JP6164062B2 - 炭化珪素半導体装置の製造方法 - Google Patents
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Description
実施の形態にかかる炭化珪素半導体装置の製造方法によって作製(製造)される炭化珪素半導体装置の構造について、絶縁ゲート型電界効果トランジスタ(MOSFET)を例に説明する。図1は、実施の形態にかかる炭化珪素半導体装置の製造方法により製造される炭化珪素半導体装置の一例を示す断面図である。図1に示すように、実施の形態にかかる炭化珪素半導体装置において、炭化珪素(SiC)からなるn型半導体基板(以下、n型SiC基板とする)1のおもて面の表面層には、p+型ソース領域2およびp+型ドレイン領域3がそれぞれ選択的に設けられている。p+型ソース領域2とp+型ドレイン領域3とは離れて設けられている。
2 p+型ソース領域
3 p+型ドレイン領域
4 ゲート絶縁膜
5 ゲート電極
6 ソース電極
7 ドレイン電極
8 裏面電極
11 ニッケル層
12 チタン層
13 ニッケルシリサイド層
14 炭素析出層
Claims (3)
- 炭化珪素からなる半導体基板の表面に、ニッケルおよびチタンを含む第1金属層を30nm以上160nm以下の厚さで形成する第1金属層形成工程と、
975℃以上1200℃以下の温度で2分間以上30分間以下の熱処理により前記第1金属層を前記半導体基板と反応させてシリサイド化し、チタンカーバイドを含むニッケルシリサイド層を形成する熱処理工程と、
前記ニッケルシリサイド層の表面層を少なくとも前記第1金属層の厚さ分除去して、前記ニッケルシリサイド層の厚さを薄くする除去工程と、
前記除去工程後に前記半導体基板の表面に残る前記ニッケルシリサイド層の表面に、第2金属層を形成する第2金属層形成工程と、
を含み、
前記除去工程では、前記熱処理工程において前記第1金属層よりも厚さの厚くなった炭素析出層を含む前記ニッケルシリサイド層の表面層を、前記第1金属層の厚さよりも15nm以上30nm以下の範囲内で厚い厚さ分除去することで、前記熱処理工程において前記ニッケルシリサイド層の内部に層状に残存した炭素原子からなる前記炭素析出層を除去し、前記ニッケルシリサイド層の、前記炭素析出層よりも前記半導体基板側の部分を残すことを特徴とする炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記第1金属層形成工程では、前記半導体基板の(0001)面に前記第1金属層を形成することを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
- 前記第1金属層形成工程では、前記半導体基板の表面に、ニッケル層およびチタン層を順に形成することにより前記第1金属層を形成することを特徴とする請求項1または2に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
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