JP6079786B2 - モータ駆動システムおよびモータ制御装置 - Google Patents

モータ駆動システムおよびモータ制御装置 Download PDF

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Description

開示の実施形態は、モータ駆動システムおよびモータ制御装置に関する。
従来、モータを備えたシステムにおいて、モータの駆動制御を行う場合、エンコーダなどの位置センサを用いてモータの位置や速度(回転角や回転速度)を検出することが一般的であった(例えば、特許文献1参照)。
特開2009−095154号公報
しかしながら、エンコーダなどの位置センサは、振動や衝撃といった耐環境性能の面にやや難があり、かつ高価格である。他方、近年では、モータの電圧および電流によってモータの位置や速度を求める、いわゆるエンコーダレスのモータを用いたシステムが知られているが、トルクリプルを十分には補償できないおそれがある。
実施形態の一態様は、上記に鑑みてなされたものであって、耐環境性能に優れ、低コストで構築可能なモータ駆動システムおよびモータ制御装置を提供することを目的とする。
実施形態の一態様に係るモータ駆動システムは、モータと、当該モータと負荷との間に設けられたトルクセンサと、前記モータの駆動を制御するモータ制御装置とを備える。前記モータ制御装置は、前記トルクセンサの検出信号に基いて前記モータの速度および位置のうち少なくとも一方を推定する推定部を備える。
実施形態の一態様によれば、耐環境性能に優るとともに、動作性能の向上を図ることのできるモータ駆動システムおよびモータ制御装置を低コストで実現することができる。
図1は、実施形態に係るモータ駆動システムが適用されたロボットの一例を示す説明図である。 図2Aは、同上のモータ駆動システムの一例を示すブロック図である。 図2Bは、同上のモータ駆動システムの他の例を示すブロック図である。 図3は、実施形態に係るモータ制御装置を示す説明図である。 図4は、モータ制御装置の変形例を示す説明図である。 図5は、同上のモータ制御装置が有する推定部による推定機能の原理を示す説明図である。 図6は、同上の推定部による推定機能の原理を示す説明図である。 図7は、他の実施形態に係るモータ駆動システムを示す説明図である。 図8Aは、実施形態に係るトルクセンサの正面視による説明図である。 図8Bは、図8AのI−I線における断面図である。 図9Aは、同上のトルクセンサへの歪ゲージの取付状態の一例を示す説明図である。 図9Bは、同上の歪ゲージにより組まれたブリッジ回路を示す説明図である。 図10Aは、同上のトルクセンサへの歪ゲージの取付状態の他の例を示す説明図である。 図10Bは、同上の歪ゲージにより組まれたブリッジ回路を示す説明図である。
以下、図面を参照して、本願の開示するモータ駆動システムおよびモータ制御装置の実施形態を詳細に説明する。なお、以下に示す実施形態によりこの発明が限定されるものではない。
図1は、実施形態に係るモータ駆動システムが適用されたロボット1の一例を示す説明図である。なお、以下では、ロボット1が設置された設置面Gに対して略垂直な方向を上下方向と表現する場合がある。
ロボット1は、図示するように、設置面Gに固設された基台10に対し、旋回部20を介して水平方向に旋回自在に取付けられた胴部11と、この胴部11に連動連結されたアーム部12と、このアーム部12の先端に設けられたリスト部13とを備えている。このリスト部13の先端には、用途に応じたエンドエフェクタ(不図示)が適宜連結される。
なお、アーム部12およびリスト部13は、それぞれ第1〜第4関節部21〜24を介して軸周りに回動自在に構成されている。アーム部12は、胴部11に対し、第1関節部21を介して上下揺動自在に連結された第1アーム部12aと、この第1アーム部12aの先端部に、第2関節部22を介して上下揺動自在に連結された第2アーム部12bとを備える。
リスト部13は、第2アーム部12bに対して、第3関節部23を介して軸周りに回動自在、かつ第4関節部24を介して上下揺動自在に連結されている。
旋回部20をはじめとして、第1〜第4関節部21〜24は、可動部材となる胴部11やアーム部12やリスト部13を駆動するアクチュエータを内蔵している。本実施形態に係るロボット1は、アクチュエータとしてモータ2およびトルクセンサ3を備えている。そして、かかるモータ2およびトルクセンサ3は、図示するように、当該モータ2の駆動を制御するモータ制御装置4と電気的に接続している。
ここで、かかるモータ制御装置4について説明するとともに、当該モータ制御装置4を備えるモータ駆動システムについて、具体的に説明する。
図2Aは、モータ駆動システムの一例を示すブロック図である。例えば、モータ駆動システムを第1関節部21に適用したとすると、図示するように、第1関節部21には、第1アーム部12aを駆動する駆動源となるモータ2と、モータ2が駆動したときのトルクを検出するトルクセンサ3とが設けられる。
トルクセンサ3は、モータ2と、可動部材の一例であってモータ2の負荷となる第1アーム部12aとの間に設けられている。ここでは、モータ2とトルクセンサ3とが一体的に構成された例を示しており、モータ2にトルクセンサ3を一体的に組み込んだセンサ一体型モータ2aとしている。
図2Bは、モータ駆動システムの他の例を示すブロック図であり、図示するように、第1関節部21に、モータ2と、当該モータ2に連動連結された減速機5とトルクセンサ3とが一体的に構成されたセンサ一体型減速機5aとを設けている。
すなわち、図1に示すロボット1の第1関節部21には、センサ一体型モータ2a、あるいは、モータ2と、センサ一体型減速機5aとが配設され、第1アーム部12aが揺動することになる。なお、図示は省略したが、減速機5を備えないセンサ一体型モータ2aや、モータ2とは別体のセンサ一体型減速機5aに代えて、モータ2、減速機5およびトルクセンサ3が一体的に構成されたセンサ一体型アクチュエータを採用してもよい。
図2Aおよび図2Bに示すように、モータ2の駆動を制御するモータ制御装置4は、電流制御部41と、位置/速度制御部42と、推定部43とを備えている。
詳しくは後述するが、推定部43は、トルクセンサ3からフィードバックされるトルク検出信号Tfbに基いて、モータ2の速度または位置のいずれか一方を推定し、推定結果である機械角速度を位置/速度制御部42へ、推定電気角を電流制御部41に出力する。また、位置/速度制御部42は、推定部43からの機械角速度と速度指令とに基いて、電流指令を電流制御部41へ出力する。こうして、電流制御部41は、モータ2へ供給する出力電流を電流検出器で検出した信号であるフィードバック電流Ifbと、推定部43からのモータ2の推定電気角と、位置/速度制御部42からの電流指令とに基いて、モータ2を制御する。
このように、本実施形態におけるモータ制御装置4は、例えばエンコーダなどのように高価で、かつ振動や衝撃といった耐環境性能に難のある位置検出器を用いることなく、耐環境性能に優るトルクセンサ3を用いてモータ2の制御を行う。したがって、低コストでありながら、動作性能の向上を図ることのできるモータ駆動システムおよびモータ制御装置4を実現することができる。
ここで、モータ制御装置4について、より具体的に説明する。図3は、モータ制御装置4をより具体的に示した説明図である。
図示するように、モータ制御装置4は、モータ2への出力電流に重畳される高周波電流指令Idhfiを発生する高周波電流指令器45を備えている。すなわち、モータ制御装置4の推定部43は、高周波電流指令Idhfiおよびトルク検出信号Tfbに基いて、モータ2の速度および位置のうち少なくとも一方を推定する。なお、高周波電流指令器45は、必ずしもモータ制御装置4が備える必要はなく、モータ制御装置4とは別の外部装置として設けても構わない。
電流制御部41は、ACR(d軸電流制御器)51と、ACR(q軸電流制御器)52と、三相/dq座標変換器55と、d軸電流演算器65と、加算器66,67と、dq/三相座標変換器44とを備えている。三相/dq座標変換器55は、モータ制御装置4が備える座標変換部であり、モータ2に同期したd−q軸回転座標系のd軸成分およびq軸成分を演算し、モータ2からの3相の電流Iuvwそれぞれに対し、d軸電流およびq軸電流を導出する。dq/三相座標変換器44は、dq座標変換部53を備え、d軸電圧指令Vおよびq軸電圧指令Vから3相電圧指令Vuvwを導出する。
また、電流制御部41は、図示しないPWM制御器と、スイッチング素子(パワー素子)と、電流検出器とを備えている。PWM制御器は、所謂キャリア比較演算や空間ベクトル演算を行い、三相電圧指令をPWM制御信号に変換して、スイッチング素子(パワー素子)に出力する。スイッチング素子(パワー素子)は、例えばIPM(Intelligent Power Module)であり、PWM制御器からのPWM制御信号に応じた電流をモータへ供給する。電流検出器は、モータへの電流供給ラインに配置され、検出電流信号Iuvwを出力する。
ACRd51は、高周波電流指令器45からの検波用の高周波電流指令Idhfiとd軸電流指令I* とがd軸電流演算器65によって合成された指令と、三相/dq座標変換器55から出力されたd軸電流値Idとに基いて、d軸電圧指令を調整して出力する。なお、ACR51は、d軸電圧指令を、d軸電流指令I* と三相/dq座標変換器55を介して入力されたd軸電流値との偏差を零とするように調整している。出力されたd軸電圧指令は、加算器66でd軸補償電圧Vdffと合成され、PMW制御器44のdq座標変換部53に入力される。
ACR52は、位置/速度制御部42からのq軸電流指令I*qと三相/dq座標変換器55から出力されたq軸電流値Iqとに基いて、q軸電圧指令を調整して出力する。出力されたq軸電圧指令は、加算器67でq軸補償電圧Vqffと合成され、PMW制御器44のdq座標変換部53に入力される。
位置/速度制御部42は、速度指令ω*と、推定部43からの機械角速度である推定機械角速度ω^mとを比較して偏差をとる減算器68と、電流制御部41のACR52へq軸電流指令I*qを出力するASR(自動速度調整装置)56とを備えている。
ここで、図3に示した形態は、モータ制御装置4が、モータ2を速度制御する場合である。一方、モータ制御装置4が、モータ2を位置制御する場合は、図4に示すように、更に、積分器71と、減算器72およびAPR(自動位置調整装置)73を備える構成とするとよい。積分器71は、推定部43からの機械角速度である推定機械角速度ω^mを積分して推定機械角P^mを出力する。減算器72は、位置指令P*と推定機械角P^mとを比較して偏差をとる。APR(自動位置調整装置)73は、ASR(自動速度調整装置)56へ速度指令ω*を出力する。なお、図4は、モータ制御装置の変形例を示す説明図であり、積分器71と、減算器72およびAPR(自動位置調整装置)73を備える他は、図3に示した構成と同じである。また、積分器71は、推定部43内に設けても構わない。これにより、推定部43がモータの速度および位置のうち少なくとも一方を推定することが可能となる。
推定部43は、BPF(バンドパスフィルタ)57と、乗算器64と、LPF(ローパスフィルタ)58,63と、減算器59と、PI制御器60と、積分器61と、機械角演算部62とを備えている。
乗算器64は、トルクセンサ3からフィードバックされるトルク検出信号Tfbと、高周波電流指令器45から入力される高周波電流指令Idhfiとを乗算する。このときのトルク検出信号Tfbは、BPF57によって抽出されたトルクの振動成分であり、これを乗算器64に入力する。高周波電流指令Idhfiは、モータ2のd軸に重畳されるもので、BPF57は、高周波電流指令Idhfiをd軸に重畳したときのトルクの振動成分を抽出する振動成分抽出部として機能している。
乗算器64で乗算された周波数は、LPF58により平均化処理を施すことで位相誤差を示す情報となる。これを減算器59に入力して、その振幅が零になるように電気角速度を調整する。そして、PI制御器60により推定電気角速度ω^eを導出し、これを積分器61で積分することにより推定電気角θ^eを得る。得られた推定電気角θ^eは、電流制御部41の三相/dq座標変換器55へ出力され、回転座標上のd軸電流値Idおよびq軸電流値Iqに変換されてACR51およびACR52に出力される。
他方、推定電気角速度ω^eは、LPF63によりノイズ除去された後、機械角演算部62に入力されて極数で除されて推定機械角速度ω^mが導出される。そして、この推定機械角速度ω^mが、位置/速度制御部42の減算器68に出力される。
こうして、本実施形態に係るモータ制御装置4は、直接的にはモータ2の推定機械角速度ω^mを推定することができる。なお、この推定機械角速度ω^mを積分すれば、推定機械角P^mを得ることができ、結果的には、モータ2の速度または位置の少なくともいずれか一方を推定することができる。勿論、モータ2の速度および位置を求めることもできる。
ここで、図5および図6を参照して、推定部43による速度推定あるいは位置推定の原理について説明する。図5および図6は、モータ制御装置4が有する推定部43による推定機能の原理を示す説明図である。
図5に示すように、q軸にq軸(トルク)電流指令I*qが入力されているときに、高周波電流指令である検波用の高周波電流指令Idhfiをd軸に重畳する。推定電気角θ^eに誤差がなければ、(b)に示すように、トルクは正しい波形を示す。しかし、推定電気角θ^eに誤差があると、d軸の振動成分がトルクに重畳されるため、(a)に示すように、トルクが振動する。このように、推定電気角θ^eがずれると、トルクが振動することを利用して、その振動成分をBPF57(図3および図4を参照)で抽出している。
また、推定電気角θ^eのずれとトルクの振動の関係として、推定電気角θ^eが遅れている場合、図6(a)に示すように、d軸電流とトルクの振動は逆位相となる。一方、推定電気角θ^eが進んでいる場合、図6(b)に示すように、d軸電流とトルクの振動は同位相となる。
推定電気角θ^eが遅れているか、進んでいるかは、d軸に重畳した検波信号である高周波電流指令Idhfiと、BPF57(図3参照)で抽出した振動成分とを乗算することで判別することができる。すなわち、検波信号とトルク振動との乗算結果で示される位相誤差は、図示するように、プラスあるいはマイナスの方向へオフセットされた状態で表れる。
前述したように、推定電気角速度ω^eを導出する場合、位相誤差の振幅が零になるように電気角速度を調整するのであるが、その調整に際し、位相が遅れている場合は電気角速度を上げ、逆に位相が進んでいる場合は電気角速度を下げればよいことになる。
このように、位相誤差の振幅が零になるように調整された推定電気角速度ω^eが、LPF63によりノイズ除去された後、機械角演算部62に入力されて極数で除された、図3および図4に示す推定機械角速度ω^mであり、これを積分すれば、推定機械角P^m(図4)を得ることができる。
(他の実施形態)
ここで、モータ駆動システムの他の実施形態について説明する。図7は、他の実施形態に係るモータ駆動システムを示す説明図である。
図示するように、この実施形態に係るモータ駆動システムでは、トルクセンサ3に加え、モータ2の位置を検出する位置検出器としてのエンコーダ6を備えるとともに、モータ制御装置4は、エンコーダ6が通常駆動であるか否かを判定する判定部7を備えている。
すなわち、判定部7は、エンコーダ6の動作を監視しつつ、エンコーダ6からの位置検出信号と、位置/速度制御部42からのトルク検出信号Tfbに基いて推定演算された推定機械角P^mを入力している。そして、判定部7は、エンコーダ6からの検出信号と、位置/速度制御部42からの推定機械角P^mとを比較して、所定値以上の差異が生じている場合に、エンコーダ異常と判定することができる。
エンコーダ6の動作に異常がない場合は、位置/速度制御部42は、エンコーダ6からの位置検出信号を位置フィードバック信号として用いるとともに、トルクセンサ3からのトルク検出信号Tfbをトルク補償信号として用いることができる。一方、エンコーダ6の異常を判定した場合、位置/速度制御部42は、推定機械角P^mを位置フィードバック信号として用いることができる。
かかる構成により、モータ制御装置4は、通常駆動時は、エンコーダ6の検出信号に基いてモータ2の駆動を制御し、トルクセンサ3のトルク検出信号Tfbに基いてトルク補償を行う一方、エンコーダ6の異常時には、推定部43に、トルクセンサ3のトルク検出信号Tfbに基いてモータ2の速度および位置のうち少なくとも一方を推定させることができる。
かかる構成としたことで、モータ制御に用いられていたエンコーダ6に不具合が生じても、トルクセンサ3に基くモータ制御が可能となる。したがって、モータ駆動システムにおけるフェールセーフ機能を低コストで実現することができる。また、モータ構造や減速機によって発生するトルクリプルを直接検出して抑制するといったトルク補償を常時行うことができるため、モータ駆動システムの動作性能の向上が期待できる。
次に、上述してきたモータ駆動システムが備えるトルクセンサ3の具体的な構成について説明する。図7Aは、トルクセンサ3の正面視による説明図、図8Bは、図8AのI−I線における断面図である。また、図9Aは、トルクセンサ3への歪ゲージA1〜A4,B1〜B4の取付状態の一例を示す説明図、図9Bは、同歪ゲージA1〜A4,B1〜B4により組まれたブリッジ回路を示す説明図である。
図8Aおよび図8Bに示すように、トルクセンサ3は、所定の厚みと直径を有する略円板状の外観を呈している。そして、歪ゲージA1〜A4,B1〜B4を取付可能であり、モータ2の出力軸(図示せず)またはモータ2に連動連結された減速機5の出力軸(図示せず)に対して外方へ延在した複数の伸延体31を備えている。
すなわち、図示するように、モータ2あるいは減速機5の出力軸を嵌着する円孔30を形成する内側環状体34の周方向に、複数(ここでは12本)の伸延体31の基端がそれぞれ一定間隔をあけて設けられ、円孔30の中心30aから放射状に伸延している。そして、伸延体31の先端同士は、外側環状体32にそれぞれ連結されている。なお、外側環状体32は必ずしも無くても構わないが、伸延体31を外側環状体32に連結することによって、より堅固なトルクセンサ3を構成することができる。
歪ゲージA1〜A4,B1〜B4は、すべて同一の構成であり、図9Aに示すように、180度離隔して互いに線対称となる2組の伸延体31の両側に、それぞれ設けられている。すなわち、1つの伸延体31の両側に対をなす歪ゲージA1,A2が配置され、これに対向する伸延体31の両側に一対の歪ゲージA3,A4が配置される。そして、他の1組の伸延体31,31に、歪ゲージB1〜B4が同様に配置されている。このように、歪ゲージA1〜A4,B1〜B4は、それぞれ、いわゆる直交配置されている。
図9Bに示すようなブリッジ回路を構成した歪ゲージA1〜A4と歪ゲージB1〜B4とにより、歪ゲージA1〜A4のブリッジA出力と歪ゲージB1〜B4のブリッジB出力との平均を得ることができ、各ブリッジにおける出力誤差の影響を低減することが可能となる。
ところで、トルクセンサ3は、図10Aに示すような直交配置として、図10Bに示すようなブリッジ回路を構成することもできる。図10Aは、トルクセンサ3への歪ゲージの取付状態の他の例を示す説明図、図10Bは、歪ゲージA1〜A4により組まれたブリッジ回路を示す説明図である。
すなわち、4つの歪ゲージA1〜A4(あるいはB1〜B4)を、90度間隔で4つの伸延体31にそれぞれ設けるものである。このとき、それぞれ対をなす歪ゲージA1と歪ゲージA2、歪ゲージA3と歪ゲージA4とは、伸延体31の一側と他側に位置するように配置される。かかる構成のトルクセンサ3であっても、モータ2のトルクを問題なく検出することができる。
ところで、上述してきた円板状のトルクセンサ3には、各伸延体31と外側環状体32および内側環状体34に囲まれる空間33が形成される。かかる空間33を利用して、例えば、歪ゲージAアンプや電源との接続、AD変換や外部との通信を可能とする端子などを有する基板(不図示)を設けることができる。
また、図8Aに示すように、伸延体31は、出力軸の中心からの半径方向の距離に応じて、先端に向けて漸次細く形成されている。例えば、伸延体31の先端部幅t2を基端部幅t1の略1/2としている。なお、各伸延体31を先細状に形成する場合、円孔30の中心30aからの距離に反比例するようにしてもよいし、あるいは、基端側から先端側にかけて縮小率を適宜変化させながら(基端側から中途までは縮小率を大にするなど)形成することもできる。
また、伸延体31の幅は、少なくともトルクセンサ3の厚みよりも細くなるようにしている。例えば、伸延体31最大幅(ここでは、基端部幅t1)が、伸延体31、外側環状体32および内側環状体34の厚みの1/2未満あるいは1/2以下に設定するとよい。なお、かかる幅や厚みの寸法比などは、歪ゲージA1〜A4,B1〜B4の感度などを勘案して適宜設定することができる。かかる構成により、伸延体31に歪ゲージA1〜A4(B1〜B4)を取り付ける際に、厳密な位置合わせなどすることなくトルク検出を容易かつ確実に行うことができる。また、かかる構成により、d軸に重畳する高周波電流指令に対して感度が高いトルク検出信号を出力することができる。
上述してきたトルクセンサ3の配設位置については、例えば、モータ2により駆動される対象を可動部材とし、この可動部材と連動連結された部材を相対的に固定部材とした場合、トルクセンサ3は、この固定部材に取り付けることができる。そして、モータ2を可動部材に取付けるのである。
上述したように、トルクセンサ3は、複数の伸延体31の各先端をそれぞれ連結した外側環状体32を備えているため、かかる外側環状体32を介して固定部材に取付けるとよい。このように、トルクセンサ3を固定部材に、モータ2を可動部材に取付けることにより、トルクセンサ3では外側環状体32を介してモータ2よる駆動力の反力を用いて、トルク検出を効果的に行うことができる。
固定部材と可動部材とは相対的なものであり、例えば、図1に示したロボット1であれば、基台10を固定部材とすれば胴部11が可動部材となり、胴部11を固定部材とすれば第1アーム部12aが可動部材となる。同様に、第1アーム部12aを固定部材とすれば、リスト部13が可動部材となる。
以上、説明してきたように、上述してきた実施形態に係るモータ駆動システムは、モータ2と負荷となる可動部材との間に設けられたトルクセンサ3により検出されたトルク検出信号Tfbに基いて、速度および位置のうち少なくとも一方を推定する推定部43を有するモータ制御装置4を備えている。また、かかるモータ制御装置4の推定部43は、高周波電流指令器45からの高周波電流指令Idhfiを受信可能であり、高周波電流指令Idhfiとトルク検出信号Tfbとに基いて、モータ2の速度および位置のうち少なくとも一方を推定することができる。
したがって、本実施形態に係るモータ駆動システムによれば、耐環境性能を向上させ、かつトルクリプルなどを大幅に低減させることが可能になるとともに、高価な位置センサなどを用いる必要がないため、モータ駆動システムのコストダウンを図ることができる。
また、本実施形態に係るモータ駆動システムは、モータ2の永久磁石が埋設型であろうと表面設置型であろうと、特に種類を問わずに適用することができる。そのため、例えば、ロータの表面に永久磁石を張り合わせたパワー密度の高いSPMM(Surface Permanent Magnet Motor)の使用も可能となり、モータ2の小型化にも寄与する。
ところで、上述してきた実施形態では、モータ駆動システムを、ロボット1に適用した例をあげて説明したが、モータ2によって駆動されるあらゆるものに適用することができる。また、トルクセンサ3の具体的な構成なども適宜変更することが可能である。
なお、さらなる効果やさらなる変形例は、当業者によって容易に導き出すことができる。このため、本発明のより広範な態様は、以上のように表しかつ記述した特定の詳細および代表的な実施形態に限定されるものではない。したがって、添付の特許請求の範囲およびその均等物によって定義される総括的な発明の概念の精神または範囲から逸脱することなく、様々な変更が可能である。
2 モータ
3 トルクセンサ
4 モータ制御装置
5 減速機
6 エンコーダ(位置検出器)
31 伸延体
32 外側環状体
43 推定部
55 dq座標変換器(座標変換部)

Claims (8)

  1. モータと、当該モータと負荷との間に設けられたトルクセンサと、前記モータの駆動を制御するモータ制御装置と、前記モータへの出力電流に重畳される高周波電流指令を発生する高周波電流指令器と、
    を備え、
    前記モータ制御装置は、
    前記トルクセンサにより検出されたトルク検出信号に基いて、前記モータの速度および位置のうち少なくとも一方を推定する推定部と、前記モータに同期したd−q軸回転座標系のd軸成分およびq軸成分を演算し、d軸電流およびq軸電流を導出する座標変換部と、を備え
    前記推定部は、
    前記高周波電流指令を前記d軸に重畳したときの前記トルク検出信号の振動成分を抽出する振動成分抽出部を備え、
    当該振動成分抽出部で抽出した前記振動成分に基いて、前記モータの速度および位置のうち少なくとも一方を推定す
    ことを特徴とするモータ駆動システム。
  2. 前記推定部は、前記振動成分と前記d軸に重畳した前記高周波電流指令との乗算結果に基いて、前記モータの速度および位置のうち少なくとも一方を推定する、請求項1に記載のモータ駆動システム。
  3. 前記トルクセンサは、
    前記モータ、または当該モータに連動連結された減速機と、一体的に構成されている
    ことを特徴とする請求項1又は2に記載のモータ駆動システム。
  4. 前記トルクセンサは、
    歪ゲージを取付可能であり、前記モータの出力軸または前記モータに連動連結された減速機の出力軸に対して外方へ延在した複数の伸延体を備える
    ことを特徴とする請求項1〜3のいずれか1つに記載のモータ駆動システム。
  5. 前記伸延体は、
    前記出力軸の中心からの半径方向の距離に応じて、先端に向けて漸次細く形成されている
    ことを特徴とする請求項に記載のモータ駆動システム。
  6. 互いに連動連結した固定部材と可動部材とを備え、
    前記固定部材に、前記複数の伸延体の各先端をそれぞれ連結した環状体を介して前記トルクセンサを取付ける一方、前記可動部材に前記モータを取付けた
    ことを特徴とする請求項またはに記載のモータ駆動システム。
  7. 前記モータの位置を検出する位置検出器をさらに備え、
    前記モータ制御装置は、
    通常駆動時は、前記位置検出器の検出信号に基いて前記モータの駆動を制御するとともに、前記トルクセンサのトルク検出信号に基いてトルク補償を行う一方、
    前記位置検出器の異常時には、前記推定部に、前記トルクセンサの検出信号に基いて前記モータの速度および位置のうち少なくとも一方を推定させる
    ことを特徴とする請求項1〜のいずれか1つに記載のモータ駆動システム。
  8. モータと負荷との間に設けられたトルクセンサにより検出されたトルク検出信号に基いて、前記モータの速度および位置のうち少なくとも一方を推定する推定部と、
    前記モータに同期したd−q軸回転座標系のd軸成分およびq軸成分を演算し、d軸電流およびq軸電流を導出する座標変換部と、
    を備え
    前記推定部は、
    高周波電流指令器からの高周波電流指令を受信可能であり、
    前記高周波電流指令を前記d軸に重畳したときの前記トルク検出信号の振動成分を抽出する振動成分抽出部を備え、
    当該振動成分抽出部で抽出した前記振動成分に基いて、前記モータの速度および位置のうち少なくとも一方を推定す
    ことを特徴とするモータ制御装置。
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