JP6125042B2 - 太陽電池セルの製造方法 - Google Patents
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Description
図1〜図5は、本発明の実施の形態にかかる太陽電池セル1の構成を模式的に示す図である。図1は、受光面側から見た太陽電池セル1の上面図である。図2は、受光面と反対側(裏面)から見た太陽電池セル1の下面図である。図3は、太陽電池セル1の要部断面図であり、図1のA−A方向における要部断面図である。図4は、太陽電池セル1の要部断面図であり、図1のB−B方向における要部断面図である。図5は、太陽電池セル1の裏面側に設けられた裏面パッシベーション膜に形成された櫛型の開口部の形状を示す太陽電池セル1の下面図である。
Claims (8)
- 第1導電型の半導体基板における受光面側となる一面側に第2導電型の不純物拡散層を形成する第1工程と、
前記半導体基板の他面側にマスクパターンを形成する第2工程と、
前記マスクパターンの厚みよりも薄い膜厚のパッシベーション膜を前記半導体基板の他面側に形成して、前記マスクパターンの側面の一部が露出するように前記マスクパターンを前記パッシベーション膜に埋設する第3工程と、
前記マスクパターンを除去することにより前記パッシベーション膜を膜厚方向に貫通して前記半導体基板の他面側を露出させる開口部を形成する第4工程と、
前記半導体基板の他面側に電気的に接続する裏面側電極を前記開口部内に埋設する第5工程と、
前記不純物拡散層に電気的に接続する受光面側電極を前記半導体基板の一面側に形成する第6工程と、
を含み、
前記第4工程では、前記マスクパターンの側面であって前記パッシベーション膜から露出した露出部より前記マスクパターンの表面に酸素を供給して前記マスクパターンを焼却により除去すること、
を特徴とする太陽電池セルの製造方法。 - 前記第3工程では、前記マスクパターンの側面の一部が露出する成膜条件で、常圧CVD法またはスパッタリング法により前記パッシベーション膜を形成し、
前記第4工程では、前記パッシベーション膜が耐性を有する条件で前記マスクパターンを焼却により除去すること、
を特徴とする請求項1に記載の太陽電池セルの製造方法。 - 前記第2工程では、前記パッシベーション膜の形成時の温度に耐性を有する樹脂を前記半導体基板の他面側に塗布する第7工程と、
前記樹脂を固化させて前記マスクパターンを形成する第8工程と、
を含むことを特徴とする請求項2に記載の太陽電池セルの製造方法。 - 前記樹脂が熱硬化型合成樹脂であり、
前記第8工程では、前記熱硬化型合成樹脂を加熱して該熱硬化型合成樹脂を固化させること、
を特徴とする請求項3に記載の太陽電池セルの製造方法。 - 前記第8工程と、前記第3工程と、前記第4工程における焼却による前記マスクパターンの除去が、CVD装置におけるチャンバー内において前記チャンバー内の温度を調整することにより行われること、
を特徴とする請求項4に記載の太陽電池セルの製造方法。 - 前記第8工程と前記第3工程と前記第4工程における焼却による前記マスクパターンの除去とのそれぞれが、マルチチャンバーシステムを備える前記CVD装置において異なるチャンバー内で行われること、
を特徴とする請求項5に記載の太陽電池セルの製造方法。 - 前記第8工程と前記第3工程と前記第4工程における焼却による前記マスクパターンの除去とが、前記CVD装置における同一チャンバー内で行われること、
を特徴とする請求項5に記載の太陽電池セルの製造方法。 - 前記樹脂が紫外線硬化型樹脂であり、
前記第8工程では、前記紫外線硬化型樹脂に紫外線を照射して該紫外線硬化型樹脂を固化させること、
を特徴とする請求項3に記載の太陽電池セルの製造方法。
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