JP6208956B2 - 環状凸部除去装置 - Google Patents
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Description
22 保持手段
23 チャックテーブル
24 フレーム固定部
51、81 スクレーパー手段
52 昇降移動部
67、87 直動駆動部
73、93 回転駆動部
74、94 スクレーパー部材
96 除去手段
97 保持部
101 ウェーハユニット
102 ウェーハの表面
103 ウェーハの裏面
104 円形凹部
105 環状凸部
106 粘着テープ
107 環状フレーム
108 分断溝
Claims (2)
- 裏面に形成された円形凹部と該円形凹部を囲繞する環状凸部とを有し、該円形凹部と該環状凸部との境界部分に分断溝が形成されたウェーハと、ウェーハの裏面に貼着された粘着テープと、該粘着テープの外周部分が装着された環状フレームとから構成されるウェーハユニットから該環状凸部を除去する環状凸部除去装置であって、
該ウェーハユニットを保持する保持手段と、該保持手段に保持された該ウェーハユニットから該環状凸部と該粘着テープとの界面に進入し該粘着テープから該環状凸部を分離して、該ウェーハユニットから該環状凸部を除去するスクレーパー手段と、から構成され、
該保持手段は、該円形凹部より僅かに小さい直径の保持面を有し該円形凹部を吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルの外周側に配設され該環状フレームを固定するフレーム固定部と、該チャックテーブルと該フレーム固定部とを鉛直方向に相対移動させる相対移動部と、を備え、
該スクレーパー手段は、該環状凸部と該粘着テープとの界面に進入し該環状凸部の下面から該粘着テープを分離するための3つ以上の円盤形状のスクレーパー部材と、複数の該スクレーパー部材を同時に待機位置と互いに半径方向に接近しウェーハの該環状凸部に作用する作動位置との間で移動させる直動移動部と、該作動位置に位置つけられた複数の該スクレーパー部材を同時にウェーハの外周に沿って回転させる回転駆動部と、該複数のスクレーパー部材を鉛直方向及び左右方向に移動させる昇降移動部と、
を備えることを特徴とする環状凸部除去装置。 - 裏面に形成された円形凹部と該円形凹部を囲繞する環状凸部とを有し、該円形凹部と該環状凸部との境界部分に分断溝が形成されたウェーハと、ウェーハの裏面に貼着された粘着テープと、該粘着テープの外周部分が装着された環状フレームとから構成されるウェーハユニットから該環状凸部を除去する環状凸部除去装置であって、
該ウェーハユニットを保持する保持手段と、該保持手段に保持された該ウェーハユニットから該環状凸部と該粘着テープとの界面に進入し該環状凸部の下面から該粘着テープを分離するスクレーパー手段と、該スクレーパー手段により該粘着テープから分離した該環状凸部を保持して該ウェーハユニットから除去する除去手段と、から構成され、
該保持手段は、該円形凹部より僅かに小さい直径の保持面を有し該円形凹部を吸引保持するチャックテーブルと、該チャックテーブルの外周側に配設され該環状フレームを固定するフレーム固定部と、該チャックテーブルと該フレーム固定部とを鉛直方向に相対移動させる相対移動部と、を備え、
該スクレーパー手段は、該環状凸部と該粘着テープとの界面に進入し該環状凸部の下面から該粘着テープを分離するための円盤形状のスクレーパー部材と、該スクレーパー部材を待機位置と半径方向に接近しウェーハの該環状凸部に作用する作動位置との間で移動させる直動移動部と、該作動位置に位置つけられた該スクレーパー部材をウェーハの外周に沿って回転させる回転駆動部とを少なくとも備え、
該除去手段は、該スクレーパー手段により該粘着テープから分離された該環状凸部を保持する保持部と、該保持部を昇降し該粘着テープ上から外部へ移動させる昇降移動部と、
を備えることを特徴とする環状凸部除去装置。
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