JP5001588B2 - 汚染脆弱性を低減した熱空気質量計 - Google Patents
汚染脆弱性を低減した熱空気質量計 Download PDFInfo
- Publication number
- JP5001588B2 JP5001588B2 JP2006167957A JP2006167957A JP5001588B2 JP 5001588 B2 JP5001588 B2 JP 5001588B2 JP 2006167957 A JP2006167957 A JP 2006167957A JP 2006167957 A JP2006167957 A JP 2006167957A JP 5001588 B2 JP5001588 B2 JP 5001588B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- air mass
- mass meter
- hot film
- film air
- sensor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000011109 contamination Methods 0.000 title description 22
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 88
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 35
- 239000004020 conductor Substances 0.000 claims description 28
- 238000002485 combustion reaction Methods 0.000 claims description 14
- 238000012546 transfer Methods 0.000 claims description 12
- 238000011156 evaluation Methods 0.000 claims description 7
- 238000011144 upstream manufacturing Methods 0.000 claims description 7
- 239000003570 air Substances 0.000 description 72
- 239000010408 film Substances 0.000 description 49
- 239000003921 oil Substances 0.000 description 46
- 239000012528 membrane Substances 0.000 description 16
- 239000012530 fluid Substances 0.000 description 13
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 8
- 230000007704 transition Effects 0.000 description 8
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 7
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 7
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 7
- 230000004888 barrier function Effects 0.000 description 5
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 5
- 230000009471 action Effects 0.000 description 3
- 238000009529 body temperature measurement Methods 0.000 description 3
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 3
- 238000000034 method Methods 0.000 description 3
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 2
- 230000008859 change Effects 0.000 description 2
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 2
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 description 2
- 238000005457 optimization Methods 0.000 description 2
- 230000008569 process Effects 0.000 description 2
- 238000009423 ventilation Methods 0.000 description 2
- 239000012080 ambient air Substances 0.000 description 1
- 230000003197 catalytic effect Effects 0.000 description 1
- 239000000356 contaminant Substances 0.000 description 1
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 1
- 230000008021 deposition Effects 0.000 description 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 1
- 239000000428 dust Substances 0.000 description 1
- 230000007613 environmental effect Effects 0.000 description 1
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 1
- 239000000446 fuel Substances 0.000 description 1
- 239000012535 impurity Substances 0.000 description 1
- 230000007774 longterm Effects 0.000 description 1
- 239000003595 mist Substances 0.000 description 1
- 230000002035 prolonged effect Effects 0.000 description 1
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 1
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 1
- 239000004071 soot Substances 0.000 description 1
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01F—MEASURING VOLUME, VOLUME FLOW, MASS FLOW OR LIQUID LEVEL; METERING BY VOLUME
- G01F1/00—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow
- G01F1/68—Measuring the volume flow or mass flow of fluid or fluent solid material wherein the fluid passes through a meter in a continuous flow by using thermal effects
- G01F1/684—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow
- G01F1/688—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element
- G01F1/69—Structural arrangements; Mounting of elements, e.g. in relation to fluid flow using a particular type of heating, cooling or sensing element of resistive type
- G01F1/692—Thin-film arrangements
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Fluid Mechanics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Volume Flow (AREA)
Description
ホットフィルム空気質量計は、空気質量流が通流可能なチップ表面を備えるセンサチップを有し、
チップ表面は測定表面とランド表面とを有し、
センサチップは、測定表面の領域ではランド表面の領域よりも少なくとも一桁だけ小さい伝熱性を有し、
測定表面には中央ホットフィルム空気質量計の導体路が取り付けられている形式のホットフィルム空気質量計に関する。
測定表面とセンサ領域は実質的に矩形の形状を有し、
各矩形の長辺は主通流方向に対して実質的に垂直に配置されている様に構成して解決される。
従って図2による本発明の構成によって、オイル滴148による汚染の影響および信号ドリフトはほとんど排除される。
112 ランド表面
114 測定表面
116 測定表面の矩形
118 矩形116の長辺
120 矩形116の長辺
122 主通流方向
124 矩形116の短辺
126 矩形116の短辺
128 中央ホットフィルム空気質量計の導体路
130 中央加熱素子
132 温度センサ
134 温度センサ
136 センサ領域
138 センサ領域136の矩形
140 矩形138の長辺
142 矩形138の長辺
144 矩形138の短辺
146 矩形138の短辺
148 オイル滴
150 オイル汚染がない場合の温度経過
152 オイル汚染がある場合の温度経過
154 付加的加熱素子
156 付加的加熱素子
158 付加的温度センサ
160 付加的温度センサ
162 制御評価回路
164 温度制御回路
166 対称軸
Claims (9)
- 主通流方向(122)に通流する空気質量流、とりわけ内燃機関の吸気管における空気質量流を測定するためのホットフィルム空気質量計であって、
ホットフィルム空気質量計は、空気質量流が通流可能なチップ表面を備えるセンサチップ(110)を有し、
チップ表面は測定表面(114)とランド表面(112)とを有し、
センサチップ(110)は、測定表面(114)の領域ではランド表面(112)の領域よりも少なくとも一桁だけ小さい伝熱性を有し、
測定表面(114)には中央ホットフィルム空気質量計回路の導体路(128)が取り付けられている形式のホットフィルム空気質量計において、
中央ホットフィルム空気質量計回路の導体路(128)の外寸は測定表面(114)のセンサ領域(136)を規定し、
測定表面(114)は、係数1.5から4.5だけセンサ領域(136)よりも大きく、
当該ホットフィルム空気質量計は、少なくとも1つの付加的加熱素子(154,156)と少なくとも1つの付加的温度センサ(158,160)を有し、
少なくとも1つの付加的加熱素子(154,156)と少なくとも1つの付加的温度センサ(158,160)はセンサ領域(136)の外の測定表面(114)に配置されている、
ことを特徴とするホットフィルム空気質量計。 - 請求項1記載のホットフィルム空気質量計において、
測定表面(114)とセンサ領域(136)は実質的に矩形(116,138)の形状を有し、
各矩形(116,138)の長辺は主通流方向(122)に対して実質的に垂直に配置されている、ホットフィルム空気質量計。 - 請求項2記載のホットフィルム空気質量計において、
センサ領域(136)の矩形(138)は、主通流方向(122)に対して垂直の対称軸(166)を基準にして実質的に対称に測定表面(114)の矩形(116)内に配置されている、ホットフィルム空気質量計。 - 請求項3記載のホットフィルム空気質量計において、
測定表面(114)の矩形(116)の短辺(124,126)は係数1.5から4.5だけ、センサ領域(136)の矩形(138)の短辺(144,146)よりも長い、ホットフィルム空気質量計。 - 請求項4記載のホットフィルム空気質量計において、
センサ領域(136)の矩形(138)の短辺(144,146)は、250から640μmの間の長さlSを有し、
センサ領域(114)の矩形(116)の短辺(124,126)は、1100から1900μmの間の長さlMを有する、ホットフィルム空気質量計。 - 請求項1から5までのいずれか一項記載のホットフィルム空気質量計において、
センサ領域(136)は主通流方向(122)に対して垂直に、主通流方向(122)に対して垂直の測定表面(114)の最大広がりLMの80%から100%の最大広がりLSを有する、ホットフィルム空気質量計。 - 請求項1から6までのいずれか一項記載のホットフィルム空気質量計において、
中央ホットフィルム空気質量計回路の導体路(128)は、空気質量流の測定を制御および評価するための制御評価回路(162)と接続されており、
少なくとも1つの付加的加熱素子(154,156)と少なくとも1つの付加的温度センサ(158,160)は、所定の温度Tfixに調整および/または制御するための温度制御回路(164)と接続されている、ホットフィルム空気質量計。 - 請求項2から7までのいずれか一項記載のホットフィルム空気質量計において、
センサ領域(136)は実質的に矩形(138)の形状に構成されており、
矩形(138)は主通流方向(122)に対して垂直に配置された2つの辺(140,142)を有し、
少なくとも1つの付加的加熱素子(154,156)は、主通流方向(122)に対して垂直に配置された辺(140,142)に対して実質的に平行に伸長している、ホットフィルム空気質量計。 - 請求項1から8までのいずれか一項記載のホットフィルム空気質量計において、
少なくとも1つの第1付加的加熱素子(154)と少なくとも1つの第1付加的温度センサ(158)が主通流方向(122)を基準にしてセンサ領域(136)の上流側に配置されており、
少なくとも1つの第2付加的加熱素子(156)と少なくとも1つの第2付加的温度センサ(160)が主通流方向(122)を基準にしてセンサ領域(136)の下流側に配置されている、ホットフィルム空気質量計。
Applications Claiming Priority (2)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
DE102005028143.5 | 2005-06-17 | ||
DE200510028143 DE102005028143A1 (de) | 2005-06-17 | 2005-06-17 | Thermischer Luftmassenmesser mit geringer Kontaminationsempfindlichkeit |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2006349688A JP2006349688A (ja) | 2006-12-28 |
JP5001588B2 true JP5001588B2 (ja) | 2012-08-15 |
Family
ID=37513399
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2006167957A Active JP5001588B2 (ja) | 2005-06-17 | 2006-06-16 | 汚染脆弱性を低減した熱空気質量計 |
Country Status (2)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP5001588B2 (ja) |
DE (1) | DE102005028143A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP5178598B2 (ja) * | 2009-03-24 | 2013-04-10 | 日立オートモティブシステムズ株式会社 | 熱式流量計 |
DE102015220855A1 (de) * | 2015-10-26 | 2017-04-27 | Robert Bosch Gmbh | Sensorvorrichtung zur Erfassung mindestens einer Strömungseigenschaft eines fluiden Mediums |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH1062220A (ja) * | 1996-08-26 | 1998-03-06 | Hitachi Ltd | 熱式空気流量計 |
JP3316740B2 (ja) * | 1997-03-17 | 2002-08-19 | 三菱電機株式会社 | 流量検出素子 |
JPH11148849A (ja) * | 1997-11-17 | 1999-06-02 | Mazda Motor Corp | 流体検出センサ |
JP3620334B2 (ja) * | 1999-03-26 | 2005-02-16 | オムロン株式会社 | 薄膜ヒータ |
DE10111840C2 (de) * | 2001-03-13 | 2003-06-05 | Bosch Gmbh Robert | Verfahren zur Vermeidung von Verschmutzungen auf einem Sensorchip und Verwendung eines Zusatzheizers auf einem Sensorchip |
JP2004361271A (ja) * | 2003-06-05 | 2004-12-24 | Hitachi Ltd | 熱式空気流量計 |
-
2005
- 2005-06-17 DE DE200510028143 patent/DE102005028143A1/de active Pending
-
2006
- 2006-06-16 JP JP2006167957A patent/JP5001588B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2006349688A (ja) | 2006-12-28 |
DE102005028143A1 (de) | 2006-12-28 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP5049996B2 (ja) | 熱式流量測定装置 | |
JP5124458B2 (ja) | 流れ剥離部材を備えたホットフィルムエアマスセンサ | |
US6851311B2 (en) | Thermal-type flow meter with bypass passage | |
WO2013108289A1 (ja) | 熱式流量計 | |
JP5546202B2 (ja) | マスフローセンサおよびマスフローセンサを備える自動車 | |
JP4845440B2 (ja) | 熱式流量計測装置 | |
CN107949783B (zh) | 气体传感器装置 | |
US7775104B2 (en) | Thermal flowmeter in which relationship among length of heat resistor, heating temperature for the heat resistor, and power supplied to the heat resistor is prescribed | |
US7181962B2 (en) | Thermal flow sensor | |
JP6073489B2 (ja) | センサ素子を備えた空気質量流量計 | |
JP4980654B2 (ja) | 表面汚染を減少するための付加的加熱素子を有する空気質量計 | |
JP4474308B2 (ja) | 流量センサ | |
JP5001588B2 (ja) | 汚染脆弱性を低減した熱空気質量計 | |
WO2015068569A1 (ja) | 物理量計測装置 | |
JP4166705B2 (ja) | 空気流量測定装置 | |
KR102301752B1 (ko) | 채널을 관류하는 유체 매체의 하나 이상의 매개변수를 측정하는 센서 장치 | |
JP4659623B2 (ja) | 熱式流量測定装置 | |
JP6109322B2 (ja) | 空気質量計 | |
JP2003090750A (ja) | 流量及び流速測定装置 | |
WO2014021034A1 (ja) | 熱式空気流量センサ | |
JP2008026205A (ja) | 熱式ガス流量センサ及びそれを用いた内燃機関制御装置 | |
JP6129601B2 (ja) | 熱式流量計 | |
JP5010877B2 (ja) | 熱式ガス流量測定装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20090615 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20111201 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20120228 |
|
A602 | Written permission of extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A602 Effective date: 20120302 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20120328 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20120419 |
|
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20120518 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 5001588 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
FPAY | Renewal fee payment (event date is renewal date of database) |
Free format text: PAYMENT UNTIL: 20150525 Year of fee payment: 3 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |