JP6083140B2 - Electronic component conveying device and electronic component inspection device - Google Patents

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Description

本発明は、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関するものである。   The present invention relates to an electronic component conveying device and an electronic component inspection device.
従来、電子部品を各種装置に給材し除材する電子部品搬送装置が用いられている。この電子部品搬送装置はIC(Integrated Circuit)ハンドラーとも称される。トレイに収納された電子部品を移動するICハンドラーが特許文献1に開示されている。それによると、ICハンドラーは電子部品をトレイから検査するテストヘッドに供給し、検査が終了した電子部品をトレイに収納していた。未検査トレイ収納部では未検査の電子部品がマトリックス状に載置されたトレイが複数重ねられている。そして、部品取出部が電子部品をトレイから移動し、部品供給部が電子部品をテストヘッドに供給する。   2. Description of the Related Art Conventionally, an electronic component transport apparatus that supplies and removes electronic components to various devices has been used. This electronic component conveying apparatus is also referred to as an IC (Integrated Circuit) handler. An IC handler that moves an electronic component stored in a tray is disclosed in Patent Document 1. According to this, the IC handler supplies the electronic components from the tray to the test head, and the electronic components that have been inspected are stored in the tray. In the uninspected tray storage section, a plurality of trays on which uninspected electronic components are placed in a matrix are stacked. The component take-out unit moves the electronic component from the tray, and the component supply unit supplies the electronic component to the test head.
電子部品が移動された後の空のトレイをトレイ移送部が空トレイ収納部、良部品トレイ収納部、不良トレイ収納部へ移動する。この未検査トレイ収納部、空トレイ収納部、良部品トレイ収納部、不良トレイ収納部は直線上に沿って配置されている。そして、トレイ移送部は1方向に延在するレール部材に沿って移動することにより各トレイ収納部にトレイを移動することが可能になっている。   The tray transfer unit moves the empty tray after the electronic component is moved to the empty tray storage unit, the good component tray storage unit, and the defective tray storage unit. The uninspected tray storage unit, the empty tray storage unit, the good component tray storage unit, and the defective tray storage unit are arranged along a straight line. And the tray transfer part can move a tray to each tray accommodating part by moving along the rail member extended in one direction.
特開2010−151589号公報JP 2010-151589 A
特許文献1に示す従来のICハンドラーにはIC,CIS(Contact Image Sensor)等の電子部品の識別番号を認識する機能がなかった。よって、間違った電子部品がICハンドラーに入っても、そのまま検査装置に搬送され、検査される場合があり、正常な検査結果が得られない。そこで、本願発明は、個々のICの識別番号を認識することで、間違った電子部品を流動させないことができる電子部品搬送装置を提供することになる。   The conventional IC handler shown in Patent Document 1 does not have a function of recognizing an identification number of an electronic component such as an IC or a CIS (Contact Image Sensor). Therefore, even if an incorrect electronic component enters the IC handler, it may be conveyed to the inspection device as it is and inspected, and a normal inspection result cannot be obtained. Therefore, the present invention provides an electronic component transport apparatus that can prevent an erroneous electronic component from flowing by recognizing the identification number of each IC.
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。   The present invention has been made to solve the above-described problems, and can be realized as the following forms or application examples.
[適用例1]
本適用例にかかる電子部品搬送装置であって、電子部品に表示された識別情報を検出する識別情報検出部と、前記識別情報を用いて前記電子部品の個体識別をする個体識別部と、前記電子部品を所定の場所へ搬送することが可能である搬送機構と、を備えることを特徴とする。
[Application Example 1]
In the electronic component transport apparatus according to this application example, an identification information detection unit that detects identification information displayed on the electronic component, an individual identification unit that individually identifies the electronic component using the identification information, and A transport mechanism capable of transporting the electronic component to a predetermined place.
本適用例によれば、電子部品には識別情報が設置され、識別情報検出部が識別情報を検出する。そして、個体識別部が識別情報から電子部品の識別情報を検出する。そして、搬送機構が電子部品を所定の場所へ搬送する。従って、電子部品搬送装置は電子部品の識別情報を認識することができる。その結果、電子部品搬送装置は間違った電子部品を所定の場所へ搬送することがないようにすることができる。   According to this application example, the identification information is installed in the electronic component, and the identification information detection unit detects the identification information. Then, the individual identification unit detects the identification information of the electronic component from the identification information. And a conveyance mechanism conveys an electronic component to a predetermined place. Therefore, the electronic component transport apparatus can recognize the identification information of the electronic component. As a result, the electronic component transport device can prevent a wrong electronic component from being transported to a predetermined location.
[適用例2]
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記電子部品を第1方向及び前記第1方向と交差する第2方向に複数載置することが可能である容器と、前記第1方向に前記容器を移動させる第1移動部と、前記第2方向に前記識別情報検出部を移動させる第2移動部と、を備えることを特徴とする。
[Application Example 2]
In the electronic component transport device according to the application example, a container capable of mounting a plurality of the electronic components in a first direction and a second direction intersecting the first direction, and the container in the first direction. A first moving unit to be moved, and a second moving unit to move the identification information detecting unit in the second direction are provided.
本適用例によれば、容器に電子部品が載置され、その容器が電子部品搬送装置に設置される。容器には電子部品を第1方向及び第1方向と交差する第2方向に複数載置することが可能となっている。電子部品搬送装置は第1移動部及び第2移動部を備えている。第1移動部が容器を第1方向に移動する。第2移動部は第1方向と交差する第2方向に識別情報検出部を移動する。従って、第1移動部と第2移動部とを駆動することにより電子部品搬送装置は電子部品と識別情報検出部とを2次元において相対移動させることができる。従って、容器に電子部品が複数の列をなして載置されているときにも電子部品搬送装置は各電子部品の識別情報を認識することができる。その結果、容器に設置された電子部品の識別情報を総て認識することができる。   According to this application example, the electronic component is placed in the container, and the container is installed in the electronic component transport apparatus. A plurality of electronic components can be placed on the container in the first direction and the second direction intersecting the first direction. The electronic component transport apparatus includes a first moving unit and a second moving unit. The first moving unit moves the container in the first direction. The second moving unit moves the identification information detecting unit in a second direction that intersects the first direction. Accordingly, by driving the first moving unit and the second moving unit, the electronic component transport apparatus can relatively move the electronic component and the identification information detecting unit in two dimensions. Therefore, even when the electronic components are placed in a plurality of rows on the container, the electronic component transport apparatus can recognize the identification information of each electronic component. As a result, all the identification information of the electronic components installed in the container can be recognized.
[適用例3]
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記個体識別部によって得られる識別結果に基づいて、前記電子部品を前記所定の場所へ搬送する、又は、搬送しないを切り換えることを特徴とする。
[Application Example 3]
In the electronic component transport apparatus according to the application example described above, the electronic component is switched to the predetermined location or not to be transported based on the identification result obtained by the individual identification unit.
本適用例によれば、個体識別部が電子部品の個体識別をする、そして、得られる識別結果に基づいて、電子部品に所定の処置を施すときには搬送機構が電子部品を前記所定の場所へ搬送する。電子部品に所定の処置を施さないときには、電子部品を搬送しない。従って、電子部品搬送装置は確実に間違った電子部品に所定の処置をして流動することがないようにすることができる。   According to this application example, the individual identification unit performs individual identification of the electronic component, and the transport mechanism transports the electronic component to the predetermined location when performing a predetermined treatment on the electronic component based on the obtained identification result. To do. When the electronic component is not subjected to a predetermined treatment, the electronic component is not transported. Therefore, the electronic component transport apparatus can reliably prevent the wrong electronic component from flowing by performing a predetermined treatment.
[適用例4]
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記第2移動部は前記識別情報検出部を移動させるタイミングと異なるタイミングで前記第2方向に前記容器を移動させることが可能であることを特徴とする。
[Application Example 4]
In the electronic component transport device according to the application example, the second moving unit can move the container in the second direction at a timing different from a timing at which the identification information detecting unit is moved. .
本適用例によれば、電子部品搬送装置は第2移動部を備えている。第2移動部は第2方向に容器を移動する。これにより、容器を第1移動部から除くことができる。そして、第2移動部は容器と識別情報検出部とを異なるタイミングにて移動させる。従って、容器を移動するための部位と識別情報検出部を移動するための部位との2つの部位を設置するときに比べて簡易な構造にすることができる。その結果、電子部品搬送装置を生産性良く製造することができる。   According to this application example, the electronic component transport apparatus includes the second moving unit. The second moving unit moves the container in the second direction. Thereby, the container can be removed from the first moving unit. Then, the second moving unit moves the container and the identification information detecting unit at different timings. Therefore, a simple structure can be achieved as compared with the case where two parts, ie, a part for moving the container and a part for moving the identification information detection unit are installed. As a result, the electronic component transport apparatus can be manufactured with high productivity.
[適用例5]
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記個体識別の結果を出力する情報出力部を有することを特徴とする。
[Application Example 5]
The electronic component conveying apparatus according to the application example described above includes an information output unit that outputs a result of the individual identification.
本適用例によれば、情報出力部が個体識別の結果を出力する。従って、電子部品の識別情報を活用することができる。   According to this application example, the information output unit outputs the result of individual identification. Therefore, the identification information of the electronic component can be used.
[適用例6]
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記情報出力部は前記個体識別の結果を表示する情報表示部を有することを特徴とする。
[Application Example 6]
In the electronic component conveying apparatus according to the application example, the information output unit includes an information display unit that displays a result of the individual identification.
本適用例によれば、情報表示部が個体識別の結果を表示する。従って、操作者が電子部品の識別情報を確認して識別情報の表示に応じた対応をすることができる。   According to this application example, the information display unit displays the result of individual identification. Therefore, the operator can check the identification information of the electronic component and take a countermeasure according to the display of the identification information.
[適用例7]
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記情報出力部は前記個体識別の結果を信号にして出力する出力インターフェイスを有することを特徴とする。
[Application Example 7]
In the electronic component conveying apparatus according to the application example described above, the information output unit includes an output interface that outputs the individual identification result as a signal.
本適用例によれば、出力インターフェイスが個体識別の結果を信号にして出力する。従って、信号を入力する機器が電子部品の個体識別の結果を確認して識別情報に応じた対応をすることができる。   According to this application example, the output interface outputs the result of individual identification as a signal. Therefore, the device that inputs the signal can confirm the result of the individual identification of the electronic component and can take action according to the identification information.
[適用例8]
本適用例にかかる電子部品搬送装置であって、電子部品に表示された識別情報を画像として撮像する画像撮像部と、前記画像撮像部によって撮像された前記識別情報を画像データに変換するデータ変換部と、前記データ変換部により変換された画像データを用いて前記電子部品の個体識別をする個体識別部と、を備えることを特徴とする。
[Application Example 8]
An electronic component conveying apparatus according to this application example, in which an image capturing unit that captures the identification information displayed on the electronic component as an image, and data conversion that converts the identification information captured by the image capturing unit into image data And an individual identification unit for individual identification of the electronic component using the image data converted by the data conversion unit.
本適用例によれば、画像撮像部が電子部品に表示された識別情報を画像として撮像する。次に、データ変換部が画像撮像部によって撮像された識別情報をデータ変換する。続いて、個体識別部がデータ変換部により変換されたデータを用いて電子部品の個体識別をする。従って、電子部品搬送装置は電子部品の識別情報を認識することができる。その結果、電子部品搬送装置は間違った電子部品に所定の処置をして流動することがないようにすることができる。   According to this application example, the image capturing unit captures the identification information displayed on the electronic component as an image. Next, the data conversion unit converts the identification information captured by the image capturing unit. Subsequently, the individual identification unit performs individual identification of the electronic component using the data converted by the data conversion unit. Therefore, the electronic component transport apparatus can recognize the identification information of the electronic component. As a result, the electronic component transport apparatus can prevent a wrong electronic component from flowing by performing a predetermined treatment.
[適用例9]
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記識別情報は文字を含み、前記個体識別部は前記画像データを文字として認識する文字認識機能を有することを特徴とする。
[Application Example 9]
In the electronic component conveying apparatus according to the application example, the identification information includes a character, and the individual identification unit has a character recognition function for recognizing the image data as a character.
本適用例によれば、個体識別部は文字認識機能を有している。従って、識別情報が文字を含んでいるときに個体識別部は文字の画像データを文字として認識することができる。   According to this application example, the individual identification unit has a character recognition function. Therefore, when the identification information includes characters, the individual identification unit can recognize the character image data as characters.
[適用例10]
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記識別情報はバーコードを含み、前記識別情報検出部は前記バーコードを読み取るバーコードリーダーを有することを特徴とする。
[Application Example 10]
In the electronic component conveying apparatus according to the application example, the identification information includes a barcode, and the identification information detection unit includes a barcode reader that reads the barcode.
本適用例によれば、識別情報検出部はバーコードリーダーを有する。尚、バーコードリーダーが検出するバーコードは1次元のバーコードと2次元のバーコードとを含んでいる。従って、識別情報がバーコードを含んでいるときにも容易に識別情報から個体識別となる情報を読み取ることができる。   According to this application example, the identification information detection unit includes the barcode reader. The bar code detected by the bar code reader includes a one-dimensional bar code and a two-dimensional bar code. Therefore, even when the identification information includes a barcode, information for individual identification can be easily read from the identification information.
[適用例11]
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記識別情報と比較する比較情報を入力する情報入力部と、前記比較情報と前記識別情報とが異なるときには警報情報を出力する警報出力部と、を有することを特徴とする。
[Application Example 11]
The electronic component conveying apparatus according to the application example includes an information input unit that inputs comparison information to be compared with the identification information, and an alarm output unit that outputs alarm information when the comparison information and the identification information are different. It is characterized by that.
本適用例によれば、情報入力部において比較情報が入力される。そして、個体識別部が個体識別をする。情報比較部が比較情報と識別情報を比較し、異なるときには警報情報を出力する。従って、電子部品搬送装置が扱う予定の電子部品と設置された電子部品が異なるときにはこの状況に応じた対応をすることができる。   According to this application example, the comparison information is input in the information input unit. Then, the individual identification unit performs individual identification. The information comparison unit compares the comparison information with the identification information, and outputs alarm information when they are different. Therefore, when the electronic component to be handled by the electronic component transport apparatus is different from the installed electronic component, it is possible to cope with this situation.
[適用例12]
本適用例にかかる電子部品検査装置であって、電子部品に表示された識別情報を検出する識別情報検出部と、前記識別情報を用いて前記電子部品の個体識別をする個体識別部と、前記電子部品を検査する検査部と、前記電子部品を前記検査部に搬送する搬送機構と、を備えることを特徴とする。
[Application Example 12]
In the electronic component inspection apparatus according to this application example, an identification information detection unit that detects identification information displayed on the electronic component, an individual identification unit that individually identifies the electronic component using the identification information, and An inspection unit that inspects an electronic component, and a transport mechanism that transports the electronic component to the inspection unit.
本適用例によれば、電子部品には識別情報が設置され、識別情報検出部が識別情報を検出する。そして、個体識別部が識別情報から電子部品の識別情報を検出する。そして、搬送機構が電子部品を所定の処置が施される位置へ搬送する。従って、電子部品搬送装置は電子部品の識別情報を認識することができる。搬送機構が電子部品を検査部に搬送し、検査部が電子部品を検査する。その結果、電子部品検査装置は間違った電子部品を検査することがないようにすることができる。   According to this application example, the identification information is installed in the electronic component, and the identification information detection unit detects the identification information. Then, the individual identification unit detects the identification information of the electronic component from the identification information. And a conveyance mechanism conveys an electronic component to the position where a predetermined treatment is performed. Therefore, the electronic component transport apparatus can recognize the identification information of the electronic component. The transport mechanism transports the electronic component to the inspection unit, and the inspection unit inspects the electronic component. As a result, the electronic component inspection apparatus can prevent the wrong electronic component from being inspected.
第1の実施形態にかかわる部品検査装置の構造を示す模式平面図。The schematic plan view which shows the structure of the components inspection apparatus in connection with 1st Embodiment. (a)及び(b)は、部品検査装置の構造を示す模式側面図。(A) And (b) is a schematic side view which shows the structure of a component inspection apparatus. 部品検査装置の構造を示す概略斜視図。The schematic perspective view which shows the structure of a component inspection apparatus. 電子部品を説明するための模式平面図。The schematic plan view for demonstrating an electronic component. 部品検査装置の電気制御ブロック図。The electric control block diagram of a component inspection apparatus. 電子部品の検査方法を示すフローチャート。The flowchart which shows the inspection method of an electronic component. 電子部品の検査方法を説明するための模式図。The schematic diagram for demonstrating the inspection method of an electronic component. 電子部品の検査方法を説明するための模式図。The schematic diagram for demonstrating the inspection method of an electronic component. 第2の実施形態にかかわり、(a)は電子部品を説明するための模式平面図、(b)は部品検査装置の構造を示す模式側面図。In connection with the second embodiment, (a) is a schematic plan view for explaining an electronic component, and (b) is a schematic side view showing a structure of a component inspection apparatus. 変形例にかかわる電子部品を説明するための模式平面図。The schematic plan view for demonstrating the electronic component in connection with a modification.
本実施形態では、部品搬送装置を備えた部品検査装置とこの部品搬送装置が部品を搬送する方法の特徴的な例について説明する。以下、実施形態について図面に従って説明する。尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
(第1の実施形態)
第1の実施形態にかかわる部品検査装置について図1〜図8に従って説明する。
In the present embodiment, a characteristic example of a component inspection device including a component conveyance device and a method of conveying a component by the component conveyance device will be described. Hereinafter, embodiments will be described with reference to the drawings. In addition, each member in each drawing is illustrated with a different scale for each member in order to make the size recognizable on each drawing.
(First embodiment)
A component inspection apparatus according to the first embodiment will be described with reference to FIGS.
(部品検査装置)
図1は、部品検査装置の構造を示す模式平面図であり、カバーを外した図となっている。図2(a)及び図2(b)は、部品検査装置の構造を示す模式側面図である。図3は、部品検査装置の構造を示す概略斜視図である。図1〜図3に示すように部品検査装置1は長方形の板状の基台2を備えている。基台2の平面視で基台2の直交する2辺が延在する方向をX方向とY方向とし、鉛直方向を−Z方向とする。部品検査装置1は主に電子部品を検査する検査部1aと検査部1aに部品を搬送する部品搬送装置としての搬送部1bとから構成されている。
(Parts inspection equipment)
FIG. 1 is a schematic plan view showing the structure of the component inspection apparatus, with the cover removed. 2A and 2B are schematic side views showing the structure of the component inspection apparatus. FIG. 3 is a schematic perspective view showing the structure of the component inspection apparatus. As shown in FIGS. 1 to 3, the component inspection apparatus 1 includes a rectangular plate-like base 2. The directions in which two orthogonal sides of the base 2 extend in plan view of the base 2 are defined as an X direction and a Y direction, and the vertical direction is defined as a -Z direction. The component inspection apparatus 1 mainly includes an inspection unit 1a for inspecting electronic components and a conveyance unit 1b as a component conveyance device for conveying components to the inspection unit 1a.
基台2上のX方向側にはX方向に長く延在する6つのベルトコンベアが設置されている。ベルトコンベアは−Y方向側から順に第1移動部としての第1コンベア3、第2コンベア4、第3コンベア5、第4コンベア6、第5コンベア7、第6コンベア8となっている。第1コンベア3は給材用のベルトコンベアであり、第1コンベア3上には容器としてのトレイ9が載置されている。トレイ9は仕切板により5行5列のマトリックス状に区画されており、各区画には電子部品10が載置されている。従って、トレイ9は直交する2方向に配列して電子部品10を載置することが可能になっている。   Six belt conveyors extending in the X direction are installed on the X direction side on the base 2. The belt conveyors are a first conveyor 3, a second conveyor 4, a third conveyor 5, a fourth conveyor 6, a fifth conveyor 7, and a sixth conveyor 8 as a first moving unit in order from the −Y direction side. The first conveyor 3 is a belt conveyor for feeding materials, and a tray 9 as a container is placed on the first conveyor 3. The tray 9 is partitioned into a matrix of 5 rows and 5 columns by a partition plate, and an electronic component 10 is placed in each partition. Accordingly, the tray 9 can be placed in two orthogonal directions to place the electronic component 10 thereon.
第1コンベア3は内部にモーター、減速機、プーリー3aを備え、減速機により減速された回転数でモーターがプーリーを回動する。そして、プーリーの外周と接触してベルト3bが設置され、モーターがプーリーを回動することにより、ベルトが移動するようになっている。そして、第1コンベア3上に載置されたトレイ9はベルトと共にX方向に往復移動される。第1コンベア3がトレイ9を移動するX方向を第1方向3cとする。第2コンベア4〜第6コンベア8は第1コンベア3と同じ構造となっており、第1コンベア3と同様にトレイ9をX方向に往復移動することが可能になっている。   The first conveyor 3 includes a motor, a speed reducer, and a pulley 3a inside, and the motor rotates the pulley at a rotational speed reduced by the speed reducer. The belt 3b is installed in contact with the outer periphery of the pulley, and the belt is moved by the motor turning the pulley. The tray 9 placed on the first conveyor 3 is reciprocated in the X direction together with the belt. The X direction in which the first conveyor 3 moves the tray 9 is defined as a first direction 3c. The second conveyor 4 to the sixth conveyor 8 have the same structure as the first conveyor 3, and the tray 9 can be reciprocated in the X direction similarly to the first conveyor 3.
第2コンベア4及び第3コンベア5は空のトレイ9を置く場所となっており、第4コンベア6は不良と判定された電子部品10を格納するトレイ9を置く場所となっている。そして、第5コンベア7及び第6コンベア8は良品と判定された電子部品10を格納するトレイ9を置く場所となっている。   The second conveyor 4 and the third conveyor 5 are places where empty trays 9 are placed, and the fourth conveyor 6 is a place where trays 9 for storing electronic components 10 determined to be defective are placed. And the 5th conveyor 7 and the 6th conveyor 8 become a place which puts the tray 9 which stores the electronic component 10 determined to be non-defective.
電子部品10の形態は特に限定されないが、本実施形態では、例えば、電子部品10はフラットパッケージ等の各種のパッケージ形態のIC(Integrated Circuit)、CIS、液晶パネル、液晶モジュール及び電子モジュール等を適応することができる。そして、部品検査装置1は電子部品10の電気特性を検査して良品と不良品とを分別する装置となっている。   Although the form of the electronic component 10 is not particularly limited, in the present embodiment, for example, the electronic component 10 is applicable to various package forms such as a flat package IC (Integrated Circuit), CIS, liquid crystal panel, liquid crystal module, and electronic module. can do. The component inspection device 1 is a device that inspects the electrical characteristics of the electronic component 10 and separates non-defective products from defective products.
第1コンベア3〜第6コンベア8と対向する場所には第2移動部としてのトレイ搬送部11が設置されている。トレイ搬送部11は第1コンベア3〜第6コンベア8をまたいで設置された門型のトレイ搬送支持部12を備えている。トレイ搬送支持部12はY方向に長い形状であり、トレイ搬送支持部12の−X方向側にはY方向に延在するレール13が設置されている。   A tray transport unit 11 as a second moving unit is installed at a location facing the first to third conveyors 8. The tray transport unit 11 includes a gate-shaped tray transport support unit 12 installed across the first conveyor 3 to the sixth conveyor 8. The tray transport support portion 12 is long in the Y direction, and a rail 13 extending in the Y direction is installed on the −X direction side of the tray transport support portion 12.
レール13の−X方向側にはレール13に沿って移動する移動機構としてのトレイ移動ステージ14が設置されている。トレイ移動ステージ14が移動するY方向を第2方向14aとする。第2方向14aは第1方向3cと直交する方向であり、第1方向3c及び第2方向14aはトレイ9に電子部品10が配列される方向となっている。トレイ搬送支持部12の内部にはトレイ移動ステージ14を移動させる直動機構が設置されている。この直動機構の種類は特に限定されず、リニアモーター、モーターとボールネジとの組合せ、ラック、ピニオン及びモーターの組合せ等各種の形態を用いることができる。本実施形態では、例えば、サーボモーターとボールネジの組合せを採用している。   A tray moving stage 14 as a moving mechanism that moves along the rail 13 is installed on the −X direction side of the rail 13. A Y direction in which the tray moving stage 14 moves is defined as a second direction 14a. The second direction 14 a is a direction orthogonal to the first direction 3 c, and the first direction 3 c and the second direction 14 a are directions in which the electronic components 10 are arranged on the tray 9. A linear motion mechanism for moving the tray moving stage 14 is installed inside the tray conveyance support unit 12. The type of the linear motion mechanism is not particularly limited, and various forms such as a linear motor, a combination of a motor and a ball screw, a combination of a rack, a pinion, and a motor can be used. In this embodiment, for example, a combination of a servo motor and a ball screw is employed.
トレイ移動ステージ14の−X方向側の面にはトレイ把持支持部15を介してトレイ把持部16が設置されている。トレイ把持部16は昇降装置と真空チャックとを備えている。真空チャックは吸盤を備え、吸盤が配管により真空ポンプと接続されている。そして、昇降装置は真空チャックを昇降させる機能を備えている。昇降装置が真空チャックを下降して真空チャックの吸盤をトレイ9に接触させる。そして、吸盤とトレイ9との間を真空にすることで真空チャックはトレイ9を把持する。その後、昇降装置がトレイ9を上昇させることによりトレイ9が第1コンベア3から離れて、トレイ移動ステージ14がトレイ9をY方向に移動可能となる。トレイ搬送部11はトレイ搬送支持部12、レール13、トレイ移動ステージ14、トレイ把持支持部15及びトレイ把持部16等により構成されている。   A tray gripping portion 16 is installed on a surface on the −X direction side of the tray moving stage 14 via a tray gripping support portion 15. The tray gripping portion 16 includes a lifting device and a vacuum chuck. The vacuum chuck includes a suction cup, and the suction cup is connected to a vacuum pump by piping. And the raising / lowering apparatus is equipped with the function to raise / lower a vacuum chuck. The lifting device lowers the vacuum chuck and brings the suction cup of the vacuum chuck into contact with the tray 9. The vacuum chuck holds the tray 9 by creating a vacuum between the suction cup and the tray 9. Thereafter, the lifting device raises the tray 9 so that the tray 9 moves away from the first conveyor 3 and the tray moving stage 14 can move the tray 9 in the Y direction. The tray transport unit 11 includes a tray transport support unit 12, rails 13, a tray moving stage 14, a tray grip support unit 15, a tray grip unit 16, and the like.
トレイ移動ステージ14の−X方向側の面にはトレイ把持部16の他にも識別情報検出部及び画像撮像部としての撮像装置17が設置されている。そして、トレイ移動ステージ14は撮像装置17を第2方向14aに往復移動する。トレイ移動ステージ14が備える移動機構は撮像装置17とトレイ把持部16とを移動する。言い換えると、撮像装置17とトレイ把持部16とは共通の移動機構を有している。   In addition to the tray grip 16, an imaging device 17 as an identification information detector and an image capturing unit is installed on the surface of the tray moving stage 14 on the −X direction side. The tray moving stage 14 reciprocates the imaging device 17 in the second direction 14a. A moving mechanism provided in the tray moving stage 14 moves the imaging device 17 and the tray gripping unit 16. In other words, the imaging device 17 and the tray gripping unit 16 have a common moving mechanism.
撮像装置17は内部に対物レンズ、オートフォーカス装置、同軸落射照明装置とCCD(Charge Coupled Device)撮像素子が組み込まれたものである。撮像装置17は対物レンズが電子部品10に向けて設置されている。まず、同軸落射照明装置から射出した光は電子部品10を照射する。撮像装置17は、電子部品10で反射する光を対物レンズを通して入力する。そして、オートフォーカス装置がCCD撮像素子に結像する。CCD撮像素子が画像を電気信号に変換することにより撮像装置17は電子部品10を撮像することが可能となっている。   The imaging device 17 includes an objective lens, an autofocus device, a coaxial epi-illumination device, and a CCD (Charge Coupled Device) imaging device. The imaging device 17 has an objective lens facing the electronic component 10. First, the light emitted from the coaxial incident illumination device irradiates the electronic component 10. The imaging device 17 inputs light reflected by the electronic component 10 through the objective lens. Then, the autofocus device forms an image on the CCD image sensor. The image pickup device 17 can pick up the electronic component 10 by converting the image into an electric signal by the CCD image pickup device.
第1コンベア3〜第6コンベア8の−X方向側には搬送機構としての部品除給材部20が設置されている。部品除給材部20は基台2上に設置された門型の部品搬送支持部21を備えている。部品搬送支持部21は基台2に立設された一対の支柱部21aと支柱部21a間に架橋された架橋部材21bから構成されている。架橋部材21bの基台2側の面にはY方向に延在するレール22が設置されている。そして、架橋部材21bのレール22に懸架して直方体状の給材Yステージ23及び除材Yステージ24が設置されている。架橋部材21bには直動機構が内蔵され、この直動機構が給材Yステージ23及び除材Yステージ24をY方向に往復移動させる。尚、架橋部材21bの直動機構はトレイ移動ステージ14を駆動する直動機構と同様の機構を用いることができる。   On the −X direction side of the first conveyor 3 to the sixth conveyor 8, a component discharger section 20 as a transport mechanism is installed. The component supply material unit 20 includes a gate-shaped component conveyance support unit 21 installed on the base 2. The component conveyance support portion 21 is composed of a pair of support columns 21 a erected on the base 2 and a bridge member 21 b that is bridged between the support columns 21 a. A rail 22 extending in the Y direction is installed on the surface of the bridging member 21b on the base 2 side. A rectangular parallelepiped supply Y stage 23 and a material removal Y stage 24 are installed on the rail 22 of the bridging member 21b. The bridging member 21b has a built-in linear motion mechanism that moves the feed Y stage 23 and the material removal Y stage 24 back and forth in the Y direction. Note that the linear movement mechanism of the bridging member 21b can be the same mechanism as the linear movement mechanism that drives the tray moving stage 14.
給材Yステージ23の基台2側にはX方向に延在する第1支持梁25が設置され、第1支持梁25にはX方向に延在するレール26が設置されている。そして、第1支持梁25のレール26に懸架して直方体状の給材Xステージ27が設置されている。第1支持梁25には直動機構が内蔵され、この直動機構が給材部品把持部28をX方向に往復移動させる。尚、第1支持梁25の直動機構はトレイ移動ステージ14を駆動する直動機構と同様の機構を用いることができる。給材Xステージ27の基台2側には給材部品把持部28が設置され、給材部品把持部28は昇降装置及び真空チャックを備えている。この昇降装置及び真空チャックはトレイ把持部16が備える昇降装置及び真空チャックと同様な構造であり説明を省略する。給材Yステージ23、第1支持梁25、給材Xステージ27及び給材部品把持部28等により搬送機構としての部品給材部29が構成されている。   A first support beam 25 extending in the X direction is installed on the base 2 side of the feed Y stage 23, and a rail 26 extending in the X direction is installed on the first support beam 25. A rectangular parallelepiped material supply X stage 27 is installed on the rail 26 of the first support beam 25. The first support beam 25 has a built-in linear motion mechanism, and the linear motion mechanism reciprocates the feed part gripping portion 28 in the X direction. The linear motion mechanism of the first support beam 25 can be the same as the linear motion mechanism that drives the tray moving stage 14. On the base 2 side of the feed X stage 27, a feed component gripping part 28 is installed, and the feed part gripping part 28 includes a lifting device and a vacuum chuck. The lifting device and the vacuum chuck have the same structure as that of the lifting device and the vacuum chuck provided in the tray gripping portion 16, and a description thereof will be omitted. A parts supply unit 29 as a transport mechanism is configured by the supply Y stage 23, the first support beam 25, the supply X stage 27, the supply part gripping part 28, and the like.
給材部品把持部28では昇降装置が真空チャックを下降して真空チャックの吸盤を電子部品10に接触させる。そして、吸盤と電子部品10との間を真空にすることにより真空チャックは電子部品10を把持する。その後、昇降装置が電子部品10を上昇させることにより給材Yステージ23及び給材Xステージ27が電子部品10をX方向及びY方向に移動することができる。   In the feed part gripping unit 28, the lifting device lowers the vacuum chuck and brings the suction cup of the vacuum chuck into contact with the electronic component 10. The vacuum chuck holds the electronic component 10 by creating a vacuum between the suction cup and the electronic component 10. Thereafter, the elevating device raises the electronic component 10 so that the feed Y stage 23 and the feed X stage 27 can move the electronic component 10 in the X direction and the Y direction.
同様に、除材Yステージ24の基台2側にはX方向に延在する第2支持梁30が設置され、第2支持梁30の基台2側にはX方向に延在するレール26が設置されている。そして、第2支持梁30のレール26に懸架して直方体状の除材Xステージ31が設置されている。第2支持梁30には直動機構が内蔵され、この直動機構が除材Xステージ31をX方向に往復移動させる。尚、第2支持梁30の直動機構はトレイ移動ステージ14を駆動する直動機構と同様の機構を用いることができる。除材Xステージ31の基台2側には除材部品把持部32が設置され、除材部品把持部32は昇降装置及び真空チャックを備えている。この昇降装置及び真空チャックはトレイ把持部16が備える昇降装置及び真空チャックと同様な構造であり説明を省略する。除材Yステージ24、第2支持梁30、除材Xステージ31及び除材部品把持部32等により部品除材部33が構成されている。   Similarly, a second support beam 30 extending in the X direction is installed on the base 2 side of the material removal Y stage 24, and a rail 26 extending in the X direction on the base 2 side of the second support beam 30. Is installed. A rectangular parallelepiped material removal X stage 31 is installed on the rail 26 of the second support beam 30. The second support beam 30 incorporates a linear movement mechanism, and this linear movement mechanism reciprocates the material removal X stage 31 in the X direction. The linear motion mechanism of the second support beam 30 can be the same as the linear motion mechanism that drives the tray moving stage 14. A material removal component gripping portion 32 is installed on the base 2 side of the material removal X stage 31, and the material removal component gripping portion 32 includes a lifting device and a vacuum chuck. The lifting device and the vacuum chuck have the same structure as that of the lifting device and the vacuum chuck provided in the tray gripping portion 16, and a description thereof will be omitted. The material removal part 33 is configured by the material removal Y stage 24, the second support beam 30, the material removal X stage 31, the material removal part gripping part 32, and the like.
除材部品把持部32では昇降装置が真空チャックを下降して真空チャックの吸盤を電子部品10に接触させる。そして、吸盤と電子部品10との間を真空にすることにより真空チャックは電子部品10を把持する。その後、昇降装置が電子部品10を上昇させることにより除材Yステージ24及び除材Xステージ31が電子部品10をX方向及びY方向に移動することができる。   In the material removal component gripping portion 32, the lifting device lowers the vacuum chuck and brings the suction cup of the vacuum chuck into contact with the electronic component 10. The vacuum chuck holds the electronic component 10 by creating a vacuum between the suction cup and the electronic component 10. Thereafter, the lifting device raises the electronic component 10 so that the material removal Y stage 24 and the material removal X stage 31 can move the electronic component 10 in the X direction and the Y direction.
部品搬送支持部21の−X方向には基台2上に検査用ソケット34が設置されている。検査用ソケット34は電子部品10を検査する場所である。検査用ソケット34には電子部品10の外形形状とほぼ同じ形状の凹部が形成され、この凹部に電子部品10が設置可能になっている。そして、凹部には電子部品10の端子と電気的に接触可能なプローブが設置されている。検査用ソケット34には4つの凹部が設置され、4つの電子部品10を同時に検査することができる。   An inspection socket 34 is installed on the base 2 in the −X direction of the component conveyance support portion 21. The inspection socket 34 is a place where the electronic component 10 is inspected. A recess having substantially the same shape as the outer shape of the electronic component 10 is formed in the inspection socket 34, and the electronic component 10 can be installed in the recess. A probe that can be in electrical contact with the terminal of the electronic component 10 is installed in the recess. Four recesses are installed in the inspection socket 34, and the four electronic components 10 can be inspected simultaneously.
検査用ソケット34のX方向には検査用ソケット34と部品搬送支持部21との間に一対のレール35が設置されている。レール35はY方向に延在して設置され、レール35上にはレール35に沿って移動する第1シャトルステージ36が設置されている。基台2には一対のレール35の間に直動機構が内蔵され、この直動機構が第1シャトルステージ36をY方向に往復移動させる。尚、レール35の間の直動機構にはトレイ移動ステージ14を駆動する直動機構と同様の機構を用いることができる。   In the X direction of the inspection socket 34, a pair of rails 35 is installed between the inspection socket 34 and the component conveyance support portion 21. The rail 35 is installed extending in the Y direction, and a first shuttle stage 36 that moves along the rail 35 is installed on the rail 35. The base 2 incorporates a linear motion mechanism between the pair of rails 35, and this linear motion mechanism reciprocates the first shuttle stage 36 in the Y direction. As the linear motion mechanism between the rails 35, a mechanism similar to the linear motion mechanism that drives the tray moving stage 14 can be used.
第1シャトルステージ36のZ方向を向く面には電子部品10を設置するための凹部37が8個設置されている。このうち4個の凹部37は第1シャトルステージ36の−Y方向側に配置され、この凹部37を給材用凹部37aとする。残りの4個の凹部37は第1シャトルステージ36のY方向側に配置され、この凹部37を除材用凹部37bとする。除材用凹部37bが検査用ソケット34の隣りに位置するとき、基台2の平面視で給材用凹部37aは部品給材部29の給材部品把持部28が移動可能な場所に位置する。同様に、給材用凹部37aが検査用ソケット34の隣りに位置するとき、基台2の平面視で除材用凹部37bは部品除材部33の除材部品把持部32が移動可能な場所に位置する。   Eight concave portions 37 for installing the electronic component 10 are installed on the surface of the first shuttle stage 36 facing the Z direction. Of these, four recesses 37 are arranged on the −Y direction side of the first shuttle stage 36, and these recesses 37 serve as a recess 37 for supply. The remaining four recesses 37 are arranged on the Y direction side of the first shuttle stage 36, and the recesses 37 serve as material removal recesses 37b. When the material removal recess 37b is positioned adjacent to the inspection socket 34, the material supply recess 37a is positioned at a position where the material supply part gripping part 28 of the component supply part 29 is movable in a plan view of the base 2. . Similarly, when the material supply recess 37 a is positioned next to the inspection socket 34, the material removal recess 37 b is a place where the material removal part gripping part 32 of the part removal part 33 can move in a plan view of the base 2. Located in.
検査用ソケット34の−X方向には検査用ソケット34と基台2の端との間に一対のレール40が設置されている。レール40はY方向に延在して設置され、レール40上にはレール40に沿って移動する第2シャトルステージ41が設置されている。基台2には一対のレール40の間に直動機構が内蔵され、この直動機構が第2シャトルステージ41をY方向に往復移動させる。尚、レール40の間の直動機構はトレイ移動ステージ14を駆動する直動機構と同様の機構を用いることができる。   A pair of rails 40 is installed between the inspection socket 34 and the end of the base 2 in the −X direction of the inspection socket 34. The rail 40 is installed extending in the Y direction, and a second shuttle stage 41 that moves along the rail 40 is installed on the rail 40. The base 2 includes a linear motion mechanism between the pair of rails 40, and the linear motion mechanism reciprocates the second shuttle stage 41 in the Y direction. The linear motion mechanism between the rails 40 can be the same as the linear motion mechanism that drives the tray moving stage 14.
第2シャトルステージ41のZ方向を向く面には電子部品10を設置するための凹部42が8個設置されている。このうち4個の凹部42は第2シャトルステージ41の−Y方向側に配置され、この凹部42を給材用凹部42aとする。残りの4個の凹部42は第2シャトルステージ41のY方向側に配置され、この凹部42を除材用凹部42bとする。除材用凹部42bが検査用ソケット34の隣りに位置するとき、基台2の平面視で給材用凹部42aは部品給材部29の給材部品把持部28が移動可能な場所に位置する。同様に、給材用凹部42aが検査用ソケット34の隣りに位置するとき、基台2の平面視で除材用凹部42bは部品除材部33の除材部品把持部32が移動可能な場所に位置する。   Eight concave portions 42 for installing the electronic component 10 are installed on the surface of the second shuttle stage 41 facing the Z direction. Of these, the four recesses 42 are arranged on the −Y direction side of the second shuttle stage 41, and these recesses 42 are used as the feed recesses 42a. The remaining four recesses 42 are arranged on the Y direction side of the second shuttle stage 41, and this recess 42 is defined as a material removal recess 42b. When the material removal recess 42b is positioned adjacent to the inspection socket 34, the material supply recess 42a is positioned at a position where the material supply component gripping portion 28 of the component supply portion 29 is movable in plan view of the base 2. . Similarly, when the material supply recess 42 a is positioned next to the inspection socket 34, the material removal recess 42 b is a place where the material removal part gripping part 32 of the part removal part 33 can move in plan view of the base 2. Located in.
第1シャトルステージ36及び第2シャトルステージ41と対向する場所には搬送機構としての部品押圧装置43が設置されている。部品押圧装置43は第1シャトルステージ36及び第2シャトルステージ41をまたいで設置された門型の押圧支持部44を備えている。押圧支持部44はX方向に長い形状であり、押圧支持部44のY方向側にはX方向に延在するレール45が設置されている。   A component pressing device 43 as a transport mechanism is installed at a location facing the first shuttle stage 36 and the second shuttle stage 41. The component pressing device 43 includes a gate-type pressing support portion 44 installed across the first shuttle stage 36 and the second shuttle stage 41. The pressing support portion 44 has a long shape in the X direction, and a rail 45 extending in the X direction is installed on the Y direction side of the pressing support portion 44.
レール45のY方向側にはレール45に沿って移動する測定Xステージ46が設置されている。押圧支持部44の内部には測定Xステージ46を移動させる直動機構が設置されている。尚、測定Xステージ46の直動機構はトレイ移動ステージ14を駆動する直動機構と同様の機構を用いることができる。   A measurement X stage 46 that moves along the rail 45 is installed on the Y direction side of the rail 45. A linear motion mechanism for moving the measurement X stage 46 is installed inside the pressing support portion 44. The linear movement mechanism of the measurement X stage 46 can be the same as the linear movement mechanism that drives the tray moving stage 14.
測定Xステージ46のY方向側には検査部品把持部47が設置され、検査部品把持部47は昇降装置及び真空チャックを備えている。この昇降装置及び真空チャックはトレイ把持部16が備える昇降装置及び真空チャックと同様な構造であり説明を省略する。検査部品把持部47の真空チャックは4つの吸盤を備え、4つの電子部品10を1度に把持することができる。   An inspection component gripping portion 47 is installed on the Y direction side of the measurement X stage 46, and the inspection component gripping portion 47 includes a lifting device and a vacuum chuck. The lifting device and the vacuum chuck have the same structure as that of the lifting device and the vacuum chuck provided in the tray gripping portion 16, and a description thereof will be omitted. The vacuum chuck of the inspection component gripping portion 47 includes four suction cups and can grip four electronic components 10 at a time.
検査部品把持部47では昇降装置が真空チャックを下降して真空チャックの吸盤を電子部品10に接触させる。そして、吸盤と電子部品10との間を真空にすることにより真空チャックは電子部品10を把持する。その後、昇降装置が電子部品10を上昇させることにより測定Xステージ46が電子部品10をX方向に往復移動することができる。   In the inspection component gripping portion 47, the lifting device lowers the vacuum chuck and brings the suction cup of the vacuum chuck into contact with the electronic component 10. The vacuum chuck holds the electronic component 10 by creating a vacuum between the suction cup and the electronic component 10. Thereafter, the lifting device raises the electronic component 10 so that the measurement X stage 46 can reciprocate the electronic component 10 in the X direction.
そして、部品押圧装置43は第1シャトルステージ36の給材用凹部37aに載置された電子部品10を把持して検査用ソケット34に移動する。そして、部品押圧装置43は電子部品10を検査用ソケット34に押圧する。このとき、電子部品10の端子がプローブに押圧されるので、端子とプローブとは確実に電気的に接続される。この状態が維持され電子部品10の電特検査が行われる。そして、電子部品10の電特検査が終了した後、部品押圧装置43は電子部品10を第1シャトルステージ36の除材用凹部37bに移動する。同様の手順で、検査部品把持部47は第2シャトルステージ41に載置された電子部品10を検査用ソケット34まで移動し、電子部品10を検査用ソケット34に押圧することにより電特検査を補助する。   Then, the component pressing device 43 grips the electronic component 10 placed in the material supply recess 37 a of the first shuttle stage 36 and moves to the inspection socket 34. Then, the component pressing device 43 presses the electronic component 10 against the inspection socket 34. At this time, since the terminal of the electronic component 10 is pressed against the probe, the terminal and the probe are reliably electrically connected. This state is maintained, and an electrical inspection of the electronic component 10 is performed. Then, after the electrical inspection of the electronic component 10 is completed, the component pressing device 43 moves the electronic component 10 to the material removal recess 37 b of the first shuttle stage 36. In the same procedure, the inspection component gripping part 47 moves the electronic component 10 placed on the second shuttle stage 41 to the inspection socket 34 and presses the electronic component 10 against the inspection socket 34 to perform the electrical special inspection. Assist.
部品給材部29、第1シャトルステージ36、第2シャトルステージ41及び部品押圧装置43の搬送機構は所定の処置が施される位置へ搬送する。この所定の処置とは、電子部品10を検査用ソケット34に入れる為に電子部品10の向きを変える、電子部品10を検査用ソケット34に挿入する、電子部品10に検査電流を入れて検査する等の処置である。搬送部1bは、主に、ICテストハンドラーに用いられるものであり、単純に、ICをベルトコンベアで搬送する装置ではない。   The parts supply part 29, the first shuttle stage 36, the second shuttle stage 41, and the part pressing mechanism 43 transport the parts to a position where predetermined treatment is performed. The predetermined treatment includes changing the direction of the electronic component 10 in order to put the electronic component 10 into the inspection socket 34, inserting the electronic component 10 into the inspection socket 34, and injecting an inspection current into the electronic component 10 for inspection. It is treatment such as. The transport unit 1b is mainly used for an IC test handler, and is not simply a device for transporting an IC by a belt conveyor.
基台2の−X方向側には電特検査装置50が設置されている。電特検査装置50は検査用ソケット34に設置されたプローブと接続されている。そして、電特検査装置50は電子部品10と電気信号の交信を行い、電子部品10の電気特性の良否判定を行う装置である。基台2のX方向側には制御部51が設置されている。制御部51は部品検査装置1の動作を制御する装置である。制御部51には情報出力部、情報表示部及び警報出力部としての情報表示装置51a及び情報入力部としての情報入力装置51bが搭載されている。さらに、第3コンベア5のZ方向に位置する場所には情報表示装置48が設置されている。情報表示装置48及び情報表示装置51aは液晶表示装置等の表示装置であり、操作者に知らせる情報を表示する装置である。情報入力装置51bはキーボードやマウスパッド等の装置であり、操作者が制御部51に指示する内容を入力するための装置である。さらに、情報入力装置51bは外部機器と交信してデータを入力する機能を備えている。   On the −X direction side of the base 2, an electrical inspection device 50 is installed. The electrical inspection device 50 is connected to a probe installed in the inspection socket 34. The electrical inspection apparatus 50 is an apparatus that performs electrical signal communication with the electronic component 10 to determine whether the electrical characteristics of the electronic component 10 are acceptable. A control unit 51 is installed on the X direction side of the base 2. The control unit 51 is a device that controls the operation of the component inspection apparatus 1. The control unit 51 is equipped with an information display unit 51a as an information output unit, an information display unit and an alarm output unit, and an information input device 51b as an information input unit. Further, an information display device 48 is installed at a location located in the Z direction of the third conveyor 5. The information display device 48 and the information display device 51a are display devices such as a liquid crystal display device, and are devices that display information to inform the operator. The information input device 51 b is a device such as a keyboard or a mouse pad, and is a device for inputting contents instructed by the operator to the control unit 51. Furthermore, the information input device 51b has a function of communicating with an external device and inputting data.
基台2のX方向側且つY方向側の角には警告灯52が設置されている。警告灯52は検査する予定ではない電子部品10が混入したとき、点滅して操作者に注意を促す装置である。部品検査装置1はZ方向側にカバー53が設置され、情報表示装置48はカバー53に固定されている。カバー53は光を透過する樹脂により形成され、カバー53を通して内部を観察可能になっている。そして、カバー53は部品検査装置1に塵や埃が侵入することを防止している。   Warning lights 52 are installed at the corners of the base 2 on the X direction side and the Y direction side. The warning light 52 is a device that blinks to alert the operator when an electronic component 10 that is not scheduled for inspection is mixed. In the component inspection apparatus 1, a cover 53 is installed on the Z direction side, and the information display device 48 is fixed to the cover 53. The cover 53 is formed of a resin that transmits light, and the inside can be observed through the cover 53. The cover 53 prevents dust and dirt from entering the component inspection apparatus 1.
カバー53のZ方向側には空気供給部54が設置されている。空気供給部54は塵や埃の通過を防止するフィルターとファンとを備えている。そして、空気供給部54は塵や埃が除去された空気を部品検査装置1に供給する。空気は空気供給部54からカバー53の内部に流入し、基台2及び基台2とカバー53との間から流出する。これにより、部品検査装置1に塵や埃が侵入しないようになっている。   An air supply unit 54 is installed on the Z direction side of the cover 53. The air supply unit 54 includes a filter and a fan that prevent dust and the passage of dust. The air supply unit 54 supplies air from which dust or dust has been removed to the component inspection apparatus 1. Air flows from the air supply unit 54 into the cover 53 and flows out from the base 2 and between the base 2 and the cover 53. This prevents dust and dirt from entering the component inspection apparatus 1.
検査用ソケット34はヒーターを備え、電子部品10を加熱することが可能となっている。これにより、電子部品10を所定の温度で検査することができる。そして、検査用ソケット34及び部品押圧装置43を囲んで仕切板55が設置されている。仕切板55が検査用ソケット34の周囲から熱が放散することを抑制する。これにより、電子部品10を加熱する熱が検査用ソケット34の周囲に留まるようになっている。   The inspection socket 34 includes a heater and can heat the electronic component 10. Thereby, the electronic component 10 can be inspected at a predetermined temperature. A partition plate 55 is provided so as to surround the inspection socket 34 and the component pressing device 43. The partition plate 55 prevents heat from being dissipated from the periphery of the inspection socket 34. As a result, the heat for heating the electronic component 10 stays around the inspection socket 34.
部品検査装置1のうち検査用ソケット34及び電特検査装置50が検査部1aを構成する。そして、部品検査装置1のうち電子部品10をトレイ9と検査用ソケット34との間で搬送する各ステージ及びコンベアが搬送部1bを構成する。   Of the component inspection apparatus 1, the inspection socket 34 and the electrical inspection apparatus 50 constitute an inspection unit 1a. And each stage and conveyor which convey the electronic component 10 between the tray 9 and the test | inspection socket 34 among the component inspection apparatuses 1 comprise the conveyance part 1b.
図4は電子部品を説明するための模式平面図である。図4に示すように、電子部品10にはメーカー名10a、品種表示名10b、識別情報としての個体識別番号10cを示す文字列が印刷されている。尚、識別情報とは、電子部品10にマーキングされる、ロゴやマーク等の図形、メーカー名等の文字情報、電子部品の型番号やシリアル番号、ロット番号等の数字情報といった、該当する電子部品と他の電子部品とを識別できる情報である。文字の内容や配置等の属性は特に限定されず、電子部品10毎に設定されている。メーカー名10a、品種表示名10b、個体識別番号10cの文字列は撮像装置17で撮影可能な色調となっているのが好ましい。本実施形態では、例えば、背景が黒色であり、文字色が白色となっている。   FIG. 4 is a schematic plan view for explaining the electronic component. As shown in FIG. 4, the electronic component 10 is printed with a character string indicating a manufacturer name 10a, a product display name 10b, and an individual identification number 10c as identification information. The identification information refers to a corresponding electronic component such as a logo, a mark, etc., character information such as a manufacturer name, electronic component type number, serial number, lot number, etc. And other electronic components. Attributes such as character content and arrangement are not particularly limited, and are set for each electronic component 10. It is preferable that the character string of the manufacturer name 10a, the product type display name 10b, and the individual identification number 10c has a color tone that can be photographed by the imaging device 17. In this embodiment, for example, the background is black and the character color is white.
図5は部品検査装置の電気制御ブロック図である。図5において、部品検査装置1は部品検査装置1の動作を制御する制御部51を備えている。そして、制御部51はプロセッサーとして各種の演算処理を行うCPU(中央演算処理装置)58と、各種情報を記憶するメモリー59とを備えている。さらに、ステージ駆動装置60、コンベア駆動装置61、把持部駆動装置62、撮像装置17、情報入力装置51b、情報表示装置48、情報表示装置51a、情報出力部及び出力インターフェイスとしての情報出力装置65、電特検査装置50は入出力インターフェイス66及びデータバス67を介してCPU58に接続されている。   FIG. 5 is an electric control block diagram of the component inspection apparatus. In FIG. 5, the component inspection apparatus 1 includes a control unit 51 that controls the operation of the component inspection apparatus 1. The control unit 51 includes a CPU (Central Processing Unit) 58 that performs various types of arithmetic processing as a processor, and a memory 59 that stores various types of information. Further, a stage driving device 60, a conveyor driving device 61, a gripping portion driving device 62, an imaging device 17, an information input device 51b, an information display device 48, an information display device 51a, an information output device 65 as an information output unit and an output interface, The electrical inspection device 50 is connected to the CPU 58 via an input / output interface 66 and a data bus 67.
ステージ駆動装置60はトレイ移動ステージ14、トレイ把持部16に設置されたトレイ昇降ステージ68を駆動する。各ステージは位置を検出する装置を備えている。そして、ステージ駆動装置60は移動目的の場所に到達するまでステージを移動することにより所望の場所にトレイ把持部16を移動して停止させることができる。   The stage driving device 60 drives the tray moving stage 14 and the tray lifting / lowering stage 68 installed in the tray holding unit 16. Each stage is equipped with a device for detecting the position. Then, the stage driving device 60 can move and stop the tray gripping portion 16 to a desired location by moving the stage until it reaches the intended location.
さらに、ステージ駆動装置60は給材Xステージ27、給材Yステージ23、給材部品把持部28に設置された給材Zステージ69を駆動する。さらに、ステージ駆動装置60は除材Xステージ31、除材Yステージ24、除材部品把持部32に設置された除材Zステージ70を駆動する。そして、ステージ駆動装置60は移動目的の場所に到達するまでステージを移動することにより所望の場所に給材部品把持部28及び除材部品把持部32を移動して停止させることができる。   Further, the stage driving device 60 drives the material supply X stage 27, the material supply Y stage 23, and the material supply Z stage 69 installed in the material supply component gripping section 28. Further, the stage driving device 60 drives the material removal X stage 31, the material removal Y stage 24, and the material removal Z stage 70 installed in the material removal component gripping part 32. Then, the stage driving device 60 can move and stop the material supply part gripping part 28 and the material removal part gripping part 32 to desired places by moving the stage until it reaches the intended place of movement.
さらに、ステージ駆動装置60は第1シャトルステージ36、第2シャトルステージ41、測定Xステージ46、検査部品把持部47に設置された測定Zステージ71を駆動する。そして、ステージ駆動装置60は各ステージを駆動することにより第1シャトルステージ36、第2シャトルステージ41、検査用ソケット34の間で電子部品10を移動させることができる。   Furthermore, the stage driving device 60 drives the first shuttle stage 36, the second shuttle stage 41, the measurement X stage 46, and the measurement Z stage 71 installed on the inspection component gripping portion 47. The stage driving device 60 can move the electronic component 10 between the first shuttle stage 36, the second shuttle stage 41, and the inspection socket 34 by driving each stage.
コンベア駆動装置61は第1コンベア3〜第6コンベア8を駆動する。コンベア駆動装置61は各コンベアを駆動してトレイ9が移動目的の場所に到達するまでコンベアを移動することにより所望の場所にトレイ9を移動して停止させることができる。   The conveyor driving device 61 drives the first conveyor 6 to the sixth conveyor 8. The conveyor driving device 61 can move and stop the tray 9 to a desired location by driving each conveyor and moving the conveyor until the tray 9 reaches the destination location.
把持部駆動装置62はトレイ把持部16、給材部品把持部28、除材部品把持部32及び検査部品把持部47を駆動する。把持部駆動装置62は各把持部と接続された真空ポンプを駆動する。そして、各把持部と真空ポンプとの間に設置された弁を駆動し弁を開閉する。これにより、把持部駆動装置62は各把持部に電子部品10を把持させた後解放させることができる。情報出力装置65は外部機器と接続され、外部機器に情報を電気信号にして出力するインターフェイス機能を有する装置である。   The gripping unit driving device 62 drives the tray gripping unit 16, the material supply component gripping unit 28, the material removal component gripping unit 32, and the inspection component gripping unit 47. The gripper drive device 62 drives a vacuum pump connected to each gripper. And the valve installed between each holding part and a vacuum pump is driven, and a valve is opened and closed. As a result, the gripper drive device 62 can release the gripper after the electronic component 10 is gripped by each gripper. The information output device 65 is connected to an external device and has an interface function for outputting information to the external device as an electrical signal.
メモリー59は、RAM、ROM等といった半導体メモリーや、ハードディスク、DVD−ROMといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、部品検査装置1の動作の制御手順が記述されたプログラムソフト72を記憶する記憶領域や、撮像装置17が撮影する画像のデータである画像データ73を記憶する記憶領域が設定される。他にも、電子部品10が検査する予定の物か否かの判定に用いるデータである比較情報としての比較判定データ74を記憶するための記憶領域が設定される。この比較判定データ74には検査する予定の電子部品10における個体識別番号10cの一覧表を含んでいる。比較判定データ74は情報入力装置51bを用いて入力される。他にも、電子部品10に設置された個体識別番号10cを検出したデータである識別情報としての個体識別データ75を記憶する記憶領域が設定される。他にも、CPU58のためのワークエリアやテンポラリーファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。   The memory 59 is a concept including a semiconductor memory such as a RAM and a ROM, and an external storage device such as a hard disk and a DVD-ROM. Functionally, a storage area for storing program software 72 in which an operation control procedure of the component inspection apparatus 1 is described and a storage area for storing image data 73 that is image data taken by the imaging apparatus 17 are set. The In addition, a storage area for storing comparison determination data 74 as comparison information, which is data used to determine whether or not the electronic component 10 is to be inspected, is set. The comparison determination data 74 includes a list of individual identification numbers 10c in the electronic component 10 to be inspected. The comparison determination data 74 is input using the information input device 51b. In addition, a storage area for storing individual identification data 75 as identification information which is data obtained by detecting the individual identification number 10c installed in the electronic component 10 is set. In addition, a work area for the CPU 58, a storage area that functions as a temporary file, and other various storage areas are set.
CPU58は、メモリー59内に記憶されたプログラムソフト72に従って、電子部品10を検査する制御を行うものである。具体的な機能実現部としてステージ制御部76を有する。ステージ制御部76はステージ駆動装置60と交信を行い各ステージの位置情報を取得する。そしてステージ制御部76が希望する場所に各ステージを移動させて停止するようにステージ駆動装置60に指令信号を出力する。さらに、ステージ制御部76はコンベア駆動装置61と交信を行い第1コンベア3〜第6コンベア8の位置情報を取得する。そしてステージ制御部76が希望する場所に各コンベアを移動させて停止するようにコンベア駆動装置61に指令信号を出力する。   The CPU 58 performs control for inspecting the electronic component 10 according to the program software 72 stored in the memory 59. A stage control unit 76 is provided as a specific function implementation unit. The stage control unit 76 communicates with the stage driving device 60 and acquires position information of each stage. Then, the stage controller 76 outputs a command signal to the stage driving device 60 so that each stage is moved to a desired location and stopped. Furthermore, the stage control unit 76 communicates with the conveyor driving device 61 to acquire position information of the first conveyor 3 to the sixth conveyor 8. Then, the stage control unit 76 outputs a command signal to the conveyor driving device 61 so that each conveyor is moved to a desired place and stopped.
他にも、CPU58は把持制御部77を有する。把持制御部77は把持部駆動装置62にトレイ把持部16、給材部品把持部28、除材部品把持部32、検査部品把持部47を駆動させる。そして、各把持部に電子部品10を吸着させる動作と解放する動作の制御を行う。そして、ステージ制御部76と把持制御部77とが連携して電子部品10を搬送する。   In addition, the CPU 58 has a grip control unit 77. The grip control unit 77 causes the grip unit driving device 62 to drive the tray grip unit 16, the material supply component grip unit 28, the material removal component grip unit 32, and the inspection component grip unit 47. Then, the operation of attracting and releasing the electronic component 10 to each gripper is controlled. Then, the stage control unit 76 and the grip control unit 77 cooperate to convey the electronic component 10.
他にも、CPU58はデータ変換部78を有する。データ変換部78は撮像装置17が出力する電気信号をデジタルデータに変換して画像データ73をメモリー59に記憶する。他にも、CPU58は個体識別部としての個体識別番号演算部79を有する。個体識別番号演算部79は撮像装置17が撮影して得られた画像データ73を用いて個体識別データ75を抽出する演算を行う。電子部品10に設置された個体識別番号10cは文字と数字とから構成されている。そして、個体識別番号演算部79は個体識別番号10cの画像データ73を文字として認識し文字データに変換する文字認識機能を有し、算出した文字情報を含む個体識別データ75をメモリー59に記憶する。個体識別データ75により電子部品10は個体識別される。   In addition, the CPU 58 has a data conversion unit 78. The data converter 78 converts the electrical signal output from the imaging device 17 into digital data and stores the image data 73 in the memory 59. In addition, the CPU 58 has an individual identification number calculation unit 79 as an individual identification unit. The individual identification number calculation unit 79 performs an operation of extracting the individual identification data 75 using the image data 73 obtained by photographing with the imaging device 17. The individual identification number 10c installed in the electronic component 10 is composed of letters and numbers. The individual identification number calculation unit 79 has a character recognition function for recognizing the image data 73 of the individual identification number 10c as a character and converting it into character data, and stores the individual identification data 75 including the calculated character information in the memory 59. . The electronic component 10 is individually identified by the individual identification data 75.
他にも、CPU58は情報比較部としての個体識別番号判定部80を有する。個体識別番号判定部80は予めメモリー59に記憶された比較判定データ74と個体識別データ75とを比較する。そして、算出した個体識別データ75が比較判定データ74と一致するか否かを判定する。個体識別データ75が比較判定データ74と一致しないときには警報情報を出力する。   In addition, the CPU 58 has an individual identification number determination unit 80 as an information comparison unit. The individual identification number determination unit 80 compares the comparison determination data 74 stored in the memory 59 in advance with the individual identification data 75. Then, it is determined whether or not the calculated individual identification data 75 matches the comparison determination data 74. When the individual identification data 75 does not match the comparison determination data 74, alarm information is output.
他にも、CPU58は情報表示制御部81を有する。情報表示制御部81は情報表示装置48及び情報表示装置51aに算出した個体識別データ75を表示する。さらに、個体識別番号判定部80が判定した結果を情報表示制御部81は情報表示装置48及び情報表示装置51aに表示する。個体識別データ75が比較判定データ74と一致しないとき、情報表示制御部81は警告灯52を点滅させる。そして、情報表示制御部81は、個体識別データ75が比較判定データ74と一致しないことを示す警報情報を情報表示装置48及び情報表示装置51aに表示して操作者に知らしめる。   In addition, the CPU 58 includes an information display control unit 81. The information display control unit 81 displays the calculated individual identification data 75 on the information display device 48 and the information display device 51a. Furthermore, the information display control unit 81 displays the result determined by the individual identification number determination unit 80 on the information display device 48 and the information display device 51a. When the individual identification data 75 does not match the comparison determination data 74, the information display control unit 81 causes the warning lamp 52 to blink. Then, the information display control unit 81 displays alarm information indicating that the individual identification data 75 does not match the comparison determination data 74 on the information display device 48 and the information display device 51a to notify the operator.
他にも、CPU58は情報出力制御部82を有する。情報出力制御部82は情報出力装置65を介して外部機器に個体識別データ75及び個体識別番号判定部80が判定した結果を出力する。これにより、外部機器は個体識別データ75を活用し、個体識別番号判定部80が判定した結果に対応した動作を行うことができる。   In addition, the CPU 58 has an information output control unit 82. The information output control unit 82 outputs the individual identification data 75 and the result determined by the individual identification number determination unit 80 to an external device via the information output device 65. Thus, the external device can use the individual identification data 75 and perform an operation corresponding to the result determined by the individual identification number determination unit 80.
尚、本実施形態では、上記の各機能がCPU58を用いてプログラムソフトで実現することとしたが、上記の各機能がCPU58を用いない単独の電子回路(ハードウェア)によって実現できる場合には、そのような電子回路を用いることも可能である。   In the present embodiment, each function described above is realized by program software using the CPU 58. However, when each function described above can be realized by a single electronic circuit (hardware) that does not use the CPU 58, It is also possible to use such an electronic circuit.
(電子部品の検査方法)
次に上述した部品検査装置1を用いて電子部品10を検査する方法について図6〜図8にて説明する。図7及び図8は電子部品の検査方法を説明するための模式図である。
(Electronic component inspection method)
Next, a method for inspecting the electronic component 10 using the above-described component inspection apparatus 1 will be described with reference to FIGS. 7 and 8 are schematic views for explaining an electronic component inspection method.
図6は電子部品の検査方法を示すフローチャートである。図6において、ステップS1は比較情報入力工程に相当する。操作者が情報入力装置51bを用いて比較判定データ74を入力する工程である。次にステップS2に移行する。ステップS2はトレイ設置工程に相当する。この工程は、操作者が第1コンベア3にトレイ9を設置する工程である。次にステップS3に移行する。ステップS3はマーク撮像工程に相当する。この工程は、撮像装置17が電子部品10を撮影する工程である。次にステップS4に移行する。ステップS4は識別情報演算工程に相当する。この工程は、個体識別番号演算部79が画像を用いて個体識別データ75を演算する工程である。次にステップS5に移行する。   FIG. 6 is a flowchart showing an electronic component inspection method. In FIG. 6, step S1 corresponds to a comparison information input step. In this step, the operator inputs the comparison determination data 74 using the information input device 51b. Next, the process proceeds to step S2. Step S2 corresponds to a tray installation process. This step is a step in which the operator installs the tray 9 on the first conveyor 3. Next, the process proceeds to step S3. Step S3 corresponds to a mark imaging process. This step is a step in which the imaging device 17 photographs the electronic component 10. Next, the process proceeds to step S4. Step S4 corresponds to an identification information calculation step. This step is a step in which the individual identification number calculation unit 79 calculates the individual identification data 75 using an image. Next, the process proceeds to step S5.
ステップS5は個体識別判定工程に相当する工程である。この工程では、個体識別番号判定部80が比較判定データ74と個体識別データ75とを比較する。データが一致しないときステップS10に移行する。データが一致したときステップS6に移行する。ステップS6は確認終了判定工程に相当する工程である。この工程では、CPU58がトレイ9に設置された電子部品10を総て確認したかを判定する。トレイ9内に未確認の電子部品10があるときステップS3に移行する。トレイ9内の電子部品10を総て確認したときステップS7に移行する。   Step S5 is a process corresponding to the individual identification determination process. In this step, the individual identification number determination unit 80 compares the comparison determination data 74 with the individual identification data 75. When the data do not match, the process proceeds to step S10. When the data match, the process proceeds to step S6. Step S6 is a process corresponding to a confirmation end determination process. In this step, it is determined whether the CPU 58 has confirmed all the electronic components 10 installed on the tray 9. When there is an unconfirmed electronic component 10 in the tray 9, the process proceeds to step S3. When all the electronic components 10 in the tray 9 have been confirmed, the process proceeds to step S7.
ステップS7は検査工程に相当する。この工程では、搬送部1bが電子部品10を検査用ソケット34に搬送し、検査部1aが電子部品10の電気特性を検査する。そして、検査された電子部品10を搬送部1bがトレイ9に収納する工程である。次にステップS8に移行する。ステップS8は空トレイ移動工程に相当する。この工程は、第1コンベア3〜第6コンベア8の間でトレイ搬送部11が空のトレイ9を移動する工程である。次にステップS9に移行する。ステップS9はトレイ除去工程に相当する。この工程は、操作者が第4コンベア6〜第6コンベア8から検査済みの電子部品10が収納されたトレイ9を除去する工程である。ステップS5から移行するステップS10は異常報知工程に相当する。この工程は比較判定データ74と個体識別データ75とが一致しなかったことを操作者に知らせる工程である。以上の工程にて電子部品10を検査する工程が終了する。   Step S7 corresponds to an inspection process. In this step, the transport unit 1b transports the electronic component 10 to the inspection socket 34, and the inspection unit 1a inspects the electrical characteristics of the electronic component 10. In this process, the transported part 1 b stores the inspected electronic component 10 in the tray 9. Next, the process proceeds to step S8. Step S8 corresponds to an empty tray moving process. This step is a step in which the tray transport unit 11 moves the empty tray 9 between the first conveyor 3 to the sixth conveyor 8. Next, the process proceeds to step S9. Step S9 corresponds to a tray removal process. This step is a step in which the operator removes the tray 9 storing the inspected electronic components 10 from the fourth conveyor 6 to the sixth conveyor 8. Step S10 that moves from step S5 corresponds to an abnormality notification step. This step is a step of notifying the operator that the comparison determination data 74 and the individual identification data 75 do not match. The process of inspecting the electronic component 10 is completed through the above processes.
次に、図7及び図8を用いて、図6に示したステップと対応させて、電子部品10の検査方法を詳細に説明する。まず、ステップS1の比較情報入力工程では、操作者が情報入力装置51bを用いて検査する予定の品種表示名10b及び個体識別番号10cを入力する。入力されたデータは比較判定データ74の一覧表としてメモリー59に記憶される。   Next, an inspection method for the electronic component 10 will be described in detail with reference to FIGS. 7 and 8 in association with the steps shown in FIG. First, in the comparison information input process of step S1, the operator inputs the type display name 10b and the individual identification number 10c to be inspected using the information input device 51b. The input data is stored in the memory 59 as a list of comparison determination data 74.
個体識別番号10cは文字と数字とからなっている。1つのトレイ9に設置された複数の電子部品10の個体識別番号10cが連続した数字を含むときには、操作者が連続した数字の最初と最後との数字を入力し、CPU58が間の数字を演算して登録しても良い。他にも、すでに他の機器に個体識別番号10cのデータが記憶されているときには、情報入力装置51bを介して交信することによりデータを入力してメモリー59に比較判定データ74として記憶しても良い。   The individual identification number 10c consists of letters and numbers. When the individual identification numbers 10c of the plurality of electronic components 10 installed on one tray 9 include consecutive numbers, the operator inputs the first and last numbers of the consecutive numbers, and the CPU 58 calculates the numbers between them. And register. In addition, when the data of the individual identification number 10c is already stored in another device, the data may be input by communicating via the information input device 51b and stored in the memory 59 as the comparison determination data 74. good.
図7(a)はステップS2のトレイ設置工程に対応する図である。図7(a)に示すように、操作者はトレイ9に電子部品10を配列して設置する。この電子部品10は、ステップS1の比較情報入力工程で比較判定データ74が登録されたものであり、これから電特検査を行う予定のものである。次に、操作者は電子部品10が設置されたトレイ9を第1コンベア3に載置する。   FIG. 7A is a diagram corresponding to the tray installation step of step S2. As shown in FIG. 7A, the operator arranges and installs the electronic components 10 on the tray 9. The electronic component 10 has the comparison determination data 74 registered in the comparison information input step in step S1, and is scheduled to perform an electrical inspection from now on. Next, the operator places the tray 9 on which the electronic component 10 is installed on the first conveyor 3.
図7(b)及び図7(c)はステップS3のマーク撮像工程に対応する図である。図7(b)に示すように、ステップS3においてステージ制御部76がコンベア駆動装置61に第1コンベア3を駆動させる。そして、ステージ制御部76は電子部品10を第1方向3cに移動させる。さらに、ステージ制御部76がステージ駆動装置60にトレイ移動ステージ14を駆動させる。そして、ステージ制御部76は撮像装置17を第2方向14aに移動させる。これにより、ステージ制御部76は撮像装置17と検査する対象の電子部品10とを対向する場所に移動させることができる。次に、撮像装置17は同軸落射照明装置に光を射出させて電子部品10を照らし、オートフォーカス装置を駆動して電子部品10に焦点を合わせる。そして、電子部品10を撮影する。   FIGS. 7B and 7C are diagrams corresponding to the mark imaging process in step S3. As shown in FIG. 7B, the stage controller 76 causes the conveyor driving device 61 to drive the first conveyor 3 in step S3. Then, the stage control unit 76 moves the electronic component 10 in the first direction 3c. Further, the stage controller 76 causes the stage driving device 60 to drive the tray moving stage 14. Then, the stage control unit 76 moves the imaging device 17 in the second direction 14a. Thereby, the stage control part 76 can move the imaging device 17 and the electronic component 10 to be inspected to a place facing each other. Next, the imaging device 17 emits light to the coaxial incident illumination device to illuminate the electronic component 10, and drives the autofocus device to focus on the electronic component 10. Then, the electronic component 10 is photographed.
その結果、図7(c)に示すように、電子部品10を撮影した画像84が撮影される。画像84にはメーカー名10aに対応するメーカー名像84a、品種表示名10bに対応する品種表示名像84b、個体識別番号10cに対応する個体識別番号像84cが写像されている。そして、データ変換部78が画像を示すアナログの電気信号をデジタルデータに変換して画像データ73とする。データ変換部78は画像データ73をメモリー59に記憶させる。   As a result, as shown in FIG. 7C, an image 84 obtained by photographing the electronic component 10 is photographed. In the image 84, a manufacturer name image 84a corresponding to the manufacturer name 10a, a kind display name image 84b corresponding to the kind display name 10b, and an individual identification number image 84c corresponding to the individual identification number 10c are mapped. Then, the data conversion unit 78 converts an analog electric signal indicating an image into digital data to obtain image data 73. The data converter 78 stores the image data 73 in the memory 59.
ステップS4の識別情報演算工程では、まず、個体識別番号演算部79が画像84から個体識別番号像84cを抽出する。個体識別番号像84cの位置は予め設定されているので、所定のマスク画像と画像84とを合わせることにより個体識別番号像84cを抽出することができる。次に、個体識別番号演算部79は個体識別番号像84cの連続する線分を手がかりにして個体識別番号像84cを個別の文字の像に分離する。続いて、文字の像が数字の”1”〜”9”とアルファベットの”A”〜”Z”のどの文字に近いかを判定する。このとき、文字の像に含まれる縦線の数、横線の数、斜め線の数、曲線の数、交点の数等の特徴量を算出する。予め、メモリー59には各文字及び数字の特徴量が記憶されている。そして、文字の像の特徴量と既知の文字の特徴量とを比較して判定する。このようにして個体識別番号演算部79は個体識別番号像84cから個体識別データ75を算出してメモリー59に記憶する。尚、個体識別番号像84cから個体識別データ75を算出する方法はこの方法に限らず、公知の方法を用いることができる。   In the identification information calculation step of step S4, first, the individual identification number calculation unit 79 extracts the individual identification number image 84c from the image 84. Since the position of the individual identification number image 84c is set in advance, the individual identification number image 84c can be extracted by combining a predetermined mask image and the image 84. Next, the individual identification number calculation unit 79 separates the individual identification number image 84c into individual character images using the continuous line segment of the individual identification number image 84c as a clue. Subsequently, it is determined which character of the character image is close to the numbers “1” to “9” and alphabets “A” to “Z”. At this time, feature quantities such as the number of vertical lines, the number of horizontal lines, the number of diagonal lines, the number of curves, and the number of intersections included in the character image are calculated. In advance, the memory 59 stores feature values of characters and numbers. Then, the feature amount of the character image and the feature amount of the known character are compared and determined. In this way, the individual identification number calculation unit 79 calculates the individual identification data 75 from the individual identification number image 84 c and stores it in the memory 59. The method for calculating the individual identification data 75 from the individual identification number image 84c is not limited to this method, and a known method can be used.
ステップS5の個体識別判定工程では、ステップS4にて算出した個体識別データ75が比較判定データ74の一覧表の中にあるか否かを検索する。個体識別データ75が比較判定データ74の中にあるとき、正常状態であると判断する。そして、ステップS6の確認終了判定工程に移行する。ステップS6では、トレイ9に設置された電子部品10を総て確認したかを判断する。そして、トレイ9に設置された電子部品10を総て確認するまでステップS3〜ステップS5を繰り返す。ステップS6にてトレイ9に設置された電子部品10を総て確認したとき、ステップS7に移行する。   In the individual identification determination step in step S5, it is searched whether or not the individual identification data 75 calculated in step S4 is in the list of comparison determination data 74. When the individual identification data 75 is in the comparison determination data 74, it is determined that the state is normal. And it transfers to the confirmation end determination process of step S6. In step S6, it is determined whether all the electronic components 10 installed on the tray 9 have been confirmed. And step S3-step S5 are repeated until all the electronic components 10 installed in the tray 9 are confirmed. When all the electronic components 10 installed on the tray 9 are confirmed in step S6, the process proceeds to step S7.
ステップS5において個体識別データ75が比較判定データ74の中にないとき、検査予定にない電子部品10が混入した異常状態であると判断しステップS10に移行する。ステップS10の異常報知工程では、予定外の電子部品10が混入したことを情報表示装置48及び情報表示装置51aに表示する。さらに、警告灯52を点滅して操作者に異常状態であることを知らせる。さらに、情報出力制御部82から外部機器と交信して異常状態であることを知らせても良い。いずれの場合においても操作者は電子部品10を入れ替える作業を行って、予定された電子部品10がトレイ9に設置された正常状態に修正することができる。   When the individual identification data 75 is not in the comparison determination data 74 in step S5, it is determined that the electronic component 10 that is not scheduled to be inspected is in an abnormal state, and the process proceeds to step S10. In the abnormality notifying step of step S10, the information display device 48 and the information display device 51a display that the unscheduled electronic component 10 has been mixed. Further, the warning lamp 52 blinks to notify the operator that there is an abnormal state. Further, the information output control unit 82 may communicate with an external device to notify that it is in an abnormal state. In any case, the operator can change the electronic component 10 to the normal state in which the scheduled electronic component 10 is installed on the tray 9 by replacing the electronic component 10.
図7(d)〜図8(b)はステップS7の検査工程に対応する図である。図7(d)に示すようにステップS7においてステージ制御部76はコンベア駆動装置61に第1コンベア3を駆動させてトレイ9を部品除給材部20に接近させる。次に、ステージ制御部76はステージ駆動装置60に第1シャトルステージ36を移動させる。そして、給材用凹部37aを給材部品把持部28の移動範囲内に移動させる。   FIGS. 7D to 8B are diagrams corresponding to the inspection process in step S7. As shown in FIG. 7D, in step S <b> 7, the stage control unit 76 causes the conveyor driving device 61 to drive the first conveyor 3 to bring the tray 9 close to the component supply material unit 20. Next, the stage controller 76 moves the first shuttle stage 36 to the stage driving device 60. Then, the material supply recess 37 a is moved within the movement range of the material supply component gripping portion 28.
続いて、ステージ制御部76及び把持制御部77はステージ駆動装置60及び把持部駆動装置62に部品給材部29を駆動させて、トレイ9上の4個の電子部品10を給材用凹部37aに移動させる。次に、図8(a)に示すようにステージ制御部76はステージ駆動装置60に第1シャトルステージ36を移動させて、給材用凹部37aを検査用ソケット34の横に移動させる。   Subsequently, the stage control unit 76 and the grip control unit 77 cause the stage driving device 60 and the grip unit driving device 62 to drive the component supply unit 29, and the four electronic components 10 on the tray 9 are supplied to the supply recess 37a. Move to. Next, as shown in FIG. 8A, the stage control unit 76 moves the first shuttle stage 36 to the stage driving device 60 and moves the material supply recess 37 a to the side of the inspection socket 34.
続いて、ステージ制御部76及び把持制御部77はステージ駆動装置60及び把持部駆動装置62に部品押圧装置43を駆動させる。そして、把持制御部77は検査部品把持部47に電子部品10を把持させる。次に、ステージ制御部76は測定Xステージ46及び測定Zステージ71を移動させて、電子部品10を給材用凹部37aから検査用ソケット34に移動させる。   Subsequently, the stage control unit 76 and the grip control unit 77 cause the stage pressing device 60 and the grip unit driving device 62 to drive the component pressing device 43. Then, the grip control unit 77 causes the inspection component grip unit 47 to grip the electronic component 10. Next, the stage control unit 76 moves the measurement X stage 46 and the measurement Z stage 71 to move the electronic component 10 from the supply recess 37 a to the inspection socket 34.
続いて、ステージ制御部76は部品押圧装置43に電子部品10を検査用ソケット34に押圧させる。これにより、検査用ソケット34のプローブが電子部品10の端子と導通する。次に、電特検査装置50が電子部品10と交信して電子部品10の電気特性を検査する。   Subsequently, the stage control unit 76 causes the component pressing device 43 to press the electronic component 10 against the inspection socket 34. Thereby, the probe of the inspection socket 34 is electrically connected to the terminal of the electronic component 10. Next, the electrical inspection device 50 communicates with the electronic component 10 to inspect the electrical characteristics of the electronic component 10.
電特検査装置50が電子部品10の電気特性を検査している間に、ステージ制御部76は第1シャトルステージ36を移動させて除材用凹部37bを検査用ソケット34の横に移動させる。続いて、ステージ制御部76は第2シャトルステージ41を移動させる。そして、給材用凹部42aを給材部品把持部28の移動範囲内に移動させる。次に、ステージ制御部76及び把持制御部77はステージ駆動装置60及び把持部駆動装置62に部品給材部29を駆動させて、トレイ9上の4個の電子部品10を第2シャトルステージ41の給材用凹部42aに移動させる。次に、ステージ制御部76はステージ駆動装置60に第2シャトルステージ41を移動させて、給材用凹部42aを検査用ソケット34の横に移動させる。そして、電子部品10の検査が終了するまで搬送部1bは待機する。   While the electrical inspection apparatus 50 inspects the electrical characteristics of the electronic component 10, the stage control unit 76 moves the first shuttle stage 36 to move the material removal recess 37 b to the side of the inspection socket 34. Subsequently, the stage control unit 76 moves the second shuttle stage 41. Then, the material supply recess 42 a is moved within the movement range of the material supply component gripping portion 28. Next, the stage control unit 76 and the grip control unit 77 cause the stage driving device 60 and the grip unit driving device 62 to drive the component supply unit 29 so that the four electronic components 10 on the tray 9 are moved to the second shuttle stage 41. The material is moved to the material recess 42a. Next, the stage control unit 76 moves the second shuttle stage 41 to the stage driving device 60 to move the material supply recess 42 a to the side of the inspection socket 34. And the conveyance part 1b waits until the test | inspection of the electronic component 10 is complete | finished.
電子部品10の検査が終了した後、ステージ制御部76はステージ駆動装置60に測定Xステージ46及び測定Zステージ71を移動させて、電子部品10を検査用ソケット34から第1シャトルステージ36の除材用凹部37bに移動させる。   After the inspection of the electronic component 10 is completed, the stage control unit 76 moves the measurement X stage 46 and the measurement Z stage 71 to the stage driving device 60 to remove the electronic component 10 from the inspection socket 34 and remove the first shuttle stage 36. Move to the material recess 37b.
続いて、ステージ制御部76及び把持制御部77はステージ駆動装置60及び把持部駆動装置62に部品押圧装置43を駆動させる。そして、把持制御部77は検査部品把持部47に給材用凹部42aに位置する電子部品10を把持させる。次に、ステージ制御部76はステージ駆動装置60に測定Xステージ46及び測定Zステージ71を移動させて、電子部品10を給材用凹部42aから検査用ソケット34に移動させる。   Subsequently, the stage control unit 76 and the grip control unit 77 cause the stage pressing device 60 and the grip unit driving device 62 to drive the component pressing device 43. Then, the grip control unit 77 causes the inspection component grip unit 47 to grip the electronic component 10 located in the material supply recess 42a. Next, the stage control unit 76 moves the measurement X stage 46 and the measurement Z stage 71 to the stage driving device 60 to move the electronic component 10 from the material supply recess 42 a to the inspection socket 34.
続いて、ステージ制御部76は検査部品把持部47に電子部品10を検査用ソケット34に押圧させる。このとき、検査用ソケット34のプローブと電子部品10の端子とが導通する。次に、電特検査装置50が電子部品10と交信して電子部品10の電気特性を検査する。   Subsequently, the stage control unit 76 causes the inspection component gripping unit 47 to press the electronic component 10 against the inspection socket 34. At this time, the probe of the inspection socket 34 and the terminal of the electronic component 10 are electrically connected. Next, the electrical inspection device 50 communicates with the electronic component 10 to inspect the electrical characteristics of the electronic component 10.
電特検査装置50が電子部品10の電気特性を検査している間に、ステージ制御部76はステージ駆動装置60に第2シャトルステージ41を移動させる。そして、ステージ駆動装置60は除材用凹部42bを検査用ソケット34の横に移動させる。次に、ステージ制御部76はステージ駆動装置60に第1シャトルステージ36を移動させる。そして、ステージ駆動装置60は除材用凹部37bを除材部品把持部32の移動範囲内に移動させる。続いて、ステージ制御部76及び把持制御部77は除材部品把持部32に電子部品10を把持させる。   While the electrical inspection apparatus 50 is inspecting the electrical characteristics of the electronic component 10, the stage control unit 76 moves the second shuttle stage 41 to the stage driving apparatus 60. Then, the stage driving device 60 moves the material removal recess 42b to the side of the inspection socket 34. Next, the stage controller 76 moves the first shuttle stage 36 to the stage driving device 60. Then, the stage driving device 60 moves the material removal recess 37 b within the movement range of the material removal component gripping portion 32. Subsequently, the stage control unit 76 and the grip control unit 77 cause the material removal component gripping unit 32 to grip the electronic component 10.
電特検査の結果、検査した電子部品10が良品のときステージ制御部76は部品除材部33に電子部品10を第5コンベア7または第6コンベア8上のトレイ9に載置させる。電特検査の結果、電子部品10が不良品のときステージ制御部76は部品除材部33に電子部品10を第4コンベア6上のトレイ9に載置させる。   As a result of the electrical inspection, when the inspected electronic component 10 is a non-defective product, the stage control unit 76 places the electronic component 10 on the tray 9 on the fifth conveyor 7 or the sixth conveyor 8 in the component removal unit 33. As a result of the electrical inspection, when the electronic component 10 is defective, the stage control unit 76 places the electronic component 10 on the tray 9 on the fourth conveyor 6 in the component removal unit 33.
次に、ステージ制御部76はステージ駆動装置60に第1シャトルステージ36を駆動させて給材用凹部37aを給材部品把持部28の移動範囲内に移動させる。このように、部品給材部29、第1シャトルステージ36、第2シャトルステージ41、部品押圧装置43が第1コンベア3上のトレイ9から電子部品10を検査用ソケット34に移動する。そして、検査用ソケット34及び電特検査装置50が電子部品10の電気特性を検査する。次に、部品押圧装置43が検査用ソケット34から電子部品10を第1シャトルステージ36または第2シャトルステージ41に移動する。   Next, the stage control unit 76 causes the stage driving device 60 to drive the first shuttle stage 36 to move the feed material concave portion 37 a within the movement range of the feed material gripping unit 28. In this way, the component supply unit 29, the first shuttle stage 36, the second shuttle stage 41, and the component pressing device 43 move the electronic component 10 from the tray 9 on the first conveyor 3 to the inspection socket 34. Then, the inspection socket 34 and the electric special inspection device 50 inspect the electrical characteristics of the electronic component 10. Next, the component pressing device 43 moves the electronic component 10 from the inspection socket 34 to the first shuttle stage 36 or the second shuttle stage 41.
図8(b)に示すように、次に、部品除材部33が第1シャトルステージ36または第2シャトルステージ41から電子部品10を第4コンベア6〜第6コンベア8上のトレイ9に移動する。この動作を順次繰り返して電子部品10の電特検査を行う。尚、各電子部品10の電特検査の判定結果はメモリー59に記憶され、情報表示装置48及び情報表示装置51aに表示される。また、電特検査の判定結果はメモリー59から情報出力装置65により外部機器に出力することが可能になっている。   Next, as shown in FIG. 8 (b), the component removal member 33 moves the electronic component 10 from the first shuttle stage 36 or the second shuttle stage 41 to the tray 9 on the fourth conveyor 6 to the sixth conveyor 8. To do. This operation is sequentially repeated to perform electrical inspection of the electronic component 10. Note that the determination result of the electrical inspection of each electronic component 10 is stored in the memory 59 and displayed on the information display device 48 and the information display device 51a. In addition, the determination result of the electrical inspection can be output from the memory 59 to an external device by the information output device 65.
図8(c)はステップS8の空トレイ移動工程に対応する図である。図8(c)に示すようにステップS8では、ステージ制御部76がステージ駆動装置60にトレイ移動ステージ14を移動させて、コンベア駆動装置61に第1コンベア3を駆動させる。そして、電子部品10が移動されて空になったトレイ9とトレイ把持部16とが対向するようにステージ制御部76はトレイ9とトレイ把持部16とを移動させる。   FIG. 8C is a diagram corresponding to the empty tray moving step in step S8. As shown in FIG. 8C, in step S <b> 8, the stage control unit 76 moves the tray moving stage 14 to the stage driving device 60 and drives the first conveyor 3 by the conveyor driving device 61. Then, the stage controller 76 moves the tray 9 and the tray gripping portion 16 so that the tray 9 and the tray gripping portion 16 that are emptied due to the movement of the electronic component 10 face each other.
次に、ステージ制御部76はトレイ把持部16に設置されたトレイ昇降ステージ68をステージ駆動装置60に駆動させてトレイ把持部16を下降させる。続いて、ステージ制御部76は把持部駆動装置62に指令信号を出力してトレイ把持部16にトレイ9を把持させる。次に、ステージ制御部76はステージ駆動装置60及び把持部駆動装置62に指令信号を出力してトレイ9を第2コンベア4上または第3コンベア5上に移動させる。   Next, the stage control unit 76 drives the tray lifting / lowering stage 68 installed in the tray holding unit 16 to the stage driving device 60 to lower the tray holding unit 16. Subsequently, the stage control unit 76 outputs a command signal to the grip unit driving device 62 to cause the tray grip unit 16 to grip the tray 9. Next, the stage control unit 76 outputs a command signal to the stage driving device 60 and the gripping unit driving device 62 to move the tray 9 onto the second conveyor 4 or the third conveyor 5.
第4コンベア6〜第6コンベア8上のトレイ9に電子部品10を載置する場所がなく、トレイ9を設置する場所があるとき、ステージ制御部76はステージ駆動装置60、コンベア駆動装置61、把持部駆動装置62に指令信号を出力する。そして、ステージ制御部76は第2コンベア4及び第3コンベア5から第4コンベア6〜第6コンベア8上にトレイ9を移動させる。   When there is no place to place the electronic component 10 on the tray 9 on the fourth conveyor 6 to the sixth conveyor 8 and there is a place to install the tray 9, the stage controller 76 includes the stage driving device 60, the conveyor driving device 61, A command signal is output to the gripper drive device 62. Then, the stage controller 76 moves the tray 9 from the second conveyor 4 and the third conveyor 5 onto the fourth conveyor 6 to the sixth conveyor 8.
図8(d)はステップS9のトレイ除去工程に対応する図である。図8(d)に示すように、ステップS9において、ステージ制御部76はコンベア駆動装置61に指令信号を出力する。そして、ステージ制御部76はコンベア駆動装置61に第4コンベア6〜第6コンベア8を駆動させて、電子部品10が載置されたトレイ9をカバー53の外側に移動する。続いて、操作者は電子部品10が載置されたトレイ9を部品検査装置1から除去し次工程の作業場所へ搬送する。以上の工程により電子部品10を検査する工程を終了する。   FIG. 8D is a diagram corresponding to the tray removing process in step S9. As shown in FIG. 8D, the stage control unit 76 outputs a command signal to the conveyor driving device 61 in step S9. Then, the stage control unit 76 causes the conveyor driving device 61 to drive the fourth conveyor 6 to the sixth conveyor 8, and moves the tray 9 on which the electronic component 10 is placed to the outside of the cover 53. Subsequently, the operator removes the tray 9 on which the electronic component 10 is placed from the component inspection apparatus 1 and transports it to the work place of the next process. The process of inspecting the electronic component 10 is completed by the above process.
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
(1)本実施形態によれば、トレイ9に電子部品10が載置され、そのトレイ9が部品検査装置1に設置される。電子部品10には個体識別番号10cが設置され、撮像装置17が個体識別番号10cを撮影する。そして、個体識別番号演算部79が撮影した個体識別番号10cから電子部品10の個体識別データ75を演算する。従って、部品検査装置1は電子部品10の個体識別データ75を認識することができる。
As described above, this embodiment has the following effects.
(1) According to the present embodiment, the electronic component 10 is placed on the tray 9, and the tray 9 is installed in the component inspection apparatus 1. The electronic component 10 is provided with an individual identification number 10c, and the imaging device 17 photographs the individual identification number 10c. Then, the individual identification number 75 of the electronic component 10 is calculated from the individual identification number 10 c photographed by the individual identification number calculation unit 79. Therefore, the component inspection apparatus 1 can recognize the individual identification data 75 of the electronic component 10.
(2)本実施形態によれば、部品検査装置1は第1コンベア3及びトレイ搬送部11を備えている。第1コンベア3がトレイ9を第1方向3cに移動する。トレイ搬送部11は第1方向3cと交差する第2方向14aに撮像装置17を移動する。従って、第1コンベア3とトレイ搬送部11とを駆動することにより部品検査装置1はトレイ9と撮像装置17とを2次元方向において相対移動させることができる。従って、トレイ9に電子部品10がマトリックス状に複数列載置されているときにも部品検査装置1は各電子部品10の個体識別データ75を認識することができる。   (2) According to the present embodiment, the component inspection apparatus 1 includes the first conveyor 3 and the tray transport unit 11. The first conveyor 3 moves the tray 9 in the first direction 3c. The tray transport unit 11 moves the imaging device 17 in a second direction 14a that intersects the first direction 3c. Accordingly, by driving the first conveyor 3 and the tray transport unit 11, the component inspection apparatus 1 can relatively move the tray 9 and the imaging device 17 in the two-dimensional direction. Accordingly, the component inspection apparatus 1 can recognize the individual identification data 75 of each electronic component 10 even when a plurality of rows of electronic components 10 are placed in a matrix on the tray 9.
特許文献1のようなICハンドラーでは、トレイ移送部は一方向のみの移動であるので、たとえ、トレイ移送部に検出手段を設けることができる場合であっても、IC全数を識別することはできなかった。部品検査装置1はトレイ9と撮像装置17とを2次元方向において相対移動させることができる為、トレイに設置されたIC全数を識別することができる。   In the IC handler as in Patent Document 1, since the tray transfer unit moves only in one direction, even if the detection unit can be provided in the tray transfer unit, the total number of ICs can be identified. There wasn't. Since the component inspection apparatus 1 can relatively move the tray 9 and the imaging device 17 in the two-dimensional direction, the total number of ICs installed on the tray can be identified.
(3)本実施形態によれば、部品検査装置1は部品給材部29及びトレイ搬送部11を備えている。部品給材部29は電子部品10をトレイ9から順次移動する。これにより、トレイ9は電子部品10が載置されていない状態となる。トレイ搬送部11は第2方向14aにトレイ9を移動する。これにより、トレイ9を第1コンベア3から除くことができる。そして、空のトレイ9を移動する部位と撮像装置17を移動する部位とは共通の移動機構を有するトレイ移動ステージ14となっている。従って、空のトレイ9を移動するための移動機構と撮像装置17を移動するための移動機構との2つの移動機構を設置するときに比べて簡易な構造にすることができる。   (3) According to this embodiment, the component inspection apparatus 1 includes the component supply unit 29 and the tray transport unit 11. The component supply unit 29 sequentially moves the electronic components 10 from the tray 9. Thereby, the tray 9 is in a state where the electronic component 10 is not placed. The tray transport unit 11 moves the tray 9 in the second direction 14a. Thereby, the tray 9 can be removed from the first conveyor 3. The part that moves the empty tray 9 and the part that moves the imaging device 17 form a tray moving stage 14 having a common moving mechanism. Therefore, a simple structure can be achieved as compared with the case where two moving mechanisms, ie, a moving mechanism for moving the empty tray 9 and a moving mechanism for moving the imaging device 17 are installed.
(4)本実施形態によれば、情報表示装置48、情報表示装置51a及び情報出力装置65が個体識別データ75を出力する。従って、電子部品10の個体識別データ75を活用することができる。   (4) According to this embodiment, the information display device 48, the information display device 51a, and the information output device 65 output the individual identification data 75. Therefore, the individual identification data 75 of the electronic component 10 can be used.
(5)本実施形態によれば、情報表示装置48及び情報表示装置51aが個体識別データ75を表示する。従って、操作者が電子部品10の個体識別データ75を確認して個体識別データ75に応じた対応をすることができる。   (5) According to the present embodiment, the information display device 48 and the information display device 51 a display the individual identification data 75. Therefore, the operator can confirm the individual identification data 75 of the electronic component 10 and take a countermeasure according to the individual identification data 75.
(6)本実施形態によれば、情報出力装置65が個体識別データ75を外部機器に出力する。従って、外部機器が電子部品10の個体識別データ75を確認して個体識別データ75に応じた対応をすることができる。   (6) According to this embodiment, the information output device 65 outputs the individual identification data 75 to an external device. Accordingly, the external device can check the individual identification data 75 of the electronic component 10 and take a countermeasure corresponding to the individual identification data 75.
(7)本実施形態によれば、トレイ搬送部11に撮像装置17が設置されている。撮像装置17はトレイ搬送部11の他に部品給材部29に設置することができる。部品給材部29は電子部品10を移動する部位である。電子部品10の個数はトレイ9の個数より多いので、トレイ9を早く移動することにより早く電子部品10を移動することが生産性の向上に寄与する。   (7) According to the present embodiment, the imaging device 17 is installed in the tray transport unit 11. The imaging device 17 can be installed in the component supply unit 29 in addition to the tray transport unit 11. The component supply unit 29 is a part that moves the electronic component 10. Since the number of electronic components 10 is larger than the number of trays 9, moving the electronic components 10 quickly by moving the trays 9 contributes to improvement in productivity.
そして、部品給材部29の給材Xステージ27に撮像装置17に設置するとき給材Xステージ27が重くなるため移動速度が低下する。従ってこの構造では部品給材部29が電子部品10を移動するのに時間が長くかかる。この構造に比べて本実施形態ではトレイ搬送部11に撮像装置17が設置されているため、生産性良く電子部品10を移動させることができる。   And since the material X stage 27 becomes heavy when installing in the imaging device 17 in the material X stage 27 of the components material supply part 29, a moving speed falls. Therefore, in this structure, it takes a long time for the component supply unit 29 to move the electronic component 10. Compared with this structure, in this embodiment, since the imaging device 17 is installed in the tray transport unit 11, the electronic component 10 can be moved with high productivity.
(第2の実施形態)
次に、個体識別番号が表示された電子部品及び部品検査装置の一実施形態について図9を用いて説明する。図9(a)は電子部品を説明するための模式平面図であり、図9(b)は部品検査装置の構造を示す模式側面図である。本実施形態が第1の実施形態と異なるところは、品種表示名10bや個体識別番号10cの表示にバーコードが用いられている点にある。尚、第1の実施形態と同じ点については説明を省略する。
(Second Embodiment)
Next, an embodiment of an electronic component on which an individual identification number is displayed and a component inspection apparatus will be described with reference to FIG. FIG. 9A is a schematic plan view for explaining the electronic component, and FIG. 9B is a schematic side view showing the structure of the component inspection apparatus. This embodiment is different from the first embodiment in that a barcode is used to display the product type display name 10b and the individual identification number 10c. Note that description of the same points as in the first embodiment is omitted.
すなわち、本実施形態では図9(a)に示したように、電子部品85にはメーカー名85a、品種表示名85b、個体識別番号85cを示す文字列が印刷されている。さらに、電子部品85には品種表示名85bをバーコードで表示した品種バーコード85dと個体識別番号85cをバーコードで表示した識別情報としての個体識別バーコード85eが印刷されている。尚、文字やバーコードの内容や配置等の属性は特に限定されず、電子部品85毎に設定されている。   That is, in this embodiment, as shown in FIG. 9A, the electronic component 85 is printed with a character string indicating a manufacturer name 85a, a product type display name 85b, and an individual identification number 85c. Further, the electronic component 85 is printed with a product type barcode 85d in which the product type display name 85b is displayed as a barcode, and an individual identification barcode 85e as identification information in which the individual identification number 85c is displayed in a barcode. The attributes such as the contents and arrangement of characters and barcodes are not particularly limited, and are set for each electronic component 85.
図9(b)に示したように、部品検査装置86にはトレイ移動ステージ14にバーコードリーダー87が設置されている。バーコードリーダー87は品種バーコード85d及び個体識別バーコード85eに光線87aを射出して走査する。そして、バーコードリーダー87は反射光を受光し、反射光の光強度信号をバーコードが示す文字情報に変換する。この文字情報が個体識別データ75である。CPU58はバーコードリーダー87から文字情報を入力してメモリー59に記憶する。   As shown in FIG. 9B, the component inspection device 86 is provided with a barcode reader 87 on the tray moving stage 14. The barcode reader 87 emits a light beam 87a to scan the product type barcode 85d and the individual identification barcode 85e. The barcode reader 87 receives the reflected light and converts the light intensity signal of the reflected light into character information indicated by the barcode. This character information is the individual identification data 75. The CPU 58 inputs character information from the barcode reader 87 and stores it in the memory 59.
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
(1)本実施形態によれば、部品検査装置86はバーコードリーダー87を有する。従って、電子部品85の識別情報がバーコードを含んでいるときにも容易に識別情報から個体識別データ75を認識することができる。
As described above, this embodiment has the following effects.
(1) According to this embodiment, the component inspection device 86 has the barcode reader 87. Therefore, the individual identification data 75 can be easily recognized from the identification information even when the identification information of the electronic component 85 includes a barcode.
(2)本実施形態によれば、部品検査装置86はバーコードリーダー87を備えている。バーコードリーダー87は撮像装置17と個体識別番号演算部79とで文字情報を認識するときに比べて簡便な装置となっている。従って、生産性良く部品検査装置86を製造することができる。   (2) According to this embodiment, the component inspection device 86 includes the barcode reader 87. The barcode reader 87 is a simpler device than when the imaging device 17 and the individual identification number calculation unit 79 recognize character information. Therefore, the parts inspection device 86 can be manufactured with high productivity.
尚、本実施形態は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で当分野において通常の知識を有する者により種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
(変形例1)
前記第2の実施形態では、電子部品85に1次元の個体識別バーコード85eが印刷されていた。バーコードは1次元に限らず、2次元のバーコードにしても良い。図10は電子部品を説明するための模式平面図である。図10に示すように電子部品88にはメーカー名88a、品種表示名88b、個体識別番号88cを示す文字列が印刷されている。さらに、電子部品88には品種表示名88bを2次元バーコードで表示した品種バーコード88dと個体識別番号88cを2次元バーコードで表示した識別情報としての個体識別バーコード88eが印刷されている。
Note that the present embodiment is not limited to the above-described embodiment, and various changes and improvements can be added by those having ordinary knowledge in the art within the technical idea of the present invention. A modification will be described below.
(Modification 1)
In the second embodiment, the one-dimensional individual identification bar code 85e is printed on the electronic component 85. The bar code is not limited to one dimension, but may be a two dimensional bar code. FIG. 10 is a schematic plan view for explaining the electronic component. As shown in FIG. 10, the electronic component 88 is printed with a character string indicating a manufacturer name 88a, a product type display name 88b, and an individual identification number 88c. Further, the electronic component 88 is printed with a product type barcode 88d in which a product type display name 88b is displayed in a two-dimensional barcode and an individual identification barcode 88e as identification information in which an individual identification number 88c is displayed in a two-dimensional barcode. .
そして、バーコードリーダー87は2次元のバーコードを文字データに変換する装置になっている。バーコードを1次元から2次元にすることにより、表示可能な文字数を増やすことができる。従って、電子部品88に表示する情報量を多くすることができる。   The barcode reader 87 is a device that converts a two-dimensional barcode into character data. By changing the barcode from one dimension to two dimensions, the number of characters that can be displayed can be increased. Therefore, the amount of information displayed on the electronic component 88 can be increased.
(変形例2)
前記第1の実施形態では、第1コンベア3〜第6コンベア8がトレイ9を移動した。コンベアに限らず直動機構を備えたステージがトレイ9を移動してもよい。ステージは位置精度良くトレイ9を移動することができる。他にも搬送車がトレイ9を移動してもよい。自由度の高い搬送路を設定することができる。
(Modification 2)
In the first embodiment, the first conveyor 3 to the sixth conveyor 8 moved the tray 9. Not only the conveyor but also a stage provided with a linear motion mechanism may move the tray 9. The stage can move the tray 9 with high positional accuracy. In addition, the conveyance vehicle may move the tray 9. A conveyance path with a high degree of freedom can be set.
(変形例3)
前記第1の実施形態では、撮像装置17は内部にCCD撮像素子が組み込まれていた。画像を電気信号に変換する装置はCCD撮像素子に限定されない。撮像管やCMOS(相補性金属酸化膜半導体)イメージセンサーを用いることができる。他にも赤外線イメージセンサーを用いることができる。撮影する環境や電子部品10の印刷状況に合わせて選択しても良い。
(Modification 3)
In the first embodiment, the imaging device 17 incorporates a CCD imaging device. An apparatus for converting an image into an electrical signal is not limited to a CCD image sensor. An imaging tube or a CMOS (complementary metal oxide semiconductor) image sensor can be used. In addition, an infrared image sensor can be used. You may select according to the imaging | photography environment and the printing condition of the electronic component 10. FIG.
(変形例4)
前記第1の実施形態では、トレイ搬送部11が撮像装置17を移動させた。これに限らず、撮像装置17を第2方向14aに移動する撮像装置移動部を設置してもよい。そして、撮像装置移動部が撮像装置17を移動し、トレイ搬送部11がトレイ把持部16を移動するようにする。これにより、撮像装置17が電子部品10を撮影する工程とトレイ搬送部11が空のトレイ9を移動する工程とを同時に行うことができる。従って、生産性良く工程を進めることができる。
(Modification 4)
In the first embodiment, the tray transport unit 11 moves the imaging device 17. Not only this but the imaging device moving part which moves the imaging device 17 to the 2nd direction 14a may be installed. Then, the imaging device moving unit moves the imaging device 17 and the tray transport unit 11 moves the tray gripping unit 16. Thereby, the process of imaging the electronic component 10 by the imaging device 17 and the process of moving the empty tray 9 by the tray transport unit 11 can be performed simultaneously. Therefore, the process can be performed with high productivity.
(変形例5)
前記第1の実施形態では、第2方向14aは第1方向3cと直交する方向となっていた。第1方向3cと第2方向14aとは必ずしも直交しなくてもよい。第1方向3cと第2方向14aとは交差する方向でもよい。この場合にも、撮像装置17は複数列の電子部品10を撮影することができる。そして、設計の自由度を高めることができる。
(Modification 5)
In the first embodiment, the second direction 14a is a direction orthogonal to the first direction 3c. The first direction 3c and the second direction 14a are not necessarily orthogonal. The first direction 3c and the second direction 14a may cross each other. Also in this case, the imaging device 17 can image a plurality of rows of electronic components 10. And the freedom degree of design can be raised.
(変形例6)
前記第1の実施形態では、ステップS3のマーク撮像工程〜ステップS6の確認終了判定工程を行ってからステップS7の検査工程に移行した。これに限らず、ステップS3のマーク撮像工程〜ステップS6の確認終了判定工程とステップS7の検査工程とを並行して行ってもよい。つまり、ステップS5の個体識別判定工程で個体識別データ75が比較判定データ74の一覧表に存在するときには個体識別番号10cを検査した電子部品10を順次ステップS7の検査工程を行っても良い。個体識別データ75の確認と電特検査とが並行して行われるので、生産性良く検査を行うことができる。
(Modification 6)
In the first embodiment, after the mark imaging process in step S3 to the confirmation end determination process in step S6, the process proceeds to the inspection process in step S7. Not limited to this, the mark imaging process in step S3 to the confirmation end determination process in step S6 and the inspection process in step S7 may be performed in parallel. That is, when the individual identification data 75 is present in the list of the comparison determination data 74 in the individual identification determination process in step S5, the electronic component 10 inspected for the individual identification number 10c may be sequentially subjected to the inspection process in step S7. Since the confirmation of the individual identification data 75 and the electrical inspection are performed in parallel, the inspection can be performed with high productivity.
1b…部品搬送装置としての搬送部、1,86…部品検査装置、3…第1移動部としての第1コンベア、3c…第1方向、9…容器としてのトレイ、10…電子部品、10c…識別情報としての個体識別番号、11…第2移動部としてのトレイ搬送部、14…移動機構としてのトレイ移動ステージ、14a…第2方向、17…識別情報検出部及び画像撮像部としての撮像装置、20…搬送機構としての部品除給材部、29…搬送機構としての部品給材部、36…搬送機構としての第1シャトルステージ、41…搬送機構としての第2シャトルステージ、43…搬送機構としての部品押圧装置、51a…情報出力部、情報表示部及び警報出力部としての情報表示装置、51b…情報入力部としての情報入力装置、65…情報出力部及び出力インターフェイスとしての情報出力装置、74…比較情報としての比較判定データ、75…識別情報としての個体識別データ、78…データ変換部、79…個体識別部としての個体識別番号演算部、80…情報比較部としての個体識別番号判定部、85e,88e…識別情報としての個体識別バーコード、87…バーコードリーダー。   DESCRIPTION OF SYMBOLS 1b ... Conveyance part as a component conveyance apparatus, 1,86 ... Parts inspection apparatus, 3 ... 1st conveyor as a 1st moving part, 3c ... 1st direction, 9 ... Tray as a container, 10 ... Electronic component, 10c ... Individual identification number as identification information, 11... Tray transport section as second moving section, 14... Tray moving stage as moving mechanism, 14 a... Second direction, 17 .. imaging apparatus as identification information detecting section and image capturing section. , 20... Parts supply material section as a transport mechanism, 29... Parts supply section as a transport mechanism, 36... First shuttle stage as a transport mechanism, 41 .. second shuttle stage as a transport mechanism, 43. As a component pressing device, 51a: an information output unit, an information display unit as an information display unit and an alarm output unit, 51b: an information input unit as an information input unit, 65: an information output unit and an output in Information output device as an interface, 74 ... Comparison determination data as comparison information, 75 ... Individual identification data as identification information, 78 ... Data conversion unit, 79 ... Individual identification number calculation unit as individual identification unit, 80 ... Information comparison Individual identification number determination unit as a part, 85e, 88e... Individual identification barcode as identification information, 87.

Claims (8)

  1. 電子部品に表示された識別情報を検出する識別情報検出部と、
    前記識別情報を用いて前記電子部品の個体識別をする個体識別部と、
    第1方向及び前記第1方向と交差する第2方向に前記電子部品を複数載置するトレイを、前記第1方向に移動可能な複数の第1移動部と、
    前記識別情報検出部及び前記トレイを把持可能なトレイ把持部を配置し、前記第2方向に移動可能な第2移動部と、
    を備え、
    複数の前記第1移動部は、
    検査前の前記電子部品が載置される前記トレイを前記第1方向に移動可能な検査前電子部品トレイ移動部、
    検査後の前記電子部品が載置される前記トレイを前記第1方向に移動可能な検査後電子部品トレイ移動部及び
    前記検査前電子部品トレイ移動部と前記検査後電子部品トレイ移動部の間に配置され、前記検査前の前記電子部品が除材されて前記検査前の前記電子部品が載置されていない空トレイを前記第1方向に移動可能な空トレイ移動部を含み、
    前記トレイ把持部は、
    前記検査前電子部品トレイ移動部で前記電子部品が除材されて前記検査前の前記電子部品が載置されていない前記空トレイを、前記検査前電子部品トレイ移動部から前記空トレイ移動部に搬送可能で、
    かつ、前記空トレイを前記空トレイ移動部から前記検査後電子部品トレイ移動部まで移動可能であり、
    前記識別情報検出部は、
    前記検査前電子部品トレイ移動部に移動したときに、前記検査前電子部品トレイ移動部の前記第1方向の移動及び前記第2移動部の前記第2方向の移動により、前記第1方向及び前記第2方向にマトリックス状に載置された複数の前記検査前の前記電子部品の前記識別情報を検出可能である、
    ことを特徴とする電子部品搬送装置。
    An identification information detector for detecting identification information displayed on the electronic component;
    An individual identification unit for individual identification of the electronic component using the identification information;
    A plurality of first moving parts that are movable in the first direction with trays for placing a plurality of the electronic components in a first direction and a second direction intersecting the first direction;
    A second gripper that is arranged to dispose the identification information detector and the tray gripper capable of gripping the tray, and is movable in the second direction;
    With
    The plurality of first moving units are:
    A pre-inspection electronic component tray moving unit capable of moving the tray on which the electronic component before inspection is placed in the first direction;
    A post-inspection electronic component tray moving section capable of moving the tray on which the electronic component after inspection is placed in the first direction;
    An empty tray that is disposed between the pre-inspection electronic component tray moving unit and the post-inspection electronic component tray moving unit, in which the electronic components before the inspection are removed and the electronic components before the inspection are not placed Including an empty tray moving unit movable in the first direction,
    The tray gripping part is
    The electronic tray is removed from the electronic component tray moving unit before inspection and the empty tray on which the electronic component before inspection is not placed is transferred from the electronic component tray moving unit before inspection to the empty tray moving unit. Can be transported,
    And the empty tray can be moved from the empty tray moving unit to the post-inspection electronic component tray moving unit,
    The identification information detection unit
    When the pre-inspection electronic component tray moving unit moves to the pre-inspection electronic component tray moving unit, the pre-inspection electronic component tray moving unit moves in the first direction and the second moving unit moves in the second direction. It is possible to detect the identification information of the plurality of the electronic components before inspection placed in a matrix in the second direction.
    An electronic component conveying apparatus characterized by the above.
  2. 前記第1移動部は、ベルトコンベアで前記トレイを前記第1方向に移動可能なことを特徴とする電子部品搬送装置。   The electronic component conveying apparatus, wherein the first moving unit is capable of moving the tray in the first direction by a belt conveyor.
  3. 請求項1〜2のいずれか一項に記載の電子部品搬送装置であって、
    前記個体識別の結果を出力する情報出力部を有することを特徴とする電子部品搬送装置。
    It is an electronic component conveyance apparatus as described in any one of Claims 1-2,
    An electronic component transport apparatus comprising an information output unit that outputs the result of the individual identification.
  4. 請求項3に記載の電子部品搬送装置であって、
    前記情報出力部は前記個体識別の結果を表示する情報表示部を有することを特徴とする電子部品搬送装置。
    It is an electronic component conveyance apparatus of Claim 3, Comprising:
    The information output unit includes an information display unit that displays a result of the individual identification.
  5. 請求項3に記載の電子部品搬送装置であって、
    前記情報出力部は前記個体識別の結果を信号にして出力する出力インターフェイスを有することを特徴とする電子部品搬送装置。
    It is an electronic component conveyance apparatus of Claim 3, Comprising:
    The electronic component transport apparatus according to claim 1, wherein the information output unit includes an output interface that outputs the individual identification result as a signal.
  6. 請求項1〜5のいずれか一項に記載の電子部品搬送装置であって、
    前記識別情報はバーコードを含み、前記識別情報検出部は前記バーコードを読み取るバーコードリーダーを有することを特徴とする電子部品搬送装置。
    It is an electronic component conveyance device according to any one of claims 1 to 5,
    The electronic component transport apparatus according to claim 1, wherein the identification information includes a barcode, and the identification information detection unit includes a barcode reader that reads the barcode.
  7. 請求項1〜6のいずれか一項に記載の電子部品搬送装置であって、
    前記識別情報と比較する比較情報を入力する情報入力部と、
    前記比較情報と前記識別情報とが異なるときには警報情報を出力する警報出力部と、を有することを特徴とする電子部品搬送装置。
    It is an electronic component conveyance apparatus as described in any one of Claims 1-6,
    An information input unit for inputting comparison information to be compared with the identification information;
    An electronic component conveying apparatus comprising: an alarm output unit that outputs alarm information when the comparison information and the identification information are different.
  8. 電子部品に表示された識別情報を検出する識別情報検出部と、
    前記識別情報を用いて前記電子部品の個体識別をする個体識別部と、
    前記電子部品を検査する検査部と、
    第1方向及び前記第1方向と交差する第2方向に前記電子部品を複数載置するトレイを、前記第1方向に移動可能な複数の第1移動部と、
    前記識別情報検出部及び前記トレイを把持可能なトレイ把持部を配置し、前記第2方向に移動可能な第2移動部と、
    を備え、
    複数の前記第1移動部は、
    検査前の前記電子部品が載置される前記トレイを前記第1方向に移動可能な検査前電子部品トレイ移動部、
    検査後の前記電子部品が載置される前記トレイを前記第1方向に移動可能な検査後電子部品トレイ移動部及び
    前記検査前電子部品トレイ移動部と前記検査後電子部品トレイ移動部の間に配置され、前記検査前の前記電子部品が除材されて前記検査前の前記電子部品が載置されていない空トレイを前記第1方向に移動可能な空トレイ移動部を含み、
    前記トレイ把持部は、
    前記検査前電子部品トレイ移動部で前記電子部品が除材されて前記検査前の前記電子部品が載置されていない前記空トレイを、前記検査前電子部品トレイ移動部から前記空トレイ移動部に搬送可能で、
    かつ、前記空トレイを前記空トレイ移動部から前記検査後電子部品トレイ移動部まで移動可能であり、
    前記識別情報検出部は、
    前記検査前電子部品トレイ移動部に移動したときに、前記検査前電子部品トレイ移動部の前記第1方向の移動及び前記第2移動部の前記第2方向の移動により、前記第1方向及び前記第2方向にマトリックス状に載置された複数の前記検査前の前記電子部品の前記識別情報を検出可能である、
    ことを特徴とする電子部品検査装置。
    An identification information detector for detecting identification information displayed on the electronic component;
    An individual identification unit for individual identification of the electronic component using the identification information;
    An inspection unit for inspecting the electronic component;
    A plurality of first moving parts that are movable in the first direction with trays for placing a plurality of the electronic components in a first direction and a second direction intersecting the first direction;
    A second gripper that is arranged to dispose the identification information detector and the tray gripper capable of gripping the tray, and is movable in the second direction;
    With
    The plurality of first moving units are:
    A pre-inspection electronic component tray moving unit capable of moving the tray on which the electronic component before inspection is placed in the first direction;
    A post-inspection electronic component tray moving section capable of moving the tray on which the electronic component after inspection is placed in the first direction;
    An empty tray that is disposed between the pre-inspection electronic component tray moving unit and the post-inspection electronic component tray moving unit, in which the electronic components before the inspection are removed and the electronic components before the inspection are not placed Including an empty tray moving unit movable in the first direction,
    The tray gripping part is
    The electronic tray is removed from the electronic component tray moving unit before inspection and the empty tray on which the electronic component before inspection is not placed is transferred from the electronic component tray moving unit before inspection to the empty tray moving unit. Can be transported,
    And the empty tray can be moved from the empty tray moving unit to the post-inspection electronic component tray moving unit,
    The identification information detection unit
    When the pre-inspection electronic component tray moving unit moves to the pre-inspection electronic component tray moving unit, the pre-inspection electronic component tray moving unit moves in the first direction and the second moving unit moves in the second direction. It is possible to detect the identification information of the plurality of the electronic components before inspection placed in a matrix in the second direction.
    An electronic component inspection apparatus.
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