JP6083140B2 - Electronic component conveying device and electronic component inspection device - Google Patents
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Description
本発明は、電子部品搬送装置および電子部品検査装置に関するものである。 The present invention relates to an electronic component conveying device and an electronic component inspection device.
従来、電子部品を各種装置に給材し除材する電子部品搬送装置が用いられている。この電子部品搬送装置はIC(Integrated Circuit)ハンドラーとも称される。トレイに収納された電子部品を移動するICハンドラーが特許文献1に開示されている。それによると、ICハンドラーは電子部品をトレイから検査するテストヘッドに供給し、検査が終了した電子部品をトレイに収納していた。未検査トレイ収納部では未検査の電子部品がマトリックス状に載置されたトレイが複数重ねられている。そして、部品取出部が電子部品をトレイから移動し、部品供給部が電子部品をテストヘッドに供給する。
2. Description of the Related Art Conventionally, an electronic component transport apparatus that supplies and removes electronic components to various devices has been used. This electronic component conveying apparatus is also referred to as an IC (Integrated Circuit) handler. An IC handler that moves an electronic component stored in a tray is disclosed in
電子部品が移動された後の空のトレイをトレイ移送部が空トレイ収納部、良部品トレイ収納部、不良トレイ収納部へ移動する。この未検査トレイ収納部、空トレイ収納部、良部品トレイ収納部、不良トレイ収納部は直線上に沿って配置されている。そして、トレイ移送部は1方向に延在するレール部材に沿って移動することにより各トレイ収納部にトレイを移動することが可能になっている。 The tray transfer unit moves the empty tray after the electronic component is moved to the empty tray storage unit, the good component tray storage unit, and the defective tray storage unit. The uninspected tray storage unit, the empty tray storage unit, the good component tray storage unit, and the defective tray storage unit are arranged along a straight line. And the tray transfer part can move a tray to each tray accommodating part by moving along the rail member extended in one direction.
特許文献1に示す従来のICハンドラーにはIC,CIS(Contact Image Sensor)等の電子部品の識別番号を認識する機能がなかった。よって、間違った電子部品がICハンドラーに入っても、そのまま検査装置に搬送され、検査される場合があり、正常な検査結果が得られない。そこで、本願発明は、個々のICの識別番号を認識することで、間違った電子部品を流動させないことができる電子部品搬送装置を提供することになる。
The conventional IC handler shown in
本発明は、上述の課題を解決するためになされたものであり、以下の形態または適用例として実現することが可能である。 The present invention has been made to solve the above-described problems, and can be realized as the following forms or application examples.
[適用例1]
本適用例にかかる電子部品搬送装置であって、電子部品に表示された識別情報を検出する識別情報検出部と、前記識別情報を用いて前記電子部品の個体識別をする個体識別部と、前記電子部品を所定の場所へ搬送することが可能である搬送機構と、を備えることを特徴とする。
[Application Example 1]
In the electronic component transport apparatus according to this application example, an identification information detection unit that detects identification information displayed on the electronic component, an individual identification unit that individually identifies the electronic component using the identification information, and A transport mechanism capable of transporting the electronic component to a predetermined place.
本適用例によれば、電子部品には識別情報が設置され、識別情報検出部が識別情報を検出する。そして、個体識別部が識別情報から電子部品の識別情報を検出する。そして、搬送機構が電子部品を所定の場所へ搬送する。従って、電子部品搬送装置は電子部品の識別情報を認識することができる。その結果、電子部品搬送装置は間違った電子部品を所定の場所へ搬送することがないようにすることができる。 According to this application example, the identification information is installed in the electronic component, and the identification information detection unit detects the identification information. Then, the individual identification unit detects the identification information of the electronic component from the identification information. And a conveyance mechanism conveys an electronic component to a predetermined place. Therefore, the electronic component transport apparatus can recognize the identification information of the electronic component. As a result, the electronic component transport device can prevent a wrong electronic component from being transported to a predetermined location.
[適用例2]
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記電子部品を第1方向及び前記第1方向と交差する第2方向に複数載置することが可能である容器と、前記第1方向に前記容器を移動させる第1移動部と、前記第2方向に前記識別情報検出部を移動させる第2移動部と、を備えることを特徴とする。
[Application Example 2]
In the electronic component transport device according to the application example, a container capable of mounting a plurality of the electronic components in a first direction and a second direction intersecting the first direction, and the container in the first direction. A first moving unit to be moved, and a second moving unit to move the identification information detecting unit in the second direction are provided.
本適用例によれば、容器に電子部品が載置され、その容器が電子部品搬送装置に設置される。容器には電子部品を第1方向及び第1方向と交差する第2方向に複数載置することが可能となっている。電子部品搬送装置は第1移動部及び第2移動部を備えている。第1移動部が容器を第1方向に移動する。第2移動部は第1方向と交差する第2方向に識別情報検出部を移動する。従って、第1移動部と第2移動部とを駆動することにより電子部品搬送装置は電子部品と識別情報検出部とを2次元において相対移動させることができる。従って、容器に電子部品が複数の列をなして載置されているときにも電子部品搬送装置は各電子部品の識別情報を認識することができる。その結果、容器に設置された電子部品の識別情報を総て認識することができる。 According to this application example, the electronic component is placed in the container, and the container is installed in the electronic component transport apparatus. A plurality of electronic components can be placed on the container in the first direction and the second direction intersecting the first direction. The electronic component transport apparatus includes a first moving unit and a second moving unit. The first moving unit moves the container in the first direction. The second moving unit moves the identification information detecting unit in a second direction that intersects the first direction. Accordingly, by driving the first moving unit and the second moving unit, the electronic component transport apparatus can relatively move the electronic component and the identification information detecting unit in two dimensions. Therefore, even when the electronic components are placed in a plurality of rows on the container, the electronic component transport apparatus can recognize the identification information of each electronic component. As a result, all the identification information of the electronic components installed in the container can be recognized.
[適用例3]
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記個体識別部によって得られる識別結果に基づいて、前記電子部品を前記所定の場所へ搬送する、又は、搬送しないを切り換えることを特徴とする。
[Application Example 3]
In the electronic component transport apparatus according to the application example described above, the electronic component is switched to the predetermined location or not to be transported based on the identification result obtained by the individual identification unit.
本適用例によれば、個体識別部が電子部品の個体識別をする、そして、得られる識別結果に基づいて、電子部品に所定の処置を施すときには搬送機構が電子部品を前記所定の場所へ搬送する。電子部品に所定の処置を施さないときには、電子部品を搬送しない。従って、電子部品搬送装置は確実に間違った電子部品に所定の処置をして流動することがないようにすることができる。 According to this application example, the individual identification unit performs individual identification of the electronic component, and the transport mechanism transports the electronic component to the predetermined location when performing a predetermined treatment on the electronic component based on the obtained identification result. To do. When the electronic component is not subjected to a predetermined treatment, the electronic component is not transported. Therefore, the electronic component transport apparatus can reliably prevent the wrong electronic component from flowing by performing a predetermined treatment.
[適用例4]
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記第2移動部は前記識別情報検出部を移動させるタイミングと異なるタイミングで前記第2方向に前記容器を移動させることが可能であることを特徴とする。
[Application Example 4]
In the electronic component transport device according to the application example, the second moving unit can move the container in the second direction at a timing different from a timing at which the identification information detecting unit is moved. .
本適用例によれば、電子部品搬送装置は第2移動部を備えている。第2移動部は第2方向に容器を移動する。これにより、容器を第1移動部から除くことができる。そして、第2移動部は容器と識別情報検出部とを異なるタイミングにて移動させる。従って、容器を移動するための部位と識別情報検出部を移動するための部位との2つの部位を設置するときに比べて簡易な構造にすることができる。その結果、電子部品搬送装置を生産性良く製造することができる。 According to this application example, the electronic component transport apparatus includes the second moving unit. The second moving unit moves the container in the second direction. Thereby, the container can be removed from the first moving unit. Then, the second moving unit moves the container and the identification information detecting unit at different timings. Therefore, a simple structure can be achieved as compared with the case where two parts, ie, a part for moving the container and a part for moving the identification information detection unit are installed. As a result, the electronic component transport apparatus can be manufactured with high productivity.
[適用例5]
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記個体識別の結果を出力する情報出力部を有することを特徴とする。
[Application Example 5]
The electronic component conveying apparatus according to the application example described above includes an information output unit that outputs a result of the individual identification.
本適用例によれば、情報出力部が個体識別の結果を出力する。従って、電子部品の識別情報を活用することができる。 According to this application example, the information output unit outputs the result of individual identification. Therefore, the identification information of the electronic component can be used.
[適用例6]
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記情報出力部は前記個体識別の結果を表示する情報表示部を有することを特徴とする。
[Application Example 6]
In the electronic component conveying apparatus according to the application example, the information output unit includes an information display unit that displays a result of the individual identification.
本適用例によれば、情報表示部が個体識別の結果を表示する。従って、操作者が電子部品の識別情報を確認して識別情報の表示に応じた対応をすることができる。 According to this application example, the information display unit displays the result of individual identification. Therefore, the operator can check the identification information of the electronic component and take a countermeasure according to the display of the identification information.
[適用例7]
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記情報出力部は前記個体識別の結果を信号にして出力する出力インターフェイスを有することを特徴とする。
[Application Example 7]
In the electronic component conveying apparatus according to the application example described above, the information output unit includes an output interface that outputs the individual identification result as a signal.
本適用例によれば、出力インターフェイスが個体識別の結果を信号にして出力する。従って、信号を入力する機器が電子部品の個体識別の結果を確認して識別情報に応じた対応をすることができる。 According to this application example, the output interface outputs the result of individual identification as a signal. Therefore, the device that inputs the signal can confirm the result of the individual identification of the electronic component and can take action according to the identification information.
[適用例8]
本適用例にかかる電子部品搬送装置であって、電子部品に表示された識別情報を画像として撮像する画像撮像部と、前記画像撮像部によって撮像された前記識別情報を画像データに変換するデータ変換部と、前記データ変換部により変換された画像データを用いて前記電子部品の個体識別をする個体識別部と、を備えることを特徴とする。
[Application Example 8]
An electronic component conveying apparatus according to this application example, in which an image capturing unit that captures the identification information displayed on the electronic component as an image, and data conversion that converts the identification information captured by the image capturing unit into image data And an individual identification unit for individual identification of the electronic component using the image data converted by the data conversion unit.
本適用例によれば、画像撮像部が電子部品に表示された識別情報を画像として撮像する。次に、データ変換部が画像撮像部によって撮像された識別情報をデータ変換する。続いて、個体識別部がデータ変換部により変換されたデータを用いて電子部品の個体識別をする。従って、電子部品搬送装置は電子部品の識別情報を認識することができる。その結果、電子部品搬送装置は間違った電子部品に所定の処置をして流動することがないようにすることができる。 According to this application example, the image capturing unit captures the identification information displayed on the electronic component as an image. Next, the data conversion unit converts the identification information captured by the image capturing unit. Subsequently, the individual identification unit performs individual identification of the electronic component using the data converted by the data conversion unit. Therefore, the electronic component transport apparatus can recognize the identification information of the electronic component. As a result, the electronic component transport apparatus can prevent a wrong electronic component from flowing by performing a predetermined treatment.
[適用例9]
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記識別情報は文字を含み、前記個体識別部は前記画像データを文字として認識する文字認識機能を有することを特徴とする。
[Application Example 9]
In the electronic component conveying apparatus according to the application example, the identification information includes a character, and the individual identification unit has a character recognition function for recognizing the image data as a character.
本適用例によれば、個体識別部は文字認識機能を有している。従って、識別情報が文字を含んでいるときに個体識別部は文字の画像データを文字として認識することができる。 According to this application example, the individual identification unit has a character recognition function. Therefore, when the identification information includes characters, the individual identification unit can recognize the character image data as characters.
[適用例10]
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記識別情報はバーコードを含み、前記識別情報検出部は前記バーコードを読み取るバーコードリーダーを有することを特徴とする。
[Application Example 10]
In the electronic component conveying apparatus according to the application example, the identification information includes a barcode, and the identification information detection unit includes a barcode reader that reads the barcode.
本適用例によれば、識別情報検出部はバーコードリーダーを有する。尚、バーコードリーダーが検出するバーコードは1次元のバーコードと2次元のバーコードとを含んでいる。従って、識別情報がバーコードを含んでいるときにも容易に識別情報から個体識別となる情報を読み取ることができる。 According to this application example, the identification information detection unit includes the barcode reader. The bar code detected by the bar code reader includes a one-dimensional bar code and a two-dimensional bar code. Therefore, even when the identification information includes a barcode, information for individual identification can be easily read from the identification information.
[適用例11]
上記適用例にかかる電子部品搬送装置において、前記識別情報と比較する比較情報を入力する情報入力部と、前記比較情報と前記識別情報とが異なるときには警報情報を出力する警報出力部と、を有することを特徴とする。
[Application Example 11]
The electronic component conveying apparatus according to the application example includes an information input unit that inputs comparison information to be compared with the identification information, and an alarm output unit that outputs alarm information when the comparison information and the identification information are different. It is characterized by that.
本適用例によれば、情報入力部において比較情報が入力される。そして、個体識別部が個体識別をする。情報比較部が比較情報と識別情報を比較し、異なるときには警報情報を出力する。従って、電子部品搬送装置が扱う予定の電子部品と設置された電子部品が異なるときにはこの状況に応じた対応をすることができる。 According to this application example, the comparison information is input in the information input unit. Then, the individual identification unit performs individual identification. The information comparison unit compares the comparison information with the identification information, and outputs alarm information when they are different. Therefore, when the electronic component to be handled by the electronic component transport apparatus is different from the installed electronic component, it is possible to cope with this situation.
[適用例12]
本適用例にかかる電子部品検査装置であって、電子部品に表示された識別情報を検出する識別情報検出部と、前記識別情報を用いて前記電子部品の個体識別をする個体識別部と、前記電子部品を検査する検査部と、前記電子部品を前記検査部に搬送する搬送機構と、を備えることを特徴とする。
[Application Example 12]
In the electronic component inspection apparatus according to this application example, an identification information detection unit that detects identification information displayed on the electronic component, an individual identification unit that individually identifies the electronic component using the identification information, and An inspection unit that inspects an electronic component, and a transport mechanism that transports the electronic component to the inspection unit.
本適用例によれば、電子部品には識別情報が設置され、識別情報検出部が識別情報を検出する。そして、個体識別部が識別情報から電子部品の識別情報を検出する。そして、搬送機構が電子部品を所定の処置が施される位置へ搬送する。従って、電子部品搬送装置は電子部品の識別情報を認識することができる。搬送機構が電子部品を検査部に搬送し、検査部が電子部品を検査する。その結果、電子部品検査装置は間違った電子部品を検査することがないようにすることができる。 According to this application example, the identification information is installed in the electronic component, and the identification information detection unit detects the identification information. Then, the individual identification unit detects the identification information of the electronic component from the identification information. And a conveyance mechanism conveys an electronic component to the position where a predetermined treatment is performed. Therefore, the electronic component transport apparatus can recognize the identification information of the electronic component. The transport mechanism transports the electronic component to the inspection unit, and the inspection unit inspects the electronic component. As a result, the electronic component inspection apparatus can prevent the wrong electronic component from being inspected.
本実施形態では、部品搬送装置を備えた部品検査装置とこの部品搬送装置が部品を搬送する方法の特徴的な例について説明する。以下、実施形態について図面に従って説明する。尚、各図面における各部材は、各図面上で認識可能な程度の大きさとするため、各部材毎に縮尺を異ならせて図示している。
(第1の実施形態)
第1の実施形態にかかわる部品検査装置について図1〜図8に従って説明する。
In the present embodiment, a characteristic example of a component inspection device including a component conveyance device and a method of conveying a component by the component conveyance device will be described. Hereinafter, embodiments will be described with reference to the drawings. In addition, each member in each drawing is illustrated with a different scale for each member in order to make the size recognizable on each drawing.
(First embodiment)
A component inspection apparatus according to the first embodiment will be described with reference to FIGS.
(部品検査装置)
図1は、部品検査装置の構造を示す模式平面図であり、カバーを外した図となっている。図2(a)及び図2(b)は、部品検査装置の構造を示す模式側面図である。図3は、部品検査装置の構造を示す概略斜視図である。図1〜図3に示すように部品検査装置1は長方形の板状の基台2を備えている。基台2の平面視で基台2の直交する2辺が延在する方向をX方向とY方向とし、鉛直方向を−Z方向とする。部品検査装置1は主に電子部品を検査する検査部1aと検査部1aに部品を搬送する部品搬送装置としての搬送部1bとから構成されている。
(Parts inspection equipment)
FIG. 1 is a schematic plan view showing the structure of the component inspection apparatus, with the cover removed. 2A and 2B are schematic side views showing the structure of the component inspection apparatus. FIG. 3 is a schematic perspective view showing the structure of the component inspection apparatus. As shown in FIGS. 1 to 3, the
基台2上のX方向側にはX方向に長く延在する6つのベルトコンベアが設置されている。ベルトコンベアは−Y方向側から順に第1移動部としての第1コンベア3、第2コンベア4、第3コンベア5、第4コンベア6、第5コンベア7、第6コンベア8となっている。第1コンベア3は給材用のベルトコンベアであり、第1コンベア3上には容器としてのトレイ9が載置されている。トレイ9は仕切板により5行5列のマトリックス状に区画されており、各区画には電子部品10が載置されている。従って、トレイ9は直交する2方向に配列して電子部品10を載置することが可能になっている。
Six belt conveyors extending in the X direction are installed on the X direction side on the
第1コンベア3は内部にモーター、減速機、プーリー3aを備え、減速機により減速された回転数でモーターがプーリーを回動する。そして、プーリーの外周と接触してベルト3bが設置され、モーターがプーリーを回動することにより、ベルトが移動するようになっている。そして、第1コンベア3上に載置されたトレイ9はベルトと共にX方向に往復移動される。第1コンベア3がトレイ9を移動するX方向を第1方向3cとする。第2コンベア4〜第6コンベア8は第1コンベア3と同じ構造となっており、第1コンベア3と同様にトレイ9をX方向に往復移動することが可能になっている。
The
第2コンベア4及び第3コンベア5は空のトレイ9を置く場所となっており、第4コンベア6は不良と判定された電子部品10を格納するトレイ9を置く場所となっている。そして、第5コンベア7及び第6コンベア8は良品と判定された電子部品10を格納するトレイ9を置く場所となっている。
The
電子部品10の形態は特に限定されないが、本実施形態では、例えば、電子部品10はフラットパッケージ等の各種のパッケージ形態のIC(Integrated Circuit)、CIS、液晶パネル、液晶モジュール及び電子モジュール等を適応することができる。そして、部品検査装置1は電子部品10の電気特性を検査して良品と不良品とを分別する装置となっている。
Although the form of the
第1コンベア3〜第6コンベア8と対向する場所には第2移動部としてのトレイ搬送部11が設置されている。トレイ搬送部11は第1コンベア3〜第6コンベア8をまたいで設置された門型のトレイ搬送支持部12を備えている。トレイ搬送支持部12はY方向に長い形状であり、トレイ搬送支持部12の−X方向側にはY方向に延在するレール13が設置されている。
A
レール13の−X方向側にはレール13に沿って移動する移動機構としてのトレイ移動ステージ14が設置されている。トレイ移動ステージ14が移動するY方向を第2方向14aとする。第2方向14aは第1方向3cと直交する方向であり、第1方向3c及び第2方向14aはトレイ9に電子部品10が配列される方向となっている。トレイ搬送支持部12の内部にはトレイ移動ステージ14を移動させる直動機構が設置されている。この直動機構の種類は特に限定されず、リニアモーター、モーターとボールネジとの組合せ、ラック、ピニオン及びモーターの組合せ等各種の形態を用いることができる。本実施形態では、例えば、サーボモーターとボールネジの組合せを採用している。
A
トレイ移動ステージ14の−X方向側の面にはトレイ把持支持部15を介してトレイ把持部16が設置されている。トレイ把持部16は昇降装置と真空チャックとを備えている。真空チャックは吸盤を備え、吸盤が配管により真空ポンプと接続されている。そして、昇降装置は真空チャックを昇降させる機能を備えている。昇降装置が真空チャックを下降して真空チャックの吸盤をトレイ9に接触させる。そして、吸盤とトレイ9との間を真空にすることで真空チャックはトレイ9を把持する。その後、昇降装置がトレイ9を上昇させることによりトレイ9が第1コンベア3から離れて、トレイ移動ステージ14がトレイ9をY方向に移動可能となる。トレイ搬送部11はトレイ搬送支持部12、レール13、トレイ移動ステージ14、トレイ把持支持部15及びトレイ把持部16等により構成されている。
A
トレイ移動ステージ14の−X方向側の面にはトレイ把持部16の他にも識別情報検出部及び画像撮像部としての撮像装置17が設置されている。そして、トレイ移動ステージ14は撮像装置17を第2方向14aに往復移動する。トレイ移動ステージ14が備える移動機構は撮像装置17とトレイ把持部16とを移動する。言い換えると、撮像装置17とトレイ把持部16とは共通の移動機構を有している。
In addition to the
撮像装置17は内部に対物レンズ、オートフォーカス装置、同軸落射照明装置とCCD(Charge Coupled Device)撮像素子が組み込まれたものである。撮像装置17は対物レンズが電子部品10に向けて設置されている。まず、同軸落射照明装置から射出した光は電子部品10を照射する。撮像装置17は、電子部品10で反射する光を対物レンズを通して入力する。そして、オートフォーカス装置がCCD撮像素子に結像する。CCD撮像素子が画像を電気信号に変換することにより撮像装置17は電子部品10を撮像することが可能となっている。
The
第1コンベア3〜第6コンベア8の−X方向側には搬送機構としての部品除給材部20が設置されている。部品除給材部20は基台2上に設置された門型の部品搬送支持部21を備えている。部品搬送支持部21は基台2に立設された一対の支柱部21aと支柱部21a間に架橋された架橋部材21bから構成されている。架橋部材21bの基台2側の面にはY方向に延在するレール22が設置されている。そして、架橋部材21bのレール22に懸架して直方体状の給材Yステージ23及び除材Yステージ24が設置されている。架橋部材21bには直動機構が内蔵され、この直動機構が給材Yステージ23及び除材Yステージ24をY方向に往復移動させる。尚、架橋部材21bの直動機構はトレイ移動ステージ14を駆動する直動機構と同様の機構を用いることができる。
On the −X direction side of the
給材Yステージ23の基台2側にはX方向に延在する第1支持梁25が設置され、第1支持梁25にはX方向に延在するレール26が設置されている。そして、第1支持梁25のレール26に懸架して直方体状の給材Xステージ27が設置されている。第1支持梁25には直動機構が内蔵され、この直動機構が給材部品把持部28をX方向に往復移動させる。尚、第1支持梁25の直動機構はトレイ移動ステージ14を駆動する直動機構と同様の機構を用いることができる。給材Xステージ27の基台2側には給材部品把持部28が設置され、給材部品把持部28は昇降装置及び真空チャックを備えている。この昇降装置及び真空チャックはトレイ把持部16が備える昇降装置及び真空チャックと同様な構造であり説明を省略する。給材Yステージ23、第1支持梁25、給材Xステージ27及び給材部品把持部28等により搬送機構としての部品給材部29が構成されている。
A
給材部品把持部28では昇降装置が真空チャックを下降して真空チャックの吸盤を電子部品10に接触させる。そして、吸盤と電子部品10との間を真空にすることにより真空チャックは電子部品10を把持する。その後、昇降装置が電子部品10を上昇させることにより給材Yステージ23及び給材Xステージ27が電子部品10をX方向及びY方向に移動することができる。
In the feed
同様に、除材Yステージ24の基台2側にはX方向に延在する第2支持梁30が設置され、第2支持梁30の基台2側にはX方向に延在するレール26が設置されている。そして、第2支持梁30のレール26に懸架して直方体状の除材Xステージ31が設置されている。第2支持梁30には直動機構が内蔵され、この直動機構が除材Xステージ31をX方向に往復移動させる。尚、第2支持梁30の直動機構はトレイ移動ステージ14を駆動する直動機構と同様の機構を用いることができる。除材Xステージ31の基台2側には除材部品把持部32が設置され、除材部品把持部32は昇降装置及び真空チャックを備えている。この昇降装置及び真空チャックはトレイ把持部16が備える昇降装置及び真空チャックと同様な構造であり説明を省略する。除材Yステージ24、第2支持梁30、除材Xステージ31及び除材部品把持部32等により部品除材部33が構成されている。
Similarly, a
除材部品把持部32では昇降装置が真空チャックを下降して真空チャックの吸盤を電子部品10に接触させる。そして、吸盤と電子部品10との間を真空にすることにより真空チャックは電子部品10を把持する。その後、昇降装置が電子部品10を上昇させることにより除材Yステージ24及び除材Xステージ31が電子部品10をX方向及びY方向に移動することができる。
In the material removal
部品搬送支持部21の−X方向には基台2上に検査用ソケット34が設置されている。検査用ソケット34は電子部品10を検査する場所である。検査用ソケット34には電子部品10の外形形状とほぼ同じ形状の凹部が形成され、この凹部に電子部品10が設置可能になっている。そして、凹部には電子部品10の端子と電気的に接触可能なプローブが設置されている。検査用ソケット34には4つの凹部が設置され、4つの電子部品10を同時に検査することができる。
An
検査用ソケット34のX方向には検査用ソケット34と部品搬送支持部21との間に一対のレール35が設置されている。レール35はY方向に延在して設置され、レール35上にはレール35に沿って移動する第1シャトルステージ36が設置されている。基台2には一対のレール35の間に直動機構が内蔵され、この直動機構が第1シャトルステージ36をY方向に往復移動させる。尚、レール35の間の直動機構にはトレイ移動ステージ14を駆動する直動機構と同様の機構を用いることができる。
In the X direction of the
第1シャトルステージ36のZ方向を向く面には電子部品10を設置するための凹部37が8個設置されている。このうち4個の凹部37は第1シャトルステージ36の−Y方向側に配置され、この凹部37を給材用凹部37aとする。残りの4個の凹部37は第1シャトルステージ36のY方向側に配置され、この凹部37を除材用凹部37bとする。除材用凹部37bが検査用ソケット34の隣りに位置するとき、基台2の平面視で給材用凹部37aは部品給材部29の給材部品把持部28が移動可能な場所に位置する。同様に、給材用凹部37aが検査用ソケット34の隣りに位置するとき、基台2の平面視で除材用凹部37bは部品除材部33の除材部品把持部32が移動可能な場所に位置する。
Eight
検査用ソケット34の−X方向には検査用ソケット34と基台2の端との間に一対のレール40が設置されている。レール40はY方向に延在して設置され、レール40上にはレール40に沿って移動する第2シャトルステージ41が設置されている。基台2には一対のレール40の間に直動機構が内蔵され、この直動機構が第2シャトルステージ41をY方向に往復移動させる。尚、レール40の間の直動機構はトレイ移動ステージ14を駆動する直動機構と同様の機構を用いることができる。
A pair of
第2シャトルステージ41のZ方向を向く面には電子部品10を設置するための凹部42が8個設置されている。このうち4個の凹部42は第2シャトルステージ41の−Y方向側に配置され、この凹部42を給材用凹部42aとする。残りの4個の凹部42は第2シャトルステージ41のY方向側に配置され、この凹部42を除材用凹部42bとする。除材用凹部42bが検査用ソケット34の隣りに位置するとき、基台2の平面視で給材用凹部42aは部品給材部29の給材部品把持部28が移動可能な場所に位置する。同様に、給材用凹部42aが検査用ソケット34の隣りに位置するとき、基台2の平面視で除材用凹部42bは部品除材部33の除材部品把持部32が移動可能な場所に位置する。
Eight
第1シャトルステージ36及び第2シャトルステージ41と対向する場所には搬送機構としての部品押圧装置43が設置されている。部品押圧装置43は第1シャトルステージ36及び第2シャトルステージ41をまたいで設置された門型の押圧支持部44を備えている。押圧支持部44はX方向に長い形状であり、押圧支持部44のY方向側にはX方向に延在するレール45が設置されている。
A
レール45のY方向側にはレール45に沿って移動する測定Xステージ46が設置されている。押圧支持部44の内部には測定Xステージ46を移動させる直動機構が設置されている。尚、測定Xステージ46の直動機構はトレイ移動ステージ14を駆動する直動機構と同様の機構を用いることができる。
A
測定Xステージ46のY方向側には検査部品把持部47が設置され、検査部品把持部47は昇降装置及び真空チャックを備えている。この昇降装置及び真空チャックはトレイ把持部16が備える昇降装置及び真空チャックと同様な構造であり説明を省略する。検査部品把持部47の真空チャックは4つの吸盤を備え、4つの電子部品10を1度に把持することができる。
An inspection
検査部品把持部47では昇降装置が真空チャックを下降して真空チャックの吸盤を電子部品10に接触させる。そして、吸盤と電子部品10との間を真空にすることにより真空チャックは電子部品10を把持する。その後、昇降装置が電子部品10を上昇させることにより測定Xステージ46が電子部品10をX方向に往復移動することができる。
In the inspection
そして、部品押圧装置43は第1シャトルステージ36の給材用凹部37aに載置された電子部品10を把持して検査用ソケット34に移動する。そして、部品押圧装置43は電子部品10を検査用ソケット34に押圧する。このとき、電子部品10の端子がプローブに押圧されるので、端子とプローブとは確実に電気的に接続される。この状態が維持され電子部品10の電特検査が行われる。そして、電子部品10の電特検査が終了した後、部品押圧装置43は電子部品10を第1シャトルステージ36の除材用凹部37bに移動する。同様の手順で、検査部品把持部47は第2シャトルステージ41に載置された電子部品10を検査用ソケット34まで移動し、電子部品10を検査用ソケット34に押圧することにより電特検査を補助する。
Then, the
部品給材部29、第1シャトルステージ36、第2シャトルステージ41及び部品押圧装置43の搬送機構は所定の処置が施される位置へ搬送する。この所定の処置とは、電子部品10を検査用ソケット34に入れる為に電子部品10の向きを変える、電子部品10を検査用ソケット34に挿入する、電子部品10に検査電流を入れて検査する等の処置である。搬送部1bは、主に、ICテストハンドラーに用いられるものであり、単純に、ICをベルトコンベアで搬送する装置ではない。
The parts supply
基台2の−X方向側には電特検査装置50が設置されている。電特検査装置50は検査用ソケット34に設置されたプローブと接続されている。そして、電特検査装置50は電子部品10と電気信号の交信を行い、電子部品10の電気特性の良否判定を行う装置である。基台2のX方向側には制御部51が設置されている。制御部51は部品検査装置1の動作を制御する装置である。制御部51には情報出力部、情報表示部及び警報出力部としての情報表示装置51a及び情報入力部としての情報入力装置51bが搭載されている。さらに、第3コンベア5のZ方向に位置する場所には情報表示装置48が設置されている。情報表示装置48及び情報表示装置51aは液晶表示装置等の表示装置であり、操作者に知らせる情報を表示する装置である。情報入力装置51bはキーボードやマウスパッド等の装置であり、操作者が制御部51に指示する内容を入力するための装置である。さらに、情報入力装置51bは外部機器と交信してデータを入力する機能を備えている。
On the −X direction side of the
基台2のX方向側且つY方向側の角には警告灯52が設置されている。警告灯52は検査する予定ではない電子部品10が混入したとき、点滅して操作者に注意を促す装置である。部品検査装置1はZ方向側にカバー53が設置され、情報表示装置48はカバー53に固定されている。カバー53は光を透過する樹脂により形成され、カバー53を通して内部を観察可能になっている。そして、カバー53は部品検査装置1に塵や埃が侵入することを防止している。
Warning lights 52 are installed at the corners of the
カバー53のZ方向側には空気供給部54が設置されている。空気供給部54は塵や埃の通過を防止するフィルターとファンとを備えている。そして、空気供給部54は塵や埃が除去された空気を部品検査装置1に供給する。空気は空気供給部54からカバー53の内部に流入し、基台2及び基台2とカバー53との間から流出する。これにより、部品検査装置1に塵や埃が侵入しないようになっている。
An
検査用ソケット34はヒーターを備え、電子部品10を加熱することが可能となっている。これにより、電子部品10を所定の温度で検査することができる。そして、検査用ソケット34及び部品押圧装置43を囲んで仕切板55が設置されている。仕切板55が検査用ソケット34の周囲から熱が放散することを抑制する。これにより、電子部品10を加熱する熱が検査用ソケット34の周囲に留まるようになっている。
The
部品検査装置1のうち検査用ソケット34及び電特検査装置50が検査部1aを構成する。そして、部品検査装置1のうち電子部品10をトレイ9と検査用ソケット34との間で搬送する各ステージ及びコンベアが搬送部1bを構成する。
Of the
図4は電子部品を説明するための模式平面図である。図4に示すように、電子部品10にはメーカー名10a、品種表示名10b、識別情報としての個体識別番号10cを示す文字列が印刷されている。尚、識別情報とは、電子部品10にマーキングされる、ロゴやマーク等の図形、メーカー名等の文字情報、電子部品の型番号やシリアル番号、ロット番号等の数字情報といった、該当する電子部品と他の電子部品とを識別できる情報である。文字の内容や配置等の属性は特に限定されず、電子部品10毎に設定されている。メーカー名10a、品種表示名10b、個体識別番号10cの文字列は撮像装置17で撮影可能な色調となっているのが好ましい。本実施形態では、例えば、背景が黒色であり、文字色が白色となっている。
FIG. 4 is a schematic plan view for explaining the electronic component. As shown in FIG. 4, the
図5は部品検査装置の電気制御ブロック図である。図5において、部品検査装置1は部品検査装置1の動作を制御する制御部51を備えている。そして、制御部51はプロセッサーとして各種の演算処理を行うCPU(中央演算処理装置)58と、各種情報を記憶するメモリー59とを備えている。さらに、ステージ駆動装置60、コンベア駆動装置61、把持部駆動装置62、撮像装置17、情報入力装置51b、情報表示装置48、情報表示装置51a、情報出力部及び出力インターフェイスとしての情報出力装置65、電特検査装置50は入出力インターフェイス66及びデータバス67を介してCPU58に接続されている。
FIG. 5 is an electric control block diagram of the component inspection apparatus. In FIG. 5, the
ステージ駆動装置60はトレイ移動ステージ14、トレイ把持部16に設置されたトレイ昇降ステージ68を駆動する。各ステージは位置を検出する装置を備えている。そして、ステージ駆動装置60は移動目的の場所に到達するまでステージを移動することにより所望の場所にトレイ把持部16を移動して停止させることができる。
The
さらに、ステージ駆動装置60は給材Xステージ27、給材Yステージ23、給材部品把持部28に設置された給材Zステージ69を駆動する。さらに、ステージ駆動装置60は除材Xステージ31、除材Yステージ24、除材部品把持部32に設置された除材Zステージ70を駆動する。そして、ステージ駆動装置60は移動目的の場所に到達するまでステージを移動することにより所望の場所に給材部品把持部28及び除材部品把持部32を移動して停止させることができる。
Further, the
さらに、ステージ駆動装置60は第1シャトルステージ36、第2シャトルステージ41、測定Xステージ46、検査部品把持部47に設置された測定Zステージ71を駆動する。そして、ステージ駆動装置60は各ステージを駆動することにより第1シャトルステージ36、第2シャトルステージ41、検査用ソケット34の間で電子部品10を移動させることができる。
Furthermore, the
コンベア駆動装置61は第1コンベア3〜第6コンベア8を駆動する。コンベア駆動装置61は各コンベアを駆動してトレイ9が移動目的の場所に到達するまでコンベアを移動することにより所望の場所にトレイ9を移動して停止させることができる。
The
把持部駆動装置62はトレイ把持部16、給材部品把持部28、除材部品把持部32及び検査部品把持部47を駆動する。把持部駆動装置62は各把持部と接続された真空ポンプを駆動する。そして、各把持部と真空ポンプとの間に設置された弁を駆動し弁を開閉する。これにより、把持部駆動装置62は各把持部に電子部品10を把持させた後解放させることができる。情報出力装置65は外部機器と接続され、外部機器に情報を電気信号にして出力するインターフェイス機能を有する装置である。
The gripping
メモリー59は、RAM、ROM等といった半導体メモリーや、ハードディスク、DVD−ROMといった外部記憶装置を含む概念である。機能的には、部品検査装置1の動作の制御手順が記述されたプログラムソフト72を記憶する記憶領域や、撮像装置17が撮影する画像のデータである画像データ73を記憶する記憶領域が設定される。他にも、電子部品10が検査する予定の物か否かの判定に用いるデータである比較情報としての比較判定データ74を記憶するための記憶領域が設定される。この比較判定データ74には検査する予定の電子部品10における個体識別番号10cの一覧表を含んでいる。比較判定データ74は情報入力装置51bを用いて入力される。他にも、電子部品10に設置された個体識別番号10cを検出したデータである識別情報としての個体識別データ75を記憶する記憶領域が設定される。他にも、CPU58のためのワークエリアやテンポラリーファイル等として機能する記憶領域やその他各種の記憶領域が設定される。
The
CPU58は、メモリー59内に記憶されたプログラムソフト72に従って、電子部品10を検査する制御を行うものである。具体的な機能実現部としてステージ制御部76を有する。ステージ制御部76はステージ駆動装置60と交信を行い各ステージの位置情報を取得する。そしてステージ制御部76が希望する場所に各ステージを移動させて停止するようにステージ駆動装置60に指令信号を出力する。さらに、ステージ制御部76はコンベア駆動装置61と交信を行い第1コンベア3〜第6コンベア8の位置情報を取得する。そしてステージ制御部76が希望する場所に各コンベアを移動させて停止するようにコンベア駆動装置61に指令信号を出力する。
The
他にも、CPU58は把持制御部77を有する。把持制御部77は把持部駆動装置62にトレイ把持部16、給材部品把持部28、除材部品把持部32、検査部品把持部47を駆動させる。そして、各把持部に電子部品10を吸着させる動作と解放する動作の制御を行う。そして、ステージ制御部76と把持制御部77とが連携して電子部品10を搬送する。
In addition, the
他にも、CPU58はデータ変換部78を有する。データ変換部78は撮像装置17が出力する電気信号をデジタルデータに変換して画像データ73をメモリー59に記憶する。他にも、CPU58は個体識別部としての個体識別番号演算部79を有する。個体識別番号演算部79は撮像装置17が撮影して得られた画像データ73を用いて個体識別データ75を抽出する演算を行う。電子部品10に設置された個体識別番号10cは文字と数字とから構成されている。そして、個体識別番号演算部79は個体識別番号10cの画像データ73を文字として認識し文字データに変換する文字認識機能を有し、算出した文字情報を含む個体識別データ75をメモリー59に記憶する。個体識別データ75により電子部品10は個体識別される。
In addition, the
他にも、CPU58は情報比較部としての個体識別番号判定部80を有する。個体識別番号判定部80は予めメモリー59に記憶された比較判定データ74と個体識別データ75とを比較する。そして、算出した個体識別データ75が比較判定データ74と一致するか否かを判定する。個体識別データ75が比較判定データ74と一致しないときには警報情報を出力する。
In addition, the
他にも、CPU58は情報表示制御部81を有する。情報表示制御部81は情報表示装置48及び情報表示装置51aに算出した個体識別データ75を表示する。さらに、個体識別番号判定部80が判定した結果を情報表示制御部81は情報表示装置48及び情報表示装置51aに表示する。個体識別データ75が比較判定データ74と一致しないとき、情報表示制御部81は警告灯52を点滅させる。そして、情報表示制御部81は、個体識別データ75が比較判定データ74と一致しないことを示す警報情報を情報表示装置48及び情報表示装置51aに表示して操作者に知らしめる。
In addition, the
他にも、CPU58は情報出力制御部82を有する。情報出力制御部82は情報出力装置65を介して外部機器に個体識別データ75及び個体識別番号判定部80が判定した結果を出力する。これにより、外部機器は個体識別データ75を活用し、個体識別番号判定部80が判定した結果に対応した動作を行うことができる。
In addition, the
尚、本実施形態では、上記の各機能がCPU58を用いてプログラムソフトで実現することとしたが、上記の各機能がCPU58を用いない単独の電子回路(ハードウェア)によって実現できる場合には、そのような電子回路を用いることも可能である。
In the present embodiment, each function described above is realized by program software using the
(電子部品の検査方法)
次に上述した部品検査装置1を用いて電子部品10を検査する方法について図6〜図8にて説明する。図7及び図8は電子部品の検査方法を説明するための模式図である。
(Electronic component inspection method)
Next, a method for inspecting the
図6は電子部品の検査方法を示すフローチャートである。図6において、ステップS1は比較情報入力工程に相当する。操作者が情報入力装置51bを用いて比較判定データ74を入力する工程である。次にステップS2に移行する。ステップS2はトレイ設置工程に相当する。この工程は、操作者が第1コンベア3にトレイ9を設置する工程である。次にステップS3に移行する。ステップS3はマーク撮像工程に相当する。この工程は、撮像装置17が電子部品10を撮影する工程である。次にステップS4に移行する。ステップS4は識別情報演算工程に相当する。この工程は、個体識別番号演算部79が画像を用いて個体識別データ75を演算する工程である。次にステップS5に移行する。
FIG. 6 is a flowchart showing an electronic component inspection method. In FIG. 6, step S1 corresponds to a comparison information input step. In this step, the operator inputs the
ステップS5は個体識別判定工程に相当する工程である。この工程では、個体識別番号判定部80が比較判定データ74と個体識別データ75とを比較する。データが一致しないときステップS10に移行する。データが一致したときステップS6に移行する。ステップS6は確認終了判定工程に相当する工程である。この工程では、CPU58がトレイ9に設置された電子部品10を総て確認したかを判定する。トレイ9内に未確認の電子部品10があるときステップS3に移行する。トレイ9内の電子部品10を総て確認したときステップS7に移行する。
Step S5 is a process corresponding to the individual identification determination process. In this step, the individual identification
ステップS7は検査工程に相当する。この工程では、搬送部1bが電子部品10を検査用ソケット34に搬送し、検査部1aが電子部品10の電気特性を検査する。そして、検査された電子部品10を搬送部1bがトレイ9に収納する工程である。次にステップS8に移行する。ステップS8は空トレイ移動工程に相当する。この工程は、第1コンベア3〜第6コンベア8の間でトレイ搬送部11が空のトレイ9を移動する工程である。次にステップS9に移行する。ステップS9はトレイ除去工程に相当する。この工程は、操作者が第4コンベア6〜第6コンベア8から検査済みの電子部品10が収納されたトレイ9を除去する工程である。ステップS5から移行するステップS10は異常報知工程に相当する。この工程は比較判定データ74と個体識別データ75とが一致しなかったことを操作者に知らせる工程である。以上の工程にて電子部品10を検査する工程が終了する。
Step S7 corresponds to an inspection process. In this step, the
次に、図7及び図8を用いて、図6に示したステップと対応させて、電子部品10の検査方法を詳細に説明する。まず、ステップS1の比較情報入力工程では、操作者が情報入力装置51bを用いて検査する予定の品種表示名10b及び個体識別番号10cを入力する。入力されたデータは比較判定データ74の一覧表としてメモリー59に記憶される。
Next, an inspection method for the
個体識別番号10cは文字と数字とからなっている。1つのトレイ9に設置された複数の電子部品10の個体識別番号10cが連続した数字を含むときには、操作者が連続した数字の最初と最後との数字を入力し、CPU58が間の数字を演算して登録しても良い。他にも、すでに他の機器に個体識別番号10cのデータが記憶されているときには、情報入力装置51bを介して交信することによりデータを入力してメモリー59に比較判定データ74として記憶しても良い。
The
図7(a)はステップS2のトレイ設置工程に対応する図である。図7(a)に示すように、操作者はトレイ9に電子部品10を配列して設置する。この電子部品10は、ステップS1の比較情報入力工程で比較判定データ74が登録されたものであり、これから電特検査を行う予定のものである。次に、操作者は電子部品10が設置されたトレイ9を第1コンベア3に載置する。
FIG. 7A is a diagram corresponding to the tray installation step of step S2. As shown in FIG. 7A, the operator arranges and installs the
図7(b)及び図7(c)はステップS3のマーク撮像工程に対応する図である。図7(b)に示すように、ステップS3においてステージ制御部76がコンベア駆動装置61に第1コンベア3を駆動させる。そして、ステージ制御部76は電子部品10を第1方向3cに移動させる。さらに、ステージ制御部76がステージ駆動装置60にトレイ移動ステージ14を駆動させる。そして、ステージ制御部76は撮像装置17を第2方向14aに移動させる。これにより、ステージ制御部76は撮像装置17と検査する対象の電子部品10とを対向する場所に移動させることができる。次に、撮像装置17は同軸落射照明装置に光を射出させて電子部品10を照らし、オートフォーカス装置を駆動して電子部品10に焦点を合わせる。そして、電子部品10を撮影する。
FIGS. 7B and 7C are diagrams corresponding to the mark imaging process in step S3. As shown in FIG. 7B, the
その結果、図7(c)に示すように、電子部品10を撮影した画像84が撮影される。画像84にはメーカー名10aに対応するメーカー名像84a、品種表示名10bに対応する品種表示名像84b、個体識別番号10cに対応する個体識別番号像84cが写像されている。そして、データ変換部78が画像を示すアナログの電気信号をデジタルデータに変換して画像データ73とする。データ変換部78は画像データ73をメモリー59に記憶させる。
As a result, as shown in FIG. 7C, an
ステップS4の識別情報演算工程では、まず、個体識別番号演算部79が画像84から個体識別番号像84cを抽出する。個体識別番号像84cの位置は予め設定されているので、所定のマスク画像と画像84とを合わせることにより個体識別番号像84cを抽出することができる。次に、個体識別番号演算部79は個体識別番号像84cの連続する線分を手がかりにして個体識別番号像84cを個別の文字の像に分離する。続いて、文字の像が数字の”1”〜”9”とアルファベットの”A”〜”Z”のどの文字に近いかを判定する。このとき、文字の像に含まれる縦線の数、横線の数、斜め線の数、曲線の数、交点の数等の特徴量を算出する。予め、メモリー59には各文字及び数字の特徴量が記憶されている。そして、文字の像の特徴量と既知の文字の特徴量とを比較して判定する。このようにして個体識別番号演算部79は個体識別番号像84cから個体識別データ75を算出してメモリー59に記憶する。尚、個体識別番号像84cから個体識別データ75を算出する方法はこの方法に限らず、公知の方法を用いることができる。
In the identification information calculation step of step S4, first, the individual identification
ステップS5の個体識別判定工程では、ステップS4にて算出した個体識別データ75が比較判定データ74の一覧表の中にあるか否かを検索する。個体識別データ75が比較判定データ74の中にあるとき、正常状態であると判断する。そして、ステップS6の確認終了判定工程に移行する。ステップS6では、トレイ9に設置された電子部品10を総て確認したかを判断する。そして、トレイ9に設置された電子部品10を総て確認するまでステップS3〜ステップS5を繰り返す。ステップS6にてトレイ9に設置された電子部品10を総て確認したとき、ステップS7に移行する。
In the individual identification determination step in step S5, it is searched whether or not the
ステップS5において個体識別データ75が比較判定データ74の中にないとき、検査予定にない電子部品10が混入した異常状態であると判断しステップS10に移行する。ステップS10の異常報知工程では、予定外の電子部品10が混入したことを情報表示装置48及び情報表示装置51aに表示する。さらに、警告灯52を点滅して操作者に異常状態であることを知らせる。さらに、情報出力制御部82から外部機器と交信して異常状態であることを知らせても良い。いずれの場合においても操作者は電子部品10を入れ替える作業を行って、予定された電子部品10がトレイ9に設置された正常状態に修正することができる。
When the
図7(d)〜図8(b)はステップS7の検査工程に対応する図である。図7(d)に示すようにステップS7においてステージ制御部76はコンベア駆動装置61に第1コンベア3を駆動させてトレイ9を部品除給材部20に接近させる。次に、ステージ制御部76はステージ駆動装置60に第1シャトルステージ36を移動させる。そして、給材用凹部37aを給材部品把持部28の移動範囲内に移動させる。
FIGS. 7D to 8B are diagrams corresponding to the inspection process in step S7. As shown in FIG. 7D, in step S <b> 7, the
続いて、ステージ制御部76及び把持制御部77はステージ駆動装置60及び把持部駆動装置62に部品給材部29を駆動させて、トレイ9上の4個の電子部品10を給材用凹部37aに移動させる。次に、図8(a)に示すようにステージ制御部76はステージ駆動装置60に第1シャトルステージ36を移動させて、給材用凹部37aを検査用ソケット34の横に移動させる。
Subsequently, the
続いて、ステージ制御部76及び把持制御部77はステージ駆動装置60及び把持部駆動装置62に部品押圧装置43を駆動させる。そして、把持制御部77は検査部品把持部47に電子部品10を把持させる。次に、ステージ制御部76は測定Xステージ46及び測定Zステージ71を移動させて、電子部品10を給材用凹部37aから検査用ソケット34に移動させる。
Subsequently, the
続いて、ステージ制御部76は部品押圧装置43に電子部品10を検査用ソケット34に押圧させる。これにより、検査用ソケット34のプローブが電子部品10の端子と導通する。次に、電特検査装置50が電子部品10と交信して電子部品10の電気特性を検査する。
Subsequently, the
電特検査装置50が電子部品10の電気特性を検査している間に、ステージ制御部76は第1シャトルステージ36を移動させて除材用凹部37bを検査用ソケット34の横に移動させる。続いて、ステージ制御部76は第2シャトルステージ41を移動させる。そして、給材用凹部42aを給材部品把持部28の移動範囲内に移動させる。次に、ステージ制御部76及び把持制御部77はステージ駆動装置60及び把持部駆動装置62に部品給材部29を駆動させて、トレイ9上の4個の電子部品10を第2シャトルステージ41の給材用凹部42aに移動させる。次に、ステージ制御部76はステージ駆動装置60に第2シャトルステージ41を移動させて、給材用凹部42aを検査用ソケット34の横に移動させる。そして、電子部品10の検査が終了するまで搬送部1bは待機する。
While the
電子部品10の検査が終了した後、ステージ制御部76はステージ駆動装置60に測定Xステージ46及び測定Zステージ71を移動させて、電子部品10を検査用ソケット34から第1シャトルステージ36の除材用凹部37bに移動させる。
After the inspection of the
続いて、ステージ制御部76及び把持制御部77はステージ駆動装置60及び把持部駆動装置62に部品押圧装置43を駆動させる。そして、把持制御部77は検査部品把持部47に給材用凹部42aに位置する電子部品10を把持させる。次に、ステージ制御部76はステージ駆動装置60に測定Xステージ46及び測定Zステージ71を移動させて、電子部品10を給材用凹部42aから検査用ソケット34に移動させる。
Subsequently, the
続いて、ステージ制御部76は検査部品把持部47に電子部品10を検査用ソケット34に押圧させる。このとき、検査用ソケット34のプローブと電子部品10の端子とが導通する。次に、電特検査装置50が電子部品10と交信して電子部品10の電気特性を検査する。
Subsequently, the
電特検査装置50が電子部品10の電気特性を検査している間に、ステージ制御部76はステージ駆動装置60に第2シャトルステージ41を移動させる。そして、ステージ駆動装置60は除材用凹部42bを検査用ソケット34の横に移動させる。次に、ステージ制御部76はステージ駆動装置60に第1シャトルステージ36を移動させる。そして、ステージ駆動装置60は除材用凹部37bを除材部品把持部32の移動範囲内に移動させる。続いて、ステージ制御部76及び把持制御部77は除材部品把持部32に電子部品10を把持させる。
While the
電特検査の結果、検査した電子部品10が良品のときステージ制御部76は部品除材部33に電子部品10を第5コンベア7または第6コンベア8上のトレイ9に載置させる。電特検査の結果、電子部品10が不良品のときステージ制御部76は部品除材部33に電子部品10を第4コンベア6上のトレイ9に載置させる。
As a result of the electrical inspection, when the inspected
次に、ステージ制御部76はステージ駆動装置60に第1シャトルステージ36を駆動させて給材用凹部37aを給材部品把持部28の移動範囲内に移動させる。このように、部品給材部29、第1シャトルステージ36、第2シャトルステージ41、部品押圧装置43が第1コンベア3上のトレイ9から電子部品10を検査用ソケット34に移動する。そして、検査用ソケット34及び電特検査装置50が電子部品10の電気特性を検査する。次に、部品押圧装置43が検査用ソケット34から電子部品10を第1シャトルステージ36または第2シャトルステージ41に移動する。
Next, the
図8(b)に示すように、次に、部品除材部33が第1シャトルステージ36または第2シャトルステージ41から電子部品10を第4コンベア6〜第6コンベア8上のトレイ9に移動する。この動作を順次繰り返して電子部品10の電特検査を行う。尚、各電子部品10の電特検査の判定結果はメモリー59に記憶され、情報表示装置48及び情報表示装置51aに表示される。また、電特検査の判定結果はメモリー59から情報出力装置65により外部機器に出力することが可能になっている。
Next, as shown in FIG. 8 (b), the
図8(c)はステップS8の空トレイ移動工程に対応する図である。図8(c)に示すようにステップS8では、ステージ制御部76がステージ駆動装置60にトレイ移動ステージ14を移動させて、コンベア駆動装置61に第1コンベア3を駆動させる。そして、電子部品10が移動されて空になったトレイ9とトレイ把持部16とが対向するようにステージ制御部76はトレイ9とトレイ把持部16とを移動させる。
FIG. 8C is a diagram corresponding to the empty tray moving step in step S8. As shown in FIG. 8C, in step S <b> 8, the
次に、ステージ制御部76はトレイ把持部16に設置されたトレイ昇降ステージ68をステージ駆動装置60に駆動させてトレイ把持部16を下降させる。続いて、ステージ制御部76は把持部駆動装置62に指令信号を出力してトレイ把持部16にトレイ9を把持させる。次に、ステージ制御部76はステージ駆動装置60及び把持部駆動装置62に指令信号を出力してトレイ9を第2コンベア4上または第3コンベア5上に移動させる。
Next, the
第4コンベア6〜第6コンベア8上のトレイ9に電子部品10を載置する場所がなく、トレイ9を設置する場所があるとき、ステージ制御部76はステージ駆動装置60、コンベア駆動装置61、把持部駆動装置62に指令信号を出力する。そして、ステージ制御部76は第2コンベア4及び第3コンベア5から第4コンベア6〜第6コンベア8上にトレイ9を移動させる。
When there is no place to place the
図8(d)はステップS9のトレイ除去工程に対応する図である。図8(d)に示すように、ステップS9において、ステージ制御部76はコンベア駆動装置61に指令信号を出力する。そして、ステージ制御部76はコンベア駆動装置61に第4コンベア6〜第6コンベア8を駆動させて、電子部品10が載置されたトレイ9をカバー53の外側に移動する。続いて、操作者は電子部品10が載置されたトレイ9を部品検査装置1から除去し次工程の作業場所へ搬送する。以上の工程により電子部品10を検査する工程を終了する。
FIG. 8D is a diagram corresponding to the tray removing process in step S9. As shown in FIG. 8D, the
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
(1)本実施形態によれば、トレイ9に電子部品10が載置され、そのトレイ9が部品検査装置1に設置される。電子部品10には個体識別番号10cが設置され、撮像装置17が個体識別番号10cを撮影する。そして、個体識別番号演算部79が撮影した個体識別番号10cから電子部品10の個体識別データ75を演算する。従って、部品検査装置1は電子部品10の個体識別データ75を認識することができる。
As described above, this embodiment has the following effects.
(1) According to the present embodiment, the
(2)本実施形態によれば、部品検査装置1は第1コンベア3及びトレイ搬送部11を備えている。第1コンベア3がトレイ9を第1方向3cに移動する。トレイ搬送部11は第1方向3cと交差する第2方向14aに撮像装置17を移動する。従って、第1コンベア3とトレイ搬送部11とを駆動することにより部品検査装置1はトレイ9と撮像装置17とを2次元方向において相対移動させることができる。従って、トレイ9に電子部品10がマトリックス状に複数列載置されているときにも部品検査装置1は各電子部品10の個体識別データ75を認識することができる。
(2) According to the present embodiment, the
特許文献1のようなICハンドラーでは、トレイ移送部は一方向のみの移動であるので、たとえ、トレイ移送部に検出手段を設けることができる場合であっても、IC全数を識別することはできなかった。部品検査装置1はトレイ9と撮像装置17とを2次元方向において相対移動させることができる為、トレイに設置されたIC全数を識別することができる。
In the IC handler as in
(3)本実施形態によれば、部品検査装置1は部品給材部29及びトレイ搬送部11を備えている。部品給材部29は電子部品10をトレイ9から順次移動する。これにより、トレイ9は電子部品10が載置されていない状態となる。トレイ搬送部11は第2方向14aにトレイ9を移動する。これにより、トレイ9を第1コンベア3から除くことができる。そして、空のトレイ9を移動する部位と撮像装置17を移動する部位とは共通の移動機構を有するトレイ移動ステージ14となっている。従って、空のトレイ9を移動するための移動機構と撮像装置17を移動するための移動機構との2つの移動機構を設置するときに比べて簡易な構造にすることができる。
(3) According to this embodiment, the
(4)本実施形態によれば、情報表示装置48、情報表示装置51a及び情報出力装置65が個体識別データ75を出力する。従って、電子部品10の個体識別データ75を活用することができる。
(4) According to this embodiment, the
(5)本実施形態によれば、情報表示装置48及び情報表示装置51aが個体識別データ75を表示する。従って、操作者が電子部品10の個体識別データ75を確認して個体識別データ75に応じた対応をすることができる。
(5) According to the present embodiment, the
(6)本実施形態によれば、情報出力装置65が個体識別データ75を外部機器に出力する。従って、外部機器が電子部品10の個体識別データ75を確認して個体識別データ75に応じた対応をすることができる。
(6) According to this embodiment, the
(7)本実施形態によれば、トレイ搬送部11に撮像装置17が設置されている。撮像装置17はトレイ搬送部11の他に部品給材部29に設置することができる。部品給材部29は電子部品10を移動する部位である。電子部品10の個数はトレイ9の個数より多いので、トレイ9を早く移動することにより早く電子部品10を移動することが生産性の向上に寄与する。
(7) According to the present embodiment, the
そして、部品給材部29の給材Xステージ27に撮像装置17に設置するとき給材Xステージ27が重くなるため移動速度が低下する。従ってこの構造では部品給材部29が電子部品10を移動するのに時間が長くかかる。この構造に比べて本実施形態ではトレイ搬送部11に撮像装置17が設置されているため、生産性良く電子部品10を移動させることができる。
And since the
(第2の実施形態)
次に、個体識別番号が表示された電子部品及び部品検査装置の一実施形態について図9を用いて説明する。図9(a)は電子部品を説明するための模式平面図であり、図9(b)は部品検査装置の構造を示す模式側面図である。本実施形態が第1の実施形態と異なるところは、品種表示名10bや個体識別番号10cの表示にバーコードが用いられている点にある。尚、第1の実施形態と同じ点については説明を省略する。
(Second Embodiment)
Next, an embodiment of an electronic component on which an individual identification number is displayed and a component inspection apparatus will be described with reference to FIG. FIG. 9A is a schematic plan view for explaining the electronic component, and FIG. 9B is a schematic side view showing the structure of the component inspection apparatus. This embodiment is different from the first embodiment in that a barcode is used to display the product
すなわち、本実施形態では図9(a)に示したように、電子部品85にはメーカー名85a、品種表示名85b、個体識別番号85cを示す文字列が印刷されている。さらに、電子部品85には品種表示名85bをバーコードで表示した品種バーコード85dと個体識別番号85cをバーコードで表示した識別情報としての個体識別バーコード85eが印刷されている。尚、文字やバーコードの内容や配置等の属性は特に限定されず、電子部品85毎に設定されている。
That is, in this embodiment, as shown in FIG. 9A, the
図9(b)に示したように、部品検査装置86にはトレイ移動ステージ14にバーコードリーダー87が設置されている。バーコードリーダー87は品種バーコード85d及び個体識別バーコード85eに光線87aを射出して走査する。そして、バーコードリーダー87は反射光を受光し、反射光の光強度信号をバーコードが示す文字情報に変換する。この文字情報が個体識別データ75である。CPU58はバーコードリーダー87から文字情報を入力してメモリー59に記憶する。
As shown in FIG. 9B, the
上述したように、本実施形態によれば、以下の効果を有する。
(1)本実施形態によれば、部品検査装置86はバーコードリーダー87を有する。従って、電子部品85の識別情報がバーコードを含んでいるときにも容易に識別情報から個体識別データ75を認識することができる。
As described above, this embodiment has the following effects.
(1) According to this embodiment, the
(2)本実施形態によれば、部品検査装置86はバーコードリーダー87を備えている。バーコードリーダー87は撮像装置17と個体識別番号演算部79とで文字情報を認識するときに比べて簡便な装置となっている。従って、生産性良く部品検査装置86を製造することができる。
(2) According to this embodiment, the
尚、本実施形態は上述した実施形態に限定されるものではなく、本発明の技術的思想内で当分野において通常の知識を有する者により種々の変更や改良を加えることも可能である。変形例を以下に述べる。
(変形例1)
前記第2の実施形態では、電子部品85に1次元の個体識別バーコード85eが印刷されていた。バーコードは1次元に限らず、2次元のバーコードにしても良い。図10は電子部品を説明するための模式平面図である。図10に示すように電子部品88にはメーカー名88a、品種表示名88b、個体識別番号88cを示す文字列が印刷されている。さらに、電子部品88には品種表示名88bを2次元バーコードで表示した品種バーコード88dと個体識別番号88cを2次元バーコードで表示した識別情報としての個体識別バーコード88eが印刷されている。
Note that the present embodiment is not limited to the above-described embodiment, and various changes and improvements can be added by those having ordinary knowledge in the art within the technical idea of the present invention. A modification will be described below.
(Modification 1)
In the second embodiment, the one-dimensional individual
そして、バーコードリーダー87は2次元のバーコードを文字データに変換する装置になっている。バーコードを1次元から2次元にすることにより、表示可能な文字数を増やすことができる。従って、電子部品88に表示する情報量を多くすることができる。
The
(変形例2)
前記第1の実施形態では、第1コンベア3〜第6コンベア8がトレイ9を移動した。コンベアに限らず直動機構を備えたステージがトレイ9を移動してもよい。ステージは位置精度良くトレイ9を移動することができる。他にも搬送車がトレイ9を移動してもよい。自由度の高い搬送路を設定することができる。
(Modification 2)
In the first embodiment, the
(変形例3)
前記第1の実施形態では、撮像装置17は内部にCCD撮像素子が組み込まれていた。画像を電気信号に変換する装置はCCD撮像素子に限定されない。撮像管やCMOS(相補性金属酸化膜半導体)イメージセンサーを用いることができる。他にも赤外線イメージセンサーを用いることができる。撮影する環境や電子部品10の印刷状況に合わせて選択しても良い。
(Modification 3)
In the first embodiment, the
(変形例4)
前記第1の実施形態では、トレイ搬送部11が撮像装置17を移動させた。これに限らず、撮像装置17を第2方向14aに移動する撮像装置移動部を設置してもよい。そして、撮像装置移動部が撮像装置17を移動し、トレイ搬送部11がトレイ把持部16を移動するようにする。これにより、撮像装置17が電子部品10を撮影する工程とトレイ搬送部11が空のトレイ9を移動する工程とを同時に行うことができる。従って、生産性良く工程を進めることができる。
(Modification 4)
In the first embodiment, the
(変形例5)
前記第1の実施形態では、第2方向14aは第1方向3cと直交する方向となっていた。第1方向3cと第2方向14aとは必ずしも直交しなくてもよい。第1方向3cと第2方向14aとは交差する方向でもよい。この場合にも、撮像装置17は複数列の電子部品10を撮影することができる。そして、設計の自由度を高めることができる。
(Modification 5)
In the first embodiment, the
(変形例6)
前記第1の実施形態では、ステップS3のマーク撮像工程〜ステップS6の確認終了判定工程を行ってからステップS7の検査工程に移行した。これに限らず、ステップS3のマーク撮像工程〜ステップS6の確認終了判定工程とステップS7の検査工程とを並行して行ってもよい。つまり、ステップS5の個体識別判定工程で個体識別データ75が比較判定データ74の一覧表に存在するときには個体識別番号10cを検査した電子部品10を順次ステップS7の検査工程を行っても良い。個体識別データ75の確認と電特検査とが並行して行われるので、生産性良く検査を行うことができる。
(Modification 6)
In the first embodiment, after the mark imaging process in step S3 to the confirmation end determination process in step S6, the process proceeds to the inspection process in step S7. Not limited to this, the mark imaging process in step S3 to the confirmation end determination process in step S6 and the inspection process in step S7 may be performed in parallel. That is, when the
1b…部品搬送装置としての搬送部、1,86…部品検査装置、3…第1移動部としての第1コンベア、3c…第1方向、9…容器としてのトレイ、10…電子部品、10c…識別情報としての個体識別番号、11…第2移動部としてのトレイ搬送部、14…移動機構としてのトレイ移動ステージ、14a…第2方向、17…識別情報検出部及び画像撮像部としての撮像装置、20…搬送機構としての部品除給材部、29…搬送機構としての部品給材部、36…搬送機構としての第1シャトルステージ、41…搬送機構としての第2シャトルステージ、43…搬送機構としての部品押圧装置、51a…情報出力部、情報表示部及び警報出力部としての情報表示装置、51b…情報入力部としての情報入力装置、65…情報出力部及び出力インターフェイスとしての情報出力装置、74…比較情報としての比較判定データ、75…識別情報としての個体識別データ、78…データ変換部、79…個体識別部としての個体識別番号演算部、80…情報比較部としての個体識別番号判定部、85e,88e…識別情報としての個体識別バーコード、87…バーコードリーダー。
DESCRIPTION OF
Claims (8)
前記識別情報を用いて前記電子部品の個体識別をする個体識別部と、
第1方向及び前記第1方向と交差する第2方向に前記電子部品を複数載置するトレイを、前記第1方向に移動可能な複数の第1移動部と、
前記識別情報検出部及び前記トレイを把持可能なトレイ把持部を配置し、前記第2方向に移動可能な第2移動部と、
を備え、
複数の前記第1移動部は、
検査前の前記電子部品が載置される前記トレイを前記第1方向に移動可能な検査前電子部品トレイ移動部、
検査後の前記電子部品が載置される前記トレイを前記第1方向に移動可能な検査後電子部品トレイ移動部及び
前記検査前電子部品トレイ移動部と前記検査後電子部品トレイ移動部の間に配置され、前記検査前の前記電子部品が除材されて前記検査前の前記電子部品が載置されていない空トレイを前記第1方向に移動可能な空トレイ移動部を含み、
前記トレイ把持部は、
前記検査前電子部品トレイ移動部で前記電子部品が除材されて前記検査前の前記電子部品が載置されていない前記空トレイを、前記検査前電子部品トレイ移動部から前記空トレイ移動部に搬送可能で、
かつ、前記空トレイを前記空トレイ移動部から前記検査後電子部品トレイ移動部まで移動可能であり、
前記識別情報検出部は、
前記検査前電子部品トレイ移動部に移動したときに、前記検査前電子部品トレイ移動部の前記第1方向の移動及び前記第2移動部の前記第2方向の移動により、前記第1方向及び前記第2方向にマトリックス状に載置された複数の前記検査前の前記電子部品の前記識別情報を検出可能である、
ことを特徴とする電子部品搬送装置。 An identification information detector for detecting identification information displayed on the electronic component;
An individual identification unit for individual identification of the electronic component using the identification information;
A plurality of first moving parts that are movable in the first direction with trays for placing a plurality of the electronic components in a first direction and a second direction intersecting the first direction;
A second gripper that is arranged to dispose the identification information detector and the tray gripper capable of gripping the tray, and is movable in the second direction;
With
The plurality of first moving units are:
A pre-inspection electronic component tray moving unit capable of moving the tray on which the electronic component before inspection is placed in the first direction;
A post-inspection electronic component tray moving section capable of moving the tray on which the electronic component after inspection is placed in the first direction;
An empty tray that is disposed between the pre-inspection electronic component tray moving unit and the post-inspection electronic component tray moving unit, in which the electronic components before the inspection are removed and the electronic components before the inspection are not placed Including an empty tray moving unit movable in the first direction,
The tray gripping part is
The electronic tray is removed from the electronic component tray moving unit before inspection and the empty tray on which the electronic component before inspection is not placed is transferred from the electronic component tray moving unit before inspection to the empty tray moving unit. Can be transported,
And the empty tray can be moved from the empty tray moving unit to the post-inspection electronic component tray moving unit,
The identification information detection unit
When the pre-inspection electronic component tray moving unit moves to the pre-inspection electronic component tray moving unit, the pre-inspection electronic component tray moving unit moves in the first direction and the second moving unit moves in the second direction. It is possible to detect the identification information of the plurality of the electronic components before inspection placed in a matrix in the second direction.
An electronic component conveying apparatus characterized by the above.
前記個体識別の結果を出力する情報出力部を有することを特徴とする電子部品搬送装置。 It is an electronic component conveyance apparatus as described in any one of Claims 1-2,
An electronic component transport apparatus comprising an information output unit that outputs the result of the individual identification.
前記情報出力部は前記個体識別の結果を表示する情報表示部を有することを特徴とする電子部品搬送装置。 It is an electronic component conveyance apparatus of Claim 3, Comprising:
The information output unit includes an information display unit that displays a result of the individual identification.
前記情報出力部は前記個体識別の結果を信号にして出力する出力インターフェイスを有することを特徴とする電子部品搬送装置。 It is an electronic component conveyance apparatus of Claim 3, Comprising:
The electronic component transport apparatus according to claim 1, wherein the information output unit includes an output interface that outputs the individual identification result as a signal.
前記識別情報はバーコードを含み、前記識別情報検出部は前記バーコードを読み取るバーコードリーダーを有することを特徴とする電子部品搬送装置。 It is an electronic component conveyance device according to any one of claims 1 to 5,
The electronic component transport apparatus according to claim 1, wherein the identification information includes a barcode, and the identification information detection unit includes a barcode reader that reads the barcode.
前記識別情報と比較する比較情報を入力する情報入力部と、
前記比較情報と前記識別情報とが異なるときには警報情報を出力する警報出力部と、を有することを特徴とする電子部品搬送装置。 It is an electronic component conveyance apparatus as described in any one of Claims 1-6,
An information input unit for inputting comparison information to be compared with the identification information;
An electronic component conveying apparatus comprising: an alarm output unit that outputs alarm information when the comparison information and the identification information are different.
前記識別情報を用いて前記電子部品の個体識別をする個体識別部と、
前記電子部品を検査する検査部と、
第1方向及び前記第1方向と交差する第2方向に前記電子部品を複数載置するトレイを、前記第1方向に移動可能な複数の第1移動部と、
前記識別情報検出部及び前記トレイを把持可能なトレイ把持部を配置し、前記第2方向に移動可能な第2移動部と、
を備え、
複数の前記第1移動部は、
検査前の前記電子部品が載置される前記トレイを前記第1方向に移動可能な検査前電子部品トレイ移動部、
検査後の前記電子部品が載置される前記トレイを前記第1方向に移動可能な検査後電子部品トレイ移動部及び
前記検査前電子部品トレイ移動部と前記検査後電子部品トレイ移動部の間に配置され、前記検査前の前記電子部品が除材されて前記検査前の前記電子部品が載置されていない空トレイを前記第1方向に移動可能な空トレイ移動部を含み、
前記トレイ把持部は、
前記検査前電子部品トレイ移動部で前記電子部品が除材されて前記検査前の前記電子部品が載置されていない前記空トレイを、前記検査前電子部品トレイ移動部から前記空トレイ移動部に搬送可能で、
かつ、前記空トレイを前記空トレイ移動部から前記検査後電子部品トレイ移動部まで移動可能であり、
前記識別情報検出部は、
前記検査前電子部品トレイ移動部に移動したときに、前記検査前電子部品トレイ移動部の前記第1方向の移動及び前記第2移動部の前記第2方向の移動により、前記第1方向及び前記第2方向にマトリックス状に載置された複数の前記検査前の前記電子部品の前記識別情報を検出可能である、
ことを特徴とする電子部品検査装置。 An identification information detector for detecting identification information displayed on the electronic component;
An individual identification unit for individual identification of the electronic component using the identification information;
An inspection unit for inspecting the electronic component;
A plurality of first moving parts that are movable in the first direction with trays for placing a plurality of the electronic components in a first direction and a second direction intersecting the first direction;
A second gripper that is arranged to dispose the identification information detector and the tray gripper capable of gripping the tray, and is movable in the second direction;
With
The plurality of first moving units are:
A pre-inspection electronic component tray moving unit capable of moving the tray on which the electronic component before inspection is placed in the first direction;
A post-inspection electronic component tray moving section capable of moving the tray on which the electronic component after inspection is placed in the first direction;
An empty tray that is disposed between the pre-inspection electronic component tray moving unit and the post-inspection electronic component tray moving unit, in which the electronic components before the inspection are removed and the electronic components before the inspection are not placed Including an empty tray moving unit movable in the first direction,
The tray gripping part is
The electronic tray is removed from the electronic component tray moving unit before inspection and the empty tray on which the electronic component before inspection is not placed is transferred from the electronic component tray moving unit before inspection to the empty tray moving unit. Can be transported,
And the empty tray can be moved from the empty tray moving unit to the post-inspection electronic component tray moving unit,
The identification information detection unit
When the pre-inspection electronic component tray moving unit moves to the pre-inspection electronic component tray moving unit, the pre-inspection electronic component tray moving unit moves in the first direction and the second moving unit moves in the second direction. It is possible to detect the identification information of the plurality of the electronic components before inspection placed in a matrix in the second direction.
An electronic component inspection apparatus.
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