JP6167771B2 - 液体塗布装置 - Google Patents

Description

本発明は、液体塗布装置に関する。

ガラス表面では、空気中の水素イオンとガラスのアルカリ成分であるナトリウムイオンのイオン交換が起こる。そして、ガラス表面に溶出したナトリウムイオンが空気中の水酸化物イオンや炭酸イオンと反応し、ガラス表面で水酸化ナトリウムや炭酸ナトリウムの微結晶を生成する。この、水酸化ナトリウムや炭酸ナトリウムの微結晶は、ガラス表面での白色層や白色固着物となり、「焼け」と呼ばれている。
従来、このような焼けを防止するために、薬液をガラス表面に塗布する処理が行われている。この場合、一般にスプレー法やロールコート法が用いられている（特許文献１参照）。

特開平５−２１３６３５号公報

しかし、スプレー法を用いる場合には、スプレーの周りを囲むフードやダクトで結露し、またフード等に付着したミストが成長して液滴となった薬液が、ガラス表面に落下して、ガラスを汚してしまうという問題がある。
また、ロールコート法の場合は、ロールがガラスに接触するため、ガラス表面にキリコなどがあった場合に、それがロールに押され、ガラスに傷をつけたり、ロールにくっついたりし、ガラスに傷を付けるという問題がある。

本発明の課題は、ガラスに汚れや傷をつけずに、液体をガラス表面に塗布する塗布装置を提供することである。

本発明は、以下のような解決手段により前記課題を解決する。なお、理解を容易にするために、本発明の実施形態に対応する符号を付して説明するが、これに限定されるものではない。

請求項１に記載の発明は、塗布対象物に液体が塗布される塗布位置に向けて、前記液体を噴霧するノズル（１２１）と、前記ノズル（１２１）の液体噴霧領域（４）の周辺部において下方または下側方に向かって開放した吸気口（１４５，１９２）を備える第１フード部（１４０，１５０）と、前記吸気口（１４５，１９２）の下方領域及び、上方に設けられた構造体に凝着して落下する前記液体を受ける液受け部（１６０，１７０）と、を備えること、を特徴とする液体塗布装置（１００）である。
請求項２に記載の発明は、請求項１に記載の液体塗布装置（１００）であって、前記液受け部（１６０，１７０）は、前記液体噴霧領域（４）側の面に第１吸液性部材（１６２Ｃ,１７４）を有すること、を特徴とする液体塗布装置（１００）である。
請求項３に記載の発明は、請求項１または２に記載の液体塗布装置（１００）であって、前記液受け部（１６０，１７０）は、前記液受け部（１６０，１７０）に保持された前記液体を吸引して排出する第１吸液装置（１６２Ｐ，１７２）を有すること、を特徴とする液体塗布装置（１００）である。
請求項４に記載の発明は、請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体塗布装置（１００）であって、前記液受け部（１６０，１７０）は、落下した液体が流れる液受け面（１６２Ａ，１７１）と、前記液受け面（１６２，１７１）の液体噴霧領域（４）側の端部に設けられ、前記液受け面（１６２Ａ，１７１）から上側に延びる壁部（１６２Ｂ，１７４）と、を有すること、を特徴とする液体塗布装置（１００）である。
請求項５に記載の発明は、請求項４に記載の液体塗布装置（１００）であって、前記第１フード部（１４０，１５０）よりも前記ノズル（１２１）側に配置され、前記ノズル（１２１）側の一端は前記ノズル（１２１）の側部に位置し、前記第１フード（１４０，１５０）側の他端は前記一端よりも下方に位置する板状体（１３１，１３２）と、前記板状体（１３１，１３２）の前記液体噴霧領域（４）側の面に配置された第２吸液性部材（１３３，１３４）と、を有する第２フード部（１３０）を備えること、を特徴とする液体塗布装置（１００）である。
請求項６に記載の発明は、請求項５に記載の液体塗布装置（１００）であって、前記第２フード部（１３０）は、前記第２吸液性部材（１３３，１３４）が吸液した前記液体を吸引して排出する第２吸液装置（１３５，１３６）を有すること、を特徴とする液体塗布装置（１００）である。
請求項７に記載の発明は、請求項１から６のいずれか１項に記載の液体塗布装置（１００）において、前記吸気口（１９２）と排気ダクト（１９１）とを接続するエルボ（１９０）を備え、前記液受け部（１７０）は、落下した前記液体が流れる液受け面（１７１）を有し、前記エルボ（１９０）の前記液受け面（１７１）側の下内側面は、前記液受け面（１７１）に沿って延びていること、を特徴とする液体塗布装置（１００）である。
請求項８に記載の発明は、請求項５から７のいずれか１項に記載の液体塗布装置（１００）において、前記液受け面（１６２，１７１）の上方において、前記第２フード部（１３０）の側部に上端を有し、前記液受け面（１６２Ａ，１７１）の前記液体噴霧領域（４）側の端部よりも前記液受け面（１６２Ａ，１７１）側に下端を有し、上部より落下する液滴を受けて、前記液受け面（１６２Ａ，１７１）上に導いて落下させる仕切り板（１４３，１５１Ｃ）を備えること、を特徴とする液体塗布装置（１００）である。
請求項９に記載の発明は、請求項３から８のいずれか１項に記載の液体塗布装置（１００）において、第１吸液装置（１６２Ｐ，１７２）は、それぞれ前記液受け板（１６２Ａ，１７１）の下側に凸設して取り付けられていること、を特徴とする液体塗布装置（１００）である。
請求項１０に記載の発明は、請求項２から９のいずれか１項に記載の液体塗布装置（１００）において、前記第１フード部（１４０）と排気ダクト（１８４）とを接続する接続筒（１８０，１８２）を備え、前記接続筒（１８０，１８２）は、前記第１フード部（１４０）から延びる曲管部（１８１）と、前記曲管部（１８１）と前記排気ダクト（１８０）との間に接続された鉛直筒部（１８２）と、有すること、を特徴とする液体塗布装置（１００）である。
なお、符号を付して説明した構成は、適宜改良してもよく、また、少なくとも一部を他の構成物に代替してもよい。

ガラスに汚れや傷をつけずに、液体をガラス表面に塗布する塗布装置を提供することができる。

本発明における液体塗布装置の一実施形態の概念構成を示す図である。 液体塗布装置の拡大断面図である。 スプレーヘッダ部分の拡大断面図である。 上流側排気フード部分の拡大断面図である。 下流側排気フード部分の拡大断面図である。 吸引装置の説明図である。

以下、図面等を参照して、本発明の一実施形態について説明する。図１は、本発明の一実施形態である液体塗布装置１００の概念構成図であり、（ａ）は板ガラスＧの搬送方向下流側から見た図，（ｂ）は（ａ）のＢ−Ｂ断面に相当する平面図，（ｃ）は（ａ）のＣ−Ｃ断面図である。図２は、液体塗布装置１００の拡大断面図である。図３は、液体塗布装置１００におけるスプレーヘッダ１２０部分の拡大断面図である。図４は、上流側排気フード部分の拡大断面図である。図５は、下流側排気フード部分の拡大断面図である。図６は、吸引装置３００の説明図である。

液体塗布装置１００は、フロート法等によって板状に成形された板ガラスＧ（図１（ｃ））の表面に、その上面側から焼け防止のための薬液をスプレーして塗布する装置である。
以下、図１（ｃ）において矢印で示す板ガラスＧの搬送方向に対して、搬送されて来る側を上流方向（側）または前側、搬送されて行く側を下流方向（側）または後側、これと直交する方向を幅方向として説明する。

板ガラスＧは、図１（ｃ）に示すように、ローラコンベア２によって上流側から搬送され、液体塗布装置１００の下方の塗布位置３を通過する際に、薬液が塗布される。
液体塗布装置１００は、図２に示すように、フレーム１１０と、スプレーヘッダ１２０と、スプレーフード１３０と、上流側排気フード１４０と、下流側排気フード１５０と、上流側液受け部１６０と、下流側液受け部１７０と、を備えている。これらは、図１（ａ），（ｂ）に示すように幅方向全域に亘って構成されている。

フレーム１１０は、上下流方向に所定間隔で対向して配置された一対のＬ形鋼１１１，１１２と、それらのＬ形鋼１１１，１１２によって保持された支持板１１３とを備える。
支持板１１３の上流側は、下向きに直角に屈曲して垂下部１１３Ｆとなっており、ここで後述する上流側排気フード１４０の内面板１４２に固定され、当該内面板１４２を延長するように垂下して上流側排気フード１４０の一部（仕切板１４３）を構成している。

同様に、支持板１１３の下流側の端部は、下向きに直角に屈曲して垂下部１１３Ｆとなっており、ここで後述するダミーフード１５１の内面板１５１Ｂに固定され、当該内面板１５１Ｂを延長するように垂下してダミーフード１５１の一部（仕切板１５１Ｃ）を構成している。

スプレーヘッダ１２０は、断面形状長方形のヘッダ筐体１２２の下面に突設されたスプレーノズル１２１を備えており、フレーム１１０の上面に取付金具１１４で固定されている。スプレーノズル１２１は、支持板１１３の下側に突出している。

スプレーヘッダ１２０は、図１（ｂ）に示すように、複数のスプレーノズル１２１を所定間隔で直列に備えており、そのスプレーノズル１２１の配列方向を幅方向として設けられている。 本実施形態では、板ガラスＧの幅方向における中央に６個のスプレーノズル１２１を備えるスプレーヘッダ１２０が２組配置され、さらにその両側にそれぞれ３個のスプレーノズル１２１を備えるスプレーヘッダ１２０が配置されている。これにより、幅方向に所定間隔で１８個のスプレーノズル１２１が配置され、４ｍ程度の幅の板ガラスＧに対応し得るようになっている。

スプレーヘッダ１２０には、図１（ａ）に示すように、薬液供給管２１０、圧縮空気供給管２２０およびノズル洗浄用軟水供給管２３０が接続されている。圧縮空気供給管２２０は、パイロットエア供給管２２１と、噴霧エア供給管２２２とに分岐して、それぞれスプレーヘッダ１２０に接続されている。
そして、スプレーヘッダ１２０は、薬液供給管２１０によって供給される薬液を、噴霧エア供給管２２２によって供給される圧縮空気でスプレーノズル１２１から所定角度で下側に噴霧する。以後、スプレーノズル１２１から薬液が噴霧される領域を噴霧領域４という。

スプレーフード１３０は、図３に示すように、噴霧領域４を挟んで上流側と下流側とに対称に配置されたフード板１３１，１３２と、その下面にそれぞれ装着された吸液性部材１３３，１３４と、を備えている。
フード板１３１，１３２は、ステンレス鋼板等の板材によって、それぞれフレーム１１０における支持板１１３の下面に固定されたスプレーフード吸引パイプ１３５，１３６と一体に形成されている。

スプレーフード吸引パイプ１３５，１３６は、矩形断面のパイプである。
上流側のスプレーフード吸引パイプ１３５の上面にはボルトが固定されている。そのボルトがフレーム１１０を下側から上側に貫通し、その突出した上端にナットが螺合している。これにより、スプレーフード吸引パイプ１３５は、支持板１１３の下側の、後述する上流側排気フード１４０との隅部に固定されている。

同様に、下流側のスプレーフード吸引パイプ１３６の上面にはボルトが固定されている。そのボルトがフレーム１１０を下側から上側に貫通し、その突出した上端にナットが螺合している。これにより、スプレーフード吸引パイプ１３６は、支持板１１３の下側の、後述するダミーフード１５１との隅部に固定されている。

フード板１３１，１３２は、スプレーフード吸引パイプ１３５，１３６の下側のスプレーヘッダ１２０に近い側の角部から、スプレーノズル１２１に向かって所定角度で傾斜し、その先端は支持板１１３の下面のスプレーノズル１２１から所定間隔離れた位置に接している。
上記のような構成により、スプレーフード１３０は、スプレーノズル１２１を挟んで前後対称に配置されたフード板１３１，１３２によって、スプレーノズル１２１から所定角度で塗布位置に向かって広がる形状に形成されている。

スプレーフード１３０の下面（噴霧領域４側）には、吸液性部材１３３，１３４が設けられている。
吸液性部材１３３，１３４は、微細な連続気泡を有して毛細管現象等によって液体を吸蔵することのできる素材、たとえば、熱硬化性樹脂を原料としたスポンジ等によって、所定厚さの板状に形成されている。
吸液性部材１３３は、上流側のフード板１３１とスプレーフード吸引パイプ１３５の下面とを覆うように、接着等によって装着されている。同様に、吸液性部材１３４は、下流側のフード板１３２とスプレーフード吸引パイプ１３６の下面とを覆うように、接着剤等によって装着されている。

ここで、スプレーフード吸引パイプ１３５，１３６は、その下面に所定径の吸引孔１３５Ｈ，１３６Ｈが、長手方向に所定間隔で複数開口形成されており、この吸引孔１３５Ｈ，１３６Ｈが吸液性部材１３３，１３４の表面とスプレーフード吸引パイプ１３５，１３６の内部とを連通させている。

また、スプレーフード吸引パイプ１３５，１３６は、図６に示すように、それぞれその端部に装着された吸引装置３００によって内部が吸引されるようになっている。吸引装置３００は、たとえば、圧縮空気が供給されると、スプレーフード吸引パイプ１３５，１３６の内部の空気を吸引するエジェクタである。

上記構成のスプレーフード１３０では、吸引装置３００によってスプレーフード吸引パイプ１３５，１３６の内部を吸引することで、その吸引力は吸引孔１３５Ｈ，１３６Ｈを介して吸液性部材１３３，１３４に及ぶ。これにより、吸液性部材１３３，１３４が含む液体を吸引することができるようになっている。
吸引装置３００の駆動によって吸引された液体は、ブレードホース３０１を介して図示しない回収タンクに回収されるようになっている。

図４に示すように、上流側排気フード１４０は、ステンレス鋼板等の板材によって、断面形状が所定長さの縦長の矩形で下面側は吸気口１４５が開放する形状に形成されている。上流側排気フード１４０は、その下流側の面でフレーム１１０の前面に装着されている。
上流側排気フード１４０の上流側の面を形成する外面板１４１は所定高さの位置から所定角度で下流側に向けて折り曲げられている。

上流側排気フード１４０の下流側の面を形成する内面板１４２には、フレーム１１０における支持板１１３の垂下部１１３Ｆが接合されて、内面板１４２を延長するように垂下している。
垂下部１１３Ｆは、外面板１４１の屈曲部より所定量高い位置から上流側に向けて折り曲げられて、仕切板１４３を形成している。
仕切板１４３の下縁は、外面板１４１の下縁より所定量低く設定されており、これにより、上流側排気フード１４０の下部は、前後非対称の先すぼまりの形状で下側やや下流側に向かって開口している。

上流側排気フード１４０の上面には、上流側排気ダクト１８０が接続されている。この上流側排気ダクト１８０は、図１（ｂ）に示すように、上流側排気フード１４０の長手方向（幅方向）に所定間隔で複数配置されている。
上流側排気ダクト１８０は、上流側排気フード１４０の上面への接続部から所定の半径の曲管部１８１で上流側に９０°屈曲し、水平な状態で鉛直部１８２に接続している。鉛直部１８２は、所定長さの有底の円筒状で、曲管部１８１はその底部より所定高い位置に接続されている。鉛直部１８２における曲管部１８１の接続部位より下側（底側）は液溜となっており、底部には溜まった薬液を排出するためのドレンプラグ１８３が設けられている。

上流側排気ダクト１８０の上端にはフレキシブルダクト１８４が接続され、このフレキシブルダクト１８４は、図１（ｃ）に示すように、排気チャンバ２００に接続されている。排気チャンバ２００には、統合排気ダクト２０１が接続されている。
上記のように構成された上流側排気フード１４０は、図示しない排気装置の駆動によって、統合排気ダクト２０１、排気チャンバ２００、フレキシブルダクト１８４、上流側排気ダクト１８０を介して、下部開口部から近傍の雰囲気を吸引する。

図５に示すように、下流側排気フード１５０は、スプレーノズル１２１を挟んで前述した上流側排気フード１４０と全く対称に形成されたダミーフード１５１に、ブラケット１５２を介して支持されている。
ブラケット１５２は、ダミーフード１５１の上部に係合する係合部から下流側において垂下するアーム部１５２Ａの先端で、下流側排気フード１５０を支持している。

下流側排気フード１５０は、上面板１５０Ｕと下面板１５０Ｌとが背面板１５０Ｂで連続した、上流側に吸気口１９２が開口するコ字状の断面形状に形成されている。
下流側排気フード１５０は、背面板１５０Ｂでブラケット１５２のアーム部１５２Ａの下端部１５２Ｂに装着されている。下端部１５２Ｂは下流側に向けて所定角度で傾斜しており、下流側排気フード１５０は上流側開口部が下向きとなる所定角度で傾斜して設けられている。

下流側排気フード１５０の上面板１５０Ｕの先端は、ダミーフード１５１の下流側を形成する外面板１５１Ａの先端と、略一致している。
下面板１５０Ｌの先端は、上面板１５０Ｕの先端より所定量前方（上流側）に突出しており、この突出部分はダミーフード１５１の真下に位置し、ここが下流側液受け部１７０となっている。この下流側液受け部１７０については、後に詳述する。

下流側排気フード１５０の背面には、直角に屈曲するエルボ管１９０が他端を上向きとして接続されており、その他端にフレキシブルダクト１９１が接続されている。フレキシブルダクト１９１の他端は、図１（ｃ）に示すように、排気チャンバ２００に接続されている。

上記のように構成された下流側排気フード１５０は、前述した上流側排気フード１４０と同様に、図示しない排気装置の駆動によって、統合排気ダクト２０１、排気チャンバ２００、フレキシブルダクト９１、エルボ管１９０を介して、上流側開口部から近傍の雰囲気を吸引する。
なお、排気フードの形状としては、液滴の飛散という面からすると、下流側排気フード１５０のほうが好ましい。これは、ダクト上方から落下した液滴は、下流側においては、まず、エルボ１９０の側面に衝突し、衝突により飛散した液滴はエルボ１９０の外部まで飛散しにくいからである。
しかし、上流側排気フード１４０の場合は、横方向にスペースをとらないという利点がある。

図４に示すように、上流側液受け部１６０は、上流側排気フード１４０に、ブラケット金具１６０Ｂを介して支持されている。
ブラケット金具１６０Ｂは、上流側排気フード１４０の上部に係合する係合部から上流側において垂下し、その先端で上流側液受け部１６０を支持している。

上流側液受け部１６０は、ブラケット金具１６０Ｂの垂下部に固定される鉛直に取り付けられている。
上流側液受け部１６０は、垂下部に固定された鉛直部１６１と、その鉛直部１６１の下側より連続して水平より所定角度下向きに屈曲された、前後方向に所定長さを有する上流側液受け板１６２Ａと、上流側吸引パイプ１６２Ｐと、上流側堰き止め板１６２Ｂと、吸液性部材１６２Ｃと、を備える。

上流側液受け板１６２Ａの先端は、上流側排気フード１４０における内面板１４２の先端より連続する仕切板１４３よりも下流側（スプレーヘッダ１２０寄り）に設定されている。また、上流側液受け板１６２Ａの下面には、Ｌ形鋼による固定金具１６２Ｄが固定されている。

上流側吸引パイプ１６２Ｐは、矩形断面のパイプである。上流側吸引パイプ１６２Ｐは、その上流側の面の所定位置に固定されたナット板に固定金具１６２Ｄを貫通して螺合したボルトによって固定金具１６２Ｄに固定され、上流側液受け板１６２Ａの下面に、その先端縁に沿って配置されている。
上流側吸引パイプ１６２Ｐの上面は、上流側液受け板１６２Ａの裏面に密着し、下流側の面（スプレーノズル１２１側の面）は、上流側液受け板１６２Ａの端縁より所定量突出している。

上流側吸引パイプ１６２Ｐの下流側の面および下面には、それぞれ所定径の吸引孔１６２Ｈが開口形成されている。吸引孔１６２Ｈは、上流側吸引パイプ１６２Ｐの長手方向に沿って所定間隔で複数配置されている。
また、上流側吸引パイプ１６２Ｐは、図６に示すように、その端部に装着された吸引装置３００によって内部が吸引されるようになっている。

上流側堰き止め板１６２Ｂは、薄板状であって、上流側吸引パイプ１６２Ｐの下流側の面に固定され、上縁は上流側液受け板１６２Ａの上面より所定量高く設定されている。
吸液性部材１６２Ｃは、微細な連続気泡を有して毛細管現象等によって液体を吸蔵することのできる素材、たとえば、熱硬化性樹脂を原料としたスポンジ等によって、所定厚さの板状に形成されている。吸液性部材１６２Ｃは、上流側吸引パイプ１６２Ｐの下面と、上流側堰き止め板１６２Ｂのスプレーノズル１２１側の面の全面に、接着等によって装着されている。
上流側吸引パイプ１６２Ｐの下流側の面および下面の吸引孔１６２Ｈは、吸液性部材１６２Ｃの表面と上流側吸引パイプ１６２Ｐの内部とを連通させている。

これにより、吸引装置３００によって上流側吸引パイプ１６２Ｐの内部を吸引することで、その吸引力は吸引孔１６２Ｈを介して吸液性部材１６２Ｃに及び、吸液性部材１６２Ｃが含む液体を吸引するようになっている。
前述したように、吸引装置３００の吸引によって吸引された液体は、ブレードホース３０１を介して図示しない回収タンクに回収される。
なお、上流側吸引パイプ１６２Ｐ及び下流側吸引パイプ１７２は、それぞれ上流側液受け板１６２Ａ及び下流側液受け板１７１の下側に凸設して取り付けられている。このため、吸引パイプ１６２Ｐ，１７２よりも外側にはミストが回りにくくなっている。

図５に示すように、下流側液受け部１７０は、下流側排気フード１５０における下面板１５０Ｌの上面板１５０Ｕより突出する先端部分である下流側液受け板１７１と、下流側吸引パイプ１７２と、下流側堰き止め板１７３と、吸液性部材１７４と、を備える。なお、この下流側液受け部１７０は、スプレーノズル１２１を挟んで上流側の液受け部１６２と対称に構成されている。

下流側液受け板１７１の先端（下面板１５０Ｌの先端）は、ダミーフード１５１における内面板１５１Ｂから延びる仕切板１５１Ｃの先端より、上流側（スプレーヘッダ１２０寄り）に設定されている。
また、下流側液受け板１７１の下面には、Ｌ形鋼による固定金具１７５が固定されている。

下流側吸引パイプ１７２は、矩形断面のパイプであって、その下流側の面の所定位置に固定されたナット板に固定金具１７５を貫通して螺合したボルトによって固定金具１７５に固定され、下流側液受け板１７１の下面に、その先端縁に沿って配置されている。
下流側吸引パイプ１７２の上面は、下流側液受け板１７１の裏面に密着し、上流側の面（スプレーノズル１２１側の面）は、液受け板１７１の端縁より所定量突出している。

下流側吸引パイプ１７２の上流側の面および下面には、それぞれ所定径の吸引孔１７２Ｈが開口形成されている。吸引孔１７２Ｈは、下流側吸引パイプ１７２の長手方向に沿って所定間隔で複数配置されている。
また、下流側吸引パイプ１７２は、図６に示すように、その端部に装着された吸引装置３００によって内部が吸引されるようになっている。

下流側堰き止め板１７３は、薄板状であって、下流側吸引パイプ１７２の下流側の面に固定され、上縁は下流側液受け板１７１の上面より所定量高く設定されている。
吸液性部材１７４は、微細な連続気泡を有して毛細管現象等によって液体を吸蔵することのできる素材、たとえば、熱硬化性樹脂を原料としたスポンジ等によって、所定厚さの板状に形成されている。吸液性部材１７４は、下流側吸引パイプ１７２の下面と、下流側堰き止め板１７３のスプレーノズル１２１側の面の全面に、接着等によって装着されている。
下流側吸引パイプ１７２の上流側の面および下面の吸引孔１７２Ｈは、吸液性部材１７４の表面と下流側吸引パイプ１７２の内部とを連通させている。

これにより、吸引装置３００によって下流側吸引パイプ１７２の内部を吸引することで、その吸引力は吸引孔１７２Ｈを介して吸液性部材１７４に及び、吸液性部材１７４が含む液体を吸引するようになっている。
前述したように、吸引装置３００の吸引によって吸引された液体は、ブレードホース３０１を介して図示しない回収タンクに回収される。

そして、上記のように構成された液体塗布装置１００は、ローラコンベア２によって搬送される板ガラスＧが塗布位置３に来たときに、その表面に、スプレーヘッダ１２０のスプレーノズル１２１から薬剤の水溶液である薬液を所定角度でスプレーして塗布する。

この塗布時において、排気装置を駆動して、上流側排気フード１４０および下流側排気フード１５０から、スプレーノズル１２１の近傍領域におけるスプレーによる薬液のミストや気化した薬剤を吸入して排気する。

ここで、上流側液受け部１６０は、薬液のミスト等が上流側排気フード１４０の内面，その上側の上流側排気ダクト１８０の内面および上流側排気フード１４０の下部外面、に凝着して落下する液滴を受け止め、ガラス板の表面に落下することを防ぐ。

すなわち、上流側排気フード１４０が吸入した薬液のミスト等が、上流側排気フード１４０およびその上側の上流側排気ダクト１８０の内面に凝着し、液滴となって下部開口部から落下することがある。
上流側液受け部１６０における上流側液受け板１６２Ａは、その先端が上流側排気フード１４０の下部開口部（仕切板１４３の下端縁）より下流側に位置するため、その下部開口部から滴下する液滴を全て受け止めることができる。
上流側液受け板１６２Ａの先端には上流側堰き止め板１６２Ｂが設けられており、上流側液受け板１６２Ａの上面に溜まった薬液が先端からガラス板上にこぼれ落ちることは無い。

同様に、下流側液受け部１７０は、薬液のミスト等が下流側排気フード１５０の内面，エルボ管１９０の内面およびダミーフード１５１の下部内外面、に凝着して滴下する液滴を受け止め、ガラス板の表面に落下することを防ぐ。

下流側排気フード１５０は、水平に近い姿勢で設けられているため、凝着した薬液は内面に沿って流下して、下流側液受け部１７０における下流側液受け板１７１の上面に、下流側堰き止め板１７３によって堰き止められてガラス板上にこぼれ落ちること無く溜まる。
また、下流側液受け部１７０における下流側液受け板１７１は、その先端がダミーフード１５１の下部開口部（仕切板１５１Ｃの下端縁）より下流側に位置するため、その下部開口部から滴下する液滴を受け止めることができる。

また、スプレーノズル１２１との間に障壁が無く、且つ、下側に向いた面には、スプレーノズル１２１からスプレーされた薬液のミストが直接、または回り込んでかかり、ミストがその表面に凝着する。
すなわち、スプレーフード１３０の下面、上流側液受け部１６０における上流側吸引パイプ１６２Ｐの下面、上流側堰き止め板１６２Ｂの前面（下流側に向かう面）、下流側液受け部１７０における下流側吸引パイプ１７２の下面、および、下流側堰き止め板１７３の前面（上流側に向かう面）には、ミストが凝着する。
これらの面には、吸液性部材１３３，１３４，１６２Ｃ，１７４が装着されており、その表面に凝着したミストは、これら吸液性部材１３３，１３４，１６２Ｃ，１７４に、毛細管現象によって吸収されて保持される。その保持された薬液は、スプレーフード吸引パイプ１３５，１３６、上流側吸引パイプ１６２Ｐ、下流側吸引パイプ１７２によって吸引回収される。
これにより、これらの表面に凝着した薬剤の液滴が、ガラス板の表面に落下することを防ぐことができる。

以上、本実施形態によると、以下の効果を有する。
（１）本実施形態は、上流側排気フード１４０の下側に、上流側液受け部１６０を備えている。上流側液受け部１６０は、薬液のミスト等が、上流側排気フード１４０の内面，その上側の上流側排気ダクト１８０の内面および上流側排気フード１４０の下部外面、に凝着して落下する液滴を受け止め、ガラス板の表面に落下することを防ぐ。これにより、液滴がガラス板の表面に落下してシミを作ることによる塗布不良の発生を減らすことができる。

（２）下流側排気フード１５０の先端部に、下流側液受け部１７０を備えている。下流側液受け部１７０は、薬液のミスト等が、下流側排気フード１５０の内面，エルボ管１９０の内面およびダミーフード１５１の下部内外面、に凝着して滴下する液滴を受け止め、ガラス板の表面に落下することを防ぐ。また、下流側液受け部１７０における下流側液受け板１７１は、ダミーフード１５１の下部開口部の下側に位置するため、その下部開口部から滴下する液滴を受け止め、ガラス板の表面に落下することを防ぐ。

（３）下流側排気フード１５０は、その背面に排気を吸引するエルボ管１９０が接続されている。このため、排気系の下流側からの液滴の落下距離が短く、さらに、下流側液受け部１７０まで距離も有り、液滴のガラス板の表面への落下を防止できる。

（４）スプレーフード１３０の下面、上流側液受け部１６０における上流側吸引パイプ１６２Ｐの下面、上流側堰き止め板１６２Ｂの前面（下流側に向かう面）、下流側液受け部１７０における下流側吸引パイプ１７２の下面、および、下流側堰き止め板１７３の前面（上流側に向かう面）には、吸液性部材１３３，１３４，１６２Ｃ，１７４が装着されている。
その表面に凝着したミストは、これら吸液性部材１３３，１３４，１６２Ｃ，１７４に、毛細管現象によって吸収されて保持される。
吸液性部材１３３，１３４，１６２Ｃ，１７４に保持された薬液は、スプレーフード吸引パイプ１３５，１３６、上流側吸引パイプ１６２Ｐ、下流側吸引パイプ１７２によって吸引回収される。
これにより、これらの表面に凝着した薬剤の液滴が、ガラス板の表面に落下することを防ぐことができる。

（５）上記（１）〜（３）により、薬剤の液滴が、ガラス板の表面に落下することを防ぐことができるため、上流側排気フード１４０および下流側排気フード１５０からの排気吸引力を強くして液滴の落下を防ぐ必要が無くなる。これにより、薬液の噴霧量を少なくしても十分な量の薬液をガラス板の表面への塗布でき、合理的な塗布作業が可能となる。

（６）上流側液受け部１６０の先端部には、所定高さの上流側堰き止め板１６２Ｂが設けられている。この上流側堰き止め板１６２Ｂは、上流側液受け板１６２Ａの上面に落下した液滴が跳ねて、その飛沫がガラス板の表面に落下することを抑制する。
また、下流側液受け部１７０における下流側液受け板１７１の先端部には、所定高さの下流側堰き止め板１７３が設けられている。この下流側堰き止め板１７３は、下流側液受け板１７１の上面に落下した液滴が跳ねて、その飛沫がガラス板の表面に落下することを防ぐ。

（７）上流側排気フード１４０は、その下流側の面を形成する内面板１４２の下端部に、上流側に向けて折曲された仕切板１４３を備えている。これにより、仕切板１４３を伝って流下する液滴の落下位置を、上流側液受け部１６０の上流側液受け板１６２Ａの先端部より奥まった位置（上流側）に設定できる。
その結果、上流側液受け板１６２Ａの上面で跳ねた液滴の飛沫が、上流側堰き止め板１６２Ｂを超えてガラス板の表面に落下することを抑制できる。

（８）上流側排気フード１４０の上面に接続される上流側排気ダクト１８０は、上流側排気フード１４０への接続部から曲管部１８１で上流側に９０°屈曲し、水平な状態で鉛直部１８２に接続している。
このため、鉛直部１８２および鉛直部１８２に繋がる下流側の排気系からの液滴が上流側排気ダクト１８０内に落下することがない。

（９）上流側吸引パイプ１６２Ｐは、上流側液受け部１６０の上流側液受け板１６２Ａの下面側先端部に設けられている。
これにより、この上流側吸引パイプ１６２Ｐが、薬液ミストが上流側に回り込むことを防ぎ、上流側液受け板１６２Ａの下面への薬液の凝着を抑制することができる。
同様に、下流側液受け部１７０における下流側吸引パイプ１７２は、下流側液受け板１７１の下面先端部に設けられている。
これにより、この下流側吸引パイプ１７２が、薬液ミストが下流側に回り込むことを防ぎ、下流側液受け板１７１の下面への薬液の凝着を抑制することができる。

（変形形態）
以上、説明した実施形態に限定されることなく、以下に示すような種々の変形や変更が可能であり、それらも本発明の範囲内である。
（１）上記実施形態では、スプレーノズル１２１を挟んで、ガラス板の搬送方向上流側と下流側とで（上流側排気フード１４０と下流側排気フード１５０とで）排気フードの構成が異なる。しかし、両者を同じ構成としても良い。その場合、液受けの構成も対応したものとする。

（２）上記実施形態では、スプレーフード１３０、上流側液受け部１６０、下流側液受け部１７０に設けられた吸液性部材１３３，１３４，１６２Ｃ，１７４は、スポンジであり、剛性基板に接着によって固定されている。
しかし、吸液性部材は、スポンジに限らず、たとえば、超高分子量ポリエチレンによる多孔質プラスチック成形板等、毛細管現象によって液体を吸蔵し得ると共にそれ自体が所定の剛性を有する素材を用い、構造体を兼ねる構成としても良い。

（３）吸液性部材の配置箇所は、上記実施形態に限らず、適宜変更可能である。たとえば、図４中に二点鎖線で示すように、上流側液受け部１６０の上流側液受け板１６２Ａの上面に設けても良い。
これにより、図４中矢印で示すように、上流側排気フード１４０の上側から長い距離を落下して来る液滴が、上流側液受け板１６２Ａの上面で跳ね、その飛沫が上流側堰き止め板１６２Ｂを飛び越えて落下することを抑制できる。

これは、下流側液受け部１７０における下流側液受け板１７１の上面においても同様であるが、下流側排気フード１５０は、背面側から排気する構成であって、液滴の落下距離が比較的短いため、上流側液受け部１６０より効果は小さい。
なお、実施形態及び変形形態は、適宜組み合わせて用いることもできるが、詳細な説明は省略する。また、本発明は以上説明した実施形態によって限定されることはない。

Ｇ：板ガラス、１：液体塗布装置、３：塗布位置、４：噴霧領域、１１０：フレーム、１１３：支持板、１２１：スプレーノズル、１３０：スプレーフード、１３３：吸液性部材、１３４：吸液性部材、１３５：スプレーフード吸引パイプ、１３５Ｈ：吸引孔、１３６：スプレーフード吸引パイプ、１３６Ｈ：吸引孔、１４０：上流側排気フード、１５０：下流側排気フード、１５１：ダミーフード、１５２：ブラケット、１６０：上流側液受け部、１６２：上流側液受け板、１６２Ａ：上流側液受け板、１６２Ｃ：吸液性部材、１６２Ｈ：吸引孔、１６２Ｐ：上流側吸引パイプ、１７０：下流側液受け部、１７１：下流側液受け板、１７２：下流側吸引パイプ、１７２Ｈ：吸引孔、１７４：吸液性部材、１８０：上流側排気ダクト

Claims (8)

1. 塗布対象物に液体が塗布される塗布位置に向けて、前記液体を噴霧するノズルと、
   前記ノズルの液体噴霧領域の周辺部４において下方または下側方に向かって開放した吸気口を備える第１フード部と、
   前記吸気口の下方領域及び、上方に設けられた構造体に凝着して落下する前記液体を受け、落下した前記液体が流れる液受け面を有する液受け部と、
   前記第１フード部よりも前記ノズル側に配置され、前記ノズル側の一端は前記ノズルの側部に位置し、前記第１フード側の他端は前記一端よりも下方に位置する板状体、及び前記板状体の前記液体噴霧領域側の面に配置された第２吸液性部材を有する第２フード部と、
   前記液受け面の上方おいて、前記第２フード部の側部に上端を有し、前記液受け面の前記液体噴霧領域側の端部よりも前記液受け面側に下端を有し、上部より落下する液滴を受けて、前記液受け面上に導いて落下させる仕切り板と、を備えること、を特徴とする液体塗布装置。
2. 請求項１に記載の液体塗布装置であって、
   前記液受け部は、前記液体噴霧領域側の面に第１吸液性部材を有すること、
   を特徴とする液体塗布装置。
3. 請求項１または２に記載の液体塗布装置であって、
   前記液受け部は、前記液受け部に保持された前記液体を吸引して排出する第１吸液装置を有すること、
   を特徴とする液体塗布装置。
4. 請求項１〜３のいずれか１項に記載の液体塗布装置であって、
   前記液受け部は、
   前記液受け面の液体噴霧領域側の端部に設けられ、前記液受け面から上側に延びる壁部を有すること、
   を特徴とする液体塗布装置。
5. 請求項４に記載の液体塗布装置であって、
   前記第２フード部は、前記第２吸液性部材が吸液した前記液体を吸引して排出する第２吸液装置を有すること、
   を特徴とする液体塗布装置。
6. 請求項１から５のいずれか１項に記載の液体塗布装置において、
   前記吸気口と排気ダクトとを接続するエルボを備え、
   前記エルボの前記液受け面側の下内側面は、前記液受け面に沿って延びていること、
   を特徴とする液体塗布装置。
7. 請求項３から６のいずれか１項に記載の液体塗布装置において、
   第１吸液装置は、それぞれ前記液受け板の下側に凸設して取り付けられていること、
   を特徴とする液体塗布装置。
8. 請求項１から７のいずれか１項に記載の液体塗布装置において、
   前記第１フード部と排気ダクトとを接続する接続筒を備え、
   前記接続筒は、前記第１フード部から延びる曲管部と、
   前記曲管部と前記排気ダクトとの間に接続された鉛直筒部と、を有すること、
   を特徴とする液体塗布装置。

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