JP6224513B2 - 太陽電池素子の製造方法 - Google Patents
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Description
図1〜3に示すように、太陽電池素子1は半導体基板2からなり、半導体基板2は主として光が入射する第1主面である受光面2aと、その反対側の第2主面である裏面2bを有する。
2p上に設けられて、第1半導体部2pと逆の導電型(例えばn型)を示す第2半導体部2nとを有する。半導体基板2には、例えば、ボロンあるいはガリウムなどの所定のドーパント元素を有して一導電型(例えばp型)を有する単結晶または多結晶のシリコン基板が用いられる。また、半導体基板2の厚みは、例えば100〜250μm程度である。また、半導体基板2の平面形状は、特に限定されるものではないが、例えば、1辺の長さが150〜180mm程度の長方形状(正方形状を含む)などの四角形状などであればよい。
の受光面2a側に設けられている。第1半導体部2pがp型の導電型を有する場合であれ
ば、第2半導体部2nは、n型の導電型を有するように形成される。この場合、n型の導電型を有する第2半導体部2nを形成する場合は、半導体基板2の受光面2a側にリン等のドーパント元素を拡散させることによって形成できる。
リットおよび有機ビヒクルなどからなる導電性ペーストを、スクリーン印刷等によって所望の形状に塗布した後、焼成することによって形成できる。
きる。さらに、バスバー電極7を帯状にする必要が無くなり、銀の使用量を削減できる。
る。さらに、反射防止膜6は、受光面2a表面におけるパッシベーション膜も兼ねる。パッシベーション膜は、例えば、水素によって結晶欠陥の不活性化を行うことによって、少数キャリアの再結合を低減する効果を有するものである。
次に、太陽電池素子1の製造方法について説明する。
。また、CVD装置は、成膜室と、この成膜室内に設けられてプラズマを発生させるための第1電極および複数の第2電極と、を有する。このようなCVD装置を用いて、半導体基板2の受光面2aおよび裏面2bのそれぞれに成膜を行う。ここで、例えば、第1電極および第2電極のうち一方を接地した状態で、接地していない第1電極および第2電極の一方に高周波電力を印加して、半導体基板2と第2電極との間にプラズマを発生させるようにする。
(1)配置工程:半導体基板2の周縁部を第1電極に電気的に接続して、互いに隣接する2つの第2電極の間に、半導体基板2の受光面2aと一方の前記第2電極との間隔(第1距離S)が、半導体基板2の裏面2bと他方の前記第2電極との間隔(第2距離T)よりも短くなるように、半導体基板2を配置する。
(2)成膜工程:成膜室内に原料ガスを導入し、半導体基板2の両主面の上にプラズマを発生させて、半導体基板2の受光面2aに反射防止膜を形成すると同時に、半導体基板2の裏面2bにパッシベーション膜を形成する。
ドーパントとしてボロンなどがドープされたp型のシリコン基板であればよい。このシリコン基板は、シリコンインゴットから切り出された単結晶シリコン基板または多結晶シリコン基板からなるシリコン基板を用いればよく、比抵抗は0.2〜2.0Ω・cm程度が好適である。また、シリコン基板の大きさは、例えば一辺140〜180mm程度の矩形(正方形を含む)であり、その厚みは100〜250μm程度にすればよい。半導体基板2が単結晶シリコン基板の場合は、例えばFZ(フローティングゾーン)法またはCZ(チョクラルスキー)法などによって形成される。半導体基板2が多結晶シリコン基板の場合は、例えば鋳造法によって多結晶シリコンのインゴットを作製し、このインゴットを例えば所定の厚みにスライスして、半導体基板2を作製する。なお、以下では、p型の多結晶シリコンを用いた例によって説明する。
型の第2半導体部2nを形成する。このような第2半導体部2nは、n型不純物(例えばリン)を受光面2a側の表層内に拡散させることによって形成される。このような拡散の方法として、例えば、ペースト状態にした五酸化二リン(P2O5)を半導体基板2の表面に塗布して熱拡散させる塗布熱拡散法、ガス状態にしたオキシ塩化リン(POCl3)を拡散源とした気相熱拡散法、または、リンイオンを直接拡散させるイオン打ち込み法などが挙げられる。この第2半導体部2nは、例えば0.1〜1μm程度の厚みで、40〜150Ω/□程度のシート抵抗に形成される。また、第2半導体部2n形成時に、裏面2b側にも逆導電型層が形成された場合には、裏面2b側のみをエッチングによって除去し
て、p型の導電型領域を露出させる。例えば、フッ硝酸溶液に半導体基板2の裏面2b側のみを浸して裏面2b側の第2半導体部2nを除去する。また、予め裏面2b側に酸化シリコンなどからなる拡散防止用マスクを形成しておき、気相熱拡散法等によって第2半導体部2nを形成して、続いて拡散マスクを除去するプロセスによっても、同様の構造を形成することが可能である。
おりである。まずヒーター17によってサセプタ19に保持されている半導体基板2の温度を370〜480℃程度に昇温する。半導体基板2の温度が前記範囲内であれば、受光面2a上に成膜した反射防止膜6と裏面2b上に成膜した裏面パッシベーション膜11のパッシベーション効果が十分得られる。その後、半導体基板2の温度を維持したまま、真空ポンプ16によって本体13の内部を0.1〜1Pa程度に減圧する。その後、ガス供給管14からシラン(SiH4)ガスとアンモニア(NH3)ガスとの混合ガスを窒素(N2)ガスで希釈しながら、本体13の内部に導入して、圧力制御バルブ21によって本体13の内部を10〜100Pa程度に維持する。その後、本体13の内部の圧力が安定したら、高周波電源20をオンして本体13内部のガスをグロー放電分解でプラズマ化させて、受光面2aと裏面2bの両面同時に窒化シリコン膜を形成する。ここで、各ガスの流量および高周波電源20の出力等は、形成された窒化シリコン膜の屈折率などを考慮して最適に決定すればよい。例えば、シランガスの流量を2000SCCM程度、アンモニアガスの流量を9000SCCM程度、窒素ガスの流量を2000SCCM程度とする。なお、SCCMとはStandard Cubic Centimeter per Minuteの略である。また、高周波電源20の出力を例えば3〜6kW程度とし、周波数は250kHzまたは13.56MHzとする。
、銀(または銅もしくは銀銅合金)などの導電成分と、ガラスフリットと、有機ビヒクルとを含有する導電性ペーストを用いて作製される。この導電性ペースト22aは、銀(または銅もしくは銀銅合金)を主成分として、有機ビヒクルは、例えばバインダとして使用される樹脂成分を有機溶媒に溶解して得られる。バインダとしては、エチルセルロース等のセルロース系樹脂のほか、アクリル樹脂またはアルキッド樹脂等が使用される。また、有機溶媒としては、例えばターピネオールまたはジエチレングリコールモノブチルエーテル等が使用される。有機ビヒクルの含有質量は、銀などの導電成分の合計質量(100質量部)に対して、6質量部以上20質量部以下であることが好ましい。また、ガラスフリットの成分は、ガラス材料として例えばSiO2−Bi2O3−PbO系またはAl2O3−SiO2−PbO系などの鉛系ガラスを用いることができる他、B2O3−SiO2−Bi2O3系またはB2O3−SiO2−ZnO系などの非鉛系ガラスも用いることができる。ガラスフリットの含有質量は、銀などの導電成分の合計質量(100質量部)に対して、2質量部以上13量部以下であることが好ましい。この導電性ペースト22aは、スクリーン印刷法などを用いて半導体基板2の受光面2aの反射防止膜6上に塗布し、その後、乾燥する。
2:半導体基板
2a:受光面
2b:裏面
2p:第1半導体部
2n:第2半導体部
3:接続電極
4:集電電極
5:補助集電電極
6:パッシベーション膜
7:バスバー電極
7a:島状部
7b:線状部
8:第1フィンガー電極
9:補助バスバー電極
10:第2フィンガー電極
11:裏面パッシベーション膜
12:BSF層
13:本体
14:ガス供給管
15:排気管
16:真空ポンプ
17:ヒーター
18:カソード電極
19:サセプタ(アノード電極)
20:高周波電源
21:圧力制御バルブ
22a、22b:貫通孔
23a、23b、23c:導電性ペースト
AP:PECVD装置
S:第1距離
T:第2距離
Claims (6)
- 成膜室と、該成膜室内に設けられてプラズマを発生させる第1電極および複数の第2電極と、を有するCVD装置を用いて、半導体基板の第1主面および該第1主面とは反対側に位置する第2主面のそれぞれに成膜を行う太陽電池素子の製造方法であって、
前記半導体基板の周縁部を前記第1電極に電気的に接続するとともに、互いに隣接する2つの前記第2電極の間に、前記半導体基板の前記第1主面と一方の前記第2電極との間隔が、前記半導体基板の前記第2主面と他方の前記第2電極との間隔よりも短くなるように、前記半導体基板を配置する配置工程と、
前記成膜室内に原料ガスを導入し、前記半導体基板の両主面の上にプラズマを発生させて、前記半導体基板の前記第1主面に反射防止膜を、前記半導体基板の前記第2主面にパッシベーション膜を、それぞれ形成する成膜工程と、
を有する太陽電池素子の製造方法。 - 前記第2電極として板状体を用い、前記配置工程において、前記第2電極の両主面と前記半導体基板の両主面とが平行になるように前記半導体基板を配置する請求項1に記載の太陽電池素子の製造方法。
- 前記配置工程において、前記半導体基板の両主面が鉛直方向に対して平行になるように前記半導体基板を配置する請求項1または2に記載の太陽電池素子の製造方法。
- 前記成膜工程において、前記原料ガスとして窒素およびシリコンを含むガスを用いる請求項1乃至3のいずれかに記載の太陽電池素子の製造方法。
- 前記第2電極として、ホロー放電が生じる貫通孔および凹部の少なくとも一方を有する板状体を用いる請求項2乃至4のいずれかに記載の太陽電池素子の製造方法。
- 前記第2電極として、中空の板状体を用いる請求項2乃至5のいずれかに記載の太陽電池素子の製造方法。
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