JP6056548B2 - 配線回路基板の製造方法 - Google Patents
配線回路基板の製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6056548B2 JP6056548B2 JP2013036729A JP2013036729A JP6056548B2 JP 6056548 B2 JP6056548 B2 JP 6056548B2 JP 2013036729 A JP2013036729 A JP 2013036729A JP 2013036729 A JP2013036729 A JP 2013036729A JP 6056548 B2 JP6056548 B2 JP 6056548B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- polyimide precursor
- precursor resin
- substrate
- resin film
- polyimide
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 238000000034 method Methods 0.000 title claims description 55
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 33
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 claims description 189
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims description 143
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims description 143
- 239000004642 Polyimide Substances 0.000 claims description 137
- 239000002243 precursor Substances 0.000 claims description 136
- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims description 113
- 239000002904 solvent Substances 0.000 claims description 58
- 239000007788 liquid Substances 0.000 claims description 48
- 238000010438 heat treatment Methods 0.000 claims description 23
- 238000004528 spin coating Methods 0.000 claims description 17
- 230000008569 process Effects 0.000 claims description 15
- 239000010408 film Substances 0.000 description 129
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 description 52
- GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N ac1mqpva Chemical compound CC12C(=O)OC(=O)C1(C)C1(C)C2(C)C(=O)OC1=O GTDPSWPPOUPBNX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 37
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 description 27
- 239000002184 metal Substances 0.000 description 27
- XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N Silicon Chemical compound [Si] XUIMIQQOPSSXEZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 20
- 229910052710 silicon Inorganic materials 0.000 description 20
- 239000010703 silicon Substances 0.000 description 20
- CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N Acetone Chemical compound CC(C)=O CSCPPACGZOOCGX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 17
- 125000004432 carbon atom Chemical group C* 0.000 description 15
- 239000010949 copper Substances 0.000 description 14
- XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N water Substances O XLYOFNOQVPJJNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 12
- 239000011248 coating agent Substances 0.000 description 11
- 238000000576 coating method Methods 0.000 description 11
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 11
- 125000000962 organic group Chemical group 0.000 description 10
- 238000006243 chemical reaction Methods 0.000 description 7
- UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N Benzene Chemical compound C1=CC=CC=C1 UHOVQNZJYSORNB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N Methanol Chemical compound OC OKKJLVBELUTLKV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N N-Methylpyrrolidone Chemical compound CN1CCCC1=O SECXISVLQFMRJM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- UKJLNMAFNRKWGR-UHFFFAOYSA-N cyclohexatrienamine Chemical group NC1=CC=C=C[CH]1 UKJLNMAFNRKWGR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 6
- 239000000463 material Substances 0.000 description 6
- 150000000000 tetracarboxylic acids Chemical class 0.000 description 6
- FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylacetamide Chemical compound CN(C)C(C)=O FXHOOIRPVKKKFG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 5
- 150000008065 acid anhydrides Chemical class 0.000 description 5
- 238000005187 foaming Methods 0.000 description 5
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 5
- 238000007654 immersion Methods 0.000 description 5
- 238000007747 plating Methods 0.000 description 5
- 239000002798 polar solvent Substances 0.000 description 5
- 125000001424 substituent group Chemical group 0.000 description 5
- IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N Atomic nitrogen Chemical compound N#N IJGRMHOSHXDMSA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N Sulfur Chemical compound [S] NINIDFKCEFEMDL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 4
- 239000002253 acid Substances 0.000 description 4
- 125000000217 alkyl group Chemical group 0.000 description 4
- 239000003963 antioxidant agent Substances 0.000 description 4
- 238000009835 boiling Methods 0.000 description 4
- 150000004985 diamines Chemical class 0.000 description 4
- 238000007599 discharging Methods 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 4
- 238000009713 electroplating Methods 0.000 description 4
- 125000000524 functional group Chemical group 0.000 description 4
- 238000009413 insulation Methods 0.000 description 4
- 239000010410 layer Substances 0.000 description 4
- 239000012046 mixed solvent Substances 0.000 description 4
- 238000002156 mixing Methods 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- -1 steatite Chemical compound 0.000 description 4
- 229910052717 sulfur Inorganic materials 0.000 description 4
- 239000011593 sulfur Substances 0.000 description 4
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 4
- ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 2-Butanone Chemical compound CCC(C)=O ZWEHNKRNPOVVGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N Ethylene glycol Chemical compound OCCO LYCAIKOWRPUZTN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N N,N-Dimethylformamide Chemical compound CN(C)C=O ZMXDDKWLCZADIW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N Toluene Chemical compound CC1=CC=CC=C1 YXFVVABEGXRONW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 125000003545 alkoxy group Chemical group 0.000 description 3
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 3
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 150000001408 amides Chemical class 0.000 description 3
- 230000003078 antioxidant effect Effects 0.000 description 3
- HFACYLZERDEVSX-UHFFFAOYSA-N benzidine Chemical group C1=CC(N)=CC=C1C1=CC=C(N)C=C1 HFACYLZERDEVSX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 238000001816 cooling Methods 0.000 description 3
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 description 3
- 238000005520 cutting process Methods 0.000 description 3
- SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N diglyme Chemical compound COCCOCCOC SBZXBUIDTXKZTM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 3
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 3
- 238000001035 drying Methods 0.000 description 3
- 239000006260 foam Substances 0.000 description 3
- 125000005843 halogen group Chemical group 0.000 description 3
- 239000002245 particle Substances 0.000 description 3
- 230000002093 peripheral effect Effects 0.000 description 3
- 238000006068 polycondensation reaction Methods 0.000 description 3
- 239000013557 residual solvent Substances 0.000 description 3
- VLDPXPPHXDGHEW-UHFFFAOYSA-N 1-chloro-2-dichlorophosphoryloxybenzene Chemical compound ClC1=CC=CC=C1OP(Cl)(Cl)=O VLDPXPPHXDGHEW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- POSWICCRDBKBMH-UHFFFAOYSA-N 3,3,5-trimethylcyclohexan-1-one Chemical compound CC1CC(=O)CC(C)(C)C1 POSWICCRDBKBMH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- QYIMZXITLDTULQ-UHFFFAOYSA-N 4-(4-amino-2-methylphenyl)-3-methylaniline Chemical group CC1=CC(N)=CC=C1C1=CC=C(N)C=C1C QYIMZXITLDTULQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- HLBLWEWZXPIGSM-UHFFFAOYSA-N 4-Aminophenyl ether Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OC1=CC=C(N)C=C1 HLBLWEWZXPIGSM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 4-Butyrolactone Chemical compound O=C1CCCO1 YEJRWHAVMIAJKC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- XPAQFJJCWGSXGJ-UHFFFAOYSA-N 4-amino-n-(4-aminophenyl)benzamide Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1NC(=O)C1=CC=C(N)C=C1 XPAQFJJCWGSXGJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- VQVIHDPBMFABCQ-UHFFFAOYSA-N 5-(1,3-dioxo-2-benzofuran-5-carbonyl)-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC(C(C=2C=C3C(=O)OC(=O)C3=CC=2)=O)=C1 VQVIHDPBMFABCQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N Diethyl ether Chemical compound CCOCC RTZKZFJDLAIYFH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N Dimethylsulphoxide Chemical compound CS(C)=O IAZDPXIOMUYVGZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- DMCOZHJENSCKPP-UHFFFAOYSA-N NC1=CC=C(C=C1)C=1N=NC(=CC=1)C1=CC=C(C=C1)N Chemical compound NC1=CC=C(C=C1)C=1N=NC(=CC=1)C1=CC=C(C=C1)N DMCOZHJENSCKPP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000004793 Polystyrene Substances 0.000 description 2
- JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N Pyridine Chemical compound C1=CC=NC=C1 JUJWROOIHBZHMG-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L Sodium Carbonate Chemical compound [Na+].[Na+].[O-]C([O-])=O CDBYLPFSWZWCQE-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 2
- QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N Sulfuric acid Chemical compound OS(O)(=O)=O QAOWNCQODCNURD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N Titanium Chemical compound [Ti] RTAQQCXQSZGOHL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N Zirconium dioxide Chemical compound O=[Zr]=O MCMNRKCIXSYSNV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000000654 additive Substances 0.000 description 2
- 239000005407 aluminoborosilicate glass Substances 0.000 description 2
- ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N ammonium persulfate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[O-]S(=O)(=O)OOS([O-])(=O)=O ROOXNKNUYICQNP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000003118 aryl group Chemical group 0.000 description 2
- WKDNYTOXBCRNPV-UHFFFAOYSA-N bpda Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC(C=2C=C3C(=O)OC(C3=CC=2)=O)=C1 WKDNYTOXBCRNPV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000002915 carbonyl group Chemical group [*:2]C([*:1])=O 0.000 description 2
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- XMPZTFVPEKAKFH-UHFFFAOYSA-P ceric ammonium nitrate Chemical compound [NH4+].[NH4+].[Ce+4].[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O.[O-][N+]([O-])=O XMPZTFVPEKAKFH-UHFFFAOYSA-P 0.000 description 2
- 239000012295 chemical reaction liquid Substances 0.000 description 2
- 239000003795 chemical substances by application Substances 0.000 description 2
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 2
- JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N cyclohexanone Chemical compound O=C1CCCCC1 JHIVVAPYMSGYDF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 2
- 238000011161 development Methods 0.000 description 2
- 125000006159 dianhydride group Chemical group 0.000 description 2
- 238000005530 etching Methods 0.000 description 2
- 229910052731 fluorine Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000005227 gel permeation chromatography Methods 0.000 description 2
- HJOVHMDZYOCNQW-UHFFFAOYSA-N isophorone Chemical compound CC1=CC(=O)CC(C)(C)C1 HJOVHMDZYOCNQW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 239000005453 ketone based solvent Substances 0.000 description 2
- 125000005647 linker group Chemical group 0.000 description 2
- 229910052757 nitrogen Inorganic materials 0.000 description 2
- 125000004430 oxygen atom Chemical group O* 0.000 description 2
- FDPIMTJIUBPUKL-UHFFFAOYSA-N pentan-3-one Chemical compound CCC(=O)CC FDPIMTJIUBPUKL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- UBGIFSWRDUBQIC-UHFFFAOYSA-N perylene-2,3,8,9-tetracarboxylic acid Chemical compound C1=CC2=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC(C=3C4=C5C=C(C(C(O)=O)=C4C=CC=3)C(O)=O)=C2C5=C1 UBGIFSWRDUBQIC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N phenol group Chemical group C1(=CC=CC=C1)O ISWSIDIOOBJBQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000843 phenylene group Chemical group C1(=C(C=CC=C1)*)* 0.000 description 2
- 238000006116 polymerization reaction Methods 0.000 description 2
- 229920002223 polystyrene Polymers 0.000 description 2
- 238000002360 preparation method Methods 0.000 description 2
- 238000012545 processing Methods 0.000 description 2
- 239000012779 reinforcing material Substances 0.000 description 2
- 239000011669 selenium Substances 0.000 description 2
- HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N silicon carbide Chemical compound [Si+]#[C-] HBMJWWWQQXIZIP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910010271 silicon carbide Inorganic materials 0.000 description 2
- 239000002356 single layer Substances 0.000 description 2
- HXJUTPCZVOIRIF-UHFFFAOYSA-N sulfolane Chemical compound O=S1(=O)CCCC1 HXJUTPCZVOIRIF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 125000000472 sulfonyl group Chemical group *S(*)(=O)=O 0.000 description 2
- HHVIBTZHLRERCL-UHFFFAOYSA-N sulfonyldimethane Chemical compound CS(C)(=O)=O HHVIBTZHLRERCL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 238000004381 surface treatment Methods 0.000 description 2
- 238000003786 synthesis reaction Methods 0.000 description 2
- 230000000007 visual effect Effects 0.000 description 2
- 238000005406 washing Methods 0.000 description 2
- AVQQQNCBBIEMEU-UHFFFAOYSA-N 1,1,3,3-tetramethylurea Chemical compound CN(C)C(=O)N(C)C AVQQQNCBBIEMEU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WZCQRUWWHSTZEM-UHFFFAOYSA-N 1,3-phenylenediamine Chemical compound NC1=CC=CC(N)=C1 WZCQRUWWHSTZEM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RILDMGJCBFBPGH-UHFFFAOYSA-N 1,4,5,8-tetrachloronaphthalene-2,3,6,7-tetracarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1=C(C(O)=O)C(Cl)=C2C(Cl)=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=C(Cl)C2=C1Cl RILDMGJCBFBPGH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 1,4-Dioxane Chemical compound C1COCCO1 RYHBNJHYFVUHQT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CBCKQZAAMUWICA-UHFFFAOYSA-N 1,4-phenylenediamine Chemical compound NC1=CC=C(N)C=C1 CBCKQZAAMUWICA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YPUWDDMFYRNEFX-UHFFFAOYSA-N 1-methoxy-2-[2-(2-methoxyethoxy)ethoxy]ethane Chemical compound COCCOCCOCCOC.COCCOCCOCCOC YPUWDDMFYRNEFX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KBLZUSCEBGBILB-UHFFFAOYSA-N 2,2-dimethylthiolane 1,1-dioxide Chemical compound CC1(C)CCCS1(=O)=O KBLZUSCEBGBILB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- VOZKAJLKRJDJLL-UHFFFAOYSA-N 2,4-diaminotoluene Chemical compound CC1=CC=C(N)C=C1N VOZKAJLKRJDJLL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BWAPJIHJXDYDPW-UHFFFAOYSA-N 2,5-dimethyl-p-phenylenediamine Chemical compound CC1=CC(N)=C(C)C=C1N BWAPJIHJXDYDPW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SDWGBHZZXPDKDZ-UHFFFAOYSA-N 2,6-dichloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic acid Chemical compound C1=C(Cl)C(C(O)=O)=C2C(C(=O)O)=CC(Cl)=C(C(O)=O)C2=C1C(O)=O SDWGBHZZXPDKDZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- MJAVQHPPPBDYAN-UHFFFAOYSA-N 2,6-dimethylbenzene-1,4-diamine Chemical compound CC1=CC(N)=CC(C)=C1N MJAVQHPPPBDYAN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JZWGLBCZWLGCDT-UHFFFAOYSA-N 2,7-dichloronaphthalene-1,4,5,8-tetracarboxylic acid Chemical compound ClC1=CC(C(O)=O)=C2C(C(=O)O)=CC(Cl)=C(C(O)=O)C2=C1C(O)=O JZWGLBCZWLGCDT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 2-methylphenol;3-methylphenol;4-methylphenol Chemical compound CC1=CC=C(O)C=C1.CC1=CC=CC(O)=C1.CC1=CC=CC=C1O QTWJRLJHJPIABL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ULRPISSMEBPJLN-UHFFFAOYSA-N 2h-tetrazol-5-amine Chemical compound NC1=NN=NN1 ULRPISSMEBPJLN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- SMDGQEQWSSYZKX-UHFFFAOYSA-N 3-(2,3-dicarboxyphenoxy)phthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC(OC=2C(=C(C(O)=O)C=CC=2)C(O)=O)=C1C(O)=O SMDGQEQWSSYZKX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GWHLJVMSZRKEAQ-UHFFFAOYSA-N 3-(2,3-dicarboxyphenyl)phthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC(C=2C(=C(C(O)=O)C=CC=2)C(O)=O)=C1C(O)=O GWHLJVMSZRKEAQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FMXFZZAJHRLHGP-UHFFFAOYSA-N 3-(2,3-dicarboxyphenyl)sulfonylphthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC(S(=O)(=O)C=2C(=C(C(O)=O)C=CC=2)C(O)=O)=C1C(O)=O FMXFZZAJHRLHGP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LXJLFVRAWOOQDR-UHFFFAOYSA-N 3-(3-aminophenoxy)aniline Chemical compound NC1=CC=CC(OC=2C=C(N)C=CC=2)=C1 LXJLFVRAWOOQDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LJGHYPLBDBRCRZ-UHFFFAOYSA-N 3-(3-aminophenyl)sulfonylaniline Chemical compound NC1=CC=CC(S(=O)(=O)C=2C=C(N)C=CC=2)=C1 LJGHYPLBDBRCRZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- TYKLCAKICHXQNE-UHFFFAOYSA-N 3-[(2,3-dicarboxyphenyl)methyl]phthalic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC(CC=2C(=C(C(O)=O)C=CC=2)C(O)=O)=C1C(O)=O TYKLCAKICHXQNE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UCFMKTNJZCYBBJ-UHFFFAOYSA-N 3-[1-(2,3-dicarboxyphenyl)ethyl]phthalic acid Chemical compound C=1C=CC(C(O)=O)=C(C(O)=O)C=1C(C)C1=CC=CC(C(O)=O)=C1C(O)=O UCFMKTNJZCYBBJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PAHZZOIHRHCHTH-UHFFFAOYSA-N 3-[2-(2,3-dicarboxyphenyl)propan-2-yl]phthalic acid Chemical compound C=1C=CC(C(O)=O)=C(C(O)=O)C=1C(C)(C)C1=CC=CC(C(O)=O)=C1C(O)=O PAHZZOIHRHCHTH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- POXPSTWTPRGRDO-UHFFFAOYSA-N 3-[4-(3-aminophenyl)phenyl]aniline Chemical group NC1=CC=CC(C=2C=CC(=CC=2)C=2C=C(N)C=CC=2)=C1 POXPSTWTPRGRDO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ICNFHJVPAJKPHW-UHFFFAOYSA-N 4,4'-Thiodianiline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1SC1=CC=C(N)C=C1 ICNFHJVPAJKPHW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LURZHSJDIWXJOH-UHFFFAOYSA-N 4,8-dimethyl-1,2,3,5,6,7-hexahydronaphthalene-2,3,6,7-tetracarboxylic acid Chemical compound C1C(C(O)=O)C(C(O)=O)C(C)=C2CC(C(O)=O)C(C(O)=O)C(C)=C21 LURZHSJDIWXJOH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AVCOFPOLGHKJQB-UHFFFAOYSA-N 4-(3,4-dicarboxyphenyl)sulfonylphthalic acid Chemical compound C1=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=C1 AVCOFPOLGHKJQB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IWXCYYWDGDDPAC-UHFFFAOYSA-N 4-[(3,4-dicarboxyphenyl)methyl]phthalic acid Chemical compound C1=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC=C1CC1=CC=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=C1 IWXCYYWDGDDPAC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GEYAGBVEAJGCFB-UHFFFAOYSA-N 4-[2-(3,4-dicarboxyphenyl)propan-2-yl]phthalic acid Chemical compound C=1C=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=CC=1C(C)(C)C1=CC=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=C1 GEYAGBVEAJGCFB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- LJQRDZHDYMOIIO-UHFFFAOYSA-N 4-[2-(4-aminophenyl)pyrimidin-5-yl]aniline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1C1=CN=C(C=2C=CC(N)=CC=2)N=C1 LJQRDZHDYMOIIO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- JCRRFJIVUPSNTA-UHFFFAOYSA-N 4-[4-(4-aminophenoxy)phenoxy]aniline Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1OC(C=C1)=CC=C1OC1=CC=C(N)C=C1 JCRRFJIVUPSNTA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QBSMHWVGUPQNJJ-UHFFFAOYSA-N 4-[4-(4-aminophenyl)phenyl]aniline Chemical group C1=CC(N)=CC=C1C1=CC=C(C=2C=CC(N)=CC=2)C=C1 QBSMHWVGUPQNJJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NVKGJHAQGWCWDI-UHFFFAOYSA-N 4-[4-amino-2-(trifluoromethyl)phenyl]-3-(trifluoromethyl)aniline Chemical group FC(F)(F)C1=CC(N)=CC=C1C1=CC=C(N)C=C1C(F)(F)F NVKGJHAQGWCWDI-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IPDXWXPSCKSIII-UHFFFAOYSA-N 4-propan-2-ylbenzene-1,3-diamine Chemical compound CC(C)C1=CC=C(N)C=C1N IPDXWXPSCKSIII-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YGYCECQIOXZODZ-UHFFFAOYSA-N 4415-87-6 Chemical compound O=C1OC(=O)C2C1C1C(=O)OC(=O)C12 YGYCECQIOXZODZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- QQGYZOYWNCKGEK-UHFFFAOYSA-N 5-[(1,3-dioxo-2-benzofuran-5-yl)oxy]-2-benzofuran-1,3-dione Chemical compound C1=C2C(=O)OC(=O)C2=CC(OC=2C=C3C(=O)OC(C3=CC=2)=O)=C1 QQGYZOYWNCKGEK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- IIEKUGPEYLGWQQ-UHFFFAOYSA-N 5-[4-(4-amino-2-methylpentyl)phenyl]-4-methylpentan-2-amine Chemical compound CC(N)CC(C)CC1=CC=C(CC(C)CC(C)N)C=C1 IIEKUGPEYLGWQQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FCGPQGUCEQKMJP-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-5-phenylhexan-1-amine Chemical compound NCCCCC(C)(C)C1=CC=CC=C1 FCGPQGUCEQKMJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910017115 AlSb Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000980 Aluminium gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N Bromine atom Chemical group [Br] WKBOTKDWSSQWDR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910004613 CdTe Inorganic materials 0.000 description 1
- MQJKPEGWNLWLTK-UHFFFAOYSA-N Dapsone Chemical compound C1=CC(N)=CC=C1S(=O)(=O)C1=CC=C(N)C=C1 MQJKPEGWNLWLTK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 241001050985 Disco Species 0.000 description 1
- OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N Ethane Chemical compound CC OTMSDBZUPAUEDD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N Fluorine atom Chemical compound [F] YCKRFDGAMUMZLT-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910002601 GaN Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005540 GaP Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910005542 GaSb Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910001218 Gallium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000530 Gallium indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910000673 Indium arsenide Inorganic materials 0.000 description 1
- GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N Indium phosphide Chemical compound [In]#P GPXJNWSHGFTCBW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N Magnesium Chemical compound [Mg] FYYHWMGAXLPEAU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Chemical compound CC(C)CC(C)=O NTIZESTWPVYFNL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N Methyl isobutyl ketone Natural products CCC(C)C(C)=O UIHCLUNTQKBZGK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZWXPDGCFMMFNRW-UHFFFAOYSA-N N-methylcaprolactam Chemical compound CN1CCCCCC1=O ZWXPDGCFMMFNRW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N O-Xylene Chemical compound CC1=CC=CC=C1C CTQNGGLPUBDAKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N Phosphorus Chemical compound [P] OAICVXFJPJFONN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N Potassium Chemical compound [K] ZLMJMSJWJFRBEC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- CZPWVGJYEJSRLH-UHFFFAOYSA-N Pyrimidine Chemical compound C1=CN=CN=C1 CZPWVGJYEJSRLH-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N Selenium Chemical compound [Se] BUGBHKTXTAQXES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052581 Si3N4 Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000006087 Silane Coupling Agent Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N Silicium dioxide Chemical compound O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N Sulphide Chemical compound [S-2] UCKMPCXJQFINFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N Tin Chemical compound [Sn] ATJFFYVFTNAWJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910007709 ZnTe Inorganic materials 0.000 description 1
- FDLQZKYLHJJBHD-UHFFFAOYSA-N [3-(aminomethyl)phenyl]methanamine Chemical compound NCC1=CC=CC(CN)=C1 FDLQZKYLHJJBHD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ISKQADXMHQSTHK-UHFFFAOYSA-N [4-(aminomethyl)phenyl]methanamine Chemical compound NCC1=CC=C(CN)C=C1 ISKQADXMHQSTHK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YKTSYUJCYHOUJP-UHFFFAOYSA-N [O--].[Al+3].[Al+3].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] Chemical compound [O--].[Al+3].[Al+3].[O-][Si]([O-])([O-])[O-] YKTSYUJCYHOUJP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 230000000996 additive effect Effects 0.000 description 1
- 239000005456 alcohol based solvent Substances 0.000 description 1
- 125000002947 alkylene group Chemical group 0.000 description 1
- PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N aluminium oxide Inorganic materials [O-2].[O-2].[O-2].[Al+3].[Al+3] PNEYBMLMFCGWSK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910001870 ammonium persulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 1
- 150000004945 aromatic hydrocarbons Chemical class 0.000 description 1
- 239000012298 atmosphere Substances 0.000 description 1
- 230000008901 benefit Effects 0.000 description 1
- GCAIEATUVJFSMC-UHFFFAOYSA-N benzene-1,2,3,4-tetracarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=C1C(O)=O GCAIEATUVJFSMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- WRPSKOREVDHZHP-UHFFFAOYSA-N benzene-1,4-diamine Chemical compound NC1=CC=C(N)C=C1.NC1=CC=C(N)C=C1 WRPSKOREVDHZHP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N benzophenone Chemical compound C=1C=CC=CC=1C(=O)C1=CC=CC=C1 RWCCWEUUXYIKHB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- ZADPBFCGQRWHPN-UHFFFAOYSA-N boronic acid Chemical compound OBO ZADPBFCGQRWHPN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004106 butoxy group Chemical group [*]OC([H])([H])C([H])([H])C(C([H])([H])[H])([H])[H] 0.000 description 1
- UHYPYGJEEGLRJD-UHFFFAOYSA-N cadmium(2+);selenium(2-) Chemical compound [Se-2].[Cd+2] UHYPYGJEEGLRJD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N calcium titanate Chemical compound [Ca+2].[O-][Ti]([O-])=O AOWKSNWVBZGMTJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000003054 catalyst Substances 0.000 description 1
- 229910010293 ceramic material Inorganic materials 0.000 description 1
- 230000008859 change Effects 0.000 description 1
- 239000013522 chelant Substances 0.000 description 1
- 230000001055 chewing effect Effects 0.000 description 1
- 229910052801 chlorine Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000001309 chloro group Chemical group Cl* 0.000 description 1
- 239000002131 composite material Substances 0.000 description 1
- 150000001875 compounds Chemical class 0.000 description 1
- 238000007796 conventional method Methods 0.000 description 1
- 229910000365 copper sulfate Inorganic materials 0.000 description 1
- PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M copper(1+);methylsulfanylmethane;bromide Chemical compound Br[Cu].CSC PMHQVHHXPFUNSP-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 1
- ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L copper(II) sulfate Chemical compound [Cu+2].[O-][S+2]([O-])([O-])[O-] ARUVKPQLZAKDPS-UHFFFAOYSA-L 0.000 description 1
- 229910052878 cordierite Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000007822 coupling agent Substances 0.000 description 1
- 229930003836 cresol Natural products 0.000 description 1
- 230000018044 dehydration Effects 0.000 description 1
- 238000006297 dehydration reaction Methods 0.000 description 1
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 description 1
- JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N dimagnesium dioxido-bis[(1-oxido-3-oxo-2,4,6,8,9-pentaoxa-1,3-disila-5,7-dialuminabicyclo[3.3.1]nonan-7-yl)oxy]silane Chemical compound [Mg++].[Mg++].[O-][Si]([O-])(O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2)O[Al]1O[Al]2O[Si](=O)O[Si]([O-])(O1)O2 JSKIRARMQDRGJZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N dioxosilane;oxo(oxoalumanyloxy)alumane Chemical compound O=[Si]=O.O=[Si]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O.O=[Al]O[Al]=O KZHJGOXRZJKJNY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000005516 engineering process Methods 0.000 description 1
- 125000001301 ethoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 125000001495 ethyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000001704 evaporation Methods 0.000 description 1
- 230000008020 evaporation Effects 0.000 description 1
- 239000011737 fluorine Substances 0.000 description 1
- 125000001153 fluoro group Chemical group F* 0.000 description 1
- 238000007429 general method Methods 0.000 description 1
- 229910052732 germanium Inorganic materials 0.000 description 1
- GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N germanium atom Chemical compound [Ge] GNPVGFCGXDBREM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000000227 grinding Methods 0.000 description 1
- 239000001307 helium Substances 0.000 description 1
- 229910052734 helium Inorganic materials 0.000 description 1
- SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N helium atom Chemical compound [He] SWQJXJOGLNCZEY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GNOIPBMMFNIUFM-UHFFFAOYSA-N hexamethylphosphoric triamide Chemical compound CN(C)P(=O)(N(C)C)N(C)C GNOIPBMMFNIUFM-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000004051 hexyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000003707 hexyloxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 238000006358 imidation reaction Methods 0.000 description 1
- 125000002883 imidazolyl group Chemical group 0.000 description 1
- 230000001771 impaired effect Effects 0.000 description 1
- WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N indium antimonide Chemical compound [Sb]#[In] WPYVAWXEWQSOGY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N indium arsenide Chemical compound [In]#[As] RPQDHPTXJYYUPQ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011261 inert gas Substances 0.000 description 1
- 239000011256 inorganic filler Substances 0.000 description 1
- 229910003475 inorganic filler Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000002510 isobutoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 125000000959 isobutyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(C([H])([H])[H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 238000002955 isolation Methods 0.000 description 1
- 125000003253 isopropoxy group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(O*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 125000001449 isopropyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 150000002596 lactones Chemical class 0.000 description 1
- 229940018564 m-phenylenediamine Drugs 0.000 description 1
- 239000011777 magnesium Substances 0.000 description 1
- 229910052749 magnesium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000002923 metal particle Substances 0.000 description 1
- 150000002739 metals Chemical class 0.000 description 1
- 125000001434 methanylylidene group Chemical group [H]C#[*] 0.000 description 1
- 125000000956 methoxy group Chemical group [H]C([H])([H])O* 0.000 description 1
- 125000002496 methyl group Chemical group [H]C([H])([H])* 0.000 description 1
- 229910003465 moissanite Inorganic materials 0.000 description 1
- 229910052863 mullite Inorganic materials 0.000 description 1
- 125000004108 n-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000000740 n-pentyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- 125000004123 n-propyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])* 0.000 description 1
- KADGVXXDDWDKBX-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1,2,4,5-tetracarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=CC2=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC(C(O)=O)=C21 KADGVXXDDWDKBX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- OBKARQMATMRWQZ-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1,2,5,6-tetracarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1=C(C(O)=O)C=CC2=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC=C21 OBKARQMATMRWQZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- HDLRSIQOZFLEPK-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1,2,5,8-tetracarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C(C(O)=O)C2=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC=C21 HDLRSIQOZFLEPK-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BBYQSYQIKWRMOE-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1,2,6,7-tetracarboxylic acid Chemical compound C1=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=CC2=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC=C21 BBYQSYQIKWRMOE-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- KQSABULTKYLFEV-UHFFFAOYSA-N naphthalene-1,5-diamine Chemical compound C1=CC=C2C(N)=CC=CC2=C1N KQSABULTKYLFEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- DOBFTMLCEYUAQC-UHFFFAOYSA-N naphthalene-2,3,6,7-tetracarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1=C(C(O)=O)C=C2C=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC2=C1 DOBFTMLCEYUAQC-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- GOGZBMRXLADNEV-UHFFFAOYSA-N naphthalene-2,6-diamine Chemical compound C1=C(N)C=CC2=CC(N)=CC=C21 GOGZBMRXLADNEV-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000012299 nitrogen atmosphere Substances 0.000 description 1
- 239000012766 organic filler Substances 0.000 description 1
- 239000003973 paint Substances 0.000 description 1
- 125000004115 pentoxy group Chemical group [*]OC([H])([H])C([H])([H])C([H])([H])C(C([H])([H])[H])([H])[H] 0.000 description 1
- AVRVTTKGSFYCDX-UHFFFAOYSA-N perylene-1,2,7,8-tetracarboxylic acid Chemical compound C1=CC(C2=C(C(C(=O)O)=CC=3C2=C2C=CC=3)C(O)=O)=C3C2=C(C(O)=O)C(C(O)=O)=CC3=C1 AVRVTTKGSFYCDX-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UMSVUULWTOXCQY-UHFFFAOYSA-N phenanthrene-1,2,7,8-tetracarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1=CC=C2C3=CC=C(C(=O)O)C(C(O)=O)=C3C=CC2=C1C(O)=O UMSVUULWTOXCQY-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- RVRYJZTZEUPARA-UHFFFAOYSA-N phenanthrene-1,2,9,10-tetracarboxylic acid Chemical compound C1=CC=C2C(C(O)=O)=C(C(O)=O)C3=C(C(O)=O)C(C(=O)O)=CC=C3C2=C1 RVRYJZTZEUPARA-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000002530 phenolic antioxidant Substances 0.000 description 1
- 229910052698 phosphorus Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000011574 phosphorus Substances 0.000 description 1
- 229920002120 photoresistant polymer Polymers 0.000 description 1
- CLYVDMAATCIVBF-UHFFFAOYSA-N pigment red 224 Chemical compound C=12C3=CC=C(C(OC4=O)=O)C2=C4C=CC=1C1=CC=C2C(=O)OC(=O)C4=CC=C3C1=C42 CLYVDMAATCIVBF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 1
- 229920001296 polysiloxane Polymers 0.000 description 1
- 239000011591 potassium Substances 0.000 description 1
- 229910052700 potassium Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000000843 powder Substances 0.000 description 1
- 125000002572 propoxy group Chemical group [*]OC([H])([H])C(C([H])([H])[H])([H])[H] 0.000 description 1
- RTHVZRHBNXZKKB-UHFFFAOYSA-N pyrazine-2,3,5,6-tetracarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1=NC(C(O)=O)=C(C(O)=O)N=C1C(O)=O RTHVZRHBNXZKKB-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N pyridine Natural products COC1=CC=CN=C1 UMJSCPRVCHMLSP-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- YKWDNEXDHDSTCU-UHFFFAOYSA-N pyrrolidine-2,3,4,5-tetracarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C1NC(C(O)=O)C(C(O)=O)C1C(O)=O YKWDNEXDHDSTCU-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 238000007363 ring formation reaction Methods 0.000 description 1
- 125000002914 sec-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C([H])([H])C([H])(*)C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- 229910052711 selenium Inorganic materials 0.000 description 1
- SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N selenium;zinc Chemical compound [Se]=[Zn] SBIBMFFZSBJNJF-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005368 silicate glass Substances 0.000 description 1
- HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N silicon nitride Chemical compound N12[Si]34N5[Si]62N3[Si]51N64 HQVNEWCFYHHQES-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000005361 soda-lime glass Substances 0.000 description 1
- 229910000679 solder Inorganic materials 0.000 description 1
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 description 1
- 229910001220 stainless steel Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010935 stainless steel Substances 0.000 description 1
- 238000003756 stirring Methods 0.000 description 1
- VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N strontium titanate Chemical compound [Sr+2].[O-][Ti]([O-])=O VEALVRVVWBQVSL-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052714 tellurium Inorganic materials 0.000 description 1
- PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N tellurium atom Chemical compound [Te] PORWMNRCUJJQNO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 125000000999 tert-butyl group Chemical group [H]C([H])([H])C(*)(C([H])([H])[H])C([H])([H])[H] 0.000 description 1
- ZUHZGEOKBKGPSW-UHFFFAOYSA-N tetraglyme Chemical compound COCCOCCOCCOCCOC ZUHZGEOKBKGPSW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 150000003536 tetrazoles Chemical group 0.000 description 1
- 239000010409 thin film Substances 0.000 description 1
- LUEGQDUCMILDOJ-UHFFFAOYSA-N thiophene-2,3,4,5-tetracarboxylic acid Chemical compound OC(=O)C=1SC(C(O)=O)=C(C(O)=O)C=1C(O)=O LUEGQDUCMILDOJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000011800 void material Substances 0.000 description 1
- 239000008096 xylene Substances 0.000 description 1
- 125000002256 xylenyl group Chemical class C1(C(C=CC=C1)C)(C)* 0.000 description 1
Landscapes
- Production Of Multi-Layered Print Wiring Board (AREA)
- Application Of Or Painting With Fluid Materials (AREA)
- Non-Metallic Protective Coatings For Printed Circuits (AREA)
Description
しかし、スピンコート法により、配線等が形成されている基板上面に、ポリイミド前駆体樹脂膜を形成する場合には、ポリイミド前駆体樹脂液を均一に塗布することが困難であり、配線間に気泡が生じることがあった。そして、このような状態のポリイミド前駆体樹脂膜を加熱すると、得られるポリイミド樹脂膜にボイドが生じ、ポリイミド樹脂膜の絶縁性が大きく低下する場合があった。
例えば、特許文献1には、低粘度のポリイミド前駆体樹脂液を基板上に塗工し、得られた塗膜を加熱してポリイミド樹脂膜を形成した後に、このポリイミド樹脂膜上に、所定の粘度のポリイミド前駆体樹脂液を塗工する方法が記載されている。
特許文献2には、所定の溶媒を基板上に塗工した後に、ポリイミド前駆体樹脂液を塗工する方法が記載されている。
また、特許文献3には、低粘度のポリイミド前駆体樹脂液を所定の回転数で基板上に塗工する前処理を行った後、通常粘度のポリイミド前駆体樹脂液を塗工する方法が記載されている。
そして、このような絶縁膜にはより優れた絶縁性が求められている。
しかしながら、金属バンプや金属ポスト等の導電性構造体が表面に形成された基板上に、このようなポリイミド樹脂膜を形成する場合、特許文献1〜3に記載された方法では、工程数が多くなり操作が煩雑になったり、厚みのあるポリイミド樹脂膜を形成することができなかったり、ポリイミド前駆体樹脂液の塗工後に、導電性構造体の脇に泡噛みが生じ、得られるポリイミド樹脂膜にボイドが発生し、絶縁性が低下したりすることがあった。
その結果、スピンコート法により、基板上面にポリイミド前駆体樹脂液を塗工してポリイミド前駆体樹脂膜を形成する際に、回転数を段階的に変化させることで、泡噛みの発生を抑制し、ボイドが少なく絶縁性に優れるポリイミド樹脂膜を効率よく形成することができることを見出し、本発明を完成するに到った。
〔1〕表面の所定領域に導電性構造体が形成された基板上面に、スピンコート法により、ポリイミド前駆体樹脂膜を形成する工程(A)を有する配線回路基板の製造方法であって、
前記ポリイミド前駆体樹脂膜を形成する工程(A)が、
前記基板を、5〜1,000rpmの回転数(α1)で回転させながら、前記基板上面に所定量のポリイミド前駆体樹脂液を吐出させることにより、または、表面に導電性構造体が形成された基板上面に、所定量のポリイミド前駆体樹脂液を吐出させた後、前記基板を5〜1,000rpmの回転数(α1)で所定時間回転させることにより、前記基板上面にポリイミド前駆体樹脂膜を形成するステップ(A1)、
ステップ(A1)の後、前記ポリイミド前駆体樹脂膜が形成された基板を、100〜3,000rpmの回転数(α2)(ただし、α2>α1)で所定時間回転させるステップ(A2)、および、
ステップ(A2)の後、前記ポリイミド前駆体樹脂膜が形成された基板を、500〜7,000rpmの回転数(α3)(ただし、α3>α2)で所定時間回転させるステップ(A3)を含むことを特徴とする配線回路基板の製造方法。
〔2〕ポリイミド前駆体樹脂液の粘度が、1〜300Pa・sである〔1〕に記載の配線回路基板の製造方法。
〔3〕導電性構造体の基板表面からの高さが、15〜1,000μmである〔1〕または〔2〕に記載の配線回路基板の製造方法。
〔4〕前記導電性構造体の横幅が、0.01〜10mmである〔1〕〜〔3〕のいずれかに記載の配線回路基板の製造方法。
〔5〕前記基板が、表面に2以上の導電性構造体が形成されてなるものであって、前記2以上の導電性構造体が0.01〜10mmの間隔で形成されているものである〔1〕〜〔4〕のいずれかに記載の配線回路基板の製造方法。
〔6〕前記工程(A)の後に、前記ポリイミド前駆体樹脂膜を50〜130℃で所定時間加熱する工程(B)、および、
工程(B)の後に、前記ポリイミド前駆体樹脂膜を、250〜450℃で所定時間加熱する工程(C)を有する〔1〕〜〔5〕のいずれかに記載の配線回路基板の製造方法。
〔7〕前記工程(B)と工程(C)の間に、基板上のポリイミド前駆体樹脂膜を、用いたポリイミド前駆体樹脂液と親和性のある溶媒に浸漬させるステップ(B’)をさらに有する〔6〕に記載の配線回路基板の製造方法。
本発明に用いるスピンコート法は、スピンコート装置を使用して、表面の所定領域に導電性構造体が形成された基板を所定速度で回転させながら、該基板上面にポリイミド前駆体樹脂液を供給することにより、又は、前記基板上面にポリイミド前駆体樹脂液を供給し、該基板上面を所定速度で回転させて、遠心力により前記基板上面に塗布液を塗布することで、ポリイミド前駆体樹脂膜を形成する膜形成方法である。
本発明に用いるスピンコート装置としては、特に限定されず、公知のスピンコート装置が利用できる。スピンコート装置を用いるスピンコート法では、一般に、回転数及び回転保持時間、塗布液の濃度や粘度などによって形成する薄膜の膜厚を制御することができる。
表面の所定領域に導電性構造体が形成された基板を、5〜1,000rpmの回転数(α1)で回転させながら、前記基板上面に所定量のポリイミド前駆体樹脂液を吐出させることにより、または、表面に導電性構造体が形成された基板上面に、所定量のポリイミド前駆体樹脂液を吐出させた後に、前記基板を5〜1,000rpmの回転数(α1)で所定時間回転させることにより、前記基板上面にポリイミド前駆体樹脂膜を形成するステップ
(2)ステップ(A2):
ステップ(A1)の後、前記ポリイミド前駆体樹脂膜が形成された基板を、100〜3,000rpmの回転数(α2)(ただし、α2>α1)で所定時間回転させるステップ(3)ステップ(A3):
ステップ(A2)の後、前記ポリイミド前駆体樹脂膜が形成された基板を、500〜7,000rpmの回転数(α3)(ただし、α3>α2)で所定時間回転させるステップ
ステップ(A1)は、表面の所定領域に導電性構造体が形成された基板を5〜1,000rpmの回転数(α1)で回転させながら、基板上面に所定量のポリイミド前駆体樹脂液を吐出させることにより、または、表面の所定領域に導電性構造体が形成された基板上面に、所定量のポリイミド前駆体樹脂液を吐出させた後、前記基板を5〜1,000rpmの回転数(α1)で所定時間回転させることにより、前記基板上面にポリイミド前駆体樹脂膜を形成するステップである。
本発明に用いる基板は、表面の所定領域に導電性構造体が形成されたものである。
用いる基板としては、表面の所定領域に導電性構造体が形成されたものであって、ポリイミド前駆体樹脂膜やポリイミド樹脂膜を担持することができ、かつ、ポリイミド前駆体樹脂を閉環させる際の加熱条件下で安定なものであれば、特に制限されない。
基板としては、ガラス基板、セラミック基板、半導体基板等の無機基板や、ステンレス基板、アルミニウム基板、銅基板等の金属基板等が挙げられる。
最終的に形成される導電性構造体が、2種以上の金属部材からなるものである場合、本発明の工程(A)を行う際に基板上に形成されている導電性構造体は、完全に形成された状態のものであってもよいし、一部のみ(例えば、下部の金属部材のみ)が形成された状態のものであってもよい。後者の場合、例えば、工程(A)を行って、ポリイミド前駆体樹脂膜やポリイミド樹脂膜が形成された後、必要に応じて、導電性構造体(下部の金属部材)の頭だし処理を行い、これを露出させた後に、残りの部分(上部の金属部材)を形成することにより、2種以上の金属部材からなる導電性構造体を形成することができる。
なお、本発明に用いるポリイミド前駆体樹脂液の塗工条件は、導電性構造体が形成されていない基板上にポリイミド樹脂膜を形成する際に適用することも可能である。
金属めっき法を採用する場合、通常、基板上にめっきレジストを設置し、このめっきレジストに対して、露光、現像処理を行い所定の位置を開口し、次いで、電解めっき法等により導電性構造体を形成した後、めっきレジストを剥離することで、基板表面に導電性構造体を形成することができる。
金属接合法を採用する場合、通常、導電性構造体材料を別途用意し、これを基板と金属接合させることにより、基板表面に導電性構造体を形成することができる。なお、「金属接合」とは、高温(例えば300℃以上、好ましくは400℃以上)条件下においても接合部位の溶融破断が起きない耐熱金属接合をいう。具体的には、ナノ金粒子、ナノ銀粒子、ナノ銅粒子等のナノ金属粒子による直接接合、耐熱温度300℃以上の高耐熱ハンダによる接合、高周波接合による金属同士の接合等が挙げられる。
本発明に用いるポリイミド前駆体樹脂液は、ポリイミド前駆体樹脂を含有するものである。
ポリイミド前駆体樹脂は、加熱、又は触媒を用いて脱水・環化(イミド化)させることにより、ポリイミド樹脂(イミド結合を含む繰り返し単位を有する樹脂)に転化する樹脂である。本発明において、ポリイミド前駆体樹脂は特に限定されることなく、公知のものを用いることができる。
ポリイミド前駆体樹脂としては、主鎖中に、下記式(1)で示される繰り返し単位を有するものが挙げられる。
R1としては、後述するテトラカルボン酸又はその酸無水物由来の4価の有機基が挙げられる。そのうちの一例を以下に示す。
Xは、単結合、炭素数1〜5のアルキレン基、フェニレン基、酸素原子、カルボニル基、スルホニル基等の連結基を表す。
ハロゲン原子としては、フッ素原子、塩素原子、臭素原子等が挙げられる。
炭素数1〜6のアルキル基としては、メチル基、エチル基、n−プロピル基、イソプロピル基、n−ブチル基、イソブチル基、sec−ブチル基、t−ブチル基、n−ペンチル基、n−へキシル基等が挙げられる。
炭素数1〜6のアルコキシル基としては、メトキシ基、エトキシ基、プロポキシ基、イソプロポキシ基、ブトキシ基、イソブトキシ基、t−ブトキシ基、ペンチルオキシ基、ヘキシルオキシ基等が挙げられる。
R2としては、後述するジアミン化合物由来の2価の有機基が挙げられる。そのうちの一例を以下に示す。
Yは、単結合、酸素原子、カルボニル基、スルホニル基、フェニレン基、下記式で示される基等の連結基を表す。
R2で表される2価の有機基は、任意の位置に置換基を有していてもよい。置換基としては、ハロゲン原子、炭素数1〜6、好ましくは1〜3のアルキル基、炭素数1〜6、好ましくは1〜3のアルコキシル基等が挙げられる。これらの基の具体例としては、R1の置換基として示したものと同様のものが挙げられる。
で示されるテトラカルボン酸又は酸無水物と、下記式(4)
で示されるジアミンとを反応させることで得ることができる。
これらの中でも、ピロメリット酸二無水物、3,3’,4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物及びベンゾフェノンテトラカルボン酸二無水物が好ましい。
テトラカルボン酸又はその酸無水物は、1種単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
これらの中でも、1,4−ジアミノベンゼン、2,2’−ジ(p−アミノフェニル)−6,6’−ビスベンゾオキサゾール、4,4’−ジアミノベンズアニリド、4,4’−ジアミノジフェニルエーテル、4,4’−ジアミノビフェニル、4,4’−ジアミノ−2,2’−ジメチルビフェニル、3,6−ビス(p−アミノフェニル)ピリダジン及び2,5−ビス(p−アミノフェニル)ピリミジンが好ましい。
ジアミンは、1種単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。
溶媒の使用量は特に限定されない。得られたポリイミド前駆体樹脂は、単離することなく、溶液状態のままポリイミド前駆体樹脂液の調製に用いることができる。したがって、目的の粘度のポリイミド前駆体樹脂液が得られるように、溶媒量を決定することが好ましい。
反応条件は特に制限されないが、通常、氷冷下又は室温下で、0.5〜50時間、好ましくは5〜30時間である。
ポリイミド前駆体樹脂の分子量分布は、好ましくは1.3〜3、より好ましくは1.5〜2.5である。
なお、重量平均分子量及び分子量分布は、N,N−ジメチルアセトアミドを溶媒とするゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により得られた、ポリスチレン換算値である。
また、ポリイミド前駆体樹脂は、末端に化学線官能基を有するものであってもよい。化学線官能基としては、例えば、特開平11−282157号公報に記載されるものが挙げられる。
補強材としては、無機フィラーや有機フィラー等が挙げられる。これらの形状は特に限定されず、球状、棒状、繊維状のいずれのものであってもよい。
レベリング剤としては、アルキル系界面活性剤、シリコーン系界面活性剤、フッ素系界面活性剤、金属系界面活性剤等が挙げられる。
酸化防止剤としては、フェノール系酸化防止剤、リン系酸化防止剤、硫黄系酸化防止剤等が挙げられる。
混合処理は、プラネタリーミキサー、脱泡ニーダー、ボールミル、ペイントシェーカー、振動ミル、ライカイ機、アジテーターミル等の従来公知の混合装置を用いて行うことができる。
ポリイミド前駆体樹脂液の塗布量は、直径6インチの基板に塗布する場合、通常1g以上100g以下、好ましくは3g以上50g以下、より好ましくは5g以上30g以下である。
回転数(α1)は、5〜1,000rpm、好ましくは5〜500rpm、より好ましくは50〜300rpmである。回転数(α1)が1,000rpmを超えると、導電性構造体の脇に泡噛みが発生しやすくなる。一方、回転数(α1)が5rpm未満のときは、塗工に時間がかかり過ぎるため好ましくない。
ステップ(A2)は、ステップ(A1)の後に、前記ポリイミド前駆体樹脂膜が形成された基板を、100〜3,000rpmの回転数(α2)(ただし、α2>α1であり、好ましくはα2>α1+100、より好ましくはα2>α1+200である。)で所定時間回転させるステップである。
ステップ(A2)における回転数(α2)は、100〜3,000rpm、好ましくは100〜1,500rpm、より好ましくは100〜1,000rpmであり、かつ、回転数(α1)より大きな値である。回転数(α2)が回転数(α1)より大きな値であることで、全体的に均一な厚みのポリイミド樹脂膜を効率よく形成することができる。また、回転数(α2)が3,000rpmを超えると、膜厚が薄くなり、得られるポリイミド樹脂膜の絶縁性が低下する。一方、回転数(α2)が100rpm未満のときは、基板中央部が厚く、基板周辺部が薄い、不均一な厚みのポリイミド樹脂膜が形成され易くなる。
回転時間は、膜厚を全体に均一にすることができる限り、特に限定されない。通常、1〜300秒、好ましくは5〜240秒、より好ましくは30〜180秒である。
ステップ(A3)は、ステップ(A2)の後に、前記ポリイミド前駆体樹脂膜が形成された基板を、500〜7,000rpmの回転数(α3)(ただし、α3>α2であり、好ましくはα3>α2+200、より好ましくはα3>α2+300である。)で所定時間回転させる工程である。回転数(α3)を調節することにより、得られるポリイミド前駆体樹脂膜の膜厚を制御することができる。
本発明においては、工程(A)の後、常法に従って、基板上のポリイミド前駆体樹脂膜のポリイミド前駆体樹脂をイミド化することにより、基板上にポリイミド樹脂膜を形成することができる。
なかでも、下記の工程(B)、(C)によりイミド化することが好ましい。工程(B)、(C)を行うことで、ポリイミド前駆体樹脂膜中の溶媒が少ない状態でイミド化反応を行うことができ、ボイドがより少ないポリイミド樹脂膜を容易に形成することができる。
工程(A)の後に、前記ポリイミド前駆体樹脂膜を50〜130℃で所定時間加熱する工程
(ii)工程(C):
工程(B)の後に、前記ポリイミド前駆体樹脂膜を、250〜450℃で所定時間加熱する工程
工程(B)における加熱時間は、通常、1〜60分、好ましくは1〜50分、より好ましくは1〜40分である。
工程(B)を行うことで、ポリイミド前駆体樹脂膜中の溶媒を効率よく除去することができる。
加熱方法は特に制限されず、従来公知の方法を用いることができる。
工程(C)における加熱時間は、通常1〜120分、好ましくは1〜90分、より好ましくは1〜60分である。
加熱方法は特に制限されず、従来公知の方法を用いることができる。
加熱条件としては、例えば、250℃で30分間加熱した後450℃で30分間加熱するといったように、段階的に温度を上げていく処理を施してもよい。
また、工程(C)における加熱処理は、加熱時における樹脂の劣化を防止する観点から、窒素、ヘリウムなどの不活性ガス雰囲気下で行うのが好ましい。
工程(C)を行うことにより、ポリイミド前駆体樹脂膜中のポリイミド前駆体樹脂が閉環し、ポリイミド樹脂膜が形成される。
これらの特性が求められることから、溶媒(α)としては、極性溶媒が好ましく用いられる。
しかしながら、通常、溶媒(α)として好ましく用いられる極性溶媒は沸点が高いものであるため(通常、150℃以上)、ポリイミド前駆体樹脂膜から溶媒(α)を効率よく除去することは困難であった。特に、絶縁膜のような膜厚が大きいポリイミド樹脂膜において、その傾向があった。
工程(B’)において用いる溶媒(以下、「溶媒(β)」ということがある。)は、用いたポリイミド前駆体樹脂液と親和性のある溶媒である。溶媒(β)としては、25℃で、同体積の溶媒(α)と均一に混ざるものが好ましい。かかる特性を有する溶媒(β)にポリイミド前駆体樹脂膜を浸漬させることで、ポリイミド前駆体樹脂膜中に残存する溶媒(α)を効率よく除去することができる。
これらの極性溶媒は1種単独で、あるいは2種以上を組み合わせて用いることができる。なかでも、溶媒(β)としては、水、アセトン及びメタノールから選ばれる2種以上の混合溶媒が好ましく、水とアセトンの混合溶媒がより好ましい。水とアセトンの混合溶媒において、その混合比(水:アセトン)は、通常、1:99〜99:1、好ましくは5:95〜95:5である。
ポリイミド前駆体樹脂膜を溶媒(β)に浸漬させる時間は、通常1〜60分、好ましくは1〜45分、より好ましくは1〜30分である。浸漬時間がこの範囲内であることで、ポリイミド前駆体樹脂膜から溶媒(α)を効率よく除去することができる。
ポリイミド前駆体樹脂膜を溶媒(β)に浸漬させる際のポリイミド前駆体樹脂膜中の残留溶媒濃度は、膜全体に対して、好ましくは1〜45重量%、より好ましくは3〜45重量%、特に好ましくは10〜40重量%である。この残留溶剤濃度を上記の範囲とすることにより、イミド化の際の加熱による発泡防止や、得られたポリイミド樹脂膜の線膨張率を低くできるという効果を奏する。
したがって、本発明の配線回路基板の製造方法は、多層基板を製造する際に好適に用いられる。
反応器に、2,2’−ジ(p−アミノフェニル)−5,5’−ビスベンゾオキサゾール23.50g(0.0562モル)、5−アミノテトラゾール0.40g(0.0047モル)、N,N−ジメチルアセトアミド(DMAC)82.21g、およびN−メチル−2−ピロリドン(NMP)82.21gを投入して攪拌した。得られた溶液を撹拌しながら、氷冷下で3,3’−4,4’−ビフェニルテトラカルボン酸二無水物17.21g(0.0585モル)を粉体のまま加えた。次いで、溶液を氷冷下で2時間、室温下で24時間攪拌して、重合反応を行った。
以下の実施例においては、この重合反応液を、そのままポリイミド前駆体樹脂液1として用いた。
ポリイミド前駆体樹脂液1の粘度は、42Pa・sであった。
ポリイミド前駆体樹脂の濃度は、20重量%、Mw=52000、Mw/Mn=2.1であった。
なお、重量平均分子量及び分子量分布は、N,N−ジメチルアセトアミドを溶媒とするゲルパーミエーションクロマトグラフィー法により得られた、ポリスチレン換算値である。
6インチシリコンウェハー上に、スパッタリング装置(芝浦メカトロニクス社製、i−miller)を用いて、Cr100nm、Cu200nmを連続スパッタリングし、シリコンウェハー表面上にCr/Cu膜を形成した。この金属膜付きシリコンウェハー表面上に、ネガ型レジストをスピンコーティングし、イナートオーブンでプリベークを行った。レジストパターンマスクをかぶせ、露光、現像、水洗工程を経て、ホール形成され、かつCu膜が一部表面露出した、レジスト付きシリコンウェハーを作製した。
次に、レジスト付きシリコンウェハーを、アセトン、希硫酸で処理した後、硫酸銅水溶液中で、電解メッキ装置につないで、1.5A/dm2の条件で、3時間、露出したCu膜上にCuポストを電解メッキ成長させた。電解メッキ後、水洗し、アルカリ水溶液中にて、レジストを剥離した。シリコンウェハー上のCu膜を過硫酸アンモニウムでエッチング、続いてCr膜を硝酸第2セリウムアンモニウムでエッチングし、水洗、乾燥させることにより、高さが50μm、幅が500μmφ、間隔が300μmのCuポストが形成されたシリコンウェハーが得られた。
(ポリイミド前駆体樹脂膜の形成)
製造例2で得た、表面にCuポストを形成したシリコンウェハー上に、製造例1で得たポリイミド前駆体樹脂液1をスピンコート法により塗工した(塗布量:7.1g、回転数:145rpm、回転時間:45秒)〔ステップ(A1〕)。
次いで、シリコンウェハーを回転数525rpmで90秒回転させた〔ステップ(A2)〕後、さらに、回転数1000rpmで5秒回転させた〔ステップ(A3)〕。
Cuポストの周囲における泡噛みの発生の有無を目視により観察したところ、泡噛みの発生は見られなかった。
次いで、このものを、水とアセトンの混合溶媒(水:アセトンの重量比=7:3)に、25℃で20分間浸漬させた。この浸漬処理をする際のポリイミド前駆体樹脂膜中の残留溶剤濃度は、38重量%であった。浸漬処理後、その表面を窒素気流下で乾燥した。
次いで、ポリイミド前駆体樹脂膜付シリコンウェハー1を、恒温器を用いて、N2雰囲気下、400℃で60分間加熱し、ポリイミド樹脂膜付シリコンウェハー1を得た。
ポリイミド樹脂膜付シリコンウェハー1のポリイミド樹脂膜の発泡の有無を目視により観察したところ、発泡は見られなかった。
走査型電子顕微鏡を用いて、切削加工後のポリイミド樹脂膜付シリコンウェハー1の断面を観察したところ、泡噛み又は発泡によるボイドの発生は確認できなかった。
実施例1において、ステップ(A1)における回転数145rpmで45秒の回転を行わなかったことを除き、実施例1と同様にしてポリイミド樹脂膜付シリコンウェハー2を得た。
比較例1においても、実施例1と同様に観察したところ、ポリイミド樹脂膜付シリコンウェハー2のポリイミド樹脂膜の目視観察では発泡は見られなかったが、ポリイミド前駆体樹脂膜2の目視観察においては、Cuポストの周囲に泡噛みが見られた。また、走査型電子顕微鏡を用いて、切削加工後のポリイミド樹脂膜付シリコンウェハー2の断面を観察したところ、ボイドが確認された。
Claims (5)
- 表面の所定領域に、基板表面からの高さが、15〜1,000μmである導電性構造体が形成された基板上面に、スピンコート法により、厚みが15〜1,000μmのポリイミド前駆体樹脂膜を形成する工程(A)を有する配線回路基板の製造方法であって、
前記ポリイミド前駆体樹脂膜を形成する工程(A)が、
前記基板を、5〜1,000rpmの回転数(α1)で回転させながら、前記基板上面に所定量の、粘度が、1〜300Pa・sであるポリイミド前駆体樹脂液の所定量を吐出させることにより、前記基板上面にポリイミド前駆体樹脂膜を形成するステップ(A1)、
ステップ(A1)の後、前記ポリイミド前駆体樹脂膜が形成された基板を、100〜3,000rpmの回転数(α2)(ただし、α2>α1)で所定時間回転させるステップ(A2)、および、
ステップ(A2)の後、前記ポリイミド前駆体樹脂膜が形成された基板を、500〜7,000rpmの回転数(α3)(ただし、α3>α2)で所定時間回転させるステップ(A3)
からなることを特徴とする配線回路基板の製造方法。 - 前記導電性構造体の横幅が、0.01〜10mmである
請求項1に記載の配線回路基板の製造方法。 - 前記基板が、表面に2以上の導電性構造体が形成されてなるものであって、前記2以上の導電性構造体が0.01〜10mmの間隔で形成されているものである
請求項1または2に記載の配線回路基板の製造方法。 - 前記工程(A)の後に、前記ポリイミド前駆体樹脂膜を50〜130℃で所定時間加熱する工程(B)、および、
工程(B)の後に、前記ポリイミド前駆体樹脂膜を、250〜450℃で所定時間加熱する工程(C)を有する
請求項1〜3のいずれかに記載の配線回路基板の製造方法。 - 前記工程(B)と工程(C)の間に、基板上のポリイミド前駆体樹脂膜を、用いたポリイミド前駆体樹脂液と親和性のある溶媒に浸漬させる工程(B’)をさらに有する
請求項4に記載の配線回路基板の製造方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013036729A JP6056548B2 (ja) | 2013-02-27 | 2013-02-27 | 配線回路基板の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2013036729A JP6056548B2 (ja) | 2013-02-27 | 2013-02-27 | 配線回路基板の製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014165411A JP2014165411A (ja) | 2014-09-08 |
JP6056548B2 true JP6056548B2 (ja) | 2017-01-11 |
Family
ID=51615735
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013036729A Active JP6056548B2 (ja) | 2013-02-27 | 2013-02-27 | 配線回路基板の製造方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JP6056548B2 (ja) |
Families Citing this family (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
WO2017221776A1 (ja) * | 2016-06-24 | 2017-12-28 | 東レ株式会社 | ポリイミド樹脂、ポリイミド樹脂組成物、それを用いたタッチパネルおよびその製造方法、カラーフィルタおよびその製造方法、液晶素子およびその製造方法、有機el素子およびその製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH05175187A (ja) * | 1991-12-20 | 1993-07-13 | Nec Yamagata Ltd | 半導体装置の製造方法 |
JPH0784373A (ja) * | 1993-09-20 | 1995-03-31 | Fujitsu Ltd | 絶縁膜のパターン形成方法 |
JP2002014469A (ja) * | 2000-06-30 | 2002-01-18 | Hitachi Chemical Dupont Microsystems Ltd | 感光性重合体組成物並びにこれを用いた電子部品及びその製造法 |
JP4031756B2 (ja) * | 2003-12-22 | 2008-01-09 | 日東電工株式会社 | 配線回路基板 |
JP2006156565A (ja) * | 2004-11-26 | 2006-06-15 | Sharp Corp | 回転塗布方法 |
JP2010275503A (ja) * | 2009-06-01 | 2010-12-09 | Hitachi Chem Co Ltd | 熱硬化性樹脂組成物、フレキシブル配線板の保護膜の形成方法及びフレキシブル配線板 |
-
2013
- 2013-02-27 JP JP2013036729A patent/JP6056548B2/ja active Active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
JP2014165411A (ja) | 2014-09-08 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
TWI667313B (zh) | 暫時貼合用接著劑、接著劑層、晶圓加工物及使用其之半導體裝置之製造方法、聚醯亞胺共聚物、聚醯亞胺混合樹脂、及樹脂組成物 | |
TWI494036B (zh) | Flexible circuit substrate and method of manufacturing the same | |
JP4001569B2 (ja) | 感光性ポリイミド前駆体用可溶性ポリイミドおよびこれを含む感光性ポリイミド前駆体組成物 | |
WO2001066645A1 (en) | Resin composition, heat-resistant resin paste and semiconductor device using them and method for manufacture thereof | |
JP4962046B2 (ja) | ポリイミドフィルムおよびその製造方法 | |
JP2003026850A (ja) | 多孔質ポリイミド樹脂の製造方法および多孔質ポリイミド樹脂 | |
JPH07157560A (ja) | ポリイミドブロック共重合体の製造方法及びその溶液組成物 | |
JP5147137B2 (ja) | ポリイミド樹脂用組成物 | |
JP6056548B2 (ja) | 配線回路基板の製造方法 | |
JP4428491B2 (ja) | 電着用ポリイミド樹脂組成物、その製造方法、電着成形体及びその製造方法 | |
JPH11292968A (ja) | 電子部品およびその製造方法 | |
JP2003113338A (ja) | スクリーン印刷用の耐熱性ブロック共重合ポリイミド組成物及びそのポリイミドを用いるインキの組成と塗膜の形成方法 | |
US4746561A (en) | Polyimide-containing cover layer for a printed circuit element | |
JPH1160947A (ja) | 水性分散体およびその製造方法 | |
JP5994694B2 (ja) | 半導体装置の製造方法 | |
JP2014088460A (ja) | 可溶性ポリイミド組成物およびその製造方法、それを用いたポジ型感光性樹脂組成物ならびにそれを用いた電子部品 | |
JP2014070111A (ja) | 絶縁体、絶縁膜、積層体および積層体の製造方法 | |
JPWO2019131896A1 (ja) | ポリイミド、ポリイミド溶液組成物、ポリイミドフィルム、及び基板 | |
JPH01121325A (ja) | ポリイミドシロキサン組成物 | |
JP2008138159A (ja) | 樹脂組成物及びこれを用いた半導体装置 | |
JP2631878B2 (ja) | ポリイミドシロキサン組成物および膜 | |
JP4772493B2 (ja) | シロキサン含有ポリアミック酸樹脂組成物及びフィルム材料並びに回路基板の製造方法 | |
JP4725124B2 (ja) | 樹脂組成物及びこれを用いた半導体装置 | |
JP4976380B2 (ja) | 金属積層体 | |
JP2007211204A (ja) | 耐熱性樹脂ワニス、耐熱性樹脂ワニスを添加した耐熱性コーティング剤及び耐熱性コーティング剤を用いた絶縁膜又は半導体装置 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150925 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160727 |
|
A131 | Notification of reasons for refusal |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A131 Effective date: 20160809 |
|
A601 | Written request for extension of time |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A601 Effective date: 20161011 |
|
A521 | Request for written amendment filed |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A523 Effective date: 20161018 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161108 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161121 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6056548 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |