寻标器

Family Cites Families (27)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS6242678A (ja) * 1985-08-09 1987-02-24 Olympus Optical Co Ltd 固体撮像装置
DE3531156C1 (de) * 1985-08-31 1986-09-04 Deutsche Forschungs- und Versuchsanstalt für Luft- und Raumfahrt e.V., 5000 Köln Verfahren zum Ausrichten der Achse eines zweiten Halters in bezug auf die Achse eines ersten Halters bei einer Pruef- oder Bearbeitungsmaschine
DE3630702A1 (de) * 1986-09-09 1988-03-17 Ulrich Wagensommer Vorrichtung zum vermessen eines werkstueckes
JPH0438282Y2 (zh) * 1987-02-27 1992-09-08
JPH0497307A (ja) * 1990-08-15 1992-03-30 Toshiba Corp レーザ発振管支持装置
DE4030994A1 (de) * 1990-10-01 1992-04-02 Hoefler Messgeraetebau Gmbh Dr Pruefeinrichtung fuer rotationssymmetrische werkstuecke
US5457577A (en) * 1992-01-22 1995-10-10 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Army Quick-set precision optical holder
US5363559A (en) * 1992-11-16 1994-11-15 Burris Company Telescope inner tube locking device and method
IT1272101B (it) * 1993-03-17 1997-06-11 Fondazione Centro S Romanello Dispositivo di sostegno e posizionamento per filtri ottici
DE19840801B4 (de) * 1998-09-08 2005-09-15 Walter Maschinenbau Gmbh Werkzeugmaschine mit automatischer Prozesssteuerung/Überwachung und Verfahren zum Bearbeiten
WO2002044785A2 (en) 2000-11-28 2002-06-06 Honda Giken Kogyo Kabushiki Kaisha Method of and apparatus for adjusting optical component, and optical unit
DE10152038C5 (de) 2001-10-19 2008-06-26 Hommel-Etamic Gmbh Verfahren zur optoelektronischen Bestimmung von Gewindeparametern
DE10319947B4 (de) * 2003-05-02 2010-06-02 Hommel-Etamic Gmbh Einrichtung zur Messung der Umfangsgestalt rotationssymmetrischer Werkstücke
JP5622068B2 (ja) * 2005-11-15 2014-11-12 株式会社ニコン 面位置検出装置、露光装置、およびデバイスの製造方法
KR101780574B1 (ko) * 2006-01-19 2017-10-10 가부시키가이샤 니콘 이동체 구동 방법 및 이동체 구동 시스템, 패턴 형성 방법 및 패턴 형성 장치, 노광 방법 및 노광 장치, 그리고 디바이스 제조 방법
JP4512627B2 (ja) * 2007-10-03 2010-07-28 キヤノン株式会社 測定装置、露光装置及びデバイス製造方法
US8550444B2 (en) * 2007-10-23 2013-10-08 Gii Acquisition, Llc Method and system for centering and aligning manufactured parts of various sizes at an optical measurement station
DE102008013308A1 (de) * 2008-03-08 2009-09-10 Carl Mahr Holding Gmbh Erweiterbare Werkzeugmessmaschine
US8004694B2 (en) * 2009-03-27 2011-08-23 Gll Acquistion LLC System for indirectly measuring a geometric dimension related to an opening in an apertured exterior surface of a part based on direct measurements of the part when fixtured at a measurement station
DE102010008416A1 (de) * 2010-02-18 2011-08-18 Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V., 80686 Vorrichtung und Verfahren zur optischen Vermessung eines stift- oder stabförmigen Körpers
DE102010054742A1 (de) * 2010-12-16 2012-06-21 E. Zoller GmbH & Co. KG Einstell- und Messgeräte Einstell- und/oder Messgerätevorrichtung
US8528140B1 (en) * 2011-07-01 2013-09-10 McCann Industries, LLC Adjustable scope mount
US9354437B2 (en) * 2012-02-29 2016-05-31 Suzhou Synta Optical Technology Co., Ltd. Object finder mounting apparatus, systems for viewing objects and methods for using same
DE102012104008B3 (de) 2012-05-08 2013-11-07 Jenoptik Industrial Metrology Germany Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Messen von Form-, Lage- und Dimensionsmerkmalen an Maschinenelementen
JP6029394B2 (ja) * 2012-09-11 2016-11-24 株式会社キーエンス 形状測定装置
DE102013201136B4 (de) * 2013-01-24 2023-01-19 Siemens Healthcare Gmbh Vorhersage eines voraussichtlichen Kontrastmittelverlaufs
KR101450672B1 (ko) * 2013-07-22 2014-10-22 이기원 천체 망원경의 다용도 뷰 파인더

Patent Citations (5)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4298281A (en) * 1979-07-16 1981-11-03 Libbey-Owens-Ford Company Laser system for aligning conveyor rolls
US6425188B1 (en) * 1997-07-11 2002-07-30 Marposs Societa' Per Azioni Optoelectric apparatus for the dimension and/or shape checking of pieces with complex tridimensional shape
US5956190A (en) * 1998-01-09 1999-09-21 Sieg; Brian T. Astronomy guide scope mounting system
DE19927872A1 (de) * 1999-04-01 2000-10-26 Werth Messtechnik Gmbh Vorrichtung und Verfahren zum Messen eines Objektes bzw. dessen Struktur, insbesondere solcher mit Vorsprüngen wie Zähnen eines Fräswerkzeuges
CN102566036A (zh) * 2012-02-29 2012-07-11 苏州信达光电科技有限公司 多功能寻标器

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Publication number Publication date
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