JP6126417B2 - 熱式流量計 - Google Patents
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Description
前記薄膜ダイヤフラムの表面を形成する前記上部電気絶縁膜の上に、前記薄膜ダイヤフラムの外周との間に間隔を設けて配置された、撥水性材料からなる凸状構造を有する。
2…半導体基板
3…発熱抵抗体
4a…上流側測温抵抗体
4b…下流側測温抵抗体
5…測温抵抗体
21…支持体
23…副通路
30…被計測気体(吸入空気)
31…電子回路
32…ハウジング
40…水滴
41…水膜の外部に飛び出す気泡
42…水膜の外部に飛び出さない気泡
43…気泡が消滅時に発生する衝撃力43
49…凸型構造
50…凸型構造
51…空気の流れ方向に垂直な凹凸の溝構造
52…空気の流れ方向に平行な凹凸の溝構造
300…熱式流量計
356…絞り
Claims (10)
- 空洞部を有する半導体基板と、前記半導体基板に設けられ下部薄膜を構成する下部電気絶縁膜と、前記半導体基板に設けられ上部薄膜を構成する上部電気絶縁膜と、前記下部電気絶縁膜及び前記上部電気絶縁膜によって前記空洞部の上部に形成された薄膜ダイヤフラムと、前記下部電気絶縁膜と前記上部電気絶縁膜との間に挟まれた状態で前記薄膜ダイヤフラム上に形成された発熱抵抗体及び測温抵抗体とを備えた測定素子を有し、前記発熱抵抗体に通電することにより前記発熱抵抗体を発熱させ、前記発熱抵抗体の側方に配置した測温抵抗体の抵抗値を変化させることにより、内燃機関に吸入される空気の流量を計測する熱式空気流量計において、
前記薄膜ダイヤフラムの表面を形成する前記上部電気絶縁膜の上に、前記薄膜ダイヤフラムの外周との間に間隔を設けて配置された、撥水性材料からなる凸状構造を有することを特徴とする熱式空気流量計。 - 請求項1に記載の熱式空気流量計において、
前記凸状構造は、前記発熱抵抗体を前記薄膜ダイヤフラムの表面に垂直に投影した発熱抵抗体投影領域の外側に、配置されていることを特徴とする熱式空気流量計。 - 請求項2に記載の熱式空気流量計において、
前記測温抵抗体と前記凸状構造とは、空気の流れ方向において、前記発熱抵抗体投影領域の両側方に設けられ、
前記凸状構造は、前記発熱抵抗体投影領域の少なくとも一方の側方において、前記測温抵抗体を前記薄膜ダイヤフラムの表面に垂直に投影した測温抵抗体投影領域から前記発熱抵抗体投影領域の側に、配置されていることを特徴とする熱式空気流量計。 - 請求項3に記載の熱式空気流量計において、
前記凸状構造は、前記一方の側方において、前記測温抵抗体投影領域における前記発熱抵抗体投影領域の側の端部と前記発熱抵抗体投影領域における前記測温抵抗体投影領域の側の端部との間に、配置されていることを特徴とする熱式空気流量計。 - 請求項1乃至4のいずれか1項に記載の熱式空気流量計において、
前記発熱抵抗体が300℃以上に加熱され、前記凸状構造が耐熱性を有する材料で構成されていることを特徴とする熱式空気流量計。 - 請求項3に記載の熱式空気流量計において、
前記凸状構造を複数個の点在する突起部で構成したことを特徴とする熱式空気流量計。 - 請求項3に記載の熱式空気流量計において、
前記発熱抵抗体投影領域と前記発熱抵抗体投影領域の前記一方の側方に配置される凸状構造との間隔に対して、前記発熱抵抗体投影領域と前記発熱抵抗体投影領域の他方の側方に配置される前記凸状構造との間隔の方が大きいことを特徴とする熱式空気流量計。 - 請求項1に記載の熱式空気流量計において、
空気流量を測定するための副通路内の計測用流路面に空気の流れ方向と平行に溝構造を付与したことを特徴とする熱式空気流量計。 - 請求項1に記載の熱式空気流量計において、
空気流量を測定するための副通路内の計測用流路面に空気の流れ方向と垂直に溝構造を付与したことを特徴とする熱式空気流量計。 - 請求項1に記載の熱式空気流量計において、
前記凸状構造を空気の流れ方向に平行な線状を成すように形成したことを特徴とする熱式空気流量計。
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