JP6110292B2 - 基板処理装置および基板処理方法 - Google Patents
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 title claims description 194
- 238000012545 processing Methods 0.000 title claims description 191
- 238000003672 processing method Methods 0.000 title claims description 5
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 200
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 189
- 230000005856 abnormality Effects 0.000 claims description 103
- 238000001035 drying Methods 0.000 claims description 53
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims description 52
- 239000000243 solution Substances 0.000 claims description 32
- 230000007246 mechanism Effects 0.000 claims description 31
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 30
- 239000012530 fluid Substances 0.000 claims description 22
- 238000012993 chemical processing Methods 0.000 claims description 17
- 238000001311 chemical methods and process Methods 0.000 claims description 7
- 239000003814 drug Substances 0.000 claims description 3
- 239000012487 rinsing solution Substances 0.000 claims description 2
- 229940079593 drug Drugs 0.000 claims 2
- 238000010129 solution processing Methods 0.000 claims 1
- KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N Isopropanol Chemical compound CC(C)O KFZMGEQAYNKOFK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 27
- 238000001514 detection method Methods 0.000 description 17
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 16
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 13
- 238000011084 recovery Methods 0.000 description 6
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N Fluorane Chemical compound F KRHYYFGTRYWZRS-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 4
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 4
- 239000003960 organic solvent Substances 0.000 description 4
- 101001050286 Homo sapiens Jupiter microtubule associated homolog 1 Proteins 0.000 description 3
- 102100023133 Jupiter microtubule associated homolog 1 Human genes 0.000 description 3
- XYDVHKCVOMGRSY-UHFFFAOYSA-N 4-(4-benzylphenyl)-1,3-thiazol-2-amine Chemical compound S1C(N)=NC(C=2C=CC(CC=3C=CC=CC=3)=CC=2)=C1 XYDVHKCVOMGRSY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 101000928034 Homo sapiens Proteasomal ubiquitin receptor ADRM1 Proteins 0.000 description 2
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N Hydrogen peroxide Chemical compound OO MHAJPDPJQMAIIY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 102100036915 Proteasomal ubiquitin receptor ADRM1 Human genes 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000007789 gas Substances 0.000 description 2
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 description 2
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 2
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 2
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 2
- CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N Ozone Chemical compound [O-][O+]=O CBENFWSGALASAD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 1
- 239000000969 carrier Substances 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 1
- 238000004140 cleaning Methods 0.000 description 1
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
- 230000006872 improvement Effects 0.000 description 1
- 238000012423 maintenance Methods 0.000 description 1
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 1
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 1
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- Cleaning Or Drying Semiconductors (AREA)
Description
次に、異常対応処理の他の一例について図11を参照して説明する。図11は、異常対応処理の他の一例を示す説明図である。
1 基板処理システム
4 制御装置
16 処理ユニット
18 制御部
18a 基板処理実行部
18b 異常対応処理実行部
19 記憶部
19a レシピ情報
30 基板保持機構
40a 第1供給部
40b 第2供給部
41a〜41f ノズル
80 異常検出部
Claims (8)
- 基板を回転可能に保持する基板保持機構と、
前記基板保持機構に保持された基板に対して処理流体を供給する処理流体供給部と、
基板処理の内容を示すレシピ情報に従って前記基板保持機構および前記処理流体供給部を制御して、前記基板に対して薬液を供給する薬液処理、前記基板に対してリンス液を供給するリンス処理および前記基板を乾燥させる乾燥処理を含む一連の基板処理を実行する制御部と
を備え、
前記制御部は、
前記薬液の供給源に貯留される前記薬液の残量が閾値を下回った場合または前記供給源において前記薬液の漏洩が発生した場合において、現在実行中の基板処理を含む未完了の基板処理が複数の薬液処理を含み、かつ、現在実行中の基板処理が前記薬液処理であるならば、前記未完了の基板処理のうち、現在実行中の薬液処理と次の薬液処理との間に存在する前記リンス処理と該リンス処理よりも後段の前記乾燥処理とを前記レシピ情報に基づいて実行し、他の前記リンス処理および前記薬液処理を省略すること
を特徴とする基板処理装置。 - 前記制御部は、
前記現在実行中の基板処理が前記薬液処理である場合には、該薬液処理を中断すること
を特徴とする請求項1に記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、
前記現在実行中の基板処理が前記リンス処理である場合には、該リンス処理を前記レシピ情報に基づいて完了させたうえで、前記乾燥処理を前記レシピ情報に基づいて実行すること
を特徴とする請求項1または2に記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、
前記現在実行中の基板処理が前記乾燥処理である場合には、該乾燥処理を前記レシピ情報に基づいて完了させて前記一連の基板処理を終えること
を特徴とする請求項1〜3のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、
前記未完了の基板処理が複数の乾燥処理を含む場合には、前記複数の乾燥処理のうち直近の乾燥処理を実行し、他の乾燥処理を実行しないこと
を特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 前記制御部は、
現在実行中の基板処理を含む未完了の基板処理の中から、直近の前記リンス処理と直近の前記乾燥処理とを前記レシピ情報に基づいて実行すること
を特徴とする請求項1〜4のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 前記レシピ情報は、前記一連の基板処理に含まれる各基板処理の種別を示す種別情報を含み、
前記制御部は、
予め決められた異常が発生した場合に、前記レシピ情報に含まれる前記種別情報に基づいて前記リンス処理と前記乾燥処理とを前記レシピ情報から選択して実行すること
を特徴とする請求項1〜6のいずれか一つに記載の基板処理装置。 - 基板を回転可能に保持する基板保持機構と、前記基板保持機構に保持された基板に対して処理流体を供給する処理流体供給部とを、基板処理の内容を示すレシピ情報に従って前記基板保持機構および前記処理流体供給部を制御して、前記基板に対して薬液を供給する薬液処理、前記基板に対してリンス液を供給するリンス処理および前記基板を乾燥させる乾燥処理を含む一連の基板処理を実行する基板処理工程と、
前記薬液の供給源に貯留される前記薬液の残量が閾値を下回った場合または前記供給源において前記薬液の漏洩が発生した場合において、現在実行中の基板処理を含む未完了の基板処理が複数の薬液処理を含み、かつ、現在実行中の基板処理が前記薬液処理であるならば、前記未完了の基板処理のうち、現在実行中の薬液処理と次の薬液処理との間に存在する前記リンス処理と該リンス処理よりも後段の前記乾燥処理とを前記レシピ情報に基づいて実行し、他の前記リンス処理および前記薬液処理を省略する異常対応処理工程と
を含むことを特徴とする基板処理方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013272638A JP6110292B2 (ja) | 2013-12-27 | 2013-12-27 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013272638A JP6110292B2 (ja) | 2013-12-27 | 2013-12-27 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2015128087A JP2015128087A (ja) | 2015-07-09 |
JP6110292B2 true JP6110292B2 (ja) | 2017-04-05 |
Family
ID=53837971
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013272638A Active JP6110292B2 (ja) | 2013-12-27 | 2013-12-27 | 基板処理装置および基板処理方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6110292B2 (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7385520B2 (ja) | 2020-03-31 | 2023-11-22 | 本田技研工業株式会社 | 鞍乗り型車両 |
Families Citing this family (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP7004579B2 (ja) * | 2018-01-15 | 2022-01-21 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置、基板処理方法および記憶媒体 |
JP7101528B2 (ja) * | 2018-04-25 | 2022-07-15 | 東京エレクトロン株式会社 | 基板処理装置 |
JP2022191764A (ja) * | 2021-06-16 | 2022-12-28 | 株式会社Screenホールディングス | 基板処理方法、基板処理装置およびプログラム |
Family Cites Families (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP4377295B2 (ja) * | 2004-07-28 | 2009-12-02 | 東京エレクトロン株式会社 | 処理方法及び処理システム |
JP5426301B2 (ja) * | 2008-10-03 | 2014-02-26 | 大日本スクリーン製造株式会社 | 基板処理装置 |
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2013
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JP7385520B2 (ja) | 2020-03-31 | 2023-11-22 | 本田技研工業株式会社 | 鞍乗り型車両 |
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---|---|
JP2015128087A (ja) | 2015-07-09 |
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