JP6059870B2 - リニアアクチュエータおよび電子部品実装装置 - Google Patents

Description

本発明は、可動部を直動方向に移動させるリニアアクチュエータおよび電子部品をノズルで吸着して移動させ、基板上に搭載する電子部品実装装置に関する。

基板上に電子部品を搭載する電子部品実装装置は、ノズルを備えるヘッドを有し、当該ノズルで電子部品を吸着して基板上に搭載する。電子部品実装装置は、ヘッドのノズルを基板の表面に直交する方向に移動させることで、部品供給装置にある部品を吸着し、その後、ヘッドを基板の表面に平行な方向に相対的に移動させ、吸着している部品の搭載位置に到着したらヘッドのノズルを基板の表面に直交する方向に移動させ基板に近づけることで吸着した電子部品を基板上に搭載する。

ここで、電子部品実装装置には、ヘッドのノズルを基板の表面に直交する方向に移動させる機構としてリニアアクチュエータを用いているものがある。例えば、特許文献１には、外筒の内部に固定され、軸方向に配列された複数個の中空コイルと、中空コイルの更に内側に配置され、軸方向に配列された複数個のマグネットが固定されたモータ軸とからなり、複数個の中空コイルを選択的に励磁することによって、マグネットが固定されたモータ軸を軸方向に移動するリニアアクチュエータが記載されている。また、特許文献１に記載のリニアアクチュエータは、モータ軸に平行に配置され、両側をスライドベアリングによって支持されたガイド軸を有するガイド部と、ガイド軸とモータ軸との端部を連結する連結部材とを有する。

特開２００９−１７１７０８号公報

ここで、特許文献１に記載のリニアアクチュエータは、モータ軸と中空コイルとが相対移動した場合にガイド軸がスライドベアリングから抜けない構成とするため、ガイド軸がスライドベアリングから突出した構造となる。また、モータ軸と中空コイルとの相対移動範囲の全域でガイド軸がスライドベアリングから抜けないようにするため、ガイド軸の突出量も大きくなり、装置構成が大きくなってしまう。また、コイルの幅を小さくすると装置を小型化することができるが、推力が小さくなってしまう。

本発明は、上記に鑑みてなされたものであって、推力の向上と小型化をより高い水準で両立することができるリニアアクチュエータおよび小型化することができる電子部品実装装置を提供することを目的とする。

上述した課題を解決し、目的を達成するために、本発明は、リニアアクチュエータであって、中空の外筒と、前記外筒の内部に入れて前記外筒の軸方向に隣接する複数の中空コイルと、前記中空コイルの内部に挿入され、多数のマグネットが前記軸方向に配列されたモータ軸と、前記モータ軸の端部に連結された連結部材と、前記外筒に固定され、前記連結部材に挿入されかつ軸方向に延在するガイド軸と、前記連結部材に連結された出力軸と、前記中空コイルを選択的に励磁し、前記中空コイルと前記モータ軸とを前記軸方向に相対的に移動させ、前記外筒と前記出力軸とを前記軸方向に相対的に移動させる制御部と、を有し、前記モータ軸は、前記軸方向において、前記中空コイルよりも長い範囲に前記マグネットが配置されていることを特徴とする。

また、前記連結部材に固定されたスケールと、前記外筒に固定された検出器と、を有し、前記モータ軸と前記中空コイルとの相対位置を検出する相対位置検出機構をさらに有することが好ましい。

また、前記連結部材と前記ガイド軸との連結部に配置され、前記ガイド軸を前記連結部材に対して移動可能な状態で支持する軸受をさらに有することが好ましい。

また、前記外筒は、固定子であることが好ましい。

また、前記出力軸は、固定子であることが好ましい。

本発明にかかるリニアアクチュエータは、推力の向上と小型化をより高い水準で両立することができるという効果を奏する。また、本発明にかかる電子部品実装装置は、小型化することができるという効果を奏する。

図１は、電子部品実装装置の概略構成を示す模式図である。 図２は、電子部品実装装置の概略構成を示す斜視図である。 図３は、電子部品実装装置の部品供給ユニットの概略構成を示す模式図である。 図４は、電子部品実装装置のヘッドの概略構成を示す模式図である。 図５は、電子部品実装装置のヘッドの概略構成を示す斜視図である。 図６は、ノズル駆動部のリニアアクチュエータの一例の概略構成を示す模式図である。 図７は、図６に示すリニアアクチュエータの固定子の一例の概略構成を示す模式図である。 図８は、図６に示すリニアアクチュエータの可動子の一例の概略構成を示す模式図である。 図９は、リニアアクチュエータの動作を説明する説明図である。 図１０は、リニアアクチュエータの他の例の概略構成を示す模式図である。 図１１は、図１０に示すリニアアクチュエータの可動子の一例の概略構成を示す模式図である。 図１２は、リニアアクチュエータの他の例の概略構成を示す模式図である。 図１３は、図１２に示すリニアアクチュエータの固定子の一例の概略構成を示す模式図である。 図１４は、図１２に示すリニアアクチュエータの可動子の一例の概略構成を示す模式図である。 図１５は、図１２に示すリニアアクチュエータの一部を拡大して示す模式図である。 図１６は、リニアアクチュエータの他の例の概略構成を示す模式図である。 図１７は、図１６に示すリニアアクチュエータの固定子の一例の概略構成を示す模式図である。

以下、本発明につき図面を参照しつつ詳細に説明する。なお、下記の発明を実施するための形態（以下、実施形態という）により本発明が限定されるものではない。また、下記実施形態における構成要素には、当業者が容易に想定できるもの、実質的に同一のもの、いわゆる均等の範囲のものが含まれる。さらに、下記実施形態で開示した構成要素は適宜組み合わせることが可能である。

以下に、本発明にかかるリニアアクチュエータおよび電子部品実装装置の実施形態を図面に基づいて詳細に説明する。なお、この実施形態によりこの発明が限定されるものではない。図１は、電子部品実装装置の概略構成を示す模式図である。図２は、電子部品実装装置の概略構成を示す斜視図である。図３は、電子部品実装装置の部品供給ユニットの概略構成を示す模式図である。

図１および図２に示す電子部品実装装置１０は、基板８の上に電子部品を搭載する装置である。電子部品実装装置１０は、基板搬送部１２と、部品供給ユニット１４ｆ、１４ｒと、ヘッド１５ｆ、１５ｒと、ＸＹ移動機構１６と、を有する。ＸＹ移動機構１６は、Ｘ軸駆動部２２ｆ、２２ｒと、Ｙ軸駆動部２４と、を備える。ここで、本実施形態の電子部品実装措置１０は、図１に示すように、部品供給ユニット１４ｆ、１４ｒと、ヘッド１５ｆ、１５ｒと、Ｘ軸駆動部２２ｆ、２２ｒと、を備える。このように、電子部品実装装置１０は、一部の構成を２つずつ備えるが、図２では、各部の構成をわかりやすく示すため、部品供給ユニット１４ｒ、ヘッド１５ｒと、Ｘ軸駆動部２２ｒと、の図示を省略する。電子部品実装装置１０は、部品供給ユニット１４ｆ、ヘッド１５ｆと、Ｘ軸駆動部２２ｆと、が電子部品実装装置１０のフロント側に配置される１つのモジュールとなり、部品供給ユニット１４ｒ、ヘッド１５ｒと、Ｘ軸駆動部２２ｒと、が電子部品実装装置１０のリア側に配置される１つのモジュールとなる。また、以下では、２つの部品供給ユニット１４ｆ、１４ｒを特に区別しない場合、部品供給ユニット１４とし、２つのヘッド１５ｆ、１５ｒを特に区別しない場合、ヘッド１５とし、２つのＸ軸駆動部２２ｆ、２２ｒを特に区別しない場合、Ｘ軸駆動部２２とする。

基板８は、電子部品を搭載する部材であればよく、その構成は特に限定されない。本実施形態の基板８は、板状部材であり、表面に配線パターンが設けられている。基板８に設けられた配線パターンの表面には、リフローによって板状部材の配線パターンと電子部品とを接合する接合部材であるはんだが付着している。また、基板８には、電子部品が挿入されるスルーホールも形成されている。

基板搬送部１２は、基板８を図中Ｘ軸方向に搬送する搬送機構である。基板搬送部１２は、Ｘ軸方向に延在するレールと、基板８を支持し、基板８をレールに沿って移動させる搬送機構とを有する。基板搬送部１２は、基板８の搭載対象面がヘッド１５と対面する向きで、基板８を搬送機構によりレールに沿って移動させることで基板８をＸ軸方向に搬送する。基板搬送部１２は、基板８を電子部品実装装置１０に供給する機器から供給された基板８を、レール上の所定位置まで搬送する。ヘッド１５は、前記所定位置で、電子部品を基板８の表面に搭載する。基板搬送部１２は、前記所定位置まで搬送した基板８上に電子部品が搭載されたら、基板８を、次の工程を行う装置に搬送する。なお、基板搬送部１２の搬送機構としては、種々の構成を用いることができる。例えば、基板８の搬送方向に沿って配置されたレールと前記レールに沿って回転するエンドレスベルトとを組合せ、前記エンドレスベルトに基板８を搭載した状態で搬送する、搬送機構を一体としたベルト方式の搬送機構を用いることができる。

部品供給ユニット１４は、基板８上に搭載する電子部品を多数保持し、図３に示すように、ヘッド１５に供給可能、つまり、ヘッド１５で吸着可能な状態とする複数の電子部品供給装置（以下単に「部品供給装置」という。）９０、９０ａと、複数の部品供給装置９０、９０ａを保持する支持台９２とを有する。支持台９２は、複数の部品供給装置９０を搭載したり、部品供給装置９０、９０ａの他の装置（例えば、計測装置やカメラ等）を搭載したりすることができる。部品供給ユニット１４は、支持台９２に保持されている複数の部品供給装置９０、９０ａが、搭載する電子部品の種類、電子部品を保持する機構または供給機構が異なる複数種類の部品供給装置９０で構成される。また、部品供給ユニット１４は、同一種類の部品供給装置９０、９０ａを複数備えていてもよい。また、部品供給ユニット１４は、装置本体に対して着脱可能な構成とすることが好ましい。

また、部品供給装置９０は、テープにラジアルリード形電子部品のリードを貼り付けて構成される電子部品保持テープを使用してヘッド１５にラジアルリード形電子部品を供給する。部品供給装置９０ａは、電子部品保持テープを保持し、保持している電子部品保持テープを送り、保持しているラジアルリード形電子部品をヘッド１５のノズルにより電子部品が吸着できる吸着領域（吸着位置）まで移動するテープフィーダである。部品供給装置９０は、吸着領域まで移動させたラジアルリード形電子部品のリードを切断して分離することで、当該テープでリードが固定されたラジアルリード形電子部品を所定位置に吸着可能な状態とすることができ、当該ラジアルリード形電子部品をヘッド１５のノズルにより吸着することができる。

部品供給装置９０ａは、テープに電子部品を貼り付けて構成される電子部品収容テープを使用してヘッド１５に電子部品を供給する。なお、電子部品収容テープは、テープに複数の格納室が形成されており、当該格納室に電子部品が格納されている。部品供給装置９０ａは、電子部品収容テープを保持し、保持している電子部品保持テープを送り、格納室をヘッド１５のノズルにより電子部品が吸着できる吸着領域まで移動させるテープフィーダである。なお、格納室を吸着領域に移動させることで、当該格納室に収容されている電子部品を所定位置に露出した状態とすることができ、当該電子部品をヘッド１５のノズルにより吸着することができる。

ここで、本実施形態の部品供給ユニット１４は、ラジアルリード形電子部品を供給する部品供給装置９０と、テープに貼り付けられた電子部品を供給する部品供給装置９０ａとの両方を有するが、これに限定されない。部品供給ユニットは、部品供給装置９０または部品供給装置９０ａのいずれか一方のみを有するようにしてもよい。また、部品供給ユニットは、ボウルフィーダを有していてもよい。

ヘッド１５は、部品供給ユニット１４に保持された電子部品（部品供給装置９０に保持されたラジアルリード形電子部品または部品供給装置９０ａに保持され電子部品）を吸着し、吸着した電子部品を基板搬送部１２によって所定位置に移動された基板８上に搭載する機構である。なお、ヘッド１５の構成については、後述する。

ＸＹ移動機構１６は、ヘッド１５ｆ、１５ｒを図２中Ｘ軸方向およびＹ軸方向、つまり、基板８の表面と平行な面上で移動させる移動機構でありＸ軸駆動部２２ｆ、２２ｒとＹ軸駆動部２４とを有する。Ｘ軸駆動部２２ｆは、ヘッド１５ｆと連結しており、ヘッド１５ｆをＸ軸方向に移動させる。Ｘ軸駆動部２２ｒは、ヘッド１５ｒと連結しており、ヘッド１５ｒをＸ軸方向に移動させる。Ｙ軸駆動部２４は、Ｘ軸駆動部２２を介してヘッド１５と連結しており、Ｘ軸駆動部２２ｆをＹ軸方向に移動させることで、ヘッド１５ｆをＹ軸方向に移動させ、Ｘ軸駆動部２２ｒをＹ軸方向に移動させることで、ヘッド１５ｒをＹ軸方向に移動させる。ＸＹ移動機構１６は、ヘッド１５ｆをＸＹ軸方向に移動させることで、ヘッド１５ｆを基板８と対面する位置、または、部品供給ユニット１４ｆと対面する位置に移動させることができる。ＸＹ移動機構１６は、ヘッド１５ｒをＸＹ軸方向に移動させることで、ヘッド１５ｒを基板８と対面する位置、または、部品供給ユニット１４ｒと対面する位置に移動させることができる。また、ＸＹ移動機構１６は、ヘッド１５を移動させることで、ヘッド１５と基板８との相対位置を調整する。これにより、ヘッド１５が保持した電子部品を基板８の表面の任意の位置に移動させることができ、電子部品を基板８の表面の任意の位置に搭載することが可能となる。なお、Ｘ軸駆動部２２としては、ヘッド１５を所定の方向に移動させる種々の機構を用いることができる。Ｙ軸駆動部２４としては、Ｘ軸駆動部２２を所定の方向に移動させる種々の機構を用いることができる。対象物を所定の方向に移動させる機構としては、例えば、リニアモータ、ラックアンドピニオン、ボールねじを用いた搬送機構、ベルトを利用した搬送機構等を用いることができる。

電子部品実装装置１０は、２つのヘッド１５ｆ、１５ｒを備えることで、１つの基板８に対して、交互に電子部品を搭載することができる。このように、２つのヘッド１５で交互に電子部品８０を搭載することで、一方のヘッドが電子部品を基板８に搭載している間に、他方のヘッドは、部品供給装置にある電子部品を吸着することができる。これにより、基板８に電子部品８０が搭載されない時間をより短くすることができ、効率よく電子部品８０を搭載することができる。

次に、図４および図５を用いて、ヘッド１５の構成について説明する。図４は、電子部品実装装置のヘッドの概略構成を示す模式図である。図５は、電子部品実装装置のヘッドの概略構成を示す斜視図である。なお、図４には、電子部品実装装置１０を制御する各種制御部と部品供給ユニット１４の１つの部品供給装置９０もあわせて示す。ヘッド１５は、図４および図５に示すように、ヘッド本体３０と、レーザ認識装置３８と、を有する。電子部品実装装置１０は、図４に示すように、制御部６０と、ヘッド制御部６２と、部品供給制御部６４と、を有する。また、電子部品実装装置１０は、電源と接続されており電源から供給される電力を制御部６０、ヘッド制御部６２、部品供給制御部６４および各種回路を用いて、各部に供給する。制御部６０と、ヘッド制御部６２と、部品供給制御部６４とについては後述する。

部品供給装置９０は、電子部品保持テープに保持された電子部品８０が露出している。部品供給装置９０は、電子部品保持テープを引き出し、移動させることで、電子部品保持テープに保持された電子部品８０に移動させる。本実施形態では、部品供給装置９０のＹ軸方向の先端近傍が、ヘッド１５のノズルが電子部品保持テープに保持された電子部品８０を吸着する吸着領域となる。また、部品供給装置９０ａの場合も同様に、所定の位置が、ヘッド１５のノズルが電子部品収容テープに保持された電子部品８０を吸着する吸着領域となる。

ヘッド本体３０は、各部を支持するヘッド支持体３１と、複数のノズル３２と、ノズル駆動部３４と、を有する。本実施形態のヘッド本体３０には、図５に示すように、６本のノズル３２が一列に配置されている。６本のノズル３２は、Ｘ軸に平行な方向に並んでいる。

ヘッド支持体３１は、Ｘ軸駆動部２２と連結している支持部材であり、ノズル３２およびノズル駆動部３４を支持する。なお、ヘッド支持体３１は、レーザ認識装置３８も支持している。

ノズル３２は、電子部品８０を吸着し、保持する吸着機構である。ノズル３２は、先端に開口３３を有し、この開口３３から空気を吸引することで、先端に電子部品８０を吸着し、保持する。なお、ノズル３２は、開口３３が形成され電子部品８０を吸着する先端部に連結されたシャフト３２ａを有する。シャフト３２ａは、先端部を支持する棒状の部材であり、Ｚ軸方向に延在して配置されている。シャフト３２ａは、内部に開口３３とノズル駆動部３４の吸引機構とを接続する空気管（配管）が配置されている。

ノズル駆動部３４は、ノズル３２をＺ軸方向に移動させ、ノズル３２の開口３３で電子部品８０を吸着させる。ここで、Ｚ軸は、ＸＹ平面に対して直交する軸である。なお、Ｚ軸は、基板の表面に対して直交する方向となる。また、ノズル駆動部３４は、電子部品８０の実装時等にノズル３２をθ方向に回転させる。θ方向とは、すなわち、Ｚ軸駆動部がノズル３２を移動させる方向と平行な軸であるＺ軸を中心とした円の円周方向と平行な方向である。なお、θ方向は、ノズル３２の回動方向となる。

ノズル駆動部３４は、Ｚ軸方向が駆動方向となるリニアアクチュエータ（直動リニアモータ）を有する機構を有し、リニアアクチュエータでノズル３２のシャフト３２ａをＺ軸方向に移動させることで、ノズル３２の先端部の開口３３をＺ軸方向に移動させる。リニアアクチュエータについては後述する。また、ノズル駆動部３４は、ノズル３２をθ方向に回転させる機構として、例えばモータとシャフト３２ａに連結された伝達要素とで構成された機構がある。ノズル駆動部３４は、モータから出力された駆動力を伝達要素でシャフト３２ａに伝達し、シャフト３２ａをθ方向に回転させることで、ノズル３２の先端部もθ方向に回転させる。

ノズル駆動部３４は、ノズル３２の開口３３で電子部品８０を吸着させる機構、つまり吸引機構としては、例えば、ノズル３２の開口３３と連結された空気管と、当該空気管と接続されたポンプと、空気管の管路の開閉を切り替える電磁弁と、を有する機構がある。ノズル駆動部３４は、ポンプで空気管の空気を吸引し、電磁弁の開閉を切り換えることで開口３３から空気を吸引するか否かを切り換える。ノズル駆動部３４は、電磁弁を開き開口３３から空気を吸引することで開口３３に電子部品８０を吸着させ、電磁弁を閉じ開口３３から空気を吸引しないことで開口３３に吸着していた電子部品８０を開放する、つまり開口３３で電子部品８０を吸着しない状態とする。

また、ヘッド本体３０は、ヘッド支持体３１とともに移動し、自身と対向する位置に配置された部材である基板８との距離を検出する距離センサをさらに備えていてもよい。ヘッド本体３０は、距離センサで距離を検出することで、ヘッド支持体３１と基板８との相対位置や、ヘッド支持体３１と部品供給装置９０、９０ａとの相対位置を検出することができる。なお、本実施形態では、距離センサと基板８等の距離に基づいて、ヘッド支持体３１と基板８等の距離を算出する演算を、ヘッド制御部６２で行う。

レーザ認識装置３８は、光源３８ａと、受光素子３８ｂと、有する、レーザ認識装置３８は、ブラケット５０に内蔵されている。ブラケット５０は、図４に示すように、ヘッド支持体３１の下側、基板８および部品供給装置９０側に連結されている。レーザ認識装置３８は、ヘッド本体３０のノズル３２で吸着した電子部品８０に対して、レーザ光を照射することで、電子部品８０の状態を検出する装置である。ここで、電子部品８０の状態とは、電子部品８０の形状、ノズル３２で電子部品８０を正しい姿勢で吸着しているか、ノズル３２で吸着する対象の電子部品８０がフィーダ部２８の所定位置に配置されているか、ノズル３２で吸着した電子部品８０が基板８上の所定位置に搭載されたか、等である。光源３８ａは、レーザ光を出力する発光素子である。受光素子３８ｂは、Ｚ軸方向における位置、つまり高さが同じ位置であり、光源３８ａに対向する位置に配置されている。

次に、図４に戻り、電子部品実装装置１０の装置構成の制御機能について説明する。電子部品実装装置１０は、図４に示すように、制御機能として、制御部６０と、ヘッド制御部６２と、部品供給制御部６４と、を有する。各種制御部は、それぞれ、ＣＰＵ、ＲＯＭやＲＡＭ等の演算処理機能と記憶機能とを備える部材で構成される。また、本実施形態では、説明の都合で複数の制御部としたが、１つの制御部としてもよい。また、電子部品実装装置１０の制御機能を１つの制御部とした場合、１つの演算装置で実現しても複数の演算装置で実現してもよい。

制御部６０は、電子部品実装装置１０の各部と接続されており、入力された操作信号や、電子部品実装装置１０の各部で検出された情報に基づいて、記憶されているプログラムを実行し、各部の動作を制御する。制御部６０は、例えば、基板８の搬送動作、ＸＹ移動機構１６によるヘッド１５の駆動動作、レーザ認識装置３８による形状の検出動作等を制御する。また、制御部６０は、上述したようにヘッド制御部６２に各種指示を送り、ヘッド制御部６２による制御動作も制御する。制御部６０は、ヘッド制御部６２や部品供給制御部６４による制御動作も制御する。

ヘッド制御部６２は、ノズル駆動部３４、ヘッド支持体３１に配置された各種センサおよび制御部６０に接続されており、ノズル駆動部３４を制御し、ノズル３２の動作を制御する。ヘッド制御部６２は、制御部６０から供給される操作指示および各種センサ（例えば、距離センサ）の検出結果に基づいて、ノズル３２の電子部品の吸着／開放動作、各ノズル３２の回動動作、Ｚ軸方向の移動動作を制御する。

部品供給制御部６４は、部品供給ユニット１４による電子部品８０の供給動作を制御する。部品供給制御部６４は、部品実装装置９０、９０ａ毎に設けても、１つですべての部品供給装置９０、９０ａを制御してもよい。例えば、部品供給制御部６４は、部品供給装置９０による電子部品保持テープの引き出し動作（移動動作）、リードの切断動作および電子部品の保持動作を制御する。また、部品供給制御部６４は、部品供給装置９０ａによる電子部品収容テープの引き出し動作（移動動作）等を制御する。部品供給制御部６４は、制御部６０による指示に基づいて各種動作を実行する。部品供給制御部６４は、電子部品保持テープまたは電子部品収容テープの引き出し動作をすることで、電子部品保持テープまたは電子部品収容テープの移動を制御する。電子部品実装装置１０は、以上のような構成である。

次に、図６から図９を用いてノズル駆動装置３４のリニアアクチュエータ１００について説明する。ここで、図６は、ノズル駆動部のリニアアクチュエータの一例の概略構成を示す模式図である。図７は、図６に示すリニアアクチュエータの固定子の一例の概略構成を示す模式図である。図８は、図６に示すリニアアクチュエータの可動子の一例の概略構成を示す模式図である。図９は、リニアアクチュエータの動作を説明する説明図である。

図６に示すように、ノズル駆動装置３４は、シャフト３２ａにリニアアクチュエータ１００と、θ方向回転機構１０２と、を有する。また、ノズル駆動部３４は、上述したように吸引機構も備える。θ方向回転機構１０２は、上述したようにシャフト３２ａをθ方向に回転させる。なお、θ方向回転機構１０２は、Ｚ軸方向に移動自在のスライダ機構を介してシャフト３２ａと連結している。これにより、θ方向回転機構１０２は、シャフト３２ａをＺ軸方向に移動可能な状態で支持し、かつ、シャフト３２ａをθ方向に回転させることができる。

リニアアクチュエータ１００は、固定子１１０と可動子１１２とを有する。固定子１１０は、支持機構であるヘッド本体３１に固定されている。可動子１１２は、固定子１１０に対してＺ軸方向に相対移動する。固定子１１０は、図６および図７に示すように、外筒１２０と、中空コイルユニット１２２と、ガイド軸１２４、１２５と、相対位置検出機構１４０の検出器１４２と、を有する。可動子１１２は、図６および図８に示すように、モータ軸１２６と、連結部材１３０、１３２と、４つの軸受１３８と、相対位置検出機構１４０のスケール１４４と、を有する。以下、図６から図８を用いて、各部について説明する。

外筒１２０は、ヘッド支持部３１に固定されている支持部であり、本体１５０と、サイドウォール１５２と、を有する。本体１５０は、Ｚ軸方向が長手歩行となる中空の直方体の箱形状の面積が最も大きい面を開放させ、さらに長手方向の面の一部を外側に突出させた形状である。サイドウォール１５２は、板状の部材であり、本体１５０の最も大きい面と連結している。なお、サイドウォール１５２は、２つ設けられており、本体１５０の最も大きい２つ面とそれぞれ連結している。外筒１２０は、本体１５０の一面がサイドウォール１５２で塞がれることで、Ｚ軸方向が長手方向となる中空の直方体であり、面積が最も大きい面にサイドウォール１５２が配置された箱形状となる。また、外筒１２０の本体１５０は、短辺となる面、つまりＺ軸に直交する面に出力軸３２ａが挿入される穴１５４が形成されている。

中空コイルユニット１２２は、図６に示すように複数の中空コイル１２３がＺ軸方向に隣接して配置されている。中空コイルユニット１２２の中空コイル１２３は、サイドウォール１５２と対面する面がサイドウォール１５２に固定されている。つまり、中空コイル１２３は、サイドウォール１５２に支持されている。中空コイル１２３は、Ｚ軸周りに回転する向きで巻かれたコイルである。また、中空コイルユニット１２２の複数の中空コイル１２３は、それぞれ配線１７０と接続されている。中空コイル１２３は、配線１７０から供給される電力により電磁力を発生させる。

ガイド軸１２４、１２５は、Ｚ軸方向に伸びた軸である。ガイド軸１２４とガイド軸１２５は、中空コイルユニット１２２を挟んで対向する位置に平行に配置されている。ガイド軸１２４、１２５は、軸の両端が外筒１２０の本体１５０に固定されている。固定子１１０は、中空コイルユニット１２２の中空部分の軸と、ガイド軸１２４、１２５とが、Ｚ軸方向に平行に配置されている。これにより、中空コイルユニット１２２とガイド軸１２４、１２５は、平行に配置されている。

次に、モータ軸１２６は、中空コイルユニット１２２に挿入されている。モータ軸１２６は、複数のマグネット１２８が、Ｚ軸方向に積層されている。本実施形態のマグネット１２８は、図６中左側がＳ極となり、図６中右側がＮ極となる向きで配置されている。これにより、マグネット１２８は、Ｓ極が隣接するマグネット１２８のＮ極と対面する。また、モータ軸１２６は、Ｚ軸方向において、複数のマグネット１２８が積層されている範囲が中空コイルユニット１２２よりも長い。また、モータ軸１２６は、固定子１１０と可動子１１２とが相対的にいずれの位置に移動した場合も、中空コイルユニット１２２の全域が複数のマグネット１２８と対面する状態となる。マグネット１２８は、中空コイル１２４と同様の配置間隔でＺ軸方向に配置されている。

連結部材１３０、１３２は、モータ軸１２６のＺ軸方向の端部にそれぞれ連結されている。連結部材１３０は、Ｚ軸方向において、モータ軸１２６よりも本体１５０の穴１５４が形成されている面側に配置されている。連結部材１３２は、Ｚ軸方向において、モータ軸１２６よりも本体１５０の穴１５４が形成されていない面側に配置されている。また、連結部材１３０は、ガイド軸１２４が挿入される穴と、ガイド軸１２５が挿入される穴とが、形成されている。連結部材１３０は、本実施形態の出力軸となるシャフト３２ａが連結されている。なお、連結部材１３０は、ベアリング等を介してシャフト３２ａと連結されており、シャフト３２ａをθ方向に回転自在の状態で支持している。連結部材１３２も、ガイド軸１２４が挿入される穴と、ガイド軸１２５が挿入される穴とが、形成されている。

軸受１３８は、連結部材１３０のガイド軸１２４が挿入される穴、連結部材１３０のガイド軸１２５が挿入される穴、連結部材１３２のガイド軸１２４が挿入される穴および連結部材１３２のガイド軸１２４５挿入される穴の４箇所に配置されている。４つの軸受１３８は、連結部材１３０、１３２に固定されており、ガイド軸１２４、１２６と連結部材１３０、１３２とがＺ軸方向に相対移動可能な状態で連結させている。

次に、相対位置検出機構１４０は、固定子１１０と可動子１１２との相対位置を検出する機構であり、上述したように検出器１４２と、スケール１４４と、を有する。検出器１４２は、外筒１２０の本体１５０およびサイドウォール１５２に固定されている。スケール１４４は、Ｚ軸方向に延在する板状の部材であり、連結部材１３２に固定されている。また、相対位置検出機構１４０は、検出器１４２とスケール１４４とが対面する位置に配置されており、検出器１４２が、検出位置にスケール１４４のどの位置があるかを検出することで、固定子１１０と可動子１１２との相対位置を検出する。

リニアアクチュエータ１００は、以上のような構成であり、ヘッド制御部６２がリニアアクチュエータ１００の制御部となり、固定子１１０と可動子１１２とをＺ軸方向に相対移動させる。本実施形態は、固定子１１０はヘッド支持部３１に固定されている。これにより、リニアアクチュエータ１００は、固定子１１０と可動子１１２とをＺ軸方向に相対移動させることで、ヘッド支持部３１に対してシャフト３２ａをＺ軸方向に移動させることができる。これにより、シャフト３２ａに連結されたノズル３２をＺ軸方向に移動させることができる。

リニアアクチュエータ１００は、ヘッド制御部６２により、配線１７０を介して中空コイルユニット１２２の中空コイル１２４に電流を流し励磁する。リニアアクチュエータ１００は、中空コイル１２４に電流を流すことで、フレミングの法則によって中空コイル１２４と当該中空コイル１２４と対面する位置にあるマグネット１２８との間で作用力が発生する。ここで、中空コイル１２４とマグネット１２８とは、同様の配置間隔でＺ軸方向に配置されている。これにより、対面している中空コイル１２４とマグネット１２８とは、いずれも同じ方向に作用力が発生する。これにより、中空コイルユニット１２２とモータ軸１２６との間に同一の方向の作用力が生じ、中空コイルユニット１２２に対してモータ軸１２６が図６中矢印方向のいずれかの方向、つまりＺ軸方向に移動する。また、中空コイルユニット１２２に対してモータ軸１２６が移動することで、モータ軸１２６に連結されている可動子１１０の連結部材１３０、１３２と軸受１３８とシャフト３２ａも、中空コイルユニット１２２が固定されている固定子１１０に対してＺ軸方向に移動する。なお、このとき、可動子１１０の連結部材１３０、１３２は、ガイド軸１２４、１２５に沿ってＺ軸方向に移動する。

また、ヘッド制御部６２は、位置検出機構１４０により固定子１１０と可動子１１２との相対位置を検出し、検出した結果に基づいて、中空コイル１２４に流す電流を調整することによって、中空コイル１２４とマグネット１２８との間に生じる力の方向を制御することで、所定の方向に移動させることができ、固定子１１０と可動子１１２との相対位置を所定の位置とすることができる。これにより、ヘッド制御部６２は、可動子１１２の位置を所定の位置とすることができ、可動子１１２の連結部材１３０に連結されているシャフト３２ａのＺ軸方向の位置を諸知恵の位置とすることができ、ノズル３２の先端の位置を所定の位置とすることができる。

次に、図９は、本実施形態のリニアアクチュエータ１００を図中下段に示し、比較対象のリニアアクチュエータ２００を図中上段と中段に示す。リアアクチュエータ２００は、と固定子２０２と可動子２０４を有する。固定子２０２は、中空コイルユニット２１２と連結しており、可動子２０４は、複数のマグネットを連結したモータ軸２１０と連結している。リニアアクチュエータ２００は、リニアアクチュエータ１００と同様の原理でＺ軸方向に相対移動する。リニアアクチュエータ２００は、モータ軸２１０とガイド軸２１４が連結されており、固定子２０２にガイド軸２１４の軸受２１６が固定されている。なお、図中上段に示すリアアクチュエータ２００は、可動子２０４のモータ軸２１０が移動範囲の右端に移動している状態であり、図中中段に示すリアアクチュエータ２００は、可動子２０４のモータ軸２１０が移動範囲の左端に移動している状態である。

リニアアクチュエータ２００は、モータ軸２１０のマグネットが連結している部分の長さ（磁石の長さ）が中空コイルユニット２１２よりも短い形状である。このため、リニアアクチュエータ２００の長さは、ストローク＋磁石の長さ＋中空コイルの可動スペース（磁石と重なっていないスペース）＋ストロークとなる。なお、ストロークとは、リニアアクチュエータ２００の移動範囲である。ここで、コイルの可動スペースはストロークと等しいのでリニアアクチュエータ２００の長さは、磁石の長さ＋３×ストロークとなる。

これに対して、リニアアクチュエータ１００は、図９に示すように、モータ軸の複数のマグネットが中空コイルユニットよりも短い。リニアアクチュエータ１００の長さは、ストローク＋コイル＋ストローク、つまりコイルの長さ＋２×ストロークとなる。

ここで、リニアアクチュエータ１００、２００は、マグネットと中空コイルとが重なっている領域が推力の発生する部分となる。このため、リニアアクチュエータ１００は、中空コイルの長さが推力の発生する部分の長さとなり、リニアアクチュエータ２００は、磁石の長さが推力の発生する部分の長さとなる。

従って、リニアアクチュエータ１００とリニアアクチュエータ２００とは、リニアアクチュエータ１００の中空コイルの長さとリニアアクチュエータ２００の磁石の長さが同じ場合、推力が同じとなる。したがって、リニアアクチュエータ１００とリニアアクチュエータ２００とは、同じ推力を発生させる場合、リニアアクチュエータ１００は、リニアアクチュエータ２００の中空コイルの可動スペース分（１ストローク分）、つまり中空コイルとマグネットが重なっていない長さ分、長さを短くすることができる。リニアアクチュエータ１００とリニアアクチュエータ２００とは、全体の長さを同じとする場合、２ストローク＋推力発生部分と３ストローク＋推力発生部分とを同じ長さにする必要があるため、リニアアクチュエータ１００の方がリニアアクチュエータ２００よりも１ストローク分の長さで駆動部が発生させる力が大きくなることがわかる。

以上より、リニアアクチュエータ１００は、リニアアクチュエーア２００よりも推力を維持しつつ、装置を小型化することができる。また、リニアアクチュエータ１００は、リニアアクチュエーア２００と同じ大きさとした場合、推力をより大きくすることができる。これにより、リニアアクチュエータ１００を用いる電子部品実装装置１０は、ノズル駆動部３４をより小型化することができるため、装置全体を小型化することができる。また、電子部品実装装置１０は、ノズル駆動部３４を軽量化できるため、ＸＹ移動機構で移動させる対象の重量を軽量化することができる。これにより、ヘッド本体の移動に必要なエネルギを小さくすることができ、消費エネルギを小さくすることができる。

また、リニアアクチュエータ１００は、中空コイルユニット１２２と連結している部材である外筒１２０にガイド軸１２４、１２５を固定し、モータ軸１２６と連結している部材にガイド軸１２４、１２５が挿入される連結部材１３０、１３２を設けることで、モータ軸１２６とモータ軸１２６を支持する連結部材１３０、１３２とを隣接させることができる。これにより、中空コイルに挿入されるモータ軸の撓みにくくすることができ、可動子の剛性をより向上させることができる。これにより、モータ軸と中空コイルユニットとの間で生じる作用力をより大きくすることができる。

図１０および図１１を用いてリニアアクチュエータの他の例を説明する。図１０は、リニアアクチュエータの他の例の概略構成を示す模式図である。図１１は、図１０に示すリニアアクチュエータの可動子の一例の概略構成を示す模式図である。図１０および図１１に示すリニアアクチュエータ２５０は、基本的な構成がリニアアクチュエータ１００と同様である。以下、リニアアクチュエータ２５０のうちリニアアクチュエータ１００と同様の構成については、同一符号を付して説明を省略し、リニアアクチュエータ２５０に特有の点について説明する。

リニアアクチュエータ２５０は、固定子と、可動子と、を有する。固定子の構成は、固定子１１０と同様の構成である。可動子は、図１０および図１１に示すように、モータ軸１２６と、連結部材１３０、１３２と、４つの軸受１３８と、相対位置検出機構１４０のスケール１４４と、第１サポート部材２６２、２６４と、第２サポート部材２６６と、を有する。

第１サポート部材２６２は、連結部材１３０のガイド軸１２５が挿入される穴と、連結部材１３２のガイド軸１２５が挿入される穴と繋ぐ管状の部材である。第１サポート部材２６２は、内部にガイド軸１２５が挿入される。第１サポート部材２６４は、連結部材１３０のガイド軸１２４が挿入される穴と、連結部材１３２のガイド軸１２４が挿入される穴と繋ぐ管状の部材である。第１サポート部材２６４は、内部にガイド軸１２４が挿入される。

第１サポート部材２６２、２６４は、ガイド軸１２４を案内するガイドとなる。また、第１サポート部材２６２、２６４は、連結部材１３０と連結部材１３２とを連結させ、連結部材１３０と連結部材１３２との間のガイド軸１２５、１２４を支持することで、可動子の全体の剛性を向上させることができ、モータ軸１２６をより強固に支持することができる。

第２サポート部材２６６は、第１サポート部材２６４に固定されており、スケール１４４の連結部材１３２に固定されていない端部を支持している。これにより、スケール１４４のＺ軸方向の両端を支持することができ、スケール１４４に位置ずれが生じることを抑制でき、固定子と可動子の相対位置の検出にずれが生じにくくすることができる。

また、リニアアクチュエータ２５０は、連結部材１３０、１３２と、第１サポート部材２６２、２６４と、第２サポート部材２６６と、を一体の部材とすることが好ましい。これにより、可動子の剛性を高くすることができ、可動子の内部で位置ずれ等が生じることを抑制することができ、モータ軸１２６をより好適に支持しつつ、固定子に対してＺ軸方向に移動することができる。

図１２から図１４を用いてリニアアクチュエータの他の例を説明する。図１２は、リニアアクチュエータの他の例の概略構成を示す模式図である。図１３は、図１２に示すリニアアクチュエータの固定子の一例の概略構成を示す模式図である。図１４は、図１２に示すリニアアクチュエータの可動子の一例の概略構成を示す模式図である。図１５は、図１２に示すリニアアクチュエータの一部を拡大して示す模式図である。図１２から図１５に示すリニアアクチュエータ３００は、基本的な構成がリニアアクチュエータ１００と同様である。以下、リニアアクチュエータ３００のうちリニアアクチュエータ１００と同様の構成については、同一符号を付して説明を省略し、リニアアクチュエータ３００に特有の点について説明する。リニアアクチュエータ３００は、固定子３１０と可動子３１２とを有する。固定子３１０は、図１２および図１３に示すように、外筒３２０と、中空コイルユニット１２２と、ガイド軸３２４と、相対位置検出機構１４０の検出器１４２と、を有する。可動子３１２は、図１２および図１４に示すように、モータ軸１２６と、連結部材３３０、３３２と、２つの軸受３３８と、相対位置検出機構１４０のスケール１４４と、２つの支持突起３６０と、４つのベアリング３６２と、を有する。また、中空コイル１２２は、配線３７０から供給される電力により電磁力を発生させる。

外筒３２０は、ヘッド支持部３１に固定されている支持部であり、本体３５０と、サイドウォール３５２と、を有する。本体３５０とサイドウォール３５２とは、基本的に本体１５０とサイドウォール１５２と同様の構成である。ここで、サイドウォール３５２は、穴１５４と同様の位置に穴３５４が形成されている。また、サイドウォール３５２は、凸部３５６、３５８が設けられている。凸部３５６、３５８は、Ｚ軸方向に延在する線上の突起であり、中空コイルユニット１２２側に突出する。

ガイド軸３２４は、Ｚ軸方向に伸びた軸である。ガイド軸３２４は、ガイド軸３２４は、軸の両端が外筒３２０の本体３５０に固定されている。固定子３１０は、中空コイルユニット１２２の中空部分の軸と、ガイド軸３２４と、が、Ｚ軸方向に平行に配置されている。これにより、中空コイルユニット１２２とガイド軸３２４とは、平行に配置されている。

次に、連結部材３３０、３３２は、モータ軸１２６のＺ軸方向の端部にそれぞれ連結されている。連結部材３３０は、Ｚ軸方向において、モータ軸１２６よりも本体３５０の穴３５４が形成されている面側に配置されている。連結部材３３２は、Ｚ軸方向において、モータ軸１２６よりも本体３５０の穴３５４が形成されていない面側に配置されている。また、連結部材３３０は、ガイド軸３２４が挿入される穴が形成されている。連結部材３３０は、本実施形態の出力軸となるシャフト３２ａが連結されている。連結部材３３２も、ガイド軸３２４が挿入される穴が形成されている。このように、リニアアクチュエータ３００は、ガイド軸３２４が１本のみ設けられている。

軸受３３８は、連結部材３３０のガイド軸３２４が挿入される穴、連結部材３３２のガイド軸１２４が挿入される穴の２箇所に配置されている。２つの軸受３３８は、連結部材３３０、３３２に固定されており、ガイド軸３２４と連結部材３３０、３３２とがＺ軸方向に相対移動可能な状態で連結させている。

図１５に示すように、２つの支持突起３６０は、モータ軸１２６のＺ軸方向の両端に配置されている。１つの突起部３６０には、２つのベアリング３６２が連結されている。ベアリング３６２は、それぞれ、凸部３５６または凸部３５８と対面する位置に配置されている。ベアリング３４６は、内径部材と外径の部材とが回転可能な機構であり、外径の部材がＺ軸方向に回転する向きで内径の部材が支持突起３６０に固定されている。

リニアアクチュエータ３００は、固定子３１０と可動子３１２とが相対移動すると、ベアリング３６２が、凸部３５６または凸部３５８と接触した状態で回転する。これにより、ベアリング３６２と凸部３５６または凸部３５８とが、固定子３１０と可動子３１２との相対移動時のガイド機構となる。これにより、可動子３１２をＺ軸方向により安定して移動させることができる。また、本実施形態のようにベアリング３６２と凸部３５６または凸部３５８とを用いたガイド機構を設けることで、ガイド軸３２４を一本とした構成でも、好適に固定子３１０と可動子３１２との相対移動させることができる。これにより、リニアアクチュエータ３００は、装置をより小型化することができる。

ここで、凸部３５６、３５８の形状は、特に限定されないが、ベアリング３６２をサイドウォール３５２の表面において、Ｚ軸に直交する方向に移動しないように支持できる形状が好ましい。凸部３５６、３５８の形状は、Ｖ字溝としてもよい。また、ベアリング３６２は回転する機構とすることが好ましいが、凸部３５６、３５８に対応する凹部を有し、Ｚ軸に直交する断面において、凹凸形状が反転した形状としてもよい。つまり、ベアリング３６２は、表面が凸部３５６、３５８をくわえ込む形状としてもよい。なお、サイドウォールとベアリングとの形状は、凹凸の相対関係が反対となってもよい。つまりサイドウォールに凹部を形成してもよい。

図１６および図１７を用いてリニアアクチュエータの他の例を説明する。図１６は、リニアアクチュエータの他の例の概略構成を示す模式図である。図１７は、図１６に示すリニアアクチュエータの固定子の一例の概略構成を示す模式図である。図１６および図１７に示すリニアアクチュエータ４００は、基本的な構成がリニアアクチュエータ１００と同様である。以下、リニアアクチュエータ４００のうちリニアアクチュエータ１００と同様の構成については、同一符号を付して説明を省略し、リニアアクチュエータ４００に特有の点について説明する。リニアアクチュエータ４００は、固定子４１０と可動子４１２とを有する。固定子４１０は、図１６および図１７に示すように、外筒４８０と、中空コイルユニット１２２と、ガイド軸１２４と、相対位置検出機構１４０の検出器１４２と、を有する。また、中空コイルユニット１２２は、配線４７０から供給される電力により電磁力を発生させる。可動子４１２は、可動子１１２と同様の構成である。

外筒４８０は、本体４２０と、サイドウォール４２４とを有する。本体４２０は、中空コイルユニット１２２の外周を覆う箱状の部材であり、ガイド軸１２４、１２５の中央近傍を支持している。つまり、本体４２０は、連結部材１３０と連結部材１３０の間に配置されている。サイドウォール４２４は、板状の部材であり、本体４２０の最も大きい面と連結している。なお、サイドウォール４２４は、２つ設けられており、本体４２０の最も大きい２つ面とそれぞれ連結している。

リニアアクチュエータ４００は、固定子４１０の本体４２０が連結部材１３０と連結部材１３０の間に配置され、ガイド軸１２４、１２５の中央近傍のみを支持している。これにより、リニアアクチュエータ４００は、ガイド軸１２４、１２５の両端部よりも外側に部材を配置しない構成とすることができ、リニアアクチュエータ４００のＺ軸方向の長さをより短くすることができる。また、リニアアクチュエータ４００は、ガイド軸１２４、１２５の中央の近傍を１つの箱形状の本体４２０で支持することができる。これにより、２本のガイド軸をより高い精度で固定することができる。また、本体４２０は、１つの箱型の部材であるため、ガイド軸１２４、１２５を挿入する穴を高い加工精度で製造することができる。これにより、ガイド軸１２４、１２５と可動子４１２との移動時の摩擦をより低減することができる。また、リニアアクチュエータ４００は、中空コイルユニット１２２の全周を本体４２０で固定し、固定する本体４２０をサイドウォール４２４に固定する構成とすることで、中空コイルユニット１２２をより強固に固定することができ、固定子４１０の全体の剛性を向上させることができる。

ここで、上記実施形態では、中空コイルが連結されている部材を固定子とし、モータ軸が連結されている部材を可動子としたが、固定子と可動子とを逆にしてもよい。例えば、上記実施形態では、サイドウォールにシャフトを連結し、連結部材とヘッド支持部とを連結してもよい。

また、上記実施形態は、ノズルをＺ軸方向に移動させる機構にリニアアクチュエータを用いたが、リニアアクチュエータは他の種々の機構に用いることができる。例えば、ＸＹ移動機構に用いてもよい。また、電子部品実装装置以外の装置の駆動機構として用いてもよい。

また、上記実施形態では、２つのヘッド１５を有する構成としたが、本発明はこれに限定されない。例えば、電子部品実装装置１０は、１つのヘッド１５を有しても、３つのヘッドを有してもよい。

８ 基板
１０ 電子部品実装装置
１２ 基板搬送部
１４、１４ｆ、１４ｒ 部品供給ユニット
１５、１５ｆ、１５ｒ ヘッド
１６ ＸＹ移動機構
２２、２２ｆ、２２ｒ Ｘ軸駆動部
２４ Ｙ軸駆動部
３０ ヘッド本体
３１ ヘッド支持体
３２ ノズル
３２ａ シャフト（出力軸）
３４ ノズル駆動部（リニアアクチュエータ）
３８ レーザ認識装置
３８ａ 光源
３８ｂ 受光素子
６０ 制御部
６２ ヘッド制御部
６４ 部品供給制御部
９０、９０ａ 電子部品供給装置
１００ リニアアクチュエータ
１０２ θ軸回転機構
１１０ 固定子
１１２ 可動子
１２０ 外筒
１２２ 中空コイルユニット
１２３ 中空コイル
１２４、１２５ ガイド軸
１２６ モータ軸
１２８ マグネット
１３０、１３２ 連結部材
１３８ 軸受
１４０ 相対位置検出機構
１４２ 検出器
１４４ スケール
１５０ 本体
１５２ サイドウォール

Claims (7)

1. 中空の外筒と、
   前記外筒の内部に入れて前記外筒の軸方向に隣接する複数の中空コイルと、
   前記中空コイルの内部に挿入され、多数のマグネットが前記軸方向に配列されたモータ軸と、
   前記モータ軸の端部にそれぞれ連結された２つの連結部材と、
   前記外筒に固定され、前記２つの連結部材にそれぞれ挿入されかつ軸方向に延在し、前記中空コイルユニットを挟んで対向する位置に平行に配置されている２本のガイド軸と、
   前記連結部材に連結され、θ方向回転機構によりθ方向に回転自在の状態で支持された出力軸と、
   前記中空コイルを選択的に励磁し、前記中空コイルと前記モータ軸とを前記軸方向に相対的に移動させ、前記外筒と前記出力軸とを前記軸方向に相対的に移動させる制御部と、を有し、
   前記モータ軸は、前記軸方向において、前記中空コイルよりも長い範囲に前記マグネットが配置されていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
2. 中空の外筒と、
   前記外筒の内部に入れて前記外筒の軸方向に隣接する複数の中空コイルと、
   前記中空コイルの内部に挿入され、多数のマグネットが前記軸方向に配列されたモータ軸と、
   前記モータ軸の端部にそれぞれ連結された２つの連結部材と、
   前記外筒に固定され、前記２つの連結部材にそれぞれ挿入されかつ軸方向に延在するガイド軸と、
   前記連結部材に連結され、θ方向回転機構によりθ方向に回転自在の状態で支持された出力軸と、
   前記中空コイルを選択的に励磁し、前記中空コイルと前記モータ軸とを前記軸方向に相対的に移動させ、前記外筒と前記出力軸とを前記軸方向に相対的に移動させる制御部と、
   前記外筒の前記中空コイルのある側に突出して設けられた凸部又は凹部、及び前記モータ軸の両端に配置され、前記中空コイルと前記モータ軸とが前記軸方向に相対的に移動する際に前記凸部又は凹部と接触した状態で回転するベアリングが連結された２つの支持突起、を備えるガイド機構と、
   を有し、
   前記モータ軸は、前記軸方向において、前記中空コイルよりも長い範囲に前記マグネットが配置されていることを特徴とするリニアアクチュエータ。
3. 前記連結部材に固定されたスケールと、前記外筒に固定された検出器と、を有し、前記モータ軸と前記中空コイルとの相対位置を検出する相対位置検出機構をさらに有することを特徴とする請求項１または２に記載のリニアアクチュエータ。
4. 前記連結部材と前記ガイド軸との連結部に配置され、前記ガイド軸を前記連結部材に対して移動可能な状態で支持する軸受をさらに有することを特徴とする請求項１から３のいずれか一項に記載のリニアアクチュエータ。
5. 前記外筒は、固定子であることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のリニアアクチュエータ。
6. 前記出力軸は、固定子であることを特徴とする請求項１から４のいずれか一項に記載のリニアアクチュエータ。
7. 基板に電子部品を搭載する電子部品実装装置であって、
   前記基板に搭載する前記電子部品を供給する電子部品供給装置と、
   請求項１から６のいずれか一項に記載のリニアアクチュエータと、
   前記リニアアクチュエータの出力軸に連結されたノズルと、を少なくとも１組備え、前記リニアアクチュエータで前記ノズルを前記基板の表面に直交する方向に移動させ、前記電子部品供給装置から供給される電子部品を吸着する吸着領域に前記ノズルを移動させるヘッドと、
   前記ヘッドを前記基板の表面に平行な方向に移動させるＸＹ移動機構と、を備えることを特徴とする電子部品実装装置。

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