JP6124255B2 - リフロー装置 - Google Patents
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半田を有するワークを、加熱しながら上記半田の酸化膜を還元するリフロー装置において、
上記ワークの還元処理を行うための還元チャンバと、
上記還元チャンバの前段に接続されている前室チャンバと、
上記還元チャンバの後段に接続されている後室チャンバと、
上記還元チャンバに還元ガスを供給する還元ガス供給機構部と、
上記還元ガスを加熱する加熱機構部と、
上記還元ガスを上記還元チャンバ外に取り出し再び上記還元チャンバ内に戻す循環経路とを備え、
上記循環経路の途中に接続されたサブチャンバを備え、
上記還元ガス供給機構部は、上記サブチャンバに接続され、
上記加熱機構部は、上記サブチャンバ内に配設され、
上記サブチャンバの容積は、上記還元チャンバの容積と同じかまたは大きく形成されているものである。
処理時間を短縮するとともに還元ガスの消費量を低減することができる。
以下、本願発明の実施の形態について説明する。図1はこの発明の実施の形態1におけるリフロー装置の構成を示す図である。図において、リフロー装置は、ワーク1を保持して搭載するトレイ2と、ワーク1の還元処理を行うための還元チャンバ4と、この還元チャンバ4の前段に接続された前室チャンバ11と、還元チャンバ4の後段に接続された後室チャンバ12と、ワーク1の搭載したトレイ2を各チャンバ4、11、12内外に移動するため、例えばコンベア方式や、トレイ2に搬送方向に可動なツメを掛けて下流側へ送る方式などにて構成される搬送機構部3と、後室チャンバ12内に設けられたワーク1を冷却するための冷却機構部13とを備えている。
図3はこの発明の実施の形態2におけるリフロー装置の構成を示す図である。上記実施の形態1においては、1つのチャンバにて、ワークの半田の表面の酸化膜の還元、および半田の接合を行う例を示したが、本実施の形態2においては、後室チャンバとして、加熱チャンバと冷却チャンバとを別々に備える場合について説明する。図において、上記実施の形態1と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。後室チャンバ12は、還元チャンバ4に接続されワーク1の半田の接合処理の加熱を行うための接合加熱機構部19を有する加熱チャンバ18と、加熱チャンバ18に接続されワーク1の冷却を行うための冷却チャンバ22とから構成されている。冷却チャンバ22には遮蔽扉14eが下流側に形成されている。
図5はこの発明の実施の形態3におけるリフロー装置の構成を示す図である。上記実施の形態1においては、後室チャンバとして、冷却のみを行う例を示したが、本実施の形態3においては、後室チャンバにて、半田接合および冷却を行う場合について説明する。図において、上記各実施の形態と同様の部分は同一符号を付して説明を省略する。後室チャンバ12内に、ワーク1を半田の溶融の温度まで加熱する接合加熱機構部19およびワーク1を冷却する冷却機構部13を備えるものである。また、減圧機構部16は、後室チャンバ12内を減圧可能に形成され、後室チャンバ12内にてワーク1を減圧下状態に保持することができるものである。
6 循環経路、6a 往路、6b 復路、7 タンク、8 マスフローコントローラ、
9 加熱機構部、10 ファン、11 前室チャンバ、12 後室チャンバ、
13 冷却機構部、14a 遮蔽扉、14b 遮蔽扉、14c 遮蔽扉、
14d 遮蔽扉、14e 遮蔽扉、15 不活性ガス供給機構部、16 減圧機構部、
17 還元ガス回収機構部、18 加熱チャンバ、20 タンク、21 バルブ、
22 冷却チャンバ、19 接合加熱機構部、70 還元ガス供給機構部、
71 還元剤。
Claims (8)
- 半田を有するワークを、加熱しながら上記半田の酸化膜を還元するリフロー装置において、
上記ワークの還元処理を行うための還元チャンバと、
上記還元チャンバの前段に接続されている前室チャンバと、
上記還元チャンバの後段に接続されている後室チャンバと、
上記還元チャンバに還元ガスを供給する還元ガス供給機構部と、
上記還元ガスを加熱する加熱機構部と、
上記還元ガスを上記還元チャンバ外に取り出し再び上記還元チャンバ内に戻す循環経路とを備え、
上記循環経路の途中に接続されたサブチャンバを備え、
上記還元ガス供給機構部は、上記サブチャンバに接続され、
上記加熱機構部は、上記サブチャンバ内に配設され、
上記サブチャンバの容積は、上記還元チャンバの容積と同じかまたは大きく形成されているリフロー装置。 - 上記還元ガス供給機構部は、還元剤を上記サブチャンバ内の上記加熱機構部に供給し、上記サブチャンバ内にて上記還元剤が加熱して気化し上記還元ガスが生成され上記循環経路を介して上記還元チャンバに供給される請求項1に記載のリフロー装置。
- 上記還元ガス供給機構部は、上記還元剤を封入するタンクと、上記タンク内の上記還元剤の供給量を調整するマスフローコントローラとから構成されている請求項2に記載のリフロー装置。
- 上記加熱機構部は、上記還元チャンバ内にて上記ワークの上記半田の接合処理の加熱を行うように構成されている請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のリフロー装置。
- 上記後室チャンバは、上記ワークの冷却を行うための冷却機構部を備えた請求項1から請求項4のいずれか1項に記載のリフロー装置。
- 上記後室チャンバは、上記還元チャンバに接続され上記ワークの上記半田の接合処理の加熱を行うための接合加熱機構部を有する加熱チャンバと、
上記加熱チャンバに接続され上記ワークの冷却を行うための冷却チャンバとから構成され、
上記加熱チャンバは、上記加熱チャンバ内を減圧する減圧機構部を備えた請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のリフロー装置。 - 上記後室チャンバは、上記還元チャンバに接続され上記ワークの上記半田の接合処理の加熱を行うための接合加熱機構部と、上記ワークの冷却を行うための冷却機構部と、上記後室チャンバ内を減圧する減圧機構部とを備えた請求項1から請求項3のいずれか1項に記載のリフロー装置。
- 上記前室チャンバおよび上記後室チャンバの雰囲気を不活性ガスに置換する不活性ガス供給機構部を備えた請求項1から請求項7のいずれか1項に記載のリフロー装置。
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JP2013142214A JP6124255B2 (ja) | 2013-07-08 | 2013-07-08 | リフロー装置 |
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JP2013142214A JP6124255B2 (ja) | 2013-07-08 | 2013-07-08 | リフロー装置 |
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Family Applications (1)
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JP (1) | JP6124255B2 (ja) |
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TWI715161B (zh) * | 2019-08-23 | 2021-01-01 | 廣化科技股份有限公司 | 純甲酸供酸焊接系統 |
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JP2007207899A (ja) * | 2006-01-31 | 2007-08-16 | Toyota Industries Corp | 半田付け装置、半田付け方法、及び半導体装置の製造方法 |
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