JP6112010B2 - ポリα−アミノ酸およびそれを用いた強誘電体メモリ素子 - Google Patents
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Description
[1] 強誘電体層を有する強誘電体メモリ素子において、当該強誘電体層が、式(I):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位と、
式(II):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位、または、式(III):
で表されるアラニン、フェニルアラニンもしくはN−置換リジンの単位とを含み、
式(I)の単位と、式(II)の単位または式(III)の単位との含有量比((I)/(II)または(I)/(III))がモル比で10/90〜90/10のコポリマーであるポリα−アミノ酸を含有することを特徴とする、強誘電体メモリ素子。
[2] 式(I)中のR1がメチル基またはベンジル基であり、式(II)中のR2が炭素数が6〜16の非置換のアルキル基、または、水素原子の一部もしくは全部がハロゲン原子もしくは炭素数が3〜12の脂環式炭化水素基で置換された炭素数が1〜6のアルキル基であり、式(III)中のR3がメチル基、ベンジル基または−(CH2)4−NHX基(基中、Xはベンジルオキシカルボニル基を表す。)である、請求項1記載の強誘電体メモリ素子。
[3] ポリα−アミノ酸が式(I)の単位と式(II)の単位を含むコポリマーである上記[1]または[2]に記載の強誘電体メモリ素子。
[4] ポリα−アミノ酸が、式:−COOR1(式中、R1は前記と同義である。)で表されるエステル基を導入したN−カルボキシ−α−グルタミン酸−γ−エステル無水物と、式:−COOR2(式中、R2は前記と同義である。)で表されるエステル基を導入したN−カルボキシ−α−グルタミン酸−γ−エステル無水物を重合して得られたものである、上記[3]に記載の強誘電体メモリ素子。
[5] 強誘電体層を有する強誘電体メモリ素子において、当該強誘電体層が、式(IV):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位からなるホモポリマーか、或いは、該式(IV)で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位と、式(I):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位とを含み、式(IV)で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位の含有量が40モル%以上のコポリマーであるポリα−アミノ酸を含有することを特徴とする、強誘電体メモリ素子。
[6] ポリα−アミノ酸が式(I)の単位と式(IV)の単位を含むコポリマーであって、式(I)中のR1がメチル基またはベンジル基であり、コポリマーにおける式(IV)で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位の含有量が80モル%以上である、上記[5]記載の強誘電体メモリ素子。
[7] ポリα−アミノ酸が、式:−COOR5(式中、R5は、
[8] ポリα−アミノ酸の数平均分子量が2,000〜50,000である、上記[1]〜[7]のいずれか1つに記載の強誘電体メモリ素子。
[9] 100℃においてメモリ性を示すことを特徴とする上記[1]〜[8]のいずれか1つに記載の強誘電体メモリ素子。
[10] 強誘電体メモリ素子がトランジスタ型である、上記[1]〜[9]のいずれか1つに記載の強誘電体メモリ素子。
[11] 基板上に、強誘電体層、ゲート電極、半導体層、ソース電極及びドレイン電極を有する強誘電体メモリ素子である、上記[1]〜[10]のいずれか1つに記載の強誘電体メモリ素子。
[12] 半導体層上にソース電極及びドレイン電極が配置された強誘電体メモリ素子である、上記[11]記載の強誘電体メモリ素子。
[13] 上記[1]〜[12]のいずれか1つに記載の強誘電体メモリ素子を有するタグ。
[14] 強誘電体メモリ素子の製造方法であって、
(A−1)式(I):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位と、
式(II):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位、または、式(III):
で表されるアラニン、フェニルアラニンもしくはN−置換リジンの単位とを含み、
式(I)の単位と、式(II)の単位または式(III)の単位との含有量比((I)/(II)または(I)/(III))がモル比で10/90〜90/10のコポリマーであるポリα−アミノ酸、
(A−2)式(IV):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位からなるホモポリマー、或いは、該式(IV)で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位と、式(I):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位とを含み、式(IV)で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位の含有量が40モル%以上のコポリマーであるポリα−アミノ酸
からなる群から選択される1種以上のポリα−アミノ酸を有機溶媒に溶解させ、ポリα−アミノ酸含有インキを調製する工程:
当該ポリα−アミノ酸含有インキを基板上に塗布する工程;および
塗布したポリα−アミノ酸含有インキを乾燥する工程
を含む方法。
[15] 有機溶媒が、クロロ炭化水素系溶媒、フッ素含有分岐アルコール系溶媒、含窒素極性溶媒、炭化水素ケトン系溶媒、安息香酸エステル系溶媒、芳香族炭化水素系溶媒、グリコールエーテル系溶媒、グリコールエステル系溶媒からなる群から選択される1種または2種以上である上記[14]に記載の方法。
[16] 有機溶媒が、ジクロロメタン、クロロホルム、1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロイソプロパノール、塩化メチレン、ジクロロエタン、N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、安息香酸メチル、トルエン、トリエチレングリコールジメチルエーテル、アセトン、およびブチルカルビトールアセテートからなる群から選択される1種または2種以上である上記[14]に記載の方法。
[17] ポリα−アミノ酸含有インキを基板上に塗布する工程が、ポリα−アミノ酸含有インキを基板上に印刷する工程であることを特徴とする上記[14]〜[16]のいずれか1つに記載の方法。
[18] 式(I):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位と、
式(II):
で表されるアラニン、フェニルアラニンもしくはN−置換リジンの単位とを含み、
式(I)の単位と、式(II)の単位または式(III)の単位との含有量比((I)/(II)または(I)/(III))がモル比で10/90〜90/10のコポリマーであるポリα−アミノ酸。
[19] 式(I)中のR1がメチル基またはベンジル基であり、式(II)中のR2が水素原子の一部もしくは全部がハロゲン原子、炭素数が3〜12の脂環式炭化水素基、で置換された炭素数が1〜6のアルキル基であり、式(III)中のR3がメチル基、ベンジル基または−(CH2)4−NHX基(基中、Xはベンジルオキシカルボニル基を表す。)である、上記[18]記載のポリα−アミノ酸。
[20] 式(IV):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位と、
式(I):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位とを含むコポリマーであって、式(IV)で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位の含有量が40モル%以上のコポリマーであるポリα−アミノ酸。
[21] ポリα−アミノ酸が式(I)の単位と式(IV)の単位を含むコポリマーであって、式(I)中のR1がメチル基またはベンジル基であり、コポリマーにおける式(IV)で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位の含有量が80モル%以上である、上記[20]記載のポリα−アミノ酸。
[22] 100℃においてメモリ性を示すことを特徴とする、上記[18]〜[21]のいずれか1つに記載のポリα−アミノ酸。
[23] (A-1)式(I):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位と、
式(II):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位、または、式(III):
で表されるアラニン、フェニルアラニンもしくはN−置換リジンの単位とを含み、
式(I)の単位と、式(II)の単位または式(III)の単位との含有量比((I)/(II)または(I)/(III))がモル比で10/90〜90/10のコポリマーであるポリα−アミノ酸、
(A−2)式(IV):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位からなるホモポリマーで、或いは、該式(IV)で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位と、式(I):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位とを含み、式(IV)で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位の含有量が40モル%以上のコポリマーであるポリα−アミノ酸
からなる群から選ばれる1種または2種以上のポリα−アミノ酸;および
(B)有機溶媒
を含有するポリα−アミノ酸含有インキ。
[24] 有機溶媒が、クロロ炭化水素系溶媒、フッ素含有分岐アルコール系溶媒、含窒素極性溶媒、炭化水素ケトン系溶媒、安息香酸エステル系溶媒、芳香族炭化水素系溶媒、グリコールエーテル系溶媒、グリコールエステル系溶媒からなる群から選択される1種または2種以上である上記[23]に記載のポリα−アミノ酸含有インキ。
[25] 有機溶媒が、ジクロロメタン、クロロホルム、1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロイソプロパノール、塩化メチレン、ジクロロエタン、N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、安息香酸メチル、トルエン、トリエチレングリコールジメチルエーテル、アセトン、およびブチルカルビトールアセテートからなる群から選択される1種または2種以上である上記[23]に記載のポリα−アミノ酸含有インキ。
[26] ポリα−アミノ酸が式(I)の単位と式(II)の単位を含むコポリマーである、上記[23]〜[25]のいずれか1つに記載のポリα−アミノ酸含有インキ。
[27] ポリα−アミノ酸が、式:−COOR1(式中、R1は前記と同義である。)で表されるエステル基を導入したN−カルボキシ−α−グルタミン酸−γ−エステル無水物と、式:−COOR2(式中、R2は前記と同義である。)で表されるエステル基を導入したN−カルボキシ−α−グルタミン酸−γ−エステル無水物を重合して得られたものである、上記[26]に記載のポリα−アミノ酸含有インキ。
[28] ポリα−アミノ酸が、式(IV)の単位からなるホモポリマーか、或いは、式(IV)の単位と、式(I)の単位とを含むコポリマーである、上記[23]〜[25]のいずれか1つに記載のポリα−アミノ酸含有インキ。
[29] ポリα−アミノ酸が、式:−COOR5(式中、R5は、
[30] ポリα−アミノ酸の数平均分子量が2,000〜50,000である、上記[23]〜[29]のいずれか1つに記載のポリα−アミノ酸含有インキ。
[31] 当該インキ中のポリα−アミノ酸の濃度が、1〜20重量%である上記[23]〜[30]のいずれか1つに記載のポリα−アミノ酸含有インキ。
[32] 当該インキ中にp−トルエンスルホン酸を含まないか、または当該インキ中のp−トルエンスルホン酸の濃度が0.5重量%以下である、上記[23]〜[31]のいずれか1つに記載のポリα−アミノ酸含有インキ。
本明細書において、強誘電体メモリとは、Ferroelectric Memoryとも言い、電圧を加えることによって物質内の自発分極の方向を変化させ、電圧をかけなくてもその分極方向を持続させることのできる強誘電体を利用するメモリをいう。強誘電体メモリ素子とは、強誘電体メモリに使用される素子(強誘電体メモリを構成する電子部品)であり、少なくとも、基板、電極および強誘電体層(ferroelectric layer)を有する。
本発明においてメモリ性とは、強誘電体メモリ素子に電圧を印加したときの電流−電圧特性(伝達特性)において特異的なヒステリシスを示すことを指す。
伝達特性とは、ドレイン電極とソース電極間を流れる電流Idsとゲート電圧Vgの関係を示した電流−電圧特性を指す。
ON/OFF比とは、伝達特性を測定した際のソースとドレイン間に流れる電流Idsの最大値をON値、最小値をOFF値としたときのON値とOFF値の比を指す。
高温度での動作安定性とは、高温度においてもメモリ性を示すことであり、また、別の側面では、室温で示すメモリ性が高温度に曝されても維持され得ることを指す。
本発明に使用する第1態様のポリα−アミノ酸(A−1)は、
式(I):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位と、
式(II):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位、または、式(III):
で表されるアラニン、フェニルアラニンもしくはN−置換リジンの単位とを含むコポリマーである。
「炭素数が3〜12の脂環式炭化水素基」は、飽和炭化水素基でも不飽和炭化水素基でもよいが、好ましくは飽和炭化水素基であり、例えば、シクロプロピル基、シクロブチル基、シクロペンチル基、シクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、シクロノニル基、シクロデシル基、シクロヘキシルシクロヘキシル基、デカヒドロナフチル基、ノルボルニル基、アダマンチル基、イソボルニル基などが挙げられ、中でも、炭素数が6〜8のシクロヘキシル基、シクロヘプチル基、シクロオクチル基、ノルボルニル基が好ましく、より好ましくは、シクロヘキシル基、ノルボルニル基であり、さらに好ましくは、ノルボルニル基である。
「炭素数が1〜6のアルコキシ基」は、直鎖状または分岐状のアルコキシ基であり、例えば、メトキシ基、エトキシ基、n−プロポキシ基、n−ブトキシ基、n−ペンチルオキシ基、n−ヘキシルオキシ基、n−メトキシエトキシ基、n−エトキシエトキシ基、n−メトキシエトキシエトキシ基およびn−エトキシエトキシエトキシ基が挙げられ、好ましくは、メトキシ基、エトキシ基またはn−プロポキシ基であり、より好ましくはエトキシ基である。
フェニル基(水素原子の一部もしくは全部がハロゲン原子もしくはアルコキシ基で置換されてもよい)としては、フェニル基、p−フルオロフェニル基、p−クロロフェニル基、3,5−ジフルオロフェニル基、ペンタフルオロフェニル基、o−メトキシフェニル基、m−メトキシフェニル基、p−メトキシフェニル基、p−エトキシフェニル基、p−プロポキシフェニル基、p−ブトキシフェニル基、p−ペンチルオキシフェニル基、p−ヘキシルオキシフェニル基、3,5−ジメトキシフェニル基、p−エトキシメトキシフェニル基、p−エトキシエトキシフェニル基、p−メトキシエトキシフェニル基がなど挙げられ、より好ましくはフェニル基、p−フルオロフェニル基、p−メトキシフェニル基、p−ヘキシルオキシフェニル基、p−エトキシエトキシフェニル基であり、さらに好ましくはフェニル基、p−メトキシフェニル基である。
フェニルアルコキシ基(水素原子の一部もしくは全部がハロゲン原子もしくはアルコキシ基で置換されてもよい)としては、ベンジルオキシ基、フェニルエトキシ基、ベンジルオキシエトキシ基、ベンジルオキシエトキシエトキシ基、フェニルエトキシエトキシ基、フェニルエトキシプロポキシ基、フェニルプロポキシエトキシ基、フェニルプロポキシプロポキシ基、p−フルオロベンジルオキシ基、3,5−ジフルオロベンジルオキシ基、p−メトキシベンジルオキシ基、3,5−ジメトキシベンジルオキシ基などが挙げられ、好ましくはベンジルオキシ基、フェニルエトキシ基、p−フルオロベンジルオキシ基、p−メトキシベンジルオキシ基であり、さらに好ましくはベンジルオキシ基、フェニルエトキシ基である。
フェニルアルキルカルバメート基(水素原子の一部もしくは全部がハロゲン原子もしくはアルコキシ基で置換されてもよい)としては、ベンジルカルバメート基、p−フルオロベンジルカルバメート基、3,5−ジフルオロベンジルカルバメート基、p−メトキシベンジルカルバメート基、3,5−ジメトキシベンジルカルバメート基、p−メトキシベンジルカルバメート基、3,5−ジメトキシベンジルカルバメート基、フェニルエチルカルバメート基、フェニルプロピルカルバメート基が挙げられ、好ましくはベンジルカルバメート基である。
数平均分子量(Mn)は2,000〜50,000が好ましく、2,500〜45,000がより好ましい。なお、コポリマーが式(I)の単位と式(II)の単位とからなるコポリマーの場合、数平均分子量(Mn)が3,000〜40,000が特に好ましく、コポリマーが式(I)の単位と式(III)の単位とからなるコポリマーの場合、数平均分子量(Mn)が3,500〜45,000が特に好ましい。
式(I)の単位と式(II)の単位とからなるコポリマーとしては、例えば、γ−メチル−L−グルタミン酸/γ−プロピル−L−グルタミン酸共重合体、γ−メチル−L−グルタミン酸/γ−ヘキシル−L−グルタミン酸共重合体、γ−ベンジル−L−グルタミン酸/γ−ヘキシル−L−グルタミン酸共重合体、γ−メチル−L−グルタミン酸/γ−オクチル−L−グルタミン酸共重合体、γ−メチル−L−グルタミン酸/γ−ノニル−L−グルタミン酸共重合体、γ−メチル−L−グルタミン酸/γ−ドデシル−L−グルタミン酸共重合体、γ−ベンジル−L−グルタミン酸/γ−ドデシル−L−グルタミン酸共重合体、γ−メチル−L−グルタミン酸/γ−2,2,2−トリフルオロエチル−L−グルタミン酸共重合体、γ−メチル−L−グルタミン酸/γ−2−ノルボニルメチル−L−グルタミン酸共重合体、γ−ベンジル−L−グルタミン酸/γ−2−ノルボニルメチル−L−グルタミン酸共重合体、γ−メチル−L−グルタミン酸/γ−2−エトキシエチル−L−グルタミン酸共重合体、γ−メチル−L−グルタミン酸/γ−6−クロロヘキシル−L−グルタミン酸共重合体、γ−メチル−L−グルタミン酸/γ−2−シクロヘキシルエチル−L−グルタミン酸共重合体、γ−メチル−L−グルタミン酸/γ−((S)−3−メチル−1−ペンチル)−L−グルタミン酸共重合体、γ−メチル−L−グルタミン酸/γ−2−シアノエチル−L−グルタミン酸共重合体などが好ましい。
式(IV):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位からなるホモポリマーであるか、或いは、該式(IV)のグルタミン酸−γ−エステル単位と前記の式(I)の単位とからなるコポリマーである。
式(IV)のグルタミン酸−γ−エステル単位からなるホモポリマーの場合、例えば、式:−COOR5(式中、R5は、
例えば、γ−(6−(p−メトキシフェノキシ)−1−ヘキシル)−L−グルタミン酸重合体、γ−メチル−L−グルタミン酸/γ−(6−(p−メトキシフェノキシ)−1−ヘキシル)−L−グルタミン酸共重合体、γ−(6−(p−ペンチルカルボニルフェノキシ)−1−ヘキシル)−L−グルタミン酸重合体、γ−メチル−L−グルタミン酸/γ−(6−(p−ペンチルカルボニルフェノキシ)−1−ヘキシル)−L−グルタミン酸共重合体、γ−メチル−L−グルタミン酸/γ−(10−(p−メトキシフェノキシ)−1−デシル)−L−グルタミン酸共重合体、γ−メチル−L−グルタミン酸/γ−(6−(p−ブトキシフェノキシ)−1−ヘキシル)−L−グルタミン酸共重合体、γ−メチル−L−グルタミン酸/γ−(6−(p−ヘキシルオキシフェノキシ)−1−ヘキシル)−L−グルタミン酸共重合体、γ−メチル−L−グルタミン酸/γ−(6−(3,5−ビス(トリフルオロメチル)フェノキシ)−1−ヘキシル)−L−グルタミン酸共重合体等が好ましい。
強誘電体メモリ素子には大きく分けて2種類の構成が提案されている。具体的には、強誘電体であるキャパシタとトランジスタを組み合わせる方法(キャパシタ型、または1T1C型)と、電界効果トランジスタを用いる方法(トランジスタ型、または1T型)である。トランジスタ型の強誘電体メモリ素子であることが好ましい。
有機溶媒は1種の溶媒を単独で使用しても、2種以上を混合して使用してもよい。
好ましくは、クロロ炭化水素系溶媒、フッ素含有分岐アルコール系溶媒、含窒素極性溶媒、炭化水素ケトン系溶媒、安息香酸エステル系溶媒、芳香族炭化水素系溶媒、グリコールエーテル系溶媒、グリコールエステル系溶媒からなる群から選択される1種または2種以上である。
さらに好ましくは、ジクロロメタン、クロロホルム、1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロイソプロパノール、塩化メチレン、ジクロロエタン、N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、安息香酸メチル、トルエン、トリエチレングリコールジメチルエーテル、アセトン、およびブチルカルビトールアセテートからなる群から選択される1種または2種以上である。
合成例1:γ−メチル−L−グルタミン酸/γ−ヘキシル−L−グルタミン酸共重合体の合成(エステル交換法)
(ステップ1)ポリ−γ−メチル−L−グルタミン酸(前駆ポリマー)の合成
1,2−ジクロロエタン410ml(関東化学社製)にN−カルボキシ−γ−メチル−L−グルタミン酸無水物(54.92g、293.45mmol)を入れた後、0℃まで冷却し、開始剤としてN,N−ジメチル−1,3−プロパンジアミン(366μl、2.93mmol、関東化学社製)を加え、25℃で1日間攪拌を行い、ポリ−γ−メチル−L−グルタミン酸を得た。
上記で調製したポリ−γ−メチル−L−グルタミン酸9.3gを1,2−ジクロロエタン45mlに溶解させ、1−ヘキサノール(16ml、130.00mmol、東京化成工業社製)ならびにp−トルエンスルホン酸1水和物(1.24g、6.50mmol、東京化成工業社製)を加え、80℃で1日間攪拌してエステル交換反応を行い、γ−メチル−L−グルタミン酸/γ−ヘキシル−L−グルタミン酸共重合体を得た。得られた共重合体について、下記の方法(測定法1)で共重合体の分子量を測定した。また、下記の方法(測定法2)でエステル交換反応後の組成を測定した。
(ステップ1)ポリ−γ−ベンジル−L−グルタミン酸(前駆ポリマー)の合成
1,2−ジクロロエタン265ml(関東化学社製)にN−カルボキシ−γ−ベンジル−L−グルタミン酸無水物(44.2g、167.98mmol)と開始剤としてN,N−ジメチル−1,3−プロパンジアミン(208.2μl、1.68mmol)を加え、25℃で3日間攪拌を行い、ポリ−γ−ベンジル−L−グルタミン酸を得た。下記の方法(測定法1)で重量平均分子量Mwおよび数平均分子量Mnを測定した。
(ステップ2)ポリ−γ−ベンジル−L−グルタミン酸の側鎖置換反応(エステル交換反応)
上記で調製したポリ−γ−ベンジル−L−グルタミン酸(10g、45.6mmol)を1,2−ジクロロエタン170mlに溶解させ、1−ドデカノール(10.2ml、45.6mmol、東京化成工業社製)ならびにp−トルエンスルホン酸1水和物(2.6g、13.68mmol)を加え、65℃で1日間攪拌を行い、γ−ベンジル−L−グルタミン酸/γ−ドデシル−L−グルタミン酸共重合体を得た。得られた共重合体について、下記の方法(測定法1)で共重合体の分子量を測定した。また、下記の方法(測定法2)でエステル交換反応後の組成を測定した。
合成例1または9と同様の方法により、ポリ−γ−メチル−L−グルタミン酸またはポリ−γ−ベンジル−L−グルタミン酸を得た後、1,2−ジクロロエタンに溶解させ、表1(導入アルコールの欄)に示すアルコールをポリ−γ−メチル−L−グルタミン酸またはポリ−γ−ベンジル−L−グルタミン酸のグルタミン酸単位に対して適量加え、触媒量のp−トルエンスルホン酸1水和物を加え、1〜5日間攪拌を行う手順により、各種ポリα−アミノ酸(共重合体)を得た。得られた共重合体について、下記の方法(測定法1)で共重合体の分子量を測定した。また、下記の方法(測定法2)でエステル交換反応後の組成を測定した。
1,2−ジクロロエタン15mlにN−カルボキシ−γ−メチル−L−グルタミン酸無水物(1.2g,4.21mmol)とN−カルボキシ−γ−オクチル−L−グルタミン酸無水物(0.52g, 2.80mmol)を入れた後、0℃まで冷却し、開始剤としてN,N−ジメチル−1,3−プロパンジアミン(17.64μl、0.14mmol)を加え、25℃で1日間攪拌を行い、γ−メチル−L−グルタミン酸/γ−オクチル−L−グルタミン酸共重合体を得た。得られた共重合体について、下記の方法(測定法1)で共重合体の分子量を測定した。また、下記の方法(測定法2)で組成を測定した。分子量は、重量平均分子量Mwが1.7×104、数平均分子量Mnが8.5×103であった。組成はγ−メチル−L−グルタミン酸が40モル%、γ−オクチル−L−グルタミン酸が60モル%であった。
1,2−ジクロロエタン130mlにN−カルボキシ−γ−メチル−L−グルタミン酸無水物(2.46g、13.12mmol)ならびにNα−カルボキシ−Nε−ベンジルオキシカルボニル−L−リジン無水物(4.02g、13.12mmol)を入れ、開始剤としてN,N−ジメチル−1,3−プロパンジアミン(32.78μl、0.262mmol)を加え、25℃で1日間攪拌を行い、γ−メチル−L−グルタミン酸/Nε−ベンジルオキシカルボニル−L−リジン共重合体を得た。下記の方法(測定法1)で共重合体の分子量を測定した。また、下記の方法(測定法2)で共重合体の組成を測定した。
合成例26と同様にして、1,2−ジクロロエタンに表2に示す2種のN−カルボキシ−L−アミノ酸無水物(成分A、成分B)を等モルずつ入れ、開始剤としてN,N−ジメチル−1,3−プロパンジアミンをアミノ酸無水物に対して1/100当量分加え、2〜3日間攪拌を行い、各種ポリアミノ酸共重合体を得た。下記の方法(測定法1)で共重合体の分子量を測定した。また、下記の方法(測定法2)で共重合体の組成を測定した。
1,2−ジクロロエタン20mlにN−カルボキシ−γ−メチル−L−グルタミン酸無水物(5.00g、26.72mmol)を入れた後、0℃まで冷却し、開始剤としてN,N−ジメチル−1,3−プロパンジアミン(66.80μl、0.534mmol)を加え、25℃で1日間攪拌を行った後、再び0℃まで冷却し、1,2−ジクロロエタン20mlを加えた後、Nα−カルボキシ−Nε−ベンジルオキシカルボニル−L−リジン無水物(4.09g、13.36mmol)を添加して、25℃で1日間攪拌を行い、γ−メチル−L−グルタミン酸−Nε−ベンジルオキシカルボニル−L−リジンブロック共重合体を得た。下記の方法(測定法1)で共重合体の分子量を測定した。また、下記の方法(測定法2)で共重合体の組成を測定した。
合成例31と同様にして、γ−メチル−L−グルタミン酸−Nε−ベンジルオキシカルボニル−L−リジンブロック共重合体を得た後、再び0℃まで冷却し、1,2−ジクロロエタン10mlを加えた後、N−カルボキシ−γ−メチル−L−グルタミン酸無水物(5.00g、26.72mmol)を添加して、25℃で2日間攪拌を行い、γ−メチル−L−グルタミン酸−Nε−ベンジルオキシカルボニル−L−リジン−γ−メチル−L−グルタミン酸ブロック共重合体を得た。下記の方法(測定法1)で共重合体の分子量を測定した。また、下記の方法(測定法2)で共重合体の組成を測定した。
1,2−ジクロロエタン10mlにN−カルボキシ−γ−ベンジル−L−グルタミン酸無水物(1.00g、3.80mmol)を入れた後、0℃まで冷却し、開始剤としてN,N−ジメチル−1,3−プロパンジアミン(9.56μl、0.076mmol)を加え、25℃で1日間攪拌を行った後、再び0℃まで冷却し、Nα−カルボキシ−Nε−ベンジルオキシカルボニル−L−リジン無水物(1.16g、3.80mmol)を添加して、25℃で1日間攪拌を行い、γ−ベンジル−L−グルタミン酸−Nε−ベンジルオキシカルボニル−L−リジンブロック共重合体を得た。下記の方法(測定法1)で共重合体の分子量を測定した。また、下記の方法(測定法2)で共重合体の組成を測定した。
上記で合成したポリα−アミノ酸を使用し、以下の素子作製法に基づいて図1に示す素子を作製した。なお、ポリα−アミノ酸の薄膜(強誘電体層)の形成はスピンコートもしくはディップコートで行った。
(素子作製法)
ゲート電極2としてパターン化されたITO電極(厚み:120±20nm、縦:35mm、横:7mm)を作製したガラス基板1(厚み:1.13mm)を、純水にて5倍に希釈した中性洗剤(井内盛栄堂社製、ピュアソフト)にて15分間超音波洗浄を行い、その後、純水中にて15分間超音波洗浄を行い、洗剤除去を行った。さらにその後、基板を紫外線−オゾン洗浄器を用いて、酸素雰囲気下において20分間紫外線照射洗浄を行った。このように洗浄した基板上に、強誘電体層3として、ポリα−アミノ酸溶液からスピンコートもしくはディップコートでポリマー薄膜を作製した。次に、この上から半導体層4としてペンタセンの薄膜を真空蒸着法で作製した。ペンタセンは、昇華精製を5回繰り返して精製したものを用いた。真空蒸着条件は、基板を蒸着用ボートの上方に固定し、基板温度を23℃に調整し、真空度を1×10−4Torrにまで減圧し、毎分6nmの速度で50nmの厚さに真空蒸着を行った。ソースおよびドレイン電極5として、金を幅5mm、厚さ50nmのサイズとなるようニッケル製のマスクを利用して真空蒸着した。ソース−ドレイン間の間隔は20μmとした。
素子作製法において、強誘電体層3としてポリ−γ−メチル−L−グルタミン酸(PMLG、Mn:2.6×104)を1,2−ジクロロエタンに溶解した溶液(2.8%(w/w))を1cm/secの速度でディップコートしてポリマー薄膜を作製し、素子を得た。
素子作製法において、強誘電体層3としてポリ−γ−ベンジル−L−グルタミン酸(シグマアルドリッチ社製、分子量150,000〜350,000)を1,2−ジクロロエタンに溶解した溶液(5.0%(w/w))から、1,000rpmの速度でスピンコートして薄膜を作製し、素子を得た。
素子作製法において、強誘電体層3としてポリ−L−アルギニン塩酸塩(シグマアルドリッチ社製、分子量15,000〜70,000)を超純水に溶解した溶液(10.0%(w/w))から、1,000rpmの速度でスピンコートして薄膜を作製し、素子を得た。
重量平均分子量Mwおよび数平均分子量Mnはゲル浸透クロマトグラフィー(GPC)を用いて測定した。具体的には、分析カラム装置(昭和電工社製、Shodex K−802ならびにK−806M)をGPC用分析装置(日立社製、LaChrom Elite)に取り付け、別途調製した測定溶液を10〜80μl注入し、溶離液流速:1ml/分、カラム保持温度:40℃の条件にて測定を行った。測定溶液は、ポリアミノ酸濃度が0.25〜3.0%(w/v)となるようにクロロホルムに溶解させた後、フィルター濾過を行うことで調製した。得られたピークの保持時間と別途測定した較正用ポリスチレン(昭和電工社製、Shodex STANDARD SM−105)のピークの保持時間を比較することで、分子量を算出した。
サンプル十数mgを重クロロホルムもしくは重トリフルオロ酢酸に溶解した後、1H核磁気共鳴スペクトル(1HNMR、BRUKER社、400MHz)を分析し、エステル交換前後もしくは共重合時のアミノ酸のα位のプロトンのピーク面積を比較することで、組成を算出した。測定例を以下に示す。
合成した共重合体10mgを重トリフルオロ酢酸に溶解し、1HNMRを測定したところ、3.8ppm付近にγ−メチル−L−グルタミン酸のメチル基由来ピークが、また4.7ppm付近にγ−メチル−L−グルタミン酸およびγ−ヘキシル−L−グルタミン酸のα位のプロトンに由来するピークが検出された。3.8ppm付近のピーク面積をA、4.7ppm付近のピーク面積をBとするとA/B=1.17であった。ポリ−γ−メチル−L−グルタミン酸の場合は、A/B=3.00であることから、減少分だけヘキシル基に置換していると考えられる。従って、ヘキシル基の含有率は、1.83/3.00=0.61から61%となる。故に共重合体の組成比は、γ−メチル−L−グルタミン酸(39%)/γ−ヘキシル−L−グルタミン酸(61%)となる。
合成した共重合体10mgを重トリフルオロ酢酸に溶解し、1HNMRを測定したところ、5.1ppm付近にγ−ベンジル−L−グルタミン酸のベンジル基およびNε−ベンジルオキシカルボニル−L−リジンのベンジル基由来ピークが、また4.7ppm付近にγ−ベンジル−L−グルタミン酸、4.4ppm付近にNε−ベンジルオキシカルボニル−L−リジンのα位のプロトンに由来するピークが検出された。5.1ppm、4.7ppm、4.4ppm付近のピーク面積をそれぞれA、B、CとするとA/B=4.00、A/C=4.00、B/C=1.00であった。B、Cはともにプロトン1個分の面積を表しているので、共重合体の組成比はγ−ベンジル−L−グルタミン酸(50%)/Nε−ベンジルオキシカルボニル−L−リジン(50%)となる。
作製した素子においてITOゲート電極からゲートバイアスを印加した時に、ソースとドレイン間に流れる電流を測定することでメモリ性を評価した。まず室温において、ソースとドレイン間の電圧Vdsを一定に固定し、ゲート電圧Vgを+20〜+50Vの範囲で印加した。その後Vgを−50〜−20Vまでステップで電圧掃印し、その後連続して+20〜+50Vまで掃印した。電圧ステップ1秒後にソースとドレイン間に流れる電流Idsを測定した。その後、50℃もしくは85℃、100℃、150℃において室温と同様の測定を実施した。Idsの最大値をON値、最小値をOFF値としてIdsのON/OFF比を算出した。メモリ性を以下の基準で評価した。
◎:IdsのON/OFF比が、1.0×105以上
○:IdsのON/OFF比が、5.0×102以上1.0×105未満
△:IdsのON/OFF比が、1.0×102以上5.0×102未満
×:IdsのON/OFF比が、1.0×102未満
作製した素子における膜厚を測定し、膜厚の標準偏差値を求めた。
評価基準は以下の通りである。
◎:標準偏差が30nm未満
○:標準偏差が30nm以上60nm未満
△:標準偏差が60nm以上100nm未満
×:標準偏差が100nm以上
各種溶媒に、合成した化合物を加え室温で攪拌し、溶解性を評価した。
評価基準は以下の通りである。
○:完全に溶解
△:一部可溶
×:不溶
ジクロロメタン:純正化学社製、特級
シクロヘキサノン:東京化成工業社製
N,N−ジメチルアセトアミド:関東化学社製、鹿特級
安息香酸メチル:関東化学社製、鹿特級
トルエン:純正化学社製、特級
トリエチレングリコールジメチルエーテル:ナカライテスク社製
メチルエチルケトン:関東化学社製、鹿特級
アセトン:純正化学社製、特級
ブチルカルビトールアセテート:関東化学社製、鹿特級
エステル交換法(ポリ−γ−メチル−L−グルタミン酸を重合後、オクタノールと酸触媒(p−トルエンスルホン酸)を用いてエステル交換反応を行う)により調製した重合体(合成例6)と、直接重合法(γ−メチル−L−グルタミン酸及びγ−オクチル−L−グルタミン酸のモノマーをそれぞれ調製し、そのモノマーを重合する)により調製した重合体(合成例25)について、1,2−ジクロロエタンに7重量%で溶解させ、ポリアミノ酸含有インクを調製し、当該インキを使用して、4つの素子を一度に作製し、安定してメモリ性を発現するかどうかを評価した。
γ−メチル−L−グルタミン酸/γ−ヘキシル−L−グルタミン酸共重合体をN-メチルピロリドン(関東化学社製、鹿特級)に溶解させ、50wt%の濃度に調製した。回転粘度計(Rheologia A300,エレクエスト社製)を用いてチキソトロピーインデックス(TI)値を算出したところ1.48となり、スクリーン印刷に適応可能なインキ特性を示すことを確認した。調製した溶液をインキとして用いてスクリーン印刷によるパターニングを行ったところ、線幅100μm、線長3mmの精細度でパターンを印刷することに成功した。このインキを用いることでメモリアレイ化が可能である。例えば、ゲート電極、ソース・ドレイン電極として銀インキ(RAFS059、東洋インキ社製)を、強誘電体層として、γ−メチル−L−グルタミン酸/γ−ヘキシル−L−グルタミン酸共重合体のN−メチルピロリドン溶液(50wt%)を順次スクリーン印刷により重ね合わせることで図6に示すようなメモリアレイを作製することができる。
ポリエチレンテレフタレート基板に銀インキを用いてアンテナ7を作製後、別途作製したトランジスタ型強誘電体メモリ素子6を直列で配列させることで図7に示すタグを作製した。図8に示すように、作製したタグのゲート電圧に−50Vの電圧を印加(書込み)した後、読み出し器にタグをかざすと“1”に相当する周波数で共振することを確認した。次にゲート電圧に+50Vの電圧を印加(消去)した後、読み出し器にタグをかざすと“2”に相当する周波数で共振することを確認した。
2 ゲート電極
3 強誘電体層
4 半導体層
5 ドレイン電極およびソース電極
6 トランジスタ型強誘電体メモリ素子
7 アンテナ
31、32 基板
41、46 受信データ符号化回路
42、47 送信データ復号化回路
43、50 アンテナ素子、
44、48 制御回路
45、49 強誘電体メモリ素子
51 単結晶シリコン基板
Claims (31)
- 基板上に、ポリα−アミノ酸薄膜、ゲート電極、半導体層、ソース電極及びドレイン電極を有するメモリ素子であって、
ポリα−アミノ酸が、式(I):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位と、
式(II):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位、または、式(III):
で表されるアラニン、フェニルアラニンもしくはN−置換リジンの単位とを含み、
式(I)の単位と、式(II)の単位または式(III)の単位との含有量比((I)/(II)または(I)/(III))がモル比で10/90〜90/10のコポリマーであることを特徴とする、メモリ素子。 - 式(I)中のR1がメチル基またはベンジル基であり、式(II)中のR2が炭素数が6〜16の非置換のアルキル基、または、水素原子の一部もしくは全部がハロゲン原子もしくは炭素数が3〜12の脂環式炭化水素基で置換された炭素数が1〜6のアルキル基であり、式(III)中のR3がメチル基、ベンジル基または−(CH2)4−NHX基(基中、Xはベンジルオキシカルボニル基を表す。)である、請求項1記載のメモリ素子。
- ポリα−アミノ酸が式(I)の単位と式(II)の単位を含むコポリマーである請求項1または2に記載のメモリ素子。
- ポリα−アミノ酸が、式:−COOR1(式中、R1は前記と同義である。)で表されるエステル基を導入したN−カルボキシ−α−グルタミン酸−γ−エステル無水物と、式:−COOR2(式中、R2は前記と同義である。)で表されるエステル基を導入したN−カルボキシ−α−グルタミン酸−γ−エステル無水物を重合して得られたものである、請求項3記載のメモリ素子。
- 基板上に、ポリα−アミノ酸薄膜、ゲート電極、半導体層、ソース電極及びドレイン電極を有するメモリ素子であって、
ポリα−アミノ酸が、式(IV):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位からなるホモポリマーか、或いは、該式(IV)で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位と、式(I):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位とを含み、式(IV)で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位の含有量が40モル%以上のコポリマーであることを特徴とする、メモリ素子。 - ポリα−アミノ酸が式(I)の単位と式(IV)の単位を含むコポリマーであって、式(I)中のR1がメチル基またはベンジル基であり、コポリマーにおける式(IV)で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位の含有量が80モル%以上である、請求項5記載のメモリ素子。
- ポリα−アミノ酸が、式:−COOR5(式中、R5は、
- ポリα−アミノ酸の数平均分子量が2,000〜50,000である、請求項1〜7の
いずれか1項記載のメモリ素子。 - 100℃においてメモリ性を示すことを特徴とする請求項1〜8のいずれか1項記載のメモリ素子。
- メモリ素子がトランジスタ型である、請求項1〜9のいずれか1項記載のメモリ素子。
- 半導体層上にソース電極及びドレイン電極が配置されたメモリ素子である、請求項10記載のメモリ素子。
- 請求項1〜11のいずれか1項記載のメモリ素子を有するタグ。
- メモリ素子の製造方法であって、
(A−1)式(I):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位と、
式(II):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位、または、式(III):
で表されるアラニン、フェニルアラニンもしくはN−置換リジンの単位とを含み、
式(I)の単位と、式(II)の単位または式(III)の単位との含有量比((I)/(II)または(I)/(III))がモル比で10/90〜90/10のコポリマーであるポリα−アミノ酸、及び
(A−2)式(IV):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位からなるホモポリマー、或いは、該式(IV)で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位と、式(I):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位とを含み、式(IV)で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位の含有量が40モル%以上のコポリマーであるポリα−アミノ酸からなる群から選択される1種または2種以上のポリα−アミノ酸を有機溶媒に溶解させ、ポリα−アミノ酸含有インキを調製する工程:
当該ポリα−アミノ酸含有インキを基板上に塗布する工程;および
塗布したポリα−アミノ酸含有インキを乾燥する工程
を含む方法。 - 有機溶媒が、クロロ炭化水素系溶媒、フッ素含有分岐アルコール系溶媒、含窒素極性溶媒、炭化水素ケトン系溶媒、安息香酸エステル系溶媒、芳香族炭化水素系溶媒、グリコールエーテル系溶媒、グリコールエステル系溶媒からなる群から選択される1種または2種以上である請求項13記載の方法。
- 有機溶媒が、ジクロロメタン、クロロホルム、1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロイソプロパノール、塩化メチレン、ジクロロエタン、N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、安息香酸メチル、トルエン、トリエチレングリコールジメチルエーテル、アセトン、およびブチルカルビトールアセテートからなる群から選択される1種または2種以上である、請求項13記載の方法。
- ポリα−アミノ酸含有インキを基板上に塗布する工程が、ポリα−アミノ酸含有インキを基板上に印刷する工程であることを特徴とする請求項13〜15のいずれか1項記載の方法。
- 式(I):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位と、
式(II):
で表されるアラニン、フェニルアラニンもしくはN−置換リジンの単位とを含み、
式(I)の単位と、式(II)の単位または式(III)の単位との含有量比((I)/(II)または(I)/(III))がモル比で10/90〜90/10のコポリマーであるポリα−アミノ酸(但し、式(I)の単位と式(II)の単位を含み、式(I)の単位が、式中のR 1 が炭素数が1〜8の非置換のアルキル基である単位か、或いは、式中のR 1 がベンジル基である単位であり、式(II)の単位が、式中のR 2 が炭素数が3〜16の非置換のアルキル基である単位か、或いは、式中のR 2 が水素原子の一部もしくは全部が炭素数が3〜12の脂環式炭化水素基で置換された炭素数が1〜6のアルキル基である単位である、コポリマーであって、R 1 とR 2 の炭素数の差が5以上であるコポリマーを除く)。 - 式(I)中のR1がメチル基またはベンジル基であり、式(II)中のR2が水素原子の一部もしくは全部がハロゲン原子、炭素数が3〜12の脂環式炭化水素基、で置換された炭素数が1〜6のアルキル基であり、式(III)中のR3がメチル基、ベンジル基または−(CH2)4−NHX基(基中、Xはベンジルオキシカルボニル基を表す。)である、請求項17記載のポリα−アミノ酸。
- 式(IV):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位と、
式(I):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位とを含むコポリマーであって、式(IV)で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位の含有量が40モル%以上のコポリマーであるポリα−アミノ酸。 - ポリα−アミノ酸が式(I)の単位と式(IV)の単位を含むコポリマーであって、式(I)中のR1がメチル基またはベンジル基であり、コポリマーにおける式(IV)で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位の含有量が80モル%以上である、請求項19記載のポリα−アミノ酸。
- 100℃においてメモリ性を示すことを特徴とする請求項17〜20のいずれか1項記載のポリα−アミノ酸。
- (A)ポリα−アミノ酸及び(B)有機溶媒を含有するポリα−アミノ酸含有インキであって、
(A)ポリα−アミノ酸が、
(A-1)式(I):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位と、
式(II):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位、または、式(III):
で表されるアラニン、フェニルアラニンもしくはN−置換リジンの単位とを含み、式(I)の単位と、式(II)の単位または式(III)の単位との含有量比((I)/(II)または(I)/(III))がモル比で10/90〜90/10のコポリマーであるポリα−アミノ酸、及び
(A−2)式(IV):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位からなるホモポリマーか、或いは、該式(IV)で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位と、式(I):
で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位とを含み、式(IV)で表されるグルタミン酸−γ−エステル単位の含有量が40モル%以上のコポリマーであるポリα−アミノ酸からなる群から選ばれる1種または2種以上である、ポリα−アミノ酸含有インキ。 - 有機溶媒が、クロロ炭化水素系溶媒、フッ素含有分岐アルコール系溶媒、含窒素極性溶媒、炭化水素ケトン系溶媒、安息香酸エステル系溶媒、芳香族炭化水素系溶媒、グリコールエーテル系溶媒、グリコールエステル系溶媒からなる群から選択される1種または2種以上である請求項22記載のポリα−アミノ酸含有インキ。
- 有機溶媒が、ジクロロメタン、クロロホルム、1,1,1,3,3,3−ヘキサフルオロイソプロパノール、塩化メチレン、ジクロロエタン、N−メチルピロリドン、N,N−ジメチルアセトアミド、メチルエチルケトン、シクロヘキサノン、安息香酸メチル、トルエン、トリエチレングリコールジメチルエーテル、アセトン、およびブチルカルビトールアセテートからなる群から選択される1種または2種以上である請求項22記載のポリα−アミノ酸含有インキ。
- ポリα−アミノ酸が式(I)の単位と式(II)の単位を含むコポリマーである、請求項22〜24のいずれか1項記載のポリα−アミノ酸含有インキ。
- ポリα−アミノ酸が、式:−COOR1(式中、R1は前記と同義である。)で表されるエステル基を導入したN−カルボキシ−α−グルタミン酸−γ−エステル無水物と、式:−COOR2(式中、R2は前記と同義である。)で表されるエステル基を導入したN−カルボキシ−α−グルタミン酸−γ−エステル無水物を重合して得られたものである、請求項25に記載のポリα−アミノ酸含有インキ。
- ポリα−アミノ酸が、式(IV)の単位からなるホモポリマーか、或いは、式(IV)の単位と、式(I)の単位とを含むコポリマーである、請求項22〜24のいずれか1項に記載のポリα−アミノ酸含有インキ。
- ポリα−アミノ酸が、式:−COOR5(式中、R5は、
- ポリα−アミノ酸の数平均分子量が2,000〜50,000である、請求項22〜28のいずれか1項記載に記載のポリα−アミノ酸含有インキ。
- 当該インキ中のポリα−アミノ酸の濃度が、1〜20重量%である請求項22〜29のいずれか1項記載のポリα−アミノ酸含有インキ。
- 当該インキ中にp−トルエンスルホン酸を含まないか、または当該インキ中のp−トルエンスルホン酸の濃度が0.5重量%以下である請求項22〜30のいずれか1項記載のポリα−アミノ酸含有インキ。
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