JP6209129B2 - 半導体光素子 - Google Patents
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Description
請求項2に記載の発明は、請求項1の半導体光素子において、前記上部クラッド層の厚さが1μmよりも薄いことを特徴とする。
2、52、102 基板
3、103 下部SCH層
4、104 活性層
5、105 上部SCH層
6、53、106 InP層
7、8、57、58、107、108 埋め込みInP層
9a、9b、59a、59b、109a、109b コンタクト層
10a、10b、60a、60b、110a、110b 電極
11 回折格子
31、32 電界分布
54 コア層
Claims (6)
- 半導体基板と、前記半導体基板の上に形成された活性層と、上部クラッド層と、前記活性層の両側に埋込み層とを備えた導波路構造が形成され、
前記埋込み層の一方にp型の不純物ドーピングが施され、前記埋込み層の他方にn型の不純物ドーピングが施され、前記一方の埋め込み層および前記他方の埋め込み層の間で、前記活性層に横方向に電流注入を行う構造が形成されており、電流注入によるレーザ発振を可能とする反射器を備えている半導体光素子において、
前記活性層の前記横方向の幅は、前記半導体光素子が発振動作をするときに、発振モードが単一導波モードとなり、前記単一導波モードが存在できる範囲の値であって、かつ、p型の不純物ドーピングが施された前記一方の埋め込み層での光閉じ込めが最大となる幅よりも狭く、前記導波路構造の導波路の等価屈折率の値が、前記半導体基板の屈折率と概ね同一であること
を特徴とする半導体光素子。 - 前記上部クラッド層の厚さが1μmよりも薄いことを特徴とする請求項1に記載の半導体光素子。
- 前記反射器は、前記活性層の上方に形成された表面回折格子であることを特徴とする請求項1または2に記載の半導体光素子。
- 前記等価屈折率は、前記半導体基板の屈折率の100%から100.3%の範囲にあることを特徴とする請求項1乃至3いずれか一項に記載の半導体光素子。
- 前記半導体基板は、半絶縁性InP基板であって、前記上部クラッド層および前記埋込み層はInPで構成され、前記活性層はInGaAsPまたはInGaAlAsで構成されることを特徴とする請求項1乃至4いずれか一項に記載の半導体光素子。
- 請求項1乃至5いずれか一項に記載の前記半導体光素子における前記導波路構造を有することを特徴とする分布帰還型半導体レーザ。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014102585A JP6209129B2 (ja) | 2014-05-16 | 2014-05-16 | 半導体光素子 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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JP2014102585A JP6209129B2 (ja) | 2014-05-16 | 2014-05-16 | 半導体光素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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JP2015220322A JP2015220322A (ja) | 2015-12-07 |
JP6209129B2 true JP6209129B2 (ja) | 2017-10-04 |
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ID=54779473
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2014102585A Active JP6209129B2 (ja) | 2014-05-16 | 2014-05-16 | 半導体光素子 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6209129B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016171173A (ja) * | 2015-03-12 | 2016-09-23 | 日本電信電話株式会社 | 半導体光素子 |
Families Citing this family (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6510391B2 (ja) * | 2015-12-09 | 2019-05-08 | 日本電信電話株式会社 | 半導体レーザ |
JP2018006440A (ja) * | 2016-06-29 | 2018-01-11 | 日本電信電話株式会社 | 半導体レーザ |
JP2018006590A (ja) * | 2016-07-04 | 2018-01-11 | 日本電信電話株式会社 | 光半導体素子 |
JP6996183B2 (ja) * | 2017-09-14 | 2022-01-17 | 日本電信電話株式会社 | 半導体光素子 |
JP7147152B2 (ja) * | 2017-11-22 | 2022-10-05 | 日本電信電話株式会社 | 半導体光素子 |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US5739543A (en) * | 1993-11-24 | 1998-04-14 | The Furukawa Electric Co., Ltd. | Optical semiconductive device with inplanar compressive strain |
JP2012028395A (ja) * | 2010-07-20 | 2012-02-09 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体レーザ素子 |
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2014
- 2014-05-16 JP JP2014102585A patent/JP6209129B2/ja active Active
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Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2016171173A (ja) * | 2015-03-12 | 2016-09-23 | 日本電信電話株式会社 | 半導体光素子 |
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Publication number | Publication date |
---|---|
JP2015220322A (ja) | 2015-12-07 |
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A621 | Written request for application examination |
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