JP6198905B2 - 蓄電装置の電極 - Google Patents

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Description

本発明は、蓄電装置とその電極に関する。
なお、本明細書において、蓄電装置には、蓄電機能を有する素子及び蓄電機能を有する
装置全般を含む。
近年、リチウムイオン二次電池、リチウムイオンキャパシタ及び空気電池などの蓄電装
置の開発が盛んに行われている。また、そのような蓄電装置を冷蔵庫(特許文献1参照)
、エアコンディショナー(特許文献2参照)、室内照明装置(特許文献3参照)、電子レ
ンジ(特許文献4参照)等の各種電気機器に用いることも提案されている。
蓄電装置用の電極は、例えば、集電体の一表面に活物質を形成することにより作製され
る。リチウムを吸蔵する活物質としては、例えば炭素またはシリコンなど、キャリアとな
るイオンの吸蔵と放出が可能な材料が用いられる。特に、シリコンは、炭素に比べて理論
容量が大きく、蓄電装置の大容量化が可能であるため、注目されている。
例えば、非特許文献1には、正極にウィスカー状の単結晶シリコンを用いたリチウムイ
オン二次電池が開示されている。非特許文献1によれば、ウィスカー状の単結晶シリコン
を用いることにより、リチウムイオンの吸蔵と放出によってシリコンの体積が変化しても
、電極の構造破壊を引き起こしにくくなり、充放電特性を向上させることができるとされ
ている。
米国特許出願公開第2009/0045680号明細書 米国特許第6134902号明細書 米国特許第4764853号明細書 米国特許出願公開第2007/0295718号明細書
CANDACE K. CHAN et al.、「High−performance lithium battery anodes using silicon nanowires」、nature nanotechnology、United Kingdom、Nature Publishing Group、2007年12月16日、Vol.3、p.31−35
本発明の一態様は、ウィスカー状の活物質を用いた場合に、活物質と活物質の被形成面
の間の密着性を高くすることを課題とする。
本発明の一態様は、充放電サイクル特性が高い蓄電装置を提供することを課題とする。
本発明の一態様は、充放電容量の高い蓄電装置を提供することを課題とする。
本発明の一態様である電極は、少なくとも外殻が非晶質構造(例えばアモルファスシリ
コン)であるウィスカー状の物質を蓄電装置の活物質として用いる。ウィスカー状の物質
の芯は結晶性(例えば結晶シリコン)としてもよい。なお、前記活物質は、一部のみがウ
ィスカー状であってもよい。また、この活物質中には一部に結晶が含まれていてもよい。
なお、前記構成において、ウィスカー状の活物質は、一部に結晶性を有していてもよい
。また、ウィスカー状の活物質の90%以上が非晶質構造であることが好ましい。
蓄電装置の活物質としてウィスカー状の物質を用いる場合、充電を繰り返し行うために
は、活物質が脱離せぬように、ウィスカー状の物質と被形成面の間の密着性を高くするべ
きである。
本発明の一態様は、集電体または金属層と、該集電体または該金属層の金属元素と活物
質が反応して形成された前記集電体または前記金属層上の混合層と、該混合層上のウィス
カー状の活物質を有する層と、を有し、前記混合層の厚さが50nm以下であることを特
徴とする蓄電装置である。なお、該混合層は結晶性を有しないことが好ましい。
なお、前記混合層は50nm以下と薄いが、溶接の例によれば混合層が厚いほど密着性
は向上するものと推定される。しかし、後の実施例にて示すように、混合層(例えば、シ
リサイド層)が50nm以下であり、且つ薄いほど活物質の密着性が高く、蓄電装置の充
放電サイクル特性が向上するのである。なお、前記混合層は50nm以下であることが好
ましいが、100nm以下であれば、本発明の一態様の技術的範囲に含まれるものとする
本発明の一態様は、集電体と、該集電体上に設けられた活物質層と、を有し、前記活物
質層は、複数のウィスカー状の活物質体を有し、前記複数のウィスカー状の活物質体はそ
れぞれ、少なくとも芯と、該芯を覆って設けられた外殻と、を有し、前記外殻は非晶質構
造であり、前記集電体と前記活物質体の前記芯との間は非晶質構造であることを特徴とす
る蓄電装置の電極である。
なお、前記構成において、前記活物質は、一部に結晶性を有してもよい。また、好まし
くは、前記活物質の90%以上が非晶質構造であるとよい。
前記構成において、前記活物質層の材料としては例えばシリコンを挙げることができる
前記構成において、前記活物質体の長軸方向の長さは、0.5μm以上1000μm以
下とするとよい。
前記構成において、前記活物質体の前記芯の断面における幅は、50nm以上1000
0nm以下であるとよい。
前記構成において、前記集電体及び前記金属層の材料としては、例えばチタンを挙げる
ことができる。
また、本発明の一態様は、集電体または金属層上に、堆積性ガスを加熱して行う減圧C
VD(LPCVD:Low Pressure Chemical Vapor Dep
osition)法により、少なくとも一部がウィスカー状である活物質層を形成する蓄
電装置の作製方法である。
本発明の一態様である蓄電装置の電極は、集電体と活物質層の密着性が高く、キャリア
となるイオンの吸蔵と放出に伴って活物質層の体積が変化しても、電極の構造破壊を引き
起こしにくく、充放電サイクル特性を高くすることができる。
また、本発明の一態様である蓄電装置の電極は、複数のウィスカー状の活物質体を有し
、該活物質体の芯が例えば結晶シリコンであるため、導電性が高く、蓄電装置の充放電容
量を高くすることができる。
本発明の一態様である蓄電装置の電極表面を説明するための断面図。 本発明の一態様である蓄電装置の電極表面を説明するための断面図。 実施例の電極表面のSEM像。 実施例の電極表面のSTEM像。 実施例の電極表面のSTEM像。 本発明の一態様である蓄電装置の構造を示す斜視図。 比較例の電極表面のSEM像。 比較例の電極表面のSTEM像。 (A)実施例の電極表面と(B)比較例の電極表面のSEM像。 (A)実施例の電極表面と(B)比較例の電極表面のSTEM像。 実施例電池と比較例電池の充放電サイクル特性を比較する図。 実施例の電極と比較例の電極の密着性試験後の写真。 本発明の一態様である蓄電装置の例を示す図。 本発明の一態様である蓄電装置の応用例を示す図。 ウィスカー状の活物質体の形成初期を示すSEM像。 図15のラマンスペクトル。
本発明の実施の形態の一例について、図面を参照して以下に説明する。但し、本発明は
以下の説明に限定されず、本発明の趣旨及びその範囲から逸脱することなくその形態及び
詳細を様々に変更し得ることは当業者であれば容易に理解される。従って、本発明は以下
に示す実施の形態の記載内容に限定して解釈されるものではないとする。なお、説明中に
図面を参照するにあたり、同じものを指す符号は異なる図面間でも共通して用いる場合が
ある。また、同様のものを指す際には同じハッチパターンを使用し、特に符号を付さない
場合がある。
本実施の形態では、本発明の一態様である電極とその作製方法について図面を参照して
説明する。
図2は、本発明の一態様である電極の表面の一部の断面の模式図を示す。図2に示す電
極は、集電体101と、集電体101上に設けられた活物質層103と、を有する。
活物質層103は、集電体101に接して設けられた領域103aと、領域103bと
、を有する。領域103bは、領域103a上に設けられており、複数のウィスカー状の
活物質体を有する。領域103bに設けられる複数のウィスカー状の活物質体は、芯10
5と、外殻107と、を有する。
なお、芯105は、芯105a、芯105b及び芯105cの総称である。また、外殻
107は、外殻107a、外殻107b及び外殻107cの総称である。
なお、領域103aと領域103bの界面は明確ではない。このため、領域103bが
有する複数のウィスカー状の活物質体の間に形成される谷のうち最も深い谷の底を通り、
且つ集電体101の表面と平行な面を、領域103aと領域103bの界面として定義す
る。
集電体101は、電極の集電体として機能し、箔状、板状または網状の導電性部材であ
る。
集電体101の材料は、導電性材料であればよいが、白金、アルミニウム、銅またはチ
タンなどの導電性の高い金属元素を用いることが好ましい。また、集電体101の材料と
しては、シリコン、チタン、ネオジム、スカンジウムまたはモリブデンなどの耐熱性を向
上させる元素が添加されたアルミニウム合金を用いてもよい。
または、活物質層103がシリコンにより形成されている場合には、集電体101の材
料として、シリコンと反応してシリサイドを形成する金属元素を用いてもよい。シリコン
と反応してシリサイドを形成する金属元素としては、ジルコニウム、チタン、ハフニウム
、バナジウム、ニオブ、タンタル、クロム、モリブデン、タングステン、コバルトまたは
ニッケルなどが挙げられる。
なお、集電体101の表面に薄い混合層が設けられる場合には、混合層としてシリサイ
ドが形成されるように、集電体101の少なくとも表面には、シリコンと反応してシリサ
イドを形成する前記金属元素を有する。
なお、活物質層103がシリコンにより形成されている場合には、リンまたはボロンな
どの一導電型を付与する不純物元素が添加されていてもよい。シリコンに、リンまたはボ
ロンなどの一導電型を付与する不純物元素が添加されると、その導電性が高くなるため、
電極全体としての導電性を高くすることができる。
活物質層103の領域103aは、集電体101を覆って設けられている。領域103
aの一部は非晶質構造であるが、領域103aには結晶構造が含まれていてもよい。また
は、領域103aが集電体101の材料を含んでいてもよい。
領域103aは一部が非晶質構造であるため、領域103aが結晶構造のみからなる場
合よりも集電体101と領域103aの密着性が向上する。これは、非晶質構造の活物質
層103のほうが、被形成面である集電体101の表面に対する順応性が高いためである
。換言すると、非晶質構造の活物質層103のほうが、集電体101の表面と整合するよ
うに形成されやすいためである。そのため、充放電による剥離を防止することができ、充
放電サイクル特性の向上した蓄電装置を提供することができる。
活物質層103の領域103bが有する複数のウィスカー状の活物質体は、ランダムに
分散して設けられている。
領域103bに設けられる複数のウィスカー状の活物質体が有する芯105の断面にお
ける幅は、10nm以上1000nm以下であればよく、好ましくは500nm以下であ
ればよい。
また、芯105の長さは特に限定されないが、0.5μm以上1000μm以下とすれ
ばよく、好ましくは2.5μm以上100μm以下であればよい。
領域103bに設けられる複数のウィスカー状の活物質体の断面における幅は、50n
m以上10000nm以下、好ましくは500nm以上3000nm以下である。また、
ウィスカー状の活物質体の長さは、0.5μm以上1000μm以下、好ましくは2.5
μm以上100μm以下である。
なお、芯105及び外殻107における「長さ」とは、芯105または外殻107の、
ウィスカー状の活物質体の頂点(または上面の中心)を通る軸に沿う方向の該頂点と領域
103aの間隔をいう。
なお、領域103bに設けられる複数のウィスカー状の活物質体は、柱状(円柱状また
は角柱状)であってもよいし、錐状(円錐状または角錐状、針状と呼んでもよい。)でも
よい。また、該活物質体の頂部は、湾曲していてもよい。
また、領域103bに設けられる複数のウィスカー状の活物質体の長手方向は、同一方
向に揃っていなくてよい。ウィスカー状の活物質体の長手方向が異なると、図2には、活
物質体の長手方向の断面形状(芯105cと外殻107cで示される部分の断面形状)の
みならず、活物質体の輪切りの断面形状(芯105aと外殻107aで示される部分の断
面形状)も示されることになる。ウィスカー状の活物質体の輪切りの断面には、場所によ
って、ウィスカー状の活物質体に芯105が観察される場合もあるし、観察されない場合
もある。また、ウィスカー状の活物質体の輪切りの断面は、ウィスカー状の活物質体が円
柱状または円錐状である場合には円形であるが、ウィスカー状の活物質体が角柱状または
角錐状である場合には多角形状である。ウィスカー状の活物質体の長手方向が不揃いであ
ると、一のウィスカー状の活物質体と他のウィスカー状の活物質体が絡まる場合があるた
め、充放電中にウィスカー状の活物質体の脱離(または剥離)が生じにくく好ましい。
なお、ウィスカー状の活物質体が領域103aから伸張している方向を長手方向と呼び
、長手方向に切断した断面形状を長手方向の断面形状と呼ぶ。また、ウィスカー状の活物
質体の長手方向とは略垂直な面において切断した断面形状を輪切り断面形状と呼ぶ。
領域103bに設けられている外殻107は、一部または全部が非晶質構造である。こ
のため、蓄電装置の電極に適用した場合に、結晶構造のみからなるウィスカー状の活物質
体を用いる場合よりも、キャリアとなるイオンの吸蔵と放出に伴って電極の体積の変化に
強く、電極の破壊を引き起こしにくい。
図1には、本発明の一態様であって、混合層を有する形態を示す。
混合層109は、活物質層103が一定温度以上の加熱を伴う方法(例えば、LPCV
D法)により形成される場合に、活物質層103の一部が集電体101中に拡散すること
で形成されるものである。そのため、前記加熱の温度が高いほど、混合層109は厚くな
る。ただし、混合層109の厚さは形成温度のみにより決定されるものではない。活物質
層103の材料がシリコンであり、集電体101の材料がチタンである場合と集電体10
1の材料がニッケルである場合を比較すると、加熱温度が同じであれば、集電体101の
材料がニッケルである場合のほうが混合層109は厚く形成される。ニッケルの方がチタ
ンよりもシリサイドを形成する温度が低いためである。
集電体101と活物質層103の密着性の観点からは、混合層109は薄くすることが
好ましいため、形成時の加熱温度は低いことが好ましい。しかしながら、ウィスカー状の
活物質体を形成する場合には、一定以上の温度を要する。
なお、集電体101と混合層109の間の境界、及び混合層109と活物質層103の
境界はSTEM(Scanning Transmission Electron M
icroscope)などを用いても明確に観察されない場合がある。
なお、本発明の一態様においては、活物質層が芯を含んでいなくてもよい。図1(A)
〜(C)は、本発明の一態様であって、図2とは異なる形態を示す。図1(A)は、混合
層が薄く、観察されない形態を示す。図1(B)は、集電体101上に混合層109が設
けられた形態を示す。図1(C)は、基板115上に金属層111が設けられた形態を示
す。
図1(A)において、活物質層103は、集電体101に接して設けられた領域103
aと、領域103bと、を有する。領域103bは、領域103a上に設けられており、
複数のウィスカー状の活物質体を有する。領域103aは、例えばアモルファスシリコン
により形成され、領域103bは、例えばウィスカー状のアモルファスシリコン層により
形成されている。
なお、図1(A)〜(C)においても、領域103aと領域103bの界面は明確では
ない。このため、領域103bが有する複数のウィスカー状の活物質体の間に形成される
谷のうち最も深い谷の底を通り、且つ集電体101の表面と平行な面を、領域103aと
領域103bの界面として定義する。
なお、図1(A)〜(C)において、領域103aが存在しないか、存在しても極めて
薄い場合がある。
領域103bは、複数のウィスカー状の活物質体113a、活物質体113b及び活物
質体113cを有する。
また、領域103aと領域103bは、それぞれの体積の90%以上がアモルファスで
あることが好ましいが、一部に結晶が含まれていてもよい。
領域103aは、集電体101の表面の大部分を覆っている。また、図1には、形状が
ひげ状のウィスカー状の活物質体113a、活物質体113b及び活物質体113cが図
示されているが、これに限定されず、円柱状、円錐状または針状でもよい。ひげ状のウィ
スカー状の活物質体113a、活物質体113b及び活物質体113cのひげ状の部分は
、湾曲していてもよい。該ひげ状の部分の幅は、0.05μm以上10μm以下、好まし
くは0.5μm以上3μm以下である。また、該ひげ状の部分の軸方向の長さhは、0.
5μm以上1000μm以下、好ましくは2.5μm以上100μm以下である。
なお、ひげ状の部分の軸方向の長さhは、ひげ状の部分の頂点または上面の中心を通る
軸における、頂点と領域103aの距離である。また、活物質層103の厚さは、領域1
03aの厚さと、領域103bの該ひげ状の部分の頂点から領域103aまでの垂線の長
さ(すなわち、高さ)の和となる。
なお、該ひげ状の部分が領域103aから伸張する方向を長手方向と呼び、長手方向に
沿った断面を長手断面という。また、長手方向が法線方向となる面を輪切り断面と呼ぶ。
例えば、図1(A)〜(C)におけるウィスカー状の活物質体113aは、輪切り断面を
示しており、ウィスカー状の活物質体113cは長手断面を示している。
本実施の形態に示す蓄電装置の電極は、活物質層に接して、幅が0.05μm以上10
μm以下、好ましくは0.5μm以上3μm以下であり、軸方向の長さhが、0.5μm
以上1000μm以下、好ましくは2.5μm以上100μm以下であるウィスカー状の
活物質体を複数有する。このため、活物質層の表面積を広くすることが可能であり、充放
電容量を高めることができる。
なお、ウィスカー状の活物質体の長手方向は不揃いであることが好ましい。ウィスカー
状の活物質体の長手方向が不揃いであると、ウィスカー状の活物質体同士が絡む場合があ
るため、蓄電装置の充放電を行ってもウィスカー状の活物質体が脱離しにくいため不揃い
であることが好ましい。
ここで、集電体101と活物質層103の間の混合層109の厚さを100nm以下、
好ましくは50nm以下とすると密着性を高くすることができる。そのため、繰り返しの
充放電を行っても充放電容量を維持することができ、充放電サイクル特性を向上させるこ
とができる。
なお、図1(A)及び(B)には、集電体101が、箔状、板状または網状の導電性部
材で形成される形態を示したが、これに限定されない。図1(C)に示すように、基板1
15上に金属層111が設けられていてもよい。金属層111は、スパッタリング法、蒸
着法、印刷法、インクジェット法またはCVD法などを用いて形成し、金属層111上に
活物質層103を形成してもよい。金属層111に用いる材料は、前記したシリサイドを
形成する材料から選ばれることが好ましい。
基板115の材料などは特に限定されないが、可とう性を有することが好ましい。なお
、金属層111は集電体としても機能させることができる。
なお、活物質層103の形成を石英製のチャンバー中でLPCVD法などの加熱を伴う
方法により行うと、チャンバー壁から酸素が脱離して活物質層103と混合層109に、
不純物としての酸素が含まれることがある。
次に、本発明の一態様である電極の作製方法について説明する。すなわち、図2に示す
電極の作製方法について説明する。図2に示す電極は、集電体101上に活物質層103
を形成することにより作製することができる。活物質層103の材料としてシリコンを用
いる場合の作製方法について以下に説明する。
活物質層103は、好ましくはLPCVD法により形成することができる。ここで、活
物質層103の形成時の温度は、400℃より高く、且つLPCVD装置及び集電体10
1が耐えうる温度以下であって、且つ活物質層103のシリコンが非晶質構造とならない
温度未満、好ましくは500℃以上580℃未満、より好ましくは530℃以上580℃
未満とするとよい。ただし、LPCVD法に限定されず、プラズマCVD法または熱CV
D法を用いてもよい。
また、活物質層103の形成に用いるシリコンを含む堆積性ガスとしては、水素化シリ
コン、フッ化シリコンまたは塩化シリコンが挙げられる。例えば、具体的には、SiH
、Si、SiF、SiCl、SiClなどが挙げられる。なお、原料ガス
に、ヘリウム、ネオン、アルゴン、キセノンなどの希ガス及び水素ガスのいずれか一以上
を含ませてもよい。
また、活物質層103の形成時の圧力は、10Pa以上1000Pa以下、好ましくは
20Pa以上200Pa以下とするとよい。ただし、活物質層103のシリコンが非晶質
構造となる圧力範囲とする。
なお、LPCVD法を用いると、集電体101と活物質層103の界面におけるイオン
と電子の移動が容易であり、密着性を高めることができる。また、スループットを高める
ことができる。
なお、活物質層103の形成ガスにホスフィンまたはジボランなどを含ませると、複数
のウィスカー状の活物質体の芯105に一導電型を付与する不純物元素(リンまたはボロ
ンなど)を含ませることができる。芯105に一導電型を付与する不純物元素を含ませる
ことで、電極全体としての導電性を高めることができ、蓄電装置の充放電容量を高めるこ
とができる。
また、温度によっては、図1(B)に示すように、集電体101上に混合層109が形
成される。混合層109は、主にシリサイドで形成される。シリサイドは、集電体101
を形成する金属元素とシリコンにより形成されている。上述の通り、混合層109の厚さ
は100nm以下とすればよく、50nm以下とすることが好ましい。
なお、本実施の形態では集電体101が板状の導電性部材である形態を示したが、ガラ
ス基板などの上に、スパッタリング法、蒸着法、印刷法、インクジェット法またはCVD
法などにより、集電体を形成したものを用いてもよい。
本実施の形態にて説明した電極を蓄電装置に適用することで、充放電サイクル特性の高
い蓄電装置を得ることができる。
本実施の形態にて説明した電極の作製方法によれば、複数のウィスカー状の活物質体を
長くすることができる。
本実施例では、本発明の一態様である蓄電装置(二次電池)について、図面を参照して
説明する。本実施例では、本発明の一態様を適用した蓄電装置である二次電池(以下、実
施例電池と呼ぶ。)と、比較用の他の二次電池(以下、比較例電池と呼ぶ。)と、を作製
し、これらの特性を比較した。
<実施例電池の電極の作製工程>
まず、実施例電池の電極の作製工程を説明する。まず、集電体101上に活物質層10
3を形成した。
集電体101としては、純度99.5%、直径12mm、厚さ100μmのシート状の
チタン膜(チタンシートとも呼ぶ。)を用いた。なお、集電体101は、活物質層103
を形成する前に0.5%のフッ酸で10分間洗浄した。
活物質層103としては、芯105が結晶シリコンであり、外殻107がアモルファス
シリコンであり、集電体101(チタンシート)との界面の一部がアモルファスシリコン
であるウィスカー状のシリコンにより活物質層103を形成した。
具体的には、集電体101であるチタンシート上にLPCVD法を用いて、活物質層1
03としてシリコンを形成した。活物質層103の形成には、材料ガスとしてシランガス
と窒素ガスの流量をSiH/N=300sccm/300sccmとして反応室内に
導入し、反応室内の圧力を150Paとし、基板温度を550℃として行った。成膜時間
は60分である。反応室は石英製のものを用いた。集電体101の昇温時には、少量のヘ
リウムガスを反応室内に導入した。なお、ここで成膜は、ホットウォール方式を用いて行
った。ホットウォール方式とは、反応室の壁面の温度を基板温度とほぼ等しくなるように
設定し、熱的に平衡の状態で反応させる方式をいう。
以上説明したように実施例電池の電極を作製した。
<実施例電池の電極の構成>
図3(A)及び(B)は、上記の工程により得られた実施例電池の電極表面の平面SE
M(Scanning Electron Microscope)像を示す。図3(A
)の倍率は1000倍、図3(B)の倍率は5000倍である。
図3(A)及び(B)に示すように、実施例電池の電極は、表面に複数のウィスカー状
の活物質体を有する。このため、活物質層の表面積が広い。ウィスカー状の活物質体の軸
に沿う長さは、長いもので80μm〜100μm程度であった。また、ウィスカー状の活
物質体の断面における幅は、0.7μm〜1.0μmであった。ウィスカー状の活物質体
の頂部は湾曲しているものもあった。ウィスカー状の活物質体の長手方向は、不揃いであ
った。
図4(A)、(B)及び図5は、上記の工程により得られた実施例電池の電極表面の任
意の部分における断面STEM像を示す。図4(A)の倍率は15000倍、図4(B)
の倍率は60000倍、図5の倍率は200000倍である。
図4(B)は、図4(A)の一部を拡大したものである。図4(A)及び図4(B)に
示すように、集電体101上には活物質層としてシリコン層が設けられている。シリコン
層は、領域103aと、領域103a上に設けられたウィスカー状の活物質体が存在する
領域と、を有する。領域103aは、アモルファスシリコンにより形成されている。ウィ
スカー状の活物質体が存在する領域は、結晶シリコンにより形成されている芯105と、
アモルファスシリコンにより形成されている外殻107と、を有する。アモルファスシリ
コンと結晶シリコンはコントラストの違いから判別することができる。
図5は、ウィスカー状の活物質体が存在する領域を拡大したものである。ウィスカー状
の活物質体が存在する領域が、結晶シリコンにより形成されている芯105と、アモルフ
ァスシリコンにより形成されている外殻107と、を有することがわかる。
このように形成されるウィスカー状の活物質体の形成初期の状態を観察するために、前
記形成条件により形成し、形成時間を1分間としたウィスカー状の活物質体の平面SEM
像を図15に示す。図15の倍率は5000倍である。
図15によれば、集電体101上には塊(株とも呼ぶ。)が形成され(areaA)、
この塊から糸状の物体が伸びている。この糸状の物体がウィスカー状の活物質体の芯10
5であると考えられる。
図16には、図15のareaAとareaBにて取得したラマンスペクトルを示す。
図16によれば、areaBで取得したラマンスペクトルはブロードであり非晶質構造で
あり、areaAで取得したラマンスペクトルは520cm−1近傍にピークを有し、a
reaAの株は、結晶性シリコンであることがわかる。
<実施例電池の作製工程>
本実施例の実施例電池の作製工程について図6を参照して説明する。
ここでは、実施例電池として、コイン型の二次電池を作製した。以下に、コイン型の二
次電池の作製方法について、図6を参照して説明する。
図6に示すように、コイン型の二次電池は、電極204、参照電極232、セパレータ
210、電解液(図示せず)、筐体206及び筐体244を有する。このほかにはリング
状絶縁体220、スペーサー240及びワッシャー242を有する。電極204は、上記
工程により得られたものを用いた。参照電極232は、参照電極活物質層230を有する
。また、参照電極活物質層230には、リチウム箔を用いた。セパレータ210には、ポ
リプロピレンを用いた。筐体206、筐体244、スペーサー240及びワッシャー24
2は、ステンレス(SUS)製のものを用いた。筐体206及び筐体244は、電極20
4及び参照電極232を外部と電気的に接続する。
本実施例では、集電体101としてチタンシートを用い、活物質層103を上記のアモ
ルファスシリコンあるいは結晶性シリコンで形成した。
これらの電極204、参照電極232及びセパレータ210を電解液に含浸させた。そ
して、図6に示すように、筐体206を下にして電極204、セパレータ210、リング
状絶縁体220、参照電極232、スペーサー240、ワッシャー242及び筐体244
をこの順で重ねて、「コインかしめ機」で筐体206と筐体244とをかしめてコイン型
の二次電池を作製した。
電解液としては、エチレンカーボネート(EC)とジエチルカーボネート(DEC)の
混合溶媒(混合比1:1)にLiPFを1M(体積モル濃度)で溶解させたものを用い
た。
<比較例電池の電極の作製工程>
次に、比較例電池の電極の作製工程を説明する。実施例電池と比較例電池は、活物質層
の作製工程が異なるのみである。
比較例電池の活物質層としては、芯が結晶シリコンであり、外殻がアモルファスシリコ
ンであり、チタンシートとの界面が結晶シリコンであるシリコンを用いた。
比較例電池の活物質層の形成には、材料ガスとしてシランガスの流量をSiH=70
0sccmとして反応室内に導入し、反応室内の圧力を100Paとし、基板温度を60
0℃として行った。成膜時間は70分である。反応室は石英製のものを用いた。集電体の
昇温時には、少量のヘリウムガスを反応室内に導入した。なお、ここで活物質層の形成は
上記の条件により2段階で行った。すなわち、上記条件により活物質層の形成を行った後
に反応室内へのシランガスの供給を止めて反応室内を真空状態とし(この時間をインター
バル時間と呼ぶ。)、その後更に同じ条件で活物質層の形成を行った。なお、ここで成膜
は、ホットウォール方式を用いて行った。
<比較例電池の電極の構成>
図7(A)及び(B)は、インターバル時間を5分として上記の工程により得られた比
較例電池の電極表面の平面SEM像を示す。図7(A)の倍率は1000倍、図7(B)
の倍率は5000倍である。図7(A)及び(B)に示すように、比較例電池の電極も、
表面に複数のウィスカー状の活物質体を有する。
図8(A)及び(B)は、インターバル時間を5分として上記の工程により得られた比
較例電池の電極表面の任意の部分における断面STEM像を示す。図8(A)の倍率は6
000倍、図8(B)の倍率は25000倍である。
図8(B)は、図8(A)の一部を拡大したものである。図8(A)及び(B)に示す
ように、集電体上には活物質層としてシリコン層が設けられている。シリコン層の一部に
はウィスカー状の活物質体が存在するが、集電体近傍のシリコン層は結晶性シリコンによ
り形成されている。
なお、比較例電池の電極表面に存在するウィスカー状の活物質体は、実施例電池の電極
表面に存在するウィスカー状の活物質体よりも粗大化している。
<実施例電池と比較例電池の観察結果の比較>
ここで、実施例電池の電極表面と比較例電池の電極表面を図9にて比較する。図9(A
)は、図3とは異なる部分にて観察した実施例電池の電極表面のSEM像を示す。図9(
B)は、図7とは異なる部分にて観察した比較例電池の電極表面のSEM像を示す。
図9(A)と(B)を比較すると、実施例電池の電極に設けられたウィスカー状の活物
質体は比較例電池の電極に設けられたウィスカー状の活物質体よりも細いことがわかる。
図10(A)は、図3とは異なる部分にて観察した実施例電池の電極表面のSTEM像
を示す。図10(B)は、図7とは異なる部分にて観察した比較例電池の電極表面のST
EM像を示す。
図10(A)に示されるように、実施例電池の電極表面のウィスカー状のシリコンはほ
とんどがアモルファスシリコンであったが、一部に結晶性シリコンも観察された。また、
チタンシート上のシリコンの層が極めて薄い場所も観察された。
図10(B)に示されるように、比較例電池の電極表面ではチタンシート上に厚い結晶
性シリコンの層が形成されていた。すなわち、チタンシートは、ウィスカー状のシリコン
または結晶性シリコンで覆われている。
<実施例電池と比較例電池の特性の比較>
上記の工程により作製した実施例電池と比較例電池の充放電サイクル特性を調査した。
充放電サイクル特性は、充放電測定機を用いて実施例電池及び比較例電池のそれぞれの
充放電容量を測定することにより調査した。充放電の測定には定電流方式を採用し、充放
電のレートは約0.1C、上限電圧を1.0V、下限電圧を0.03Vとしておこなった
。なお、すべての測定は、室温で行った。
図11は、実施例電池と比較例電池の充放電サイクル特性を示す。実施例と比較例(比
較例は、活物質層形成時のインターバル時間を5分としたものとインターバル時間を60
分としたものの2種類)を比較すると、比較例の充放電サイクル特性よりも実施例の充放
電サイクル特性のほうが良好である。すなわち、実施例電池の電極は繰り返しの充放電に
よる劣化が小さいといえる。
また、実施例電池では、充放電回数の増加に伴う充放電容量の低下はゆるやかであり、
充放電を40回繰り返した後でも充放電容量が初期の70%以上である。しかしながら、
比較例電池では劣化が著しく、充放電を30回繰り返した段階で初期の10%以下にまで
落ち込んでいる。
このように比較例電池において劣化が著しい主たる理由は、充放電を繰り返すと集電体
から活物質が剥がれるためである。一方、実施例電池では充放電を繰り返しても集電体か
らの活物質の剥がれは抑制されている。
このように、本発明の一態様を適用した実施例電池では長期の使用に耐えうる電極を有
する。これは、集電体と活物質の界面に結晶性の層が存在せず、該界面における密着性が
高いからであると考えられる。
従って、本発明の一態様により、繰り返しの充放電による劣化が小さい蓄電装置を作製
することができる。
<密着性の確認と比較>
上記の工程により作製した実施例電池の電極と比較例電池の電極に銅箔テープを貼り、
これを剥がすことで両者の密着性を比較した。図12(A)は、実施例電池の電極に銅箔
テープを貼り、これを剥がした後のサンプル表面の写真を示す。図12(B)は、比較例
電池の電極に銅箔テープを貼り、これを剥がした後のサンプル表面の写真を示す。図12
(A)では集電体であるチタンシートが剥き出しになっていないが、図12(B)では集
電体であるチタンシートが剥き出しになっている。
従って、本発明の一態様により、電極の集電体と活物質層の密着性を向上させ、充放電
サイクル特性が高い蓄電装置(信頼性が高い蓄電装置)を作製することができる。さらに
は、本発明の一態様により集電体と活物質層の密着性が向上するため作製工程中における
集電体と活物質層の剥離を防止することができ、歩留まりを向上させることができる。
本実施例では、蓄電装置である二次電池の他の態様について以下に説明する。二次電池
の一例であるリチウム含有金属酸化物を用いたリチウムイオン電池は、高い充放電容量を
有し、室温でも使用可能なため、多くの電気機器で使用されている。ここでは、二次電池
としてリチウムイオン電池の構造について、図13(A)及び(B)を参照して説明する
図13(A)は、蓄電装置301の平面図であり、図13(A)の一点鎖線A−Bの断
面図を図13(B)に示す。図13(A)に示す蓄電装置301は、外装部材303の内
部に蓄電セル305を有する。また、蓄電セル305に接続する端子部307及び端子部
309を有する。外装部材303は、ラミネートフィルム、高分子フィルム、金属フィル
ム、金属ケース及びプラスチックケースなどを用いることができる。
図13(B)に示すように、蓄電セル305は、負極313と、正極315と、セパレ
ータ317と、電解液319と、により構成されている。セパレータ317は、負極31
3と正極315の間に設けられている。電解液319は、外装部材303に囲まれた部分
中に満たされ、蓄電セル305及びセパレータ317が電解液319に浸されている。
負極313は、負極集電体321及び負極活物質層323により構成される。正極31
5は、正極集電体325及び正極活物質層327により構成される。負極活物質層323
は、負極集電体321の一方または両方の面に設けられている。正極活物質層327は、
正極集電体325の一方または両方の面に設けられている。
また、負極集電体321は、端子部309に接続される。また、正極集電体325は、
端子部307に接続される。また、端子部307及び端子部309は、それぞれ一部が外
装部材303の外側に導出されている。
なお、本実施例では、蓄電装置301の外部形態として密封された薄型蓄電装置を示し
ているが、これに限定されず、蓄電装置301の外部形態としては、ボタン型、円筒型ま
たは角型など様々な形状を用いることができる。また、本実施例では、正極、負極及びセ
パレータが積層された構造を示したが、正極、負極及びセパレータが捲回された構造であ
ってもよい。
負極集電体321としては、図2に示す集電体101を用いることができる。または、
図1(C)に示すような金属層111が形成された基板115を用いてもよい。
負極活物質層323は、図2に示すアモルファスシリコン層で形成される活物質層10
3を用いることができる。また、LPCVD装置において、負極集電体321を枠状のサ
セプターで保持しながらアモルファスシリコンにより活物質層103を形成することで、
負極集電体321の両面に同時に活物質層103を形成することが可能であるため、負極
集電体321の両面を用いて電極を構成する場合に工程数を削減することができる。
正極集電体325の材料としては、アルミニウムまたはステンレスなどを用いる。正極
集電体325の形状は、箔状、板状または網状などにすることができる。
正極活物質層327は、LiFeO、LiCoO、LiNiO、LiMn
、LiFePO、LiCoPO、LiNiPO、LiMnPO、V、C
、MnO、その他のリチウム化合物を材料として用いることができる。なお、
キャリアイオンが、リチウムイオン以外のアルカリ金属イオン、アルカリ土類金属イオン
、ベリリウムイオンまたはマグネシウムイオンの場合には、正極活物質層327として、
前記リチウム化合物におけるリチウムの代わりに、アルカリ金属(例えば、ナトリウムま
たはカリウムなど)、アルカリ土類金属(例えば、カルシウム、ストロンチウムまたはバ
リウムなど)、ベリリウムまたはマグネシウムを用いてもよい。
電解液319の溶質としては、キャリアイオンであるリチウムイオンを移送することが
可能で、且つリチウムイオンが安定して存在することが可能な材料を用いる。電解液31
9の溶質として例えば、LiClO、LiAsF、LiBF、LiPF、Li(
SONなどのリチウム塩がある。なお、キャリアイオンが、リチウム以外
のアルカリ金属イオンまたはアルカリ土類金属イオンの場合には、電解液319の溶質と
して、アルカリ金属塩(例えば、ナトリウム塩またはカリウム塩など)、アルカリ土類金
属塩(例えば、カルシウム塩、ストロンチウム塩またはバリウム塩など)、ベリリウム塩
またはマグネシウム塩などを用いることができる。
また、電解液319の溶媒としては、リチウムイオンの移送が可能な材料を用いる。電
解液319の溶媒としては、非プロトン性有機溶媒が好ましい。非プロトン性有機溶媒と
しては、例えば、エチレンカーボネート、プロピレンカーボネート、ジメチルカーボネー
ト、ジエチルカーボネート、γーブチロラクトン、アセトニトリル、ジメトキシエタン及
びテトラヒドロフランなどが挙げられ、これらの一または複数を用いることができる。ま
た、電解液319の溶媒としては、ゲル化される高分子材料を用いることで、漏液性を含
めた安全性が高まり、蓄電装置301の薄型化及び軽量化が可能となる。ゲル化される高
分子材料の代表例としては、シリコンゲル、アクリルゲル、アクリロニトリルゲル、ポリ
エチレンオキサイド、ポリプロピレンオキサイドまたはフッ素系ポリマーなどが挙げられ
る。
電解液319としては、LiPOなどの固体電解質を用いることができる。
セパレータ317は、絶縁性の多孔体を用いる。セパレータ317の材料としては、例
えば、セルロース(紙)、ポリエチレン、ポリプロピレンなどが挙げられる。
リチウムイオン電池は、メモリー効果が小さく、エネルギー密度が高く、充放電容量が
大きい。また、出力電圧が高い。そのため、小型化及び軽量化が可能である。また、充放
電の繰り返しによる劣化が少なく、長期間の使用が可能であり、コスト削減が可能である
なお、本実施例の蓄電装置は、キャパシタであってもよい。キャパシタとしては、例え
ば、電気二重層キャパシタ及びリチウムイオンキャパシタなどが挙げられる。リチウムイ
オンキャパシタは、充放電の効率が高く、急速充放電が可能であり、繰り返し利用による
寿命も長い。
なお、キャパシタの場合には、図13(B)に示す二次電池の正極活物質層327の代
わりに、リチウムイオン及びアニオンを可逆的に吸蔵放出できる材料のいずれか一方また
は双方を用いればよい。正極活物質層327として、例えば、活性炭、導電性高分子また
はポリアセン有機半導体(PAS)が挙げられる。
負極313に実施の形態で説明した電極を用いることで、充放電容量の高い蓄電装置を
作製することができる。
なお、蓄電装置として空気電池を用いて、該空気電池の負極に実施の形態で説明した電
極を用いることで、充放電容量の高い空気電池を作製することができる。
本発明の一態様である蓄電装置の電極では、集電体と活物質層の密着性が高いため、負
極集電体321を折り曲げても、集電体101(あるいは金属層111)から活物質層1
03が剥がれにくい。そのため、電極を小さな曲率半径で湾曲させ、または塑性変形しな
い程度に折り曲げることもでき、可とう性を有する蓄電装置を作製することもできる。
本発明の一態様の蓄電装置は、電力により駆動する様々な製品の電源として用いること
ができる。本実施例では、このような応用例について説明する。
本発明の一態様の蓄電装置を用いた製品(以下、このような製品を応用例と呼び、電気
製品及び電子製品の双方を含む。)の具体例として、表示装置、照明装置、デスクトップ
型或いはノート型のパーソナルコンピュータ、DVD(Digital Versati
le Disc)などの記録媒体に記憶された静止画または動画を再生する画像再生装置
、携帯電話、携帯型ゲーム機、携帯情報端末、電子書籍、ビデオカメラ、デジタルスチル
カメラ、電子レンジ等の高周波加熱装置、電気炊飯器、電気洗濯機、エアコンディショナ
ーなどの空調設備、電気冷蔵庫、電気冷凍庫、電気冷凍冷蔵庫、DNA保存用冷凍庫、透
析装置などが挙げられる。また、蓄電装置からの電力を用いて電動機により推進する移動
体なども含まれるものとする。前記移動体として、例えば、電気自動車、内燃機関と電動
機を併せ持った複合型自動車(ハイブリッドカー)、電動アシスト自転車を含む原動機付
自転車などが挙げられる。
なお、本実施例で説明する応用例には、消費電力の殆ど全てを賄うための蓄電装置(主
電源と呼ぶ。)として、本発明の一態様の蓄電装置を用いることができる。または、応用
例は、主電源からの電力の供給が停止した場合に、電気機器への電力の供給を行うことが
できる非常用電源の蓄電装置として、本発明の一態様の蓄電装置を用いることができる。
或いは、前記電気機器は、前記主電源や商用電源からの電気機器への電力の供給と並行し
て、電気機器への電力の供給を行うための蓄電装置(補助電源と呼ぶ。)として、本発明
の一態様の蓄電装置を用いることができる。
図14は、様々な応用例が備えられた居室を示す図である。図14において、表示装置
400は、応用例の一である。表示装置400は、テレビジョン装置に相当し、筐体40
1、表示部402、スピーカー部403及び蓄電装置404などを有する。蓄電装置40
4は、筐体401の内部に設けられている。表示装置400の電力としては、外部から供
給されるものを用いてもよいし、蓄電装置404の電力を用いてもよい。よって、停電な
どにより外部からの電力の供給が停止しても、蓄電装置404として本発明の一態様の蓄
電装置を用いることで、表示装置400を動作させることが可能となる。
表示部402としては、液晶表示装置、有機EL素子などの発光素子を各画素に備えた
発光装置、電気泳動表示装置、DMD(Digital Micromirror De
vice)、PDP(Plasma Display Panel)、FED(Fiel
d Emission Display)などの半導体表示装置を用いることができる。
なお、本発明の一態様である蓄電装置を搭載可能な表示装置はテレビジョン装置に限定
されず、パーソナルコンピュータのモニター及び広告表示板などに適用することもできる
図14において、照明装置410は、応用例の一である。照明装置410は、筐体41
1、光源412及び蓄電装置413などを有する。図14では、筐体411、光源412
及び蓄電装置413が天井414の内部に埋め込まれている場合を示している。蓄電装置
413は、筐体411の内部に設けられていてもよい。照明装置410の電力としては、
外部から供給されるものを用いてもよいし、蓄電装置413の電力を用いてもよい。よっ
て、停電などにより外部からの電力の供給が停止しても、蓄電装置413として本発明の
一態様の蓄電装置を用いることで、照明装置410を動作させることが可能となる。
なお、図14では天井414に埋め込まれた照明装置410を例示しているが、本発明
の一態様の蓄電装置を用いる照明装置は、壁415、床416、窓417などに据え付け
られるものであってもよいし、卓上型の照明装置などであってもよい。
また、光源412としては、人工光源を用いることができる。人工光源の具体例として
は、白熱電球及び蛍光灯などの放電ランプ、LEDまたは有機EL素子などの発光素子が
挙げられる。
図14において、エアコンディショナーは応用例の一である。図14に示すエアコンデ
ィショナーは、室内機420及び室外機424を有する。室内機420は、筐体421、
送風口422及び蓄電装置423などを有する。図14では、蓄電装置423が室内機4
20に設けられている場合を示しているが、これに限定されず、蓄電装置423は室外機
424に設けられていてもよい。または、蓄電装置423が、室内機420及び室外機4
24の双方に設けられていてもよい。図14に示すエアコンディショナーの電力としては
、外部から供給されるものを用いてもよいし、蓄電装置423の電力を用いてもよい。特
に、室内機420及び室外機424の双方に蓄電装置423が設けられている場合には、
停電などにより外部からの電力の供給が停止しても、蓄電装置423として本発明の一態
様の蓄電装置を用いることで、エアコンディショナーを動作させることが可能となる。
なお、図14では、室内機と室外機が分離されたエアコンディショナーを示しているが
室内機と室外機が一の筐体に収められたエアコンディショナーに本発明の一態様の蓄電装
置が用いられていてもよい。
図14において、電気冷凍冷蔵庫430は、応用例の一である。図14に示す電気冷凍
冷蔵庫430は、筐体431、冷蔵室用扉432、冷凍室用扉433、蓄電装置434な
どを有する。蓄電装置434は、筐体431の内部に設けられている。電気冷凍冷蔵庫4
30の電力としては、外部から供給されるものを用いてもよいし、蓄電装置434の電力
を用いてもよい。よって、停電などにより外部からの電力の供給が停止しても、蓄電装置
434として本発明の一態様の蓄電装置を用いることで、電気冷凍冷蔵庫430を動作さ
せることが可能となる。
なお、電子レンジ及び電気炊飯器などの機器は、短時間で高い電力を必要とする。その
ため、このような機器では、外部から供給可能な電力が小さいときに不足分の電力を補う
ための補助電源として、本発明の一態様の蓄電装置を用いることができる。
また、電気機器の使用が頻繁でない時間帯(電力使用率が低い時間帯。主に夜間など。
)に蓄電装置に電力を蓄えると、電気機器の使用が頻繁な時間帯における電力使用率の上
昇を抑制することができる。
例えば、電気冷凍冷蔵庫430においては、気温が低く、冷蔵室用扉432と冷凍室用
扉433の開閉頻度が低い夜間に、蓄電装置434に電力を蓄えておく。そして、気温が
高く、冷蔵室用扉432と冷凍室用扉433の開閉頻度が高い昼間に、蓄電装置434を
補助電源として用いると、電力使用率が高い時間帯である昼間の電力使用率を低く抑える
ことができる。
101 集電体
103 活物質層
103a 領域
103b 領域
105 芯
105a 芯
105b 芯
105c 芯
107 外殻
107a 外殻
107b 外殻
107c 外殻
109 混合層
111 金属層
113a 活物質体
113b 活物質体
113c 活物質体
115 基板
204 電極
206 筐体
210 セパレータ
220 リング状絶縁体
230 参照電極活物質層
232 参照電極
240 スペーサー
242 ワッシャー
244 筐体
301 蓄電装置
303 外装部材
305 蓄電セル
307 端子部
309 端子部
313 負極
315 正極
317 セパレータ
319 電解液
321 負極集電体
323 負極活物質層
325 正極集電体
327 正極活物質層
400 表示装置
401 筐体
402 表示部
403 スピーカー部
404 蓄電装置
410 照明装置
411 筐体
412 光源
413 蓄電装置
414 天井
415 壁
416 床
417 窓
420 室内機
421 筐体
422 送風口
423 蓄電装置
424 室外機
430 電気冷凍冷蔵庫
431 筐体
432 冷蔵室用扉
433 冷凍室用扉
434 蓄電装置

Claims (4)

  1. 集電体と、該集電体上に設けられた活物質層と、前記集電体と前記活物質層との間の混合層と、を有し、
    前記活物質層は、第1の領域と、前記第1の領域上の第2の領域と、を有し、
    前記第1の領域は、前記集電体を覆って設けられ、
    前記第2の領域は、複数のウィスカー状の活物質体を有し、
    前記混合層の厚さは、100nm以下であり、
    前記複数のウィスカー状の活物質体は、少なくとも芯と、該芯を覆って設けられた外殻と、を有し、
    前記外殻は非晶質構造であり、
    前記集電体と前記活物質体の前記芯との間は非晶質構造であることを特徴とする蓄電装置の電極。
  2. 請求項1において、
    前記混合層が、前記集電体が有する金属元素と、前記活物質層が有する活物質と、を含むことを特徴とする蓄電装置の電極。
  3. 請求項1又は請求項2において、
    前記集電体の材料はチタンであることを特徴とする蓄電装置の電極。
  4. 請求項1乃至請求項3のいずれか一において、
    前記活物質層の材料はシリコンであることを特徴とする蓄電装置の電極。
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