JP6196890B2 - 蓋部材開閉機構及び基板検査装置 - Google Patents
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Description
また、上記目的を達成するために、本発明の蓋部材開閉機構は、筐体状の本体と、該本体の上部に設けられた開閉可能な蓋部材とを備え、前記本体の内部に基板を収容して該基板の検査を行う基板検査装置における蓋部材開閉機構において、前記蓋部材が開蓋状態になったときに前記本体及び前記蓋部材の間に介在し、本体側の端部に突出部を有する棒状の支持部材と、前記本体に設けられ、前記突出部と係合するガイド溝とを備え、前記突出部が前記ガイド溝に沿って移動することにより、前記支持部材を介して前記蓋部材の位置が調整され、前記ガイド溝は、前記蓋部材を前記開蓋状態に維持するために前記支持部材の位置を規制する規制溝と、前記蓋部材を閉蓋状態に移行させるために前記支持部材を前記本体の内部へ収容させる収容溝とを有し、前記ガイド溝は上部において前記規制溝及び前記収容溝に分岐し、前記規制溝は前記収容溝よりも短く、前記規制溝は、前記開蓋状態における前記支持部材の延伸方向上に存在し、前記突出部と当接する当接部を有し、前記規制溝及び前記収容溝は前記本体の下方へ延伸し、前記規制溝及び前記収容溝はそれぞれの上部において直接互いに連結し、前記開蓋状態における前記支持部材の延伸方向と、前記規制溝の延伸方向とは狭角をなし、前記規制溝は、前記支持部材が前記蓋部材と連結する部分を中心に回動する際、前記突出部が円弧運動可能な幅を有することを特徴とする。
11 ステージ
12 本体
15 ヘッドプレート
18 ロッド
20,26 ガイド溝
21 ガイド
22,27 収容溝
23 規制溝
23a ストッパ部
24,28 連絡溝
Claims (5)
- 筐体状の本体と、該本体の上部に設けられた開閉可能な蓋部材とを備え、前記本体の内部に基板を収容して該基板の検査を行う基板検査装置における蓋部材開閉機構において、
前記蓋部材が開蓋状態になったときに前記本体及び前記蓋部材の間に介在し、本体側の端部に突出部を有する棒状の支持部材と、
前記本体に設けられ、前記突出部と係合するガイド溝とを備え、
前記突出部が前記ガイド溝に沿って移動することにより、前記支持部材を介して前記蓋部材の位置が調整され、
前記ガイド溝は、前記蓋部材を前記開蓋状態に維持するために前記支持部材の位置を規制する規制溝と、前記蓋部材を閉蓋状態に移行させるために前記支持部材を前記本体の内部へ収容させる収容溝とを有し、
前記ガイド溝は上部において前記規制溝及び前記収容溝に分岐し、前記規制溝は前記収容溝よりも短く、
前記規制溝は、前記開蓋状態における前記支持部材の延伸方向上に存在し、前記突出部と当接する当接部を有し、
前記規制溝及び前記収容溝は前記本体の下方へ延伸し、
前記ガイド溝は、前記規制溝及び前記収容溝をそれぞれの上部において互いに連結させる連絡溝を有し、
前記支持部材は前記開蓋状態において斜め下方に延伸し、
前記連絡溝は斜め下方に形成されることを特徴とする蓋部材開閉機構。 - 筐体状の本体と、該本体の上部に設けられた開閉可能な蓋部材とを備え、前記本体の内部に基板を収容して該基板の検査を行う基板検査装置における蓋部材開閉機構において、
前記蓋部材が開蓋状態になったときに前記本体及び前記蓋部材の間に介在し、本体側の端部に突出部を有する棒状の支持部材と、
前記本体に設けられ、前記突出部と係合するガイド溝とを備え、
前記突出部が前記ガイド溝に沿って移動することにより、前記支持部材を介して前記蓋部材の位置が調整され、
前記ガイド溝は、前記蓋部材を前記開蓋状態に維持するために前記支持部材の位置を規制する規制溝と、前記蓋部材を閉蓋状態に移行させるために前記支持部材を前記本体の内部へ収容させる収容溝とを有し、
前記ガイド溝は上部において前記規制溝及び前記収容溝に分岐し、前記規制溝は前記収容溝よりも短く、
前記規制溝は、前記開蓋状態における前記支持部材の延伸方向上に存在し、前記突出部と当接する当接部を有し、
前記規制溝及び前記収容溝は前記本体の下方へ延伸し、
前記規制溝及び前記収容溝はそれぞれの上部において直接互いに連結し、
前記開蓋状態における前記支持部材の延伸方向と、前記規制溝の延伸方向とは狭角をなし、
前記規制溝は、前記支持部材が前記蓋部材と連結する部分を中心に回動する際、前記突出部が円弧運動可能な幅を有することを特徴とする蓋部材開閉機構。 - 前記突出部は円柱状部材からなり、前記規制溝の幅は、前記突出部の直径の2倍以上であることを特徴とする請求項2記載の蓋部材開閉機構。
- 筐体状の本体と、該本体の上部に設けられた開閉可能な蓋部材と、前記蓋部材を開閉させる蓋部材開閉機構とを備え、前記本体の内部に基板を収容して該基板の検査を行う基板検査装置において、
前記蓋部材開閉機構は、前記蓋部材が開蓋状態になったときに前記本体及び前記蓋部材の間に介在し、本体側に突出部を有する棒状の支持部材と、前記本体に設けられ、前記突出部と係合するガイド溝とを有し、
前記突出部が前記ガイド溝に沿って移動することにより、前記支持部材を介して前記蓋部材の位置が調整され、
前記ガイド溝は、前記蓋部材を前記開蓋状態に維持するために前記支持部材の位置を規制する規制溝と、前記蓋部材を閉蓋状態に移行させるために前記支持部材を前記本体の内部へ収容させる収容溝とを有し、
前記ガイド溝は上部において前記規制溝及び前記収容溝に分岐し、前記規制溝は前記収容溝よりも短く、
前記規制溝は、前記開蓋状態における前記支持部材の延伸方向上に存在し、前記突出部と当接する当接部を有し、
前記規制溝及び前記収容溝は前記本体の下方へ延伸し、
前記ガイド溝は、前記規制溝及び前記収容溝をそれぞれの上部において互いに連結させる連絡溝を有し、
前記支持部材は前記開蓋状態において斜め下方に延伸し、
前記連絡溝は斜め下方に形成されることを特徴とする基板検査装置。 - 筐体状の本体と、該本体の上部に設けられた開閉可能な蓋部材と、前記蓋部材を開閉させる蓋部材開閉機構とを備え、前記本体の内部に基板を収容して該基板の検査を行う基板検査装置において、
前記蓋部材開閉機構は、前記蓋部材が開蓋状態になったときに前記本体及び前記蓋部材の間に介在し、本体側に突出部を有する棒状の支持部材と、前記本体に設けられ、前記突出部と係合するガイド溝とを有し、
前記突出部が前記ガイド溝に沿って移動することにより、前記支持部材を介して前記蓋部材の位置が調整され、
前記ガイド溝は、前記蓋部材を前記開蓋状態に維持するために前記支持部材の位置を規制する規制溝と、前記蓋部材を閉蓋状態に移行させるために前記支持部材を前記本体の内部へ収容させる収容溝とを有し、
前記ガイド溝は上部において前記規制溝及び前記収容溝に分岐し、前記規制溝は前記収容溝よりも短く、
前記規制溝は、前記開蓋状態における前記支持部材の延伸方向上に存在し、前記突出部と当接する当接部を有し、
前記規制溝及び前記収容溝は前記本体の下方へ延伸し、
前記規制溝及び前記収容溝はそれぞれの上部において直接互いに連結し、
前記開蓋状態における前記支持部材の延伸方向と、前記規制溝の延伸方向とは狭角をなし、
前記規制溝は、前記支持部材が前記蓋部材と連結する部分を中心に回動する際、前記突出部が円弧運動可能な幅を有することを特徴とする基板検査装置。
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