JP6109032B2 - 半導体試験治具およびその搬送治具、ならびにそれらを用いた異物除去方法 - Google Patents
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Description
本発明の実施の形態1について、図面を用いて以下に説明する。図1は、実施の形態1に係る半導体試験治具1の平面図である。図2は、半導体試験治具1の断面図であり、より具体的には、図1のA-A断面図である。なお、図2では、半導体試験治具1とともに、半導体試験治具1に設置された縦型半導体装置7も合わせて示したが、図1では、簡略化のために半導体試験治具1のみ示している。また、図1の紙面に向かって左右方向をX方向、上下方向をY方向として説明する。さらに、図2の紙面に向かって上下方向をZ方向として説明する。以降の図面においても、図1と図2に示した矢印の方向を用いて説明する。
次に、実施の形態1の変形例1に係る半導体試験治具1Aを説明する。図3は、実施の形態1の変形例1に係る半導体試験治具1Aの断面図である。図3に示すように、実施の形態1の変形例1に係る半導体試験治具1Aは、半導体試験治具1に対して枠部と溝部の構造を変更し、振動機構12を追加した例である。
次に、実施の形態1の変形例2に係る半導体試験治具1Bを説明する。図4は、実施の形態1の変形例2に係る半導体試験治具1Bの断面図である。図4に示すように、実施の形態1の変形例2に係る半導体試験治具1Bは、半導体試験治具1に対して枠部と溝部の構造を変更し、振動機構12を追加した例である。
次に、実施の形態2に係る半導体試験治具の搬送治具30について説明する。図5は、実施の形態2に係る搬送治具30と、これに支持された半導体試験治具1の平面図であり、図6は、実施の形態2に係る搬送治具30と、これに支持された半導体試験治具1の側面図である。なお、実施の形態2において、実施の形態1で説明したものと同一の構成要素については同一符号を付して説明は省略する。
次に、実施の形態2の変形例に係る半導体試験治具の搬送治具30Aを説明する。図7は、実施の形態2の変形例に係る搬送治具30Aと、これに支持された半導体試験治具1の平面図である。図8は、実施の形態2の変形例に係る搬送治具30Aと、これに支持された半導体試験治具1の断面図であり、より具体的には、図7のB-B断面図である。なお、実施の形態2の変形例では、半導体試験治具1を搬送する場合について説明するが、他の半導体試験治具(例えば、半導体試験治具1A,1Bなど)を搬送することも可能である。
Claims (24)
- それぞれが下面電極と上面電極を有する複数の縦型半導体装置を試験するための半導体試験治具であって、
前記下面電極が接触した状態で前記複数の縦型半導体装置がそれぞれ個別に設置される複数の設置部を有する導電性の基台と、
前記基台上に配置され、かつ、前記複数の設置部を平面視でそれぞれ囲うことにより各前記設置部を区画する、格子状の絶縁性の枠部と、
前記枠部において、前記設置部上に設置された各前記縦型半導体装置と対向する位置に配置された研磨層と、
を備え、
前記研磨層は、表面に砥粒を固定して構成された、半導体試験治具。 - それぞれが下面電極と上面電極を有する複数の縦型半導体装置を試験するための半導体試験治具であって、
前記下面電極が接触した状態で前記複数の縦型半導体装置がそれぞれ個別に設置される複数の設置部を有する導電性の基台と、
前記基台上に配置され、かつ、前記複数の設置部を平面視でそれぞれ囲うことにより各前記設置部を区画する、格子状の絶縁性の枠部と、
前記枠部において、前記設置部上に設置された各前記縦型半導体装置と対向する位置に配置された研磨層と、
を備え、
前記研磨層は、サンドペーパーを用いて構成された、半導体試験治具。 - それぞれが下面電極と上面電極を有する複数の縦型半導体装置を試験するための半導体試験治具であって、
前記下面電極が接触した状態で前記複数の縦型半導体装置がそれぞれ個別に設置される複数の設置部を有する導電性の基台と、
前記基台上に配置され、かつ、前記複数の設置部を平面視でそれぞれ囲うことにより各前記設置部を区画する、格子状の絶縁性の枠部と、
前記枠部において、前記設置部上に設置された各前記縦型半導体装置と対向する位置に配置された研磨層と、
を備え、
前記研磨層は、研磨布を用いて構成された、半導体試験治具。 - それぞれが下面電極と上面電極を有する複数の縦型半導体装置を試験するための半導体試験治具であって、
前記下面電極が接触した状態で前記複数の縦型半導体装置がそれぞれ個別に設置される複数の設置部を有する導電性の基台と、
前記基台上に配置され、かつ、前記複数の設置部を平面視でそれぞれ囲うことにより各前記設置部を区画する、格子状の絶縁性の枠部と、
前記枠部において、前記設置部上に設置された各前記縦型半導体装置と対向する位置に配置された研磨層と、
を備え、
前記研磨層は、前記枠部に形成された凹凸状の加工面を含む、半導体試験治具。 - 前記枠部は凸状部を備え、
前記研磨層は、前記設置部の上面に設置された各前記縦型半導体装置の側面と対向する前記凸状部の側面に配置され、かつ、前記研磨層が配置される前記凸状部の前記側面は、前記設置部の前記上面に対し傾斜面である、請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体試験治具。 - それぞれが下面電極と上面電極を有する複数の縦型半導体装置を試験するための半導体試験治具であって、
前記下面電極が接触した状態で前記複数の縦型半導体装置がそれぞれ個別に設置される複数の設置部を有する導電性の基台と、
前記基台上に配置され、かつ、前記複数の設置部を平面視でそれぞれ囲うことにより各前記設置部を区画する、格子状の絶縁性の枠部と、
前記枠部において、前記設置部上に設置された各前記縦型半導体装置と対向する位置に配置された研磨層と、
を備え、
前記枠部は水平部を備え、
前記研磨層は、前記設置部の上面に設置された各前記縦型半導体装置の下面と対向する前記水平部の上面に配置され、かつ、前記研磨層が配置される前記水平部の前記上面は、前記設置部の前記上面に対し平行面である、半導体試験治具。 - 前記設置部の前記上面と、前記研磨層が配置される前記水平部の前記上面の高さが同一である、請求項6記載の半導体試験治具。
- 前記研磨層が配置される前記水平部の前記上面を含む部分を、鉛直方向に移動させる移動機構をさらに備えた、請求項6記載の半導体試験治具。
- 前記研磨層は、表面に砥粒を固定して構成された、請求項6〜8のいずれか1つに記載の半導体試験治具。
- 前記研磨層は、サンドペーパーを用いて構成された、請求項6〜8のいずれか1つに記載の半導体試験治具。
- 前記研磨層は、研磨布を用いて構成された、請求項6〜8のいずれか1つに記載の半導体試験治具。
- 前記研磨層は、前記枠部に形成された凹凸状の加工面を含む、請求項6〜8のいずれか1つに記載の半導体試験治具。
- 前記基台において前記研磨層が配置された位置の周辺部に形成された溝部をさらに備えた、請求項1〜12のいずれか1つに記載の半導体試験治具。
- 前記枠部は、凸状部よりなる枠本体と、前記枠本体の基端側に配置され前記枠本体の幅よりも広い幅を有する土台部とを備え、
前記基台に、前記土台部が配置される凹部が形成された、請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体試験治具。 - 前記土台部において前記研磨層が配置された位置の周辺部に形成された溝部をさらに備えた、請求項14記載の半導体試験治具。
- 前記溝部と連通する排出孔をさらに備えた、請求項13または請求項15記載の半導体試験治具。
- 前記枠部または前記基台に配置され、かつ、前記縦型半導体装置に振動を印加する振動機構をさらに備えた、請求項1〜16のいずれか1つに記載の半導体試験治具。
- 前記振動機構は、圧電素子を用いて構成された、請求項17記載の半導体試験治具。
- 請求項1〜16のいずれか1つに記載の半導体試験治具を搬送するための半導体試験治具の搬送治具であって、
前記半導体試験治具との接触部の周辺部に配置され、かつ、前記縦型半導体装置に振動を印加する振動機構を備えた、半導体試験治具の搬送治具。 - 請求項16記載の半導体試験治具を搬送するための半導体試験治具の搬送治具であって、
前記排出孔と連通する吸気溝を備えた、半導体試験治具の搬送治具。 - 請求項1〜16のいずれか1つに記載の半導体試験治具を搬送するための半導体試験治具の搬送治具であって、
前記縦型半導体装置に付着した異物を除電する除電部を備えた、半導体試験治具の搬送治具。 - 前記除電部はイオナイザーを用いて構成された、請求項21記載の半導体試験治具の搬送治具。
- 請求項17記載の半導体試験治具に設置された前記縦型半導体装置に付着した異物を除去する半導体試験治具を用いた異物除去方法であって、
前記縦型半導体装置に対して前記振動機構を用いて振動を印加する工程を備えた、半導体試験治具を用いた異物除去方法。 - 請求項19記載の半導体試験治具の搬送治具を用いて搬送される半導体試験治具に設置された前記縦型半導体装置に付着した異物を除去する半導体試験治具の搬送治具を用いた異物除去方法であって、
前記縦型半導体装置に対して前記振動機構を用いて振動を印加する工程を備えた、半導体試験治具の搬送治具を用いた異物除去方法。
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