JP5561343B2 - 炭化珪素半導体装置の製造方法 - Google Patents
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図1は、本実施の形態にかかる炭化珪素半導体装置の構造を示す断面図である。図1に示すように、本実施の形態にかかる炭化珪素半導体装置は、n型SiC領域1に、ニッケルシリサイド(Ni2Si)膜4と、ニッケルアルミ(NiAl)膜5と、アルミニウム(Al)膜6と、がこの順に積層された構造となっている。
2 ニッケル膜
3 酸化ニッケル膜
4 ニッケルシリサイド膜
5 ニッケルアルミ膜
6 アルミニウム膜
Claims (5)
- n型炭化珪素基板、または、炭化珪素基板の表面に形成されたn型炭化珪素領域の表面に、ニッケル膜を形成するニッケル膜形成工程と、
前記ニッケル膜形成工程によって形成されたニッケル膜の表面に、酸化ニッケル膜を形成する酸化ニッケル膜形成工程と、
前記酸化ニッケル膜形成工程の後に、窒素雰囲気以外の酸化しない雰囲気中で熱処理をおこない、前記ニッケル膜の一部にニッケルシリサイド膜を形成する熱処理工程と、
前記熱処理工程の後に、前記酸化ニッケル膜を除去する酸化ニッケル膜除去工程と、
前記酸化ニッケル膜除去工程によって酸化ニッケル膜の除去された前記ニッケルシリサイド膜の表面に、アルミニウム膜を形成するアルミニウム膜形成工程と、
を含むことを特徴とする炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記酸化ニッケル膜除去工程と、前記アルミニウム膜形成工程との間に、
前記ニッケルシリサイド膜の表面に、ニッケルアルミ膜を形成するニッケルアルミ膜形成工程を含み、
前記アルミニウム膜形成工程は、前記ニッケルアルミ膜形成工程によって形成されたニッケルアルミ膜の表面に、前記アルミニウム膜を形成することを特徴とする請求項1に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記ニッケル膜形成工程は、前記ニッケル膜を0.05μm以上0.2μm以下の厚さで形成し、
前記酸化ニッケル膜形成工程は、前記酸化ニッケル膜を0.05μm以上0.15μm以下の厚さで形成することを特徴とする請求項1または2に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記ニッケルアルミ膜形成工程は、前記ニッケルアルミ膜を5nm以上20nm以下の厚さで形成し、
前記アルミニウム膜形成工程は、前記アルミニウム膜を2μm以上4μm以下の厚さで形成することを特徴とする請求項2に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。 - 前記ニッケルアルミ膜形成工程は、ニッケルの含有率が40at%以上60at%以下で、残りがアルミニウムのニッケルアルミターゲットを用いたスパッタ法によって前記ニッケルアルミ膜を形成することを特徴とする請求項2または4に記載の炭化珪素半導体装置の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012243974A JP5561343B2 (ja) | 2012-11-05 | 2012-11-05 | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
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Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
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JP2007212919A Division JP5282382B2 (ja) | 2007-08-17 | 2007-08-17 | 炭化珪素半導体装置、その製造方法および炭化珪素デバイス |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2013051435A JP2013051435A (ja) | 2013-03-14 |
JP5561343B2 true JP5561343B2 (ja) | 2014-07-30 |
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ID=48013217
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Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012243974A Expired - Fee Related JP5561343B2 (ja) | 2012-11-05 | 2012-11-05 | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
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Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5561343B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102012213077A1 (de) * | 2012-07-25 | 2014-01-30 | Robert Bosch Gmbh | Verfahren zum Kontaktieren eines Halbleitermaterials mit einer Kontaktlage |
JP6160541B2 (ja) * | 2014-03-31 | 2017-07-12 | 富士電機株式会社 | 炭化珪素半導体装置の製造方法 |
JP6398744B2 (ja) * | 2015-01-23 | 2018-10-03 | 三菱電機株式会社 | 半導体デバイス用基板の製造方法 |
Family Cites Families (4)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3249189B2 (ja) * | 1992-06-12 | 2002-01-21 | 株式会社東芝 | 炭素を含むiv族半導体素子 |
JP4671314B2 (ja) * | 2000-09-18 | 2011-04-13 | 独立行政法人産業技術総合研究所 | オーミック電極構造体の製造方法、接合型fet又は接合型sitのオーミック電極構造体の製造方法、及び半導体装置の製造方法 |
JP2002217129A (ja) * | 2001-01-18 | 2002-08-02 | New Japan Radio Co Ltd | シリコンカーバイド半導体装置の製造方法 |
JP4890765B2 (ja) * | 2005-01-18 | 2012-03-07 | 株式会社日立製作所 | 半導体装置及びその製造方法 |
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2012
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JP2013051435A (ja) | 2013-03-14 |
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A977 | Report on retrieval |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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