JP6157932B2 - 塗布装置 - Google Patents

Description

本発明は塗布装置及び塗布方法に関する。

従来から、ＬＥＤチップを光源とする発光モジュール（以下、ＬＥＤ光源発光モジュールと称する）では、実装用基板（例えばセラミック基板）に実装されたＬＥＤチップは、蛍光体が含有された封止樹脂（以下、蛍光体樹脂と称する）が基板上に円形又は楕円形に形成されることで封止される。これにより、実装用基板に実装されたＬＥＤチップが保護される。

この蛍光体樹脂をディスペンサにより円形又は楕円形に形成するために、従来から、蛍光体樹脂を塗布する前に、蛍光体樹脂を弾く撥液剤を実装用基板上であって蛍光体樹脂の形成領域の周囲に形成しておく方法が用いられている。

まず、蛍光体樹脂を実装用基板に塗布する前に、上記撥液剤を実装用基板の表面全面にスプレーを用いて噴霧する。そして、実装用基板の全面に噴霧された撥液剤のうち、後にダイボンディングにより実装用基板に搭載される一又は複数のＬＥＤチップの搭載領域は除去され、そのＬＥＤチップの搭載領域の周囲は残るようにマスキングをする。

この後、プラズマ等を用いたエッチングをすることで、実装用基板の全面に塗布された撥液剤のうち、上記ＬＥＤチップの搭載領域が除去され、当該ＬＥＤチップの搭載領域の周囲は残る。

そして、ダイボンディングにより、実装用基板の上記ＬＥＤチップの搭載領域に、一又は複数のＬＥＤチップを搭載し、当該ＬＥＤチップと実装用基板とをＡｕワイヤ等で電気的に接続する。これにより、実装用基板に一又は複数のＬＥＤチップが実装される。

この後、実装用基板に実装された一又は複数のＬＥＤチップ及びＡｕワイヤを覆うようにＬＥＤチップの搭載領域に蛍光体樹脂を塗布する。これにより、実装用基板に実装された一又は複数のＬＥＤチップが蛍光体樹脂により封止される。また、さらに、当該蛍光体樹脂を覆うように高透過率の透明樹脂をドーム状に形成する。

このように形成されたＬＥＤ光源発光モジュールは、複数個、金属バー等に実装されることで、当該複数のＬＥＤ光源発光モジュールはバックライト等の照明に使用される。

ここで、撥液剤は、膜厚の均一化のため、実装用基板の縁部からはみ出すように塗布される。このため、実装用基板からはみ出した撥液剤は、実装用基板を搬送する搬送ベルトにも付着する。この搬送用ベルトに付着した撥液剤をそのままにすると、他の実装用基板に付着したり、ダストの原因となったりすることで歩留り低下の原因となるため、この搬送用ベルトに付着した撥液剤を除去する必要がある。

特許文献１では、テーブルに載置されたワークの平面形状に合せて環状に形成された機能液受けを、ワークの縁部の下方に配している。特許文献１では、この機能液受けにより、ワークの周縁部からはみ出した機能液を回収している。

特許文献２では、ワークを搬送する搬送ベルトの下方に、搬送ベルトに付着した塗料を溶解可能な溶剤を貯留した洗浄層を配している。そして、余分な塗料が付着した搬送ベルトは、複数のローラにより洗浄槽へガイドされ、当該洗浄槽に貯留されている溶剤に浸漬される。これにより、搬送ベルトに付着した余分な塗料が除去される。

特開２００４-０００９２１号公報（２００４年１月８日公開） 特開平６‐１７０２８９号公報（１９９４年６月２１日公開） 特開２００５‐３１９６５０号公報（２００５年１１月１７日公開） 特開２００８‐３６８２９号公報（２００８年２月２１日公開）

しかしながら、特許文献１のように機能液受けを設ける場合、実用基板の４つの縁部の周囲に沿って、当該縁部の下方に機能液受けを設ける必要があり、装置が大型化するという課題が生じる。

また、特許文献２のように、複数のローラによってガイドされた搬送ベルトを浸漬可能な洗浄槽を設けておくと、装置が大がかりとなる。また、搬送ベルトを浸漬可能な程度の大きさの洗浄槽を用意しその洗浄槽に洗浄液を貯留しておく必要があるため、洗浄液の使用量が多くなり、生産コストの増加を招来する。

本発明は、上記課題を解決するためになされたもので、その目的は、小型で洗浄液の使用量を抑えた塗布装置及び塗布方法を提供することである。

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る塗布装置は、載置された基板を搬送する搬送部と、上記基板に成膜される機能性膜となる機能性液体を、上記基板の縁部からはみ出し上記搬送部にも付着するように上記基板の全面に塗布する第１塗布部と、上記機能性液体が全面に塗布された上記基板を上記搬送部が当該搬送部外へ排出した後、上記搬送部を洗浄するための洗浄液を、上記機能性液体が付着した上記搬送部に塗布する第２塗布部と、先端が上記搬送部と接触するように配され、上記搬送部と相対移動することで、上記搬送部に付着した上記機能性液体を上記搬送部から剥離する剥離部とを備え、上記剥離部の先端には、上記搬送部に付着した上記機能性液体を吸引するための吸引口が設けられている。

上記の課題を解決するために、本発明の一態様に係る塗布装置は、載置された基板を搬送する搬送部と、上記基板に成膜される機能性膜となる機能性液体を、上記基板の縁部からはみ出し上記搬送部にも付着するように上記基板の全面に塗布する第１塗布部と、上記機能性液体が全面に塗布された上記基板を上記搬送部が当該搬送部外へ排出した後、上記搬送部を洗浄するための洗浄液を、上記機能性液体が付着した上記搬送部に塗布する第２塗布部と、上記搬送部の上方に配されており、上記搬送部に付着した機能性液体の縁部の位置を検出するための位置検出センサとを備えている。

本発明の一態様によれば、小型で洗浄液の使用量を抑えた塗布装置及び塗布方法を提供するという効果を奏する。

実施形態１の塗布装置の構成を表す斜視図である。 実施形態１の塗布装置の構成を表す断面図である。 上記塗布装置の吐出ヘッドが撥液剤を基板に噴霧している様子を表す図である。 上記塗布装置のスクレーパの平面図である。 撥液剤を噴霧する塗布装置の動作を説明する図である。 洗浄液を噴霧する塗布装置の動作を説明する図である。 ＬＥＤパッケージの各製造工程における基板の平面図である。 エッチング処理工程の様子を表す図である。 ＬＥＤパッケージを表す図である。 ドライ洗浄の各方法と原理及び特徴を表す図である。 実施形態２の塗布装置の構成を表す斜視図である。 実施形態２の塗布装置の吐出パターン検出装置の構成を表すブロック図である。 実施形態２の塗布装置の動作を表す図である。

〔実施形態１〕
以下、本発明の実施の形態について、詳細に説明する。

（塗布装置１の構成）
まず、図１及び図２を用いて塗布装置１の構成について説明する。図１は実施形態１の塗布装置１の構成を表す斜視図である。図２は実施形態１の塗布装置１の構成を表す断面図である。

塗布装置１は、ベルトコンベア構造を有し、基板５を搬送可能な構造となっている。塗布装置１は、本実施の形態では、いわゆるＬＥＤパッケージであるＬＥＤ光源発光モジュールの製造過程で成膜される撥液剤（機能性液体、機能性膜）２８を塗布する装置であるものとして説明する。

撥液剤２８は、基板に実装されたＬＥＤチップを封止する封止樹脂を半球形状に形成するために、封止樹脂形成前に、基板上であって封止樹脂形成領域の周囲に形成される。

なお、塗布装置１は撥液剤２８を塗布する装置に限定されるものではない。塗布装置１が塗布する液体として、種々の機能性膜を基板に成膜するための液体（機能性液体）を用いることができる。

塗布装置１は、載置された基板５を搬送する搬送ベルト（搬送部、ベルト）１１と、搬送ベルト１１を回転移動させるローラ（搬送部）１２・１３と、搬送ベルト１１に載置された基板５に撥液剤２８を噴霧する吐出ヘッド（第１塗布部）２１と、搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８に洗浄液３８を噴霧する洗浄用ノズル（第２塗布部）３１と、搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８を剥離するスクレーパ（剥離部）４１と、剥離された撥液剤２８を貯留するトレイ（容器）４２と、塗布装置１の動作を制御する制御部６０とを備えている。

制御部６０は塗布装置１の各部を制御する装置である。制御部６０は、吐出ヘッド２１の動作を制御する吐出ヘッド制御部６１と、洗浄用ノズル３１の動作を制御する洗浄用ノズル制御部６２と、スクレーパ４１の動作を制御するスクレーパ制御部６３とを備えている。

さらに、塗布装置１は、ポンプ２５、空気供給部２６、及びタンク２７からなり吐出ヘッド２１に撥液剤２８を供給したり撥液剤２８を霧化して吐出ヘッド２１から噴霧させたりするためのユニットと、ポンプ３５、空気供給部３６、及びタンク３７からなり洗浄用ノズル３１に洗浄液３８を供給したり洗浄液３８を霧化して洗浄用ノズル３１から噴霧させたりするためのユニットとを備えている。

ここで、搬送ベルト１１の基板５の設置面と平行な平面における、基板５の搬送方向（基板搬送方向と称する場合がある）をＹ軸方向とし、Ｙ軸方向と直交する方向をＸ軸方向とする。

基板５は、一例として、ＬＥＤパッケージを形成するための基板である。基板５は、例えばセラミックからなる。なお、塗布装置１に投入する基板５として、ＬＥＤパッケージを形成するための基板に限定されるものではない。

搬送ベルト１１は、２箇所で折り返されることで、上側の搬送ベルト１１と、下側の搬送ベルト１１とが構成されている、無端ベルトである。搬送ベルト１１の材質は特に限定されるものではないが、例えばゴムからなる。

さらに、搬送ベルト１１の表面はフッ素樹脂により覆われていることが好ましい。これにより、搬送ベルト１１に撥液剤２８が付着しても、当該付着した撥液剤２８を剥離し易くすることができる。フッ素樹脂として、例えば、ポリテトラフルオロチレン（テフロン：登録商標）を用いることができる。

搬送ベルト１１の２箇所の折り返し部分（端部）のうち、基板５の搬送方向の上流側の折り返し部分（端部）は下方から上方へ向けて折り返されている。そして、基板５の搬送方向の上流側の折り返し部分の内側面に接触するようにＸ軸方向に延伸するローラ１２が配されている。

また、搬送ベルト１１の２箇所の折り返し部分（端部）のうち、基板５の搬送方向の下流側の折り返し部分（端部）は上方から下方へ向けて折り返されている。そして、基板５の搬送方向の下流側の折り返し部分の内側面に接触するようにＸ軸方向に延伸するローラ１３が配されている。

上側の搬送ベルト１１の表面は平坦であり、上側の搬送ベルト１１の表面に基板５が載置される。そして、ローラ１２・１３が回転することで搬送ベルト１１は回転移動する。

矢印Ａは、上側の搬送ベルト１１の移動方向である。すなわち矢印Ａは基板５の搬送方向である。矢印Ｂ（図２参照）は下側の搬送ベルト１１の移動方向である。すなわち、矢印Ｂは基板搬送方向と逆の方向である。

また、ローラ１２によって、搬送ベルト１１のうち、基板搬送方向上流側の折り返し部分は下方から上方に移動する。そして、ローラ１３によって、搬送ベルト１１のうち、基板搬送方向下流側の折り返し部分は上方から下方に移動する。

このように搬送ベルト１１は回転移動することで、上側の搬送ベルト１１の表面に載置された基板５を一方向（基板搬送方向の上流側から下流側に向かう方向）に搬送する。

なお、図１では、塗布装置１の外側へ搬送されていく基板５の様子を破線及び矢印で表している。

吐出ヘッド２１はスプレー方式により撥液剤２８を拡散させて基板５に噴霧する。吐出ヘッド２１は、搬送ベルト１１の上方であって、洗浄用ノズル３１よりも基板搬送方向の上流側に配されている。吐出ヘッド２１は、支持部２２に固定されている。支持部２２はＸ軸方向に延伸するガイド部２３にＸ軸方向にスライド可能に接続されている。このように吐出ヘッド２１は基板搬送方向と直交する方向であるＸ軸方向に移動可能に配されている。

図３は吐出ヘッド２１が撥液剤２８を基板５に噴霧している様子を表す図である。

吐出ヘッド２１には撥液剤２８が供給され、吐出ヘッド２１は当該供給された撥液剤２８を搬送ベルト１１で搬送されている基板５に噴霧する。吐出ヘッド２１は、撥液剤２８を、基板５の縁部からはみ出し、搬送ベルト１１にも付着するように、基板５の全面に撥液剤２８を噴霧する。

なお、吐出ヘッド２１はスプレーに限定されず、撥液剤２８を、搬送ベルト１１上の基板５の全面であって基板５の縁部の外側へはみ出すように塗布できるものであればよい。

撥液剤２８は、ＬＥＤパッケージにおけるＬＥＤチップを封止する封止樹脂を、略半球や略扁球形状とするために、封止樹脂の形成前に、基板上であって封止樹脂形成領域の周囲に形成されるものである。

撥液剤２８は、フッ素樹脂を溶剤に溶解したものであり、例えば、菱光化学製マーベルコートを用いることができる。撥液剤２８は基板５等の被着体へ噴霧後、加熱し乾燥させることで、被着体表面に水素結合、分子間力などにより、被着体の界面と密着（接着）する。撥液剤２８として、菱光化学製マーベルコート以外にも、例えば、信越化学製ＫＹ‐１０８、又はダイキン工業製ユニダイン等を用いることができる。

なお、吐出ヘッド２１が噴霧する液体としては撥液剤２８に限定されるものではない。吐出ヘッド２１が噴霧する液体は、種々の機能性膜を基板に成膜するための液体（機能性液体）であってもよい。

図１に示すポンプ２５は空気を供給するポンプである。ポンプ２５は空気供給部２６と、タンク２７と、それぞれバルブを介して接続されている。

空気供給部２６は吐出ヘッド２１に、撥液剤２８を霧化するための空気を供給するものである。空気供給部２６はバルブを介して吐出ヘッド２１のヘッド先端部近傍と接続されている。空気供給部２６はポンプ２５から供給される空気を吐出ヘッド２１の先端部に供給する。これにより、吐出ヘッド２１内であってノズル開口部近傍で気泡が発生し、この結果、吐出ヘッド２１のノズル開口部から霧化した撥液剤２８が噴霧される。

タンク２７には撥液剤２８が貯留されている。タンク２７は密閉されており、バルブを介してポンプ２５と接続されていると共に、バルブを介して吐出ヘッド２１と接続されている。

ポンプ２５からタンク２７に空気が供給されると、タンク２７に貯留されている撥液剤２８の水面が加圧される。これによりタンク２７に貯留されている撥液剤２８は吐出ヘッド２１に供給される。

図１、２に示すように、洗浄用ノズル３１は、搬送ベルト１１の上方であって、吐出ヘッド２１よりも基板搬送方向の下流側に配されている。本実施の形態では、洗浄用ノズル３１は、搬送ベルト１１の基板搬送方向の下流側の折り返し部分（端部）に洗浄液３８が噴霧されるように、搬送ベルト１１の下流側の折り返し部分の上方に配されている。

洗浄用ノズル３１は、支持部３２に固定されている。支持部３２はＸ軸方向に延伸するガイド部３３にＸ軸方向にスライド可能に接続されている。このように洗浄用ノズル３１は基板搬送方向と直交する方向であるＸ軸方向に移動可能に配されている。

洗浄用ノズル３１は、搬送ベルト１１が基板５を排出した後、撥液剤２８が付着した搬送ベルト１１に、搬送ベルト１１を洗浄するための洗浄液３８を噴霧する。本実施の形態では、洗浄用ノズル３１は、スプレー方式により洗浄液３８を搬送ベルト１１に噴霧するものである。なお、洗浄用ノズル３１はスプレーに限定されず、洗浄液３８を、撥液剤２８が付着した搬送ベルト１１に塗布できるものであればよい。

洗浄液３８は吐出ヘッド２１から吐出された液体を溶解可能な溶剤である。例えば、撥液剤２８として菱光化学製マーベルコートを用いた場合、洗浄液３８として住友スリーエム製のノベックを用いることができる。

ポンプ３５は空気を供給するポンプである。ポンプ３５は空気供給部３６と、タンク３７と、それぞれバルブを介して接続されている。空気供給部３６は洗浄用ノズル３１に、洗浄液３８を霧化するための空気を供給するものである。空気供給部３６はバルブを介して洗浄用ノズル３１のノズル先端部近傍と接続されている。空気供給部３６はポンプ３５から供給される空気を洗浄用ノズル３１の先端部に供給する。これにより、洗浄用ノズル３１内であってノズル開口部近傍で気泡が発生し、この結果、洗浄用ノズル３１のノズル開口部から霧化した洗浄液３８が噴霧される。

タンク３７には洗浄液３８が貯留されている。タンク３７は密閉されており、バルブを介してポンプ３５と接続されていると共に、バルブを介して洗浄用ノズル３１と接続されている。

ポンプ３５からタンク３７に空気が供給されると、タンク３７に貯留されている洗浄液３８の水面が加圧される。これにより、タンク３７に貯留されている洗浄液３８は洗浄用ノズル３１に供給される。

スクレーパ４１は、支持部４３によってＸ軸方向に移動可能にトレイ４２と接続されている。

図４は、塗布装置１のスクレーパ４１の平面図である。

スクレーパ４１は先端部（先端）４１ａが吸引可能な構成となっている。スクレーパ４１の先端部４１ａは、搬送ベルト１１のうち、基板搬送方向下流側の、上方から下方へ折り返されている端部の表面と接触するように配されている。スクレーパ４１の先端部４１ａと、搬送ベルト１１の接触面との接触角度θは約４５度である。

スクレーパ４１は先端部４１ａに吸引口を有する。これにより、スクレーパ４１は、先端部４１ａで搬送ベルト１１に固着した撥液剤２８を剥離する（はがし取る）と共に、スクレーパ制御部６３からの指示により、先端部４１ａの吸引口から、搬送ベルト１１からはがし取った撥液剤２８を吸引したり、洗浄用ノズル３１から噴霧された洗浄液３８を吸引したりする。スクレーパ４１で吸引された撥液剤２８や洗浄液３８は支持部４３内を通じてトレイ４２内に残膜４５として貯留される。

なお、スクレーパ４１は、先端部４１ａの吸引する構成を持たず、搬送ベルト１１に固着した撥液剤２８をはがし取るだけの構成であってもよい。

スクレーパ４１は、例えば、スプレーイングシステムジャパン製のブロー用ノイズを用いることができる。ただし、スクレーパ４１は、ブローではなく吸引するようにする必要がある。

スクレーパ４１の先端部４１ａから、剥離した撥液剤２８や洗浄液３８を吸引することで、塗布装置１のメンテナンス性（メンテナンスのし易さ）を向上させることができる。

また、スクレーパ４１の先端部４１ａを、搬送ベルト１１のうち基板搬送方向下流側の端部と接触させることにより、搬送ベルト１１から剥離された撥液剤２８のうち、先端部４１ａで吸引されなかった撥液剤２８も下方へ落下する。これにより、一旦剥離された撥液剤２８の搬送ベルト１１への再付着を防止することができる。

搬送ベルト１１をゴムから構成した場合、スクレーパ４１は金属材料から構成することが好ましい。これにより、物理的にスクレーパ４１を搬送ベルト１１に接触させて、撥液剤２８を搬送ベルト１１から剥離し易くすることができる。

トレイ４２は上面が一面開口部となっている凹形状である。Ｘ軸方向に延伸している。トレイ４２の開口部は、スクレーパ４１の先端部４１ａと搬送ベルト１１との接触部分の下方に来るように配されている。すなわち、トレイ４２の開口部は、搬送ベルト１１の基板搬送方向下流側の折り返された端部の下方に配されている。

これにより、トレイ４２は、スクレーパ４１の先端部４１ａによって搬送ベルト１１からはがし取られた撥液剤２８を受けて残膜４５として貯留する。また、トレイ４２は、洗浄用ノズル３１から噴霧された洗浄液３８を、トレイ４２内に貯留する。

吐出ヘッド制御部６１は、搬送ベルト１１に載置されている基板５の基板搬送方向下流側の縁部が、撥液剤２８の噴霧開始位置にくると、吐出ヘッド２１に撥液剤２８の噴霧開始を指示する。これにより、吐出ヘッド制御部６１は吐出ヘッド２１に撥液剤２８を噴霧させる。

吐出ヘッド制御部６１は、搬送ベルト１１に載置されている基板５の基板搬送方向上流側の縁部が、撥液剤２８の噴霧停止位置にくると、吐出ヘッド２１に撥液剤２８の噴霧停止を指示する。これにより、吐出ヘッド制御部６１は吐出ヘッド２１に撥液剤２８の噴霧を停止させる。

なお、撥液剤２８の噴霧開始位置及び撥液剤２８の噴霧停止位置は、予めＹ座標として、吐出ヘッド制御部６１に登録しておく。そして、搬送ベルト１１の移動量や速度から、吐出ヘッド制御部６１は、搬送ベルト１１に載置された基板５が撥液剤２８の噴霧開始位置に到達したか否か、また、撥液剤２８の噴霧停止位置に到達したか否かを判定する。

吐出ヘッド制御部６１には、予め撥液剤２８を噴霧するＸ軸方向の距離（幅）が登録されている。この撥液剤２８を噴霧するＸ軸方向の距離（幅）は、搬送ベルト１１に載置された基板５のＸ軸方向に対向する両端部の幅より大きくなるように設定される。

吐出ヘッド制御部６１は、この登録されている撥液剤２８を噴霧するＸ軸方向の距離（幅）分、吐出ヘッド２１が撥液剤２８を基板５上及び搬送ベルト１１上に噴霧するように、支持部２２をＸ軸方向にスライドさせる。

洗浄用ノズル制御部６２は、洗浄用ノズル３１に、搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８に洗浄液３８を噴霧させる。

搬送ベルト１１に載置された基板５に対する撥液剤２８の噴霧が終了し、当該基板５が搬送ベルト１１外へ搬送された後、搬送ベルト１１に載置されていた上記基板５の基板搬送方向下流側の縁部の基板搬送方向下流側の外側へはみ出すことで搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８が、洗浄液３８の噴霧開始位置にくると、洗浄用ノズル制御部６２は、洗浄用ノズル３１に洗浄液３８の噴霧開始を指示する。これにより、洗浄用ノズル制御部６２は洗浄用ノズル３１に洗浄液３８を噴霧させる。

搬送ベルト１１に載置された基板５に対する撥液剤２８の噴霧が終了し、また、搬送ベルト１１から搬送された上記基板５が、搬送ベルト１１に載置されていた上記基板５の基板搬送方向上流側の縁部の基板搬送方向上流側の外側へはみ出すことで搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８が、洗浄液３８の噴霧停止位置にくると、洗浄用ノズル制御部６２は、洗浄用ノズル３１に洗浄液３８の噴霧停止を指示する。これにより、洗浄用ノズル制御部６２は洗浄用ノズル３１に洗浄液３８の噴霧を停止させる。

なお、洗浄液３８の噴霧開始位置及び洗浄液３８の噴霧停止位置は、予めＹ座標として、洗浄用ノズル制御部６２に登録しておく。そして、搬送ベルト１１の移動量や速度から、洗浄用ノズル制御部６２は、搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８が噴霧開始位置に到達したか否か、また、搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８が噴霧停止位置に到達したか否かを判定する。

洗浄用ノズル制御部６２には、予め洗浄液３８を噴霧するＸ軸方向の距離（幅）が登録されている。この洗浄用ノズル３１が洗浄液３８を噴霧する際のＸ軸方向の距離（幅）は、吐出ヘッド２１が撥液剤２８を基板５及び搬送ベルト１１に噴霧するＸ軸方向の幅以上となるように設定される。

洗浄用ノズル制御部６２は、この登録されている洗浄液３８を噴霧するＸ軸方向の距離（幅）分、洗浄用ノズル３１が洗浄液３８を搬送ベルト１１上に噴霧するように、支持部３２をＸ軸方向にスライドさせる。

スクレーパ制御部６３は、スクレーパ４１に、搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８を剥離させると共に、当該剥離した撥液剤２８や洗浄用ノズル３１が噴霧した洗浄液３８を吸引させる。

スクレーパ制御部６３は、洗浄用ノズル制御部６２が洗浄用ノズル３１に洗浄液３８の噴霧開始を指示すると、スクレーパ４１に吸引開始を指示する。これによりスクレーパ４１に吸引させる。また、スクレーパ制御部６３は、洗浄用ノズル制御部６２が洗浄用ノズル３１に洗浄液３８の噴霧停止を指示すると、スクレーパ４１に吸引停止を指示する。これによりスクレーパ４１に吸引を停止させる。

スクレーパ制御部６３は、洗浄用ノズル制御部６２に予め登録されている洗浄液３８のＸ軸方向の噴霧距離（幅）を参照し、当該洗浄液３８のＸ軸方向の噴霧距離（幅）以上、スクレーパ４１がＸ軸方向へ移動するように、スクレーパ４１をＸ軸方向にスライドさせる。

（塗布装置の動作）
次に、図５、図６を用いて塗布装置１の動作について説明する。

図５は、撥液剤２８を噴霧する塗布装置１の動作を説明する図であり、（ａ）は吐出ヘッド２１が撥液剤２８の噴霧を開始した直後の様子を表し（ｂ）は吐出ヘッド２１が撥液剤２８の噴霧を停止した直後の様子を表し（ｃ）は撥液剤２８が噴霧された基板５が塗布装置１から排出されている様子を表している。

図６は、洗浄液３８を噴霧する塗布装置１の動作を説明する図であり（ａ）は洗浄用ノズル３１が洗浄液３８の噴霧を開始した直後の様子を表し（ｂ）は洗浄用ノズル３１が洗浄液３８の噴霧を継続している状態を表し（ｃ）は洗浄用ノズル３１が洗浄液３８の噴霧を停止した直後の様子を表している。

図５の（ａ）に示すように、搬送ベルト１１の表面に載置された基板５の基板搬送方向下流側の縁部が、撥液剤２８の噴霧開始位置にくると、吐出ヘッド制御部６１からの指示により、吐出ヘッド２１は、基板５に向けて撥液剤２８の噴霧を開始する。ここでは、撥液剤２８の噴霧開始位置は吐出ヘッド２１の直下のＹ座標とする。

また、吐出ヘッド２１は、基板５の全面に撥液剤２８を噴霧するためにＸ軸方向へ往復移動する。この吐出ヘッド２１のＸ軸方向への移動は、吐出ヘッド２１が固定されている支持部２２が、吐出ヘッド制御部６１からの指示により、ガイド部２３の延伸方向に往復移動することでなされる。

なお、吐出ヘッド２１は、Ｘ軸方向へ移動せず固定されたままでも基板５の全面に撥液剤２８の噴霧が可能であれば、Ｘ軸方向へ移動せず、固定されたまま撥液剤２８を噴霧してもよい。

吐出ヘッド２１は、基板５の縁部からはみ出し搬送ベルト１１上にも付着するように、一定の高さから、撥液剤２８を、基板５の全面に噴霧する。これにより、基板５に噴霧され固化した撥液剤２８の厚みを基板５の縁部まで均一にすることができる。

吐出ヘッド２１が基板５に噴霧した撥液剤２８の厚さは、特に限定されるものでは無いが、約１μｍ以上２μｍ以下程度である。このように、比較的薄い厚みであっても、吐出ヘッド２１は、搬送ベルト１１にはみ出すように撥液剤２８を噴霧するため、基板５の全面であって縁部まで均一に撥液剤２８を噴霧することができる。

次に、図５の（ｂ）に示すように、吐出ヘッド２１が搬送ベルト１１の表面に載置された基板５の全面に撥液剤２８を噴霧し、基板５の基板搬送方向の上流側の縁部が、噴霧停止位置にくると、吐出ヘッド制御部６１からの指示により、吐出ヘッド２１は撥液剤２８の噴霧を停止する。ここでは、撥液剤２８の噴霧停止位置は吐出ヘッド２１の直下のＹ座標とする。なお、吐出ヘッド２１は、撥液剤２８を、基板５の基板搬送方向上流側の縁部の外側の搬送ベルト１１上にも噴霧する。

そして、図５の（ｃ）に示すように、塗布装置１は、撥液剤２８が全面に塗布された基板５を搬送ベルト１１の基板搬送方向下流側の折り返し部分から離間させ、搬送ベルト１１から排出する。この撥液剤２８が全面に塗布された基板５は、次工程へ搬送される。

また、搬送ベルト１１のうち基板５が載置されていた領域の外側に付着している、基板５からはみ出した撥液剤２８は、搬送ベルト１１の基板搬送方向下流側の折り返し部分を通り、下側の搬送ベルト１１に回り込む。そして、搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８は基板搬送方向と逆側方向（矢印Ｂの方向）へ移動する。

そして、図６の（ａ）に示すように、搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８は、搬送ベルト１１の回転移動により、搬送ベルト１１の基板搬送方向上流側の折り返し部分を通り、再び、上側の搬送ベルト１１の表面に回り込む。

そして、搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８のうち、基板５の基板搬送方向下流側の縁部の基板搬送方向下流側の外側にはみ出していた撥液剤２８が、洗浄液３８の噴霧開始位置にくると、洗浄用ノズル制御部６２からの指示により、洗浄用ノズル３１は、搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８に向けて洗浄液３８の噴霧を開始する。ここでは、洗浄液３８の噴霧開始位置は、洗浄用ノズル３１の直下のＹ座標とする。

洗浄用ノズル３１が、搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８に洗浄液３８を噴霧することで、搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８が固化し始めていても溶解させることができ、さらに、溶解した撥液剤２８を洗浄液３８により洗い流すことができる。

洗浄液３８は、撥液剤２８を溶解可能なものを用いる。例えば、撥液剤２８にフッ素系樹脂が溶解されている液体を用いた場合、洗浄液３８も同様のフッ素系樹脂が溶解されている液体を用いることで、より撥液剤２８を溶解させることができる。

具体的には、撥液剤２８に、菱江化学製マーベルコートを用いた場合、マーベルコートと同様のフッ素系樹脂が溶解されている住友スリーエム製のノベック（ＨＦＥ‐７１００（品番））を用いることで、確実に撥液剤２８を溶解することができる。

しかし、住友スリーエム製のノベックは、蒸気圧が０．０２８ＭＰａと低く、揮発し易く、また、高価である。

このため、例えば特許文献２のように、搬送ベルトを浸漬可能な大きさの洗浄槽を予め設けておき、その洗浄槽に洗浄液を貯留しておく装置構成の場合、揮発しやすく高価なノベックを頻繁に洗浄槽に継ぎ足す必要があり、装置が大型化するだけでなく、製造コスト増加を招く。

一方、塗布装置１によると、撥液剤２８を噴霧する吐出ヘッド２１より、基板搬送方向下流側に、洗浄液３８を噴霧する洗浄用ノズル３１が配されている。そして、洗浄用ノズル３１は、全面に撥液剤２８が噴霧された基板５を搬送ベルト１１が排出した後、搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８に向けて洗浄液３８を噴霧する。これにより、搬送ベルト１１に付着し固化した撥液剤２８を溶解させることができる。そして搬送ベルト１１が回転移動することで、搬送ベルト１１のうち、基板搬送方向下流側の折り返し部分から、溶解された撥液剤２８は下方に落下し、トレイ４２内に貯留する。このようにして塗布装置１は、搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８を除去することができる。

塗布装置１によると、特許文献１のように、基板５の縁部に沿って形状の機能液受けを予め設けておいたり、特許文献２のように搬送ベルト１１を浸漬可能な程度の大きさの洗浄槽を設けて洗浄液を貯留しておく必要がない。このため、装置の大型化を防止して、搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８を除去することができる。さらに、塗布装置１によると、特許文献２のように、搬送ベルトが浸漬可能な程度の大きさの洗浄槽に大量の洗浄液を貯留しておく必要が無く、必要なときに、洗浄用ノズル３１から洗浄液３８を、搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８に噴霧することができるため、洗浄液３８の使用量を抑え、製造コスト増加を防止することができる。

洗浄用ノズル３１は、搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８に対し全体的に洗浄液３８を噴霧するために、洗浄用ノズル制御部６２からの指示により、Ｘ軸方向へ往復移動する。この洗浄用ノズル３１のＸ軸方向への移動は、洗浄用ノズル３１が固定されている支持部３２が、ガイド部３３の延伸方向に往復移動することでなされる。

洗浄用ノズル３１は、噴霧する洗浄液３８のＸ軸方向の距離（幅）が、吐出ヘッド２１が撥液剤２８を基板５及び搬送ベルト１１に噴霧したＸ軸方向の幅以上となるように、Ｘ軸方向に往復移動する。

なお、洗浄用ノズル３１は、Ｘ軸方向へ移動せず固定されたままでも搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８に対し全体的に洗浄液３８の噴霧が可能であれば、Ｘ軸方向へ移動せず、固定されたまま洗浄液３８を噴霧してもよい。

また、洗浄用ノズル３１が洗浄液３８の噴霧を開始すると、スクレーパ制御部６３からの指示により、スクレーパ４１は吸引を開始し、先端部４１ａから、洗浄用ノズル３１が噴霧した洗浄液３８を吸引する。

さらに、スクレーパ４１は、搬送ベルト１１に付着しており洗浄液３８が噴霧された撥液剤２８を、相対移動する搬送ベルト１１と接触している先端部４１ａではがし取り、そのはがし取った撥液剤２８を先端部４１ａで吸引する。搬送ベルト１１に付着している撥液剤２８には洗浄液３８が噴霧されることで溶解されているため、スクレーパ４１の先端部４１ａを接触させることで容易に搬送ベルト１１からはがし取り、吸引することが可能である。

スクレーパ４１は、先端部４１ａから吸引した洗浄液３８や撥液剤２８を、支持部４３を通じてトレイ４２内へ貯留させる。また、トレイ４２は、搬送ベルト１１の基板搬送方向下流側の折り返し部分の下方に配されているため、スクレーパ４１の先端部４１ａで吸引されなかった洗浄液３８や撥液剤２８は、搬送ベルト１１の基板搬送方向下流側の折り返された端部から、下方のトレイ４２内へ落下する。これにより、スクレーパ４１の先端部４１ａで吸引されなかった洗浄液３８や撥液剤２８もトレイ４２内へ収納することができる。

スクレーパ４１は、洗浄用ノズル３１が噴霧した洗浄液３８や、搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８を全体的に先端部４１ａではがし取るために、スクレーパ制御部６３からの指示により、Ｘ軸方向へ往復移動する。このスクレーパ４１のＸ軸方向への移動は、スクレーパ４１が固定されている支持部４３が、トレイ４２の延伸方向に往復移動することでなされる。

スクレーパ４１は、先端部４１ａと搬送ベルト１１との接触部分のＸ軸方向の距離（幅）が、洗浄液３８のＸ軸方向の噴霧距離（幅）以上となるように、スクレーパ制御部６３からの指示によりＸ軸方向にスライドする。

なお、スクレーパ４１は、Ｘ軸方向へ移動せず固定されたままでも搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８を全体的にはがし取り、また、洗浄用ノズル３１から噴霧されている洗浄液３８の吸引が可能であれば、Ｘ軸方向へ移動せず、固定されたまま先端部４１ａで搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８をはがし取ったり、洗浄用ノズル３１から噴霧されている洗浄液３８の吸引を行ってもよい。

図６の（ｂ）に示すように、洗浄用ノズル３１は、搬送ベルト１１に付着している撥液剤２８に対し全体的に洗浄液３８を噴霧する。また、スクレーパ４１は、搬送ベルト１１に付着し洗浄液３８が噴霧された撥液剤２８を先端部４１ａではがし取り吸引する。また、スクレーパ４１は、洗浄用ノズル３１から噴霧されている洗浄液３８を吸引する。

そして、図６の（ｂ）（ｃ）に示すように、搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８のうち、基板５の基板搬送方向上流側の縁部の基板搬送方向外側にはみ出していた撥液剤２８が、洗浄液３８の噴霧停止位置にくると、洗浄用ノズル制御部６２からの指示により、洗浄用ノズル３１は洗浄液３８の噴霧を停止し、またＸ軸方向への移動も停止する。

また、洗浄用ノズル３１が洗浄液３８の噴霧を停止すると、スクレーパ制御部６３からの指示により、スクレーパ４１は吸引を停止し、また、Ｘ軸方向への移動も停止する。

これにより、搬送ベルト１１に付着していた撥液剤２８は、洗浄用ノズル３１及びスクレーパ４１によって除去される。

なお、ここでは、洗浄液３８の噴霧停止位置は、洗浄用ノズル３１の直下のＹ座標とする。

ここで、搬送ベルト１１の表面を、例えば、メッキ処理する等により、シリコンウエハ程度平坦な材質でコーティングしておけば、洗浄液ではなく水を、ピール方向（上側の搬送ベルト１１表面と平行な方向）から噴霧することでも、撥液剤２８を搬送ベルト１１から容易に剥離することができる。これは、撥液剤２８としてマーベルコート等のフッ素系樹脂材料を用いた場合、上述したように、固化した撥液剤２８と搬送ベルト１１との密着は主に水素結合によってなされることになる。このため、撥液剤２８と、被着体である搬送ベルト１１との間に水分が侵入すると、水素分子により水素結合が切断され、容易に撥液剤２８は剥離する。

しかし、搬送ベルト１１をゴムで構成した場合、表面に微小な凹凸が形成されことになる。このため、この凹凸形状により、水素結合などと共にアンカー効果が発現し、水での剥離は難しく洗浄液３８を使用する必要がある。

また、撥液剤２８を搬送ベルト１１から剥離するために、洗浄液３８を用いるウェット洗浄では無く、ドライ洗浄を用いる方法を挙げることができる。

図１０は、ドライ洗浄の各方法と原理及び特徴を表す図である。図１０に示すように、ドライ洗浄の方法として、酸素（Ｏ_２）プラズマを用いる方法、アルゴン（Ａｒ）ガスを用いたプラズマによるスパッタ法、剥離対象を酸化させて分解するＵＶ‐オゾンを用いる方法、又はレーザ照射により剥離対象を変質等させるレーザーを用いる方法等を挙げることができる。

しかし、これらのドライ洗浄方法では、何れも装置が大型化することになる。

一方、塗布装置１によると、撥液剤２８を噴霧する吐出ヘッド２１より、基板搬送方向下流側に、洗浄液３８を噴霧する洗浄用ノズル３１が配されている。そして、洗浄用ノズル３１は、搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８に向けて洗浄液３８を噴霧する。これにより、ドライ洗浄方法のように、プラズマ発生装置等を設ける必要が無く、装置が大型化することを防止することができる。

さらに、搬送ベルト１１の表面を、例えば、ポリテトラフルオロチレン（テフロン：登録商標）等のフッ素樹脂でコーティングしておくことで、撥液剤２８を剥離し易くすることができる。

（ＬＥＤパッケージの製造方法）
次に、図７〜９を用いて、塗布装置１を用いたＬＥＤパッケージの製造方法について説明する。

図７はＬＥＤパッケージ５０の各製造工程における基板の平面図であり（ａ）は撥液剤噴霧工程に投入される基板５のＬＥＤチップ形成領域の平面を表し（ｂ）はエッチング工程後の基板５のＬＥＤチップ形成領域の平面を表している。図８はエッチング処理工程の様子を表す図である。図９はＬＥＤパッケージを表す図であり（ａ）はＬＥＤパッケージの断面を表し（ｂ）はＬＥＤパッケージの平面を表している。

なお、図７では、基板５のうち、ＬＥＤチップが配される領域近傍のみを表している。すなわち、基板５には、図７に示すＬＥＤチップ形成領域がマトリクス状に複数配されている。

ＬＥＤパッケージ５０は、主に、撥液剤噴霧工程、エッチング工程（撥液剤除去工程）、実装工程、封止樹脂形成工程を経て製造される。以下、順に説明する。

まず、図７の（ａ）に示すように、予め、基板表面であってＬＥＤチップ形成領域に一対の電極５１・５１がパターン形成された基板５を準備する。基板５は、例えばセラミックからなる。一対の電極５１・５１は、一方がアノードとなり、他方がカソードとなる電極である。

撥液剤噴霧工程では、作業者又は装置が、塗布装置１の搬送ベルト１１に基板５を載置する。そして、塗布装置１は、図５の（ａ）〜（ｃ）を用いて説明したように、基板５の全面に撥液剤２８を噴霧し、塗布装置１から払い出す。これにより、縁部分まで膜厚が均一となるように撥液剤２８が塗布された基板５を得ることができる。

撥液剤２８が噴霧された基板５を、オーブン等に入れ熱を加え、撥液剤２８を固化する。これにより、基板全面に撥液剤２８が成膜される。

この後、撥液剤２８のうち不要部分である封止樹脂の形成領域を除去するエッチング工程へ基板５を搬送する。

エッチング工程では、図８に示すように、固化した撥液剤２８の表面にエッチングマスク４７を載置し、アルゴンガスを用いたプラズマ処理を行う。

エッチングマスク４７には、基板５のうち、後に形成される封止樹脂の形成領域と対応する箇所には、レーザ加工等によって形成された開口部が設けられている。このため、基板５に成膜された撥液剤２８のうち、エッチングマスク４７の開口部と対応する領域はマスキングされず露出する。この表面が露出した撥液剤２８にイオンをぶつけることで撥液剤２８からスパッタ原子又は分子が飛び出し、これを繰り返すことでマスキングされていない箇所の撥液剤２８が除去される。

これにより、図７の（ｂ）に示すように、基板５に成膜された撥液剤２８のうち、不要部分である、封止樹脂の形成領域が除去されることで撥液剤２８に開口部２８ａが形成された基板５を得る。

次に、図９に示すように、実装工程にて、撥液剤２８の開口部２８ａ内、すなわち、基板５上であってＬＥＤチップの形成領域にＬＥＤチップ５２を配し、ＬＥＤチップ５２と、電極５１・５１とを、金（Ａｕ）からなるワイヤ５３で接続する。これにより、ＬＥＤチップ５２が基板５上のＬＥＤチップの形成領域内に実装される。なお、基板５のうち、一つのＬＥＤチップ形成領域に実装されるＬＥＤチップ５２の個数は特に限定されるものではない。図９に示すように２個であってもよいし、１又は３個以上であってもよい。

そして、ＬＥＤチップが実装された基板５は、次に、封止樹脂形成工程に搬送される。封止樹脂形成工程では、撥液剤２８の開口部２８ａ内、すなわち、基板５上であってＬＥＤチップの形成領域にＬＥＤチップ５２及びワイヤ５３を覆うように第１封止樹脂５４を塗布する。第１封止樹脂５４は、例えばシリコーン等の透明樹脂に、ＬＥＤチップ５２の発光色により励起され発光する蛍光体を分散させた樹脂材料からなる。

基板５のうち、ＬＥＤチップの形成領域の周囲に配されている撥液剤２８は、第１封止樹脂５４に対し撥液性を有する。

このため、撥液剤２８の開口部２８ａ内に、第１封止樹脂５４を塗布すると、第１封止樹脂５４は、開口部２８ａ内の基板５の表面に拡がり、開口部２８ａの撥液剤２８の内側面（内壁面）や表面と接する。そして、撥液剤２８は撥液性により第１封止樹脂５４の拡がりを食い止める（堰き止める）。この結果、第１封止樹脂５４の表面張力により第１封止樹脂５４は略半球または略扁球形状となる。

次に、第１封止樹脂５４に熱を加えることで固化した後、さらに、蛍光体が含有されておらずシリコーン等の透明樹脂からなる第２封止樹脂５５を、第１封止樹脂５４上に塗布する。そして、第２封止樹脂５５に熱を加えることで固化する。

これにより、封止樹脂であり略半球または略扁球形状の第１封止樹脂５４及び第２封止樹脂５５によってＬＥＤチップ５２が封止されたＬＥＤパッケージ５０が完成する。

ＬＥＤパッケージ５０では、基板５の縁部まで撥液剤２８の膜厚が均一に形成されているため、基板５面内における第１封止樹脂５４及び第２封止樹脂５５の形状のバラつきを防止することができる。このため、ＬＥＤパッケージ５０によると、第１封止樹脂５４及び第２封止樹脂５５の形状のバラつきに伴う各ＬＥＤチップの形成領域からの発光色の色バラつきを防止することができる。

ＬＥＤパッケージ５０では、第１封止樹脂５４に、ＬＥＤチップ５２の光により励起され発光する蛍光体が含有されているため、ＬＥＤチップ５２の発光色に別の色の光を混色させ、白色等の所望の色の光を得ることができる。

また、ＬＥＤパッケージ５０では、ＬＥＤチップ５２を封止する封止樹脂が第１封止樹脂５４と第２封止樹脂５５との２層構造となっており、外側の第２封止樹脂５５には蛍光体が含有されていない。このため、高価な蛍光体の使用量を抑え、コスト増加を防止することができる。

〔実施形態２〕
本発明の実施形態２について、図１１〜図１３に基づいて説明すれば、以下のとおりである。なお、説明の便宜上、実施形態１にて説明した部材と同じ機能を有する部材については、同じ符号を付記し、その説明を省略する。

図１１及び図１２を用いて塗布装置２の構成について説明する。図１１は、実施形態２の塗布装置２の構成を表す斜視図である。図１２は吐出パターン検出装置７１の構成を表すブロック図である。

塗布装置２は、カメラ（位置検出センサ）７０及び吐出パターン検出装置７１を備えている点で、塗布装置１と相違する。塗布装置２の他の構成は塗布装置１と同様である。

吐出パターン検出装置７１は、吐出パターン検出装置制御部７２、二値化処理部７３、縁部検出部７４、縁部幅算出部７５、判定部７６、記憶装置７７、表示装置７８および警告装置（警告手段）７９を備えている。

カメラ７０は搬送ベルト１１の上方に配されている。カメラ７０は、吐出ヘッド２１と並んで配されており、支持部２２に固定されている。カメラ７０は、例えばＣＣＤ等の撮像素子を備えた撮像装置である。カメラ７０は、吐出ヘッド２１が基板５及び搬送ベルト１１に噴霧した撥液剤２８の全体を撮像し、画像データとして吐出パターン検出装置７１へ出力する。

吐出パターン検出装置制御部７２は、吐出パターン検出装置７１の各部の動作を制御する。二値化処理部７３は、カメラ７０が得た撥液剤２８の画像データを二値化し、二値化した画像データ（二値データ）に変換する。

縁部検出部７４は、二値化処理部７３が二値化した画像データから、搬送ベルト１１上の撥液剤２８のＸ軸方向に対向する両縁部のそれぞれを、画像の濃淡から検出し、当該画像データから上記検出した両縁部それぞれのＸ座標を得る。なお、縁部検出部７４が、二値化した画像データから、搬送ベルト１１上の撥液剤２８のＸ軸方向に対向する両縁部を検出する方法は、種々の方法を用いることができる。

縁部幅算出部７５は、縁部検出部７４が得た搬送ベルト１１上の撥液剤２８の両縁部それぞれのＸ座標から、搬送ベルト１１上の撥液剤２８の両縁部の幅Ｗを算出するものである。

判定部７６は、縁部幅算出部７５が算出した、搬送ベルト１１上の撥液剤２８の両縁部の幅Ｗと、記憶装置７７に予め記憶されている基板５のＸ軸方向の幅を比較する。そして、判定部７６は、撥液剤２８の両縁部の幅Ｗが、基板５のＸ軸方向の幅以下の場合は、警告装置７９に警告指示を出力することで警告させる。

記憶装置７７には、予め、基板５のＸ軸方向の幅が記憶されている。また、記憶装置７７は、カメラ７０から吐出パターン検出装置制御部７２に出力された画像データ、二値化処理部７３が二値化した画像データ、縁部検出部７４が得た撥液剤２８の両縁部それぞれのＸ座標、縁部幅算出部７５が算出した撥液剤２８の両縁部の幅Ｗ、判定部７６が行った撥液剤２８の両縁部の幅Ｗと基板５のＸ軸方向の幅との比較結果などを適宜記憶する。

表示装置７８は、例えば液晶ディスプレイからなり、吐出パターン検出装置制御部７２からの指示により各種情報を表示する。警告装置７９は、判定部７６から警告指示を取得すると警告を行う。

次に、図１１〜図１３を用いて塗布装置２の動作について説明する。図１３は、塗布装置２の動作を表すフローチャートである。

カメラ７０は、吐出ヘッド２１が、基板５上及び基板５からはみ出して搬送ベルト１１上に噴霧した撥液剤２８の吐出パターンを撮像する。カメラ７０は、基板５からはみ出し搬送ベルト１１上に噴霧された撥液剤２８のＸ軸方向に対向する両縁部を含むように、撥液剤２８の吐出パターンを撮像する。カメラ７０は撮像して得られた画像データを逐次、吐出パターン検出装置制御部７２に出力する。

吐出パターン検出装置制御部７２は、カメラ７０から上記画像データを取得する（ステップＳ１１）。次に、二値化処理部７３は、吐出パターン検出装置制御部７２が取得した上記画像データを二値化する（ステップＳ１２）。そして、縁部検出部７４は、二値化処理部７３が二値化した画像データから、搬送ベルト１１上の撥液剤２８のＸ軸方向に対向する両縁部を検出し、当該画像データから上記検出した両縁部それぞれのＸ座標を得る（ステップＳ１３）。

次に、縁部幅算出部７５は、縁部検出部７４が得た搬送ベルト１１上の撥液剤２８の両縁部それぞれのＸ座標から、搬送ベルト１１上の撥液剤２８の両縁部の幅Ｗを算出する（ステップＳ１４）。

判定部７６は、縁部幅算出部７５が算出した、搬送ベルト１１上の撥液剤２８の両縁部の幅Ｗと、記憶装置７７に予め記憶されている基板５のＸ軸方向の幅とを比較する（ステップＳ１５）。

ステップＳ１５において、判定部７６が幅Ｗと基板５の幅とを比較した結果、搬送ベルト１１上の撥液剤２８の両縁部の幅Ｗが、基板５のＸ軸方向の幅より大きい場合（ステップＳ１５のＹＥＳ）、判定部７６は幅Ｗが適正であると判定し（ステップＳ１６）、処理は終了する。この場合、警告装置７９による警告は行われない。

一方、ステップＳ１５において、判定部７６が幅Ｗと基板５の幅とを比較した結果、搬送ベルト１１上の撥液剤２８の両縁部の幅Ｗが、基板５のＸ軸方向の幅以下の場合（ステップＳ１５のＮＯ）、判定部７６は幅Ｗが適正ではない判定し（ステップＳ１７）、判定部７６は警告装置７９に警告指示を出力する。警告装置７９は、判定部７６から警告指示を取得すると警告を行う（ステップＳ３８）。

警告装置７９により警告を受けた場合、作業者は、撥液剤の吐出パターンが適正となるように吐出ヘッド２１の調整を行う。すなわち、作業者は、吐出ヘッド２１の高さ位置を調整したり、空気供給部２６から供給される空気圧を調整したり、ポンプ２５が供給する空気圧を調整したりすることで吐出ヘッド２１が噴霧する撥液剤２８の噴霧角度を調整する。また、吐出ヘッド２１のＸ軸方向の可動範囲を調整する。

また、判定部７６は、幅Ｗが基板５の幅より大きくなるように、吐出ヘッド２１の撥液剤２８の噴霧形状や可動範囲についての調整項目および調整内容を求め、表示装置７８に表示するようにしてもよい。

また、判定部７６が求めた調整項目および調整内容から、吐出ヘッド制御部６１が吐出ヘッド２１の撥液剤２８の噴霧形状や、吐出ヘッド２１が移動するＸ座標の範囲を調整するようにしてもよい。

さらに、ステップＳ１４で縁部幅算出部７５が得た搬送ベルト１１上の撥液剤２８の両縁部のそれぞれのＸ座標から、洗浄用ノズル制御部６２は、洗浄用ノズル３１が移動するＸ座標の範囲や、洗浄液３８の噴霧量又は噴霧形状を調整してもよい。これにより、効率的に、搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８だけに洗浄液３８を噴霧するようにすることで洗浄液３８の使用量を低減することができる。

さらに、ステップＳ１４で縁部幅算出部７５が得た搬送ベルト１１上の撥液剤２８の両縁部のそれぞれのＸ座標から、スクレーパ制御部６３は、スクレーパ４１が移動するＸ座標の範囲や吸引量を調整してもよい。これにより、効率的に、搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８を剥離したり、洗浄用ノズル３１が噴霧した洗浄液３８を吸引したりすることができる。

このように、塗布装置２は、搬送ベルト１１の上方に配されており、搬送ベルト１１に付着した撥液剤２８の縁部の位置を検出するためのカメラ７０を備えているため、吐出ヘッド２１が噴霧する撥液剤２８の基板５に対する位置が適切か否かを、作業者、又は塗布装置２が判定することができる。

〔実施の形態３〕
塗布装置２の制御ブロック（吐出ヘッド制御部６１、洗浄用ノズル制御部６２、スクレーパ制御部６３、二値化処理部７３、縁部検出部７４、縁部幅算出部７５、及び判定部７６）は、集積回路（ＩＣチップ）等に形成された論理回路（ハードウェア）によって実現してもよいし、ＣＰＵ（Central Processing Unit）を用いてソフトウェアによって実現してもよい。

後者の場合、塗布装置２は、各機能を実現するソフトウェアであるプログラムの命令を実行するＣＰＵ、上記プログラムおよび各種データがコンピュータ（またはＣＰＵ）で読み取り可能に記録されたＲＯＭ（Read Only Memory）または記憶装置（これらを「記録媒体」と称する）、上記プログラムを展開するＲＡＭ（Random Access Memory）などを備えている。そして、コンピュータ（またはＣＰＵ）が上記プログラムを上記記録媒体から読み取って実行することにより、本発明の目的が達成される。上記記録媒体としては、「一時的でない有形の媒体」、例えば、テープ、ディスク、カード、半導体メモリ、プログラマブルな論理回路などを用いることができる。また、上記プログラムは、該プログラムを伝送可能な任意の伝送媒体（通信ネットワークや放送波等）を介して上記コンピュータに供給されてもよい。なお、本発明は、上記プログラムが電子的な伝送によって具現化された、搬送波に埋め込まれたデータ信号の形態でも実現され得る。

〔まとめ〕
本発明の態様１に係る塗布装置は、載置された基板を搬送する搬送部と、上記基板に成膜される機能性膜となる機能性液体を、上記基板の縁部からはみ出し上記搬送部にも付着するように上記基板の全面に塗布する第１塗布部と、上記機能性液体が全面に塗布された上記基板を上記搬送部が当該搬送部外へ排出した後、上記搬送部を洗浄するための洗浄液を、上記機能性液体が付着した上記搬送部に塗布する第２塗布部とを備えている。

本発明の態様８に係る塗布方法は、搬送部に載置された基板を搬送するステップと、上記基板に成膜される機能性膜となる機能性液体を、上記基板の縁部からはみ出し上記搬送部にも付着するように上記基板の全面に塗布する第１塗布ステップと、上記機能性液体が全面に塗布された上記基板を上記搬送部が当該搬送部外へ排出する排出ステップと、上記排出ステップの後、上記搬送部を洗浄するための洗浄液を、上記機能性液体が付着した上記搬送部に塗布する第２塗布ステップとを有する。

上記構成によると、上記第１塗布部は、上記機能性液体を、上記基板の縁部からはみ出し上記搬送部にも付着するように上記基板の全面に塗布する。これにより、上記基板の縁部まで厚みが均一となるように、上記機能性液体を上記基板の全面に塗布することができる。

そして、上記第２塗布部は、上記機能性液体が全面に塗布された上記基板を上記搬送部が当該搬送部外へ排出した後、上記洗浄液を、上記機能性液体が付着した上記搬送部に塗布する。これにより、上記搬送部に付着した機能性液体を除去することができる。このため、予め、基板の縁部に沿う機能性液体受けを設けておいたり、上記搬送部が浸漬する大きさの洗浄槽に洗浄液を貯留させておく必要がなく、装置を小型化することができる。そして、上記第２塗布部は、必要なときに、上記洗浄液を上記搬送部に付着した機能性液体に塗布するため、洗浄液の使用量を抑えることができる。

本発明の態様２に係る塗布装置は、先端が上記搬送部と接触するように配され、上記搬送部と相対移動することで、上記搬送部に付着した機能性液体を上記搬送部から剥離する剥離部をさらに備えている。上記構成によると、上記剥離部により、上記搬送部に付着した機能性液体を確実に除去することができる。

本発明の態様３に係る塗布装置では、上記剥離部の先端に、上記搬送部に付着した上記機能性液体を吸引するための吸引口が設けられている。上記構成によると、上記剥離部は、上記搬送部から剥離した上記機能性液体を上記吸引口から吸引することができる。これにより、装置のメンテナンスのしやすさを向上させることができる。

本発明の態様４に係る塗布装置は、上記搬送部の上方に配されており、上記搬送部に付着した機能性液体の縁部の位置を検出するための位置検出センサをさらに備えている。上記構成によると、上記第１塗布部が塗布する機能性液体の上記基板に対する位置が適切か否かを判定することができる。

本発明の態様５に係る塗布装置では、上記搬送部は、上記基板を載置するためのベルトを有し、上記ベルトのうち、上記基板を搬送する方向である基板搬送方向の下流側の端部は下方へ折り返されており、上記剥離部の先端は、上記ベルトのうち、上記端部と接触している。

上記構成によると、上記剥離部の先端は、上記ベルトのうち、上記下方に折り返された端部と接触している。これにより、上記搬送部に付着していた機能性液体は、上記剥離部の先端に剥離された後、下方へ落下する。このため、剥離された機能性液体の上記搬送部への再付着を防止することができる。

本発明の態様６に係る塗布装置では、上記ベルトの上記端部の下方に配された容器をさらに備え、上記第２塗布部は、上記端部の上方側から上記端部に向けて上記洗浄液を塗布する。

上記構成によると、上記第２塗布部から塗布された洗浄液は、上記搬送部に付着していた機能性液体と共に、上記容器へ貯留される。これにより、メンテナンスがしやすい装置を得ることができる。

本発明の態様７に係る塗布装置では、上記ベルトの表面はフッ素樹脂により覆われていてもよい。これにより、上記機能性液体を剥離しやすくすることができる。

本発明は上述した各実施形態に限定されるものではなく、請求項に示した範囲で種々の変更が可能であり、異なる実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を適宜組み合わせて得られる実施形態についても本発明の技術的範囲に含まれる。さらに、各実施形態にそれぞれ開示された技術的手段を組み合わせることにより、新しい技術的特徴を形成することができる。

本発明は、機能性液体を塗布する塗布装置及び塗布方法に利用することができる。

１・２ 塗布装置
５ 基板
１１ 搬送ベルト（搬送部、ベルト）
１２・１３ ローラ（搬送部）
２１ 吐出ヘッド（第１塗布部）
３１ 洗浄用ノズル（第２塗布部）
３８ 洗浄液
４１ スクレーパ（剥離部）
４１ａ 先端部（先端）
４２ トレイ（容器）
５０ ＬＥＤパッケージ
６０ 制御部
６１ 吐出ヘッド制御部
６２ 洗浄用ノズル制御部
６３ スクレーパ制御部
７０ カメラ（位置検出センサ）
７１ 吐出パターン検出装置
７２ 吐出パターン検出装置制御部
７３ 二値化処理部
７４ 縁部検出部
７５ 縁部幅算出部
７６ 判定部
７７ 記憶装置
７８ 表示装置
７９ 警告装置

Claims (5)

1. 載置された基板を搬送する搬送部と、
   上記基板に成膜される機能性膜となる機能性液体を、上記基板の縁部からはみ出し上記搬送部にも付着するように上記基板の全面に塗布する第１塗布部と、
   上記機能性液体が全面に塗布された上記基板を上記搬送部が当該搬送部外へ排出した後、上記搬送部を洗浄するための洗浄液を、上記機能性液体が付着した上記搬送部に塗布する第２塗布部と、
   先端が上記搬送部と接触するように配され、上記搬送部と相対移動することで、上記搬送部に付着した上記機能性液体を上記搬送部から剥離する剥離部とを備え、
   上記剥離部の先端には、上記搬送部に付着した上記機能性液体を吸引するための吸引口が設けられていることを特徴とする塗布装置。
2. 上記搬送部の上方に配されており、上記搬送部に付着した機能性液体の縁部の位置を検出するための位置検出センサをさらに備えていることを特徴とする請求項１に記載の塗布装置。
3. 載置された基板を搬送する搬送部と、
   上記基板に成膜される機能性膜となる機能性液体を、上記基板の縁部からはみ出し上記搬送部にも付着するように上記基板の全面に塗布する第１塗布部と、
   上記機能性液体が全面に塗布された上記基板を上記搬送部が当該搬送部外へ排出した後、上記搬送部を洗浄するための洗浄液を、上記機能性液体が付着した上記搬送部に塗布する第２塗布部と、
   上記搬送部の上方に配されており、上記搬送部に付着した機能性液体の縁部の位置を検出するための位置検出センサとを備えていることを特徴とする塗布装置。
4. 先端が上記搬送部と接触するように配され、上記搬送部と相対移動することで、上記搬送部に付着した上記機能性液体を上記搬送部から剥離する剥離部をさらに備えていることを特徴とする請求項３に記載の塗布装置。
5. 上記剥離部の先端には、上記搬送部に付着した上記機能性液体を吸引するための吸引口が設けられていることを特徴とする請求項４に記載の塗布装置。

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