JP5546202B2 - マスフローセンサおよびマスフローセンサを備える自動車 - Google Patents
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Claims (8)
- センサチップを含むか、またはセンサチップとして構成されているマスフローセンサ(LMM)であって、
前記センサチップに、少なくとも1つのセンサ加熱素子(SHU)と、少なくとも1つのセンサ素子(SU)と、評価ユニット(AU)とが集積されている
形式のマスフローセンサにおいて、
前記評価ユニット(AU)が以下のように構成されている、すなわち、
前記少なくとも1つのセンサ素子(SU)によって、流体フローのマスフローと流体フローのフロー方向(FD)とを検出し、かつ
検出された前記マスフローと検出された前記フロー方向(FD)とに基づいて、前記少なくとも1つのセンサ加熱素子(SHU)を駆動制御し、かつ
前記少なくとも1つのセンサ加熱素子(SHU)によって、前記マスフローセンサ(LMM)を少なくとも部分的に加熱する、ように構成されており、
前記評価ユニット(AU)は、さらに、流体フローの所定の第1フロー方向とは逆向きである流体フローの所定の第2フロー方向が検出された場合に、前記少なくとも1つのセンサ加熱素子(SHU)を駆動制御するように構成されている、
ことを特徴とするマスフローセンサ(LMM)。 - 前記評価ユニット(AU)は、前記検出されたマスフローが所定のマスフロー閾値以下である場合に、前記少なくとも1つのセンサ加熱素子(SHU)を駆動制御するように構成されている、
ことを特徴とする請求項1記載のマスフローセンサ(LMM)。 - 前記評価ユニット(AU)は、前記検出されたマスフローが所定の第1期間の間所定のマスフロー閾値以下である場合に、前記少なくとも1つのセンサ加熱素子(SHU)を駆動制御するように構成されている、
ことを特徴とする請求項2記載のマスフローセンサ(LMM)。 - 前記評価ユニット(AU)は、前記流体フローの所定の第2フロー方向が少なくとも所定の第1期間の間検出された場合に、前記少なくとも1つのセンサ加熱素子(SHU)を駆動制御するように構成されている、
ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか一項記載のマスフローセンサ(LMM)。 - 前記マスフローセンサ(LMM)は、前記少なくとも1つのセンサ加熱素子(SHU)によって以下のように加熱される、すなわち前記マスフローセンサ(LMM)が少なくとも部分的に流体の温度よりも高い温度を有するように加熱される、
ことを特徴とする請求項1〜4のいずれか一項記載のマスフローセンサ(LMM)。 - 前記評価ユニット(AU)は、前記少なくとも1つのセンサ加熱素子(SHU)を所定の第2期間の間駆動制御するように構成されている、
ことを特徴とする請求項1〜5のいずれか一項記載のマスフローセンサ(LMM)。 - 前記少なくとも1つのセンサ素子(SU)が、加熱素子(HU)を備える少なくとも1つの薄膜(M)を含み、
前記評価ユニット(AU)は、前記各加熱素子(HU)と前記少なくとも1つのセンサ加熱素子(SHU)とを、前記検出されたマスフローおよび/または前記検出されたフロー方向(FD)に基づいて駆動制御するように構成されている、
ことを特徴とする請求項1〜6のいずれか一項記載のマスフローセンサ(LMM)。 - 請求項1〜7のいずれか一項記載の少なくとも1つのマスフローセンサ(LMM)を備える自動車。
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