JP6072046B2 - レーザ処理システム内の粒子制御 - Google Patents
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- レーザ処理システム内の汚染を低減させる装置であって、
基板支持筐体と、
前記基板支持筐体の上側外面に結合された本体を備え、前記本体が、空洞を画定し、
第1の直径を有する第1の端部、および前記第1の直径より小さい第2の直径を有する第2の端部を有する円錐形部分であって、前記円錐形部分が、第1の端部と第2の端部の間にテーパの付いた内側側壁を有する、円錐形部分と、
前記円錐形部分の前記第2の端部に接合された円筒形部分と、
前記円錐形部分の前記第1の端部の周りに円周方向に形成された第1のガス入口ポートであって、前記第1のガス入口ポートが、前記円錐形部分のテーパの付いた内側側壁に形成されている、第1のガス入口ポートと、
前記円筒形部分を貫いて形成された第1のガス出口ポートと、
前記円錐形部分の前記第1の端部に配置された透明な窓と、を有する、装置。 - 前記第1のガス入口ポートが、前記空洞と流体的に連通している、請求項1に記載の装置。
- 前記第1のガス入口ポートと流体的に連通している第1のガスチャネルをさらに備える、請求項2に記載の装置。
- 前記第1のガス出口ポートは、前記空洞と流体的に連通している、請求項3に記載の装置。
- 前記第1のガス出口ポートが、前記第1のガス入口ポートと前記基板支持筐体との間に位置決めされる、請求項4に記載の装置。
- 前記円筒形部分の外面上に配置されたフランジをさらに備える、請求項1に記載の装置。
- 前記フランジが、締め具を収容するように前記フランジを通って配置された開口を含む、請求項6に記載の装置。
- 前記透明な窓が、石英、溶融石英、またはサファイアを含む、請求項1に記載の装置。
- 前記本体が、ステンレス鋼またはアルミニウムを含む、請求項1に記載の装置。
- 前記透明な窓がその上にコーティングを含み、前記コーティングが、第1の波長を有する放射の反射を防止し、第2の波長を有する放射を反射する、請求項1に記載の装置。
- 前記第1の波長が、200ナノメートル〜1100ナノメートルの範囲内であり、前記第2の波長が、800ナノメートル〜2.2ミクロンの範囲内である、請求項10に記載の装置。
- 前記本体が、高温測定の視野を作るために、前記本体の壁を通る開口を含む、請求項11に記載の装置。
- 前記本体の内面がその上にコーティングを含み、前記コーティングが、金、銀、およびアルミニウムからなる群から選択される、請求項12に記載の装置。
- レーザ処理システム内の汚染を低減させる装置であって、
基板支持筐体と、
前記基板支持筐体の上側外面に結合された本体を備え、前記本体が、空洞を画定し、
第1の直径を有する第1の端部、および前記第1の直径より小さい第2の直径を有する第2の端部を有する円錐形部分であって、前記円錐形部分が、第1の端部と第2の端部の間にテーパの付いた内側側壁を有する、円錐形部分と、
前記円錐形部分の前記第2の端部に接合された円筒形部分と、
前記円錐形部分の前記第1の端部の周りに円周方向に形成され、前記空洞と流体的に連通している第1のガス入口ポートであって、前記第1のガス入口ポートが、前記円錐形部分のテーパの付いた内側側壁に形成されている、第1のガス入口ポートと、
前記円筒形部分を貫いて形成された第1のガス出口ポートと、
前記円錐形部分の前記第1の端部に、前記第1のガス入口ポートに隣接して配置された透明な窓であって、前記透明な窓がその上にコーティングを有し、前記コーティングが、第1の波長を有する放射の反射を防止し、第2の波長を有する放射を反射する、透明な窓と、を有する、装置。 - 前記第1の波長が、200ナノメートル〜1100ナノメートルの範囲内であり、
前記第2の波長が、800ナノメートル〜2.2ミクロンの範囲内であり、
前記本体の内面が、金、銀、およびアルミニウムからなる群から選択されるコーティングを含み、
前記本体が、高温測定の視野を作るために、前記本体の壁を通る開口を含み、
前記本体が、ステンレス鋼またはアルミニウムを含み、
前記窓が、石英、溶融石英、またはサファイアを含む、請求項14に記載の装置。
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