JP6050624B2 - 塗布具、塗布機構、塗布装置および塗布方法 - Google Patents

Description

本発明は、塗布具に関し、粘性の高い液状材料を所望の大きさに塗布することができる塗布具、塗布機構、塗布装置および塗布方法に関する。

可燃性ガスを検出するガスセンサのコイルに対して、液状の触媒材料を塗布することにより、コイル全体を触媒材料でモールドする工程を有するガスセンサの製造方法が知られている。

図５は、塗布対象としてのガスセンサ１を示している。ガスセンサ１は、円柱形状の台座部１００を備えている。台座部１００の一側面からは一対の脚部１０１，１０１が突設されている。

また、台座部１００の他側面には、一対の端子１１，１１が突設されている。そして、これらの端子１１，１１間にコイル２が張設されている。

ガスセンサ１は、図６に示すようにコイル２の周囲全体に液体状の触媒材料が塗布されて、コイル２が、触媒８８でモールドされることにより形成される。

一般に、電子部品などに液体材料を塗布するために用いる塗布具として、塗布針などが知られている。

たとえば、特開２００７−０９４３４１号公報（特許文献１）は、塗布具としての塗布針を開示する。このようなものでは、針先の表面に一本または複数本の溝状の液状材料供給部を設けることにより、塗布される触媒材料の量を増大させている。

また、特開２００９−２６８９８２号公報（特許文献２）は、塗布針先の先端に両端縁を開放するスリット７を形成して、保持できる触媒材料の量を増大させている。これにより、少ない塗布回数で塗布可能な触媒の量を増大させている。

図１１に示すように、ホルダ部材４に固定された塗布針５の針先端６は、先細り形状を呈している。また、針先端６には、図１２に示すスリット７が設けられている。

図１３に示すように、針先端６の外周面に触媒材料８を付着させると、スリット７の溝内にも触媒材料８が浸入して、所定量の触媒材料８を保持することができる。これにより一回の塗布でコイル２に塗布される触媒材料８の量を増大させることができる。

図１４は、従来の塗布針５を用いてガスセンサ１に触媒材料８を塗布する塗布工程を示している。

塗布工程では、図１４（ａ）に示すように、塗布針５に触媒材料８を供給するため、液状の触媒材料８を収容した液体材料容器９が用意されている。

図１４（ｂ）に示すように、塗布針５を降下させて液体材料容器９内の触媒材料８に塗布針５の針先端６を浸ける。

図１４（ｃ）では、上昇されたホルダ部材４を移動している間、針先端６に所定量の液状の触媒材料８が保持されている様子が示される。そして、図１４（ｄ）に示すようにガスセンサ１の上方まで移動した塗布針５を降下させると、保持されている液状の触媒材料８がコイル２に接触する。

このため、図１４（ｆ）に示すように、コイル２の上面側から触媒材料８が塗布されることにより、モールドが行なわれる。

特開２００７−０９４３４１号公報 特開２００９−２６８９８２号公報

触媒材料８のように比較的粘度が高く、中に含まれる材料の粒子径が大きい液状材料では、針先端６に多くの触媒材料８を付着させても、塗布後、針先端６に残留する触媒材料８が生じてしまう。

このため、すべての触媒材料８をコイル２に塗布することはできず、溝状の液状材料供給部やスリット７などの形成による供給量の増大効果は得にくい。

よって、塗布される触媒材料８の分量が所望されるモールドに必要な分量に比して不足して、図１４（ｆ）に示すように、コイル２の下面側などに廻り込みにくい。従って、このような形状の塗布針１２を用いて、一回の塗布工程でコイル２の外周面全面を被覆する所望のモールドを施すことは困難であった。

この発明の目的は、比較的粘度が高く粒子径が大きな液体材料であっても、塗布工程数を増大させることなく、短時間で所望の分量を塗布することが可能な塗布具、塗布機構、塗布装置および塗布方法を提供することである。

この発明の塗布具は、先端に付着させた液体材料の液滴を、被塗布物の塗布領域に接触させて塗布を行なう液滴保持部を備える。

液滴保持部は、液滴の形状および寸法を塗布領域の形状および寸法に適合させた状態に保持したまま、塗布領域に液滴を受渡しして転写する。

好ましくは、液滴保持部は、少なくとも一対の塗布針を含み、塗布針の先端間を所定の間隔寸法、離間させた状態で固定するホルダ部材をさらに備える。

さらに好ましくは、一対の塗布針は、先端側の間隔寸法に比して、長尺方向で反対側に位置するホルダ部材側を拡開して、所定角度をなす状態でホルダ部材に固定されている。

さらに好ましくは、一対の塗布針のなす角度は、１００度以下である。
さらに好ましくは、一対の塗布針は、なす角度が平行となるようにホルダ部材に固定される。

さらに好ましくは、液滴保持部は、塗布領域に沿わせた腕部と、腕部に連設されてホルダ部材に支持される支持脚部とを有する。

さらに好ましくは、支持脚部は、腕部側の間隔に比してホルダ部材側の間隔を大きく設定することで、所定角度でホルダ部材側に向かうに従って拡開する。

さらに好ましくは、液滴保持部は、平板状部材であり、平板状部材の下縁部は、塗布領域に平行に沿い、平板状部材の幅方向寸法は、塗布領域の長手方向の寸法に適合される。

さらに好ましくは、被塗布物は、ガスセンサ用のコイルであり、液体材料は、ガスセンサ用の触媒材料である。

また、この発明に係る塗布機構は、塗布具と、液滴保持部の先端に液滴を付着させた状態で、液滴を被塗布物に接触させる位置まで液滴保持部を移動させる駆動部とを有する。

好ましくは、塗布機構が、液体材料を収納した容器を搭載して、回転可能に構成された回転板と、回転板を回転駆動させる回転駆動機構と、回転板に搭載された容器を、塗布具の直下に位置決めするためのインデックス板と、インデックス板に設けられた位置決めマークを検出する検出部とを有する。

さらに好ましくは、塗布機構は、回転板に塗布具に付着した液体材料を洗浄液によって洗浄する洗浄装置と、塗布具に封着した洗浄液を乾燥させる乾燥装置とを有する。

また、この発明に係る塗布装置は、塗布機構と、被塗布物を保持する基台と、被塗布物の様子を観察する観察光学機構とを含む。塗布装置は、塗布機構および、観察光学機構を、基台に対して垂直および平行に相対移動させる位置決め駆動機構と、観察光学機構で確認された基台の位置に基づいて、位置決め駆動機構を制御する制御装置とをさらに備える。

さらに、この発明に係る塗布方法では、先端に付着させた液体材料の液滴を、被塗布物の塗布領域に接触させて塗布を行なう液滴保持部を備える塗布具を用いる。

塗布具の液滴保持部は、液滴の形状および寸法を塗布領域の形状および寸法に適合させた状態に保持したまま、塗布領域に液滴を受渡しして転写する。

好ましくは、液滴保持部に付着させた液滴の形状の長手方向を、被塗布物の長手方向と平行に沿わせて被塗布物に液滴を接触させる。

さらに好ましくは、液滴保持部に付着させた液滴の形状の長手方向を被塗布物の長手方向と直交させて被塗布物に液滴を接触させる。

さらに好ましくは、液滴保持部の長手方向両側間寸法を、被塗布物の短手方向の塗布領域寸法よりも大きく設定した。

さらに好ましくは、液滴保持部の先端に保持した液体材料の液滴を被塗布物に塗布する際に、液滴が被塗布物に設けられた塗布領域に移動する時間、液滴保持部と被塗布物との間隔を一定距離に保持する。

さらに好ましくは、液滴保持部の先端に保持した液体材料の液滴を被塗布物に塗布する際に、液滴が被塗布物に位置する塗布領域に移動する時間、液滴保持部と被塗布物との間隔を近接離反させる方向へ往復動させる。

さらに好ましくは、往復動は、液滴が塗布領域に接触した状態を保持しながら行なわれる。

さらに好ましくは、液滴保持部の先端を超音波振動させることにより、液滴を被塗布物に移行させる。

さらに好ましくは、先端に付着した液体材料が乾燥しないように、塗布しない待機状態では、液滴保持部の先端が液体材料を収容する液体材料容器の中で、液体材料に浸漬されて保持される。

さらに好ましくは、ガスセンサに設けられたコイルに、ガスセンサを構成する触媒材料を受渡しして転写する。

本発明によれば、塗布具の液滴保持部の先端に液体材料を付着させると、液滴の形状および寸法が被塗布物の塗布領域の形状および寸法に適合した状態で、液滴保持部によって保持される。

液滴を被塗布物の塗布領域に接触させると、液滴は、転写により被塗布物の塗布領域に受け渡されて、短時間で所望の分量の液体材料を塗布することができる。

たとえば比較的粘度が高く、粒子径が大きな触媒材料などの液体材料であっても、短時間で所望の形状および寸法にコイル全体をモールドすることが可能となる。

この発明の実施の形態１による塗布具の構成を示す図である。 図１で説明した塗布具を用いた塗布機構の構成を示す図である。 図１で説明した塗布具を用いた塗布装置の構成を示す図である。 実施の形態１の塗布具を用いた塗布方法の一例を示す工程図である。 実施の形態１の塗布方法で、モールドが行なわれるコイルの側面図である。 実施の形態１の塗布方法で、モールドが行なわれたコイルの側面図である。 実施の形態１の塗布具を用いた塗布方法の他の変形例を示す工程図である。 この発明の実施の形態２による塗布具の構成を示す図である。 この発明の実施の形態３による塗布具の構成を示す図である。 この発明の実施の形態４による塗布具の構成を示す図である。 従来の塗布針の構成を示す側面図である。 従来の塗布針の構成を示す下面図である。 従来の塗布針の構成を示し、インクを付けた様子を表わす側面図である。 従来の塗布針を用いた塗布方法の一例を示す工程図である。

以下、図面を参照しつつ、本発明の実施の形態１〜４について説明する。以下の説明では、同一の部品には同一の符号を付してある。それらの名称および機能も同じである。したがって、それらについての詳細な説明は繰り返さない。

[実施の形態１]
図１〜図７は、本発明の実施の形態１の塗布具、塗布機構、塗布装置および塗布方法を示している。

図１（ａ）は本発明の実施の形態１による塗布針１２，１２を液滴保持部１０とする塗布具３の正面図、図１（ｂ）は液滴保持部１０に液滴１８を付着させた様子を示す正面図である。

図１を用いて実施の形態１の塗布具３の構成を説明すると、塗布具３は、ホルダ部材４と、液滴保持部１０とから主に構成されている。

このうち、ホルダ部材４に固定される液滴保持部１０は、少なくとも一対の塗布針１２，１２を有している。

各塗布針１２は、断面円形の金属材料製の丸棒部材が直線状となるように形成されている。

主に液滴保持部１０の中央部分を構成する塗布針１２の先端１３は、ホルダ部材４の下面側に埋設固定される基端部など他の構成部分の半径方向寸法に比べて、断面形状の半径寸法を減少させた先細り形状としている。

また、実施の形態１の直線状の塗布針１２は、ホルダ部材４の下面側に基端部を斜めに埋設固定することにより、先端１３，１３間に一定の間隔寸法Ｗ１が与えられた状態で離間して配置される。

しかも、塗布針１２は、基部から同一径寸法で直線状に延設されて、液滴保持部１０を構成し、さらに先端１３の断面形状は、下端部に向けて徐々に減少する細針先状に形成される。

また、従来の図１１の針先端６のようにスリット７などを形成する必要もない。このため、塗布針１２単体の加工が容易に行なえる。

さらに、塗布針１２，１２の基端部はホルダ部材４の下側面から斜めに突設されて固定されている。このため、先端１３，１３間の間隔寸法Ｗ１および塗布針１２，１２間のなす角度αを所望の寸法および角度に容易に設定できる。

よって、液滴保持部１０に保持させる液滴１８の形状および寸法を、触媒材料８の粘度や、粒子の大きさに合わせて設定し、一回の転写で十分な触媒材料８の分量を保持させることができる。

塗布針１２，１２の先端１３，１３間には、触媒材料８を付着させた液滴１８が保持される液滴保持部１０が設けられている。液滴１８の形状および寸法は、塗布領域であるコイル２の周囲の形状および寸法に適合する。このため、液滴保持部１０に保持させた状態で、コイル２の塗布領域に液滴１８を受渡すことにより転写が行なわれる。

塗布針１２，１２の先端１３，１３間の間隔寸法Ｗ１、および塗布針１２，１２のなす角度αは、触媒材料８の粘度や粒子の大きさにより適宜設定される。

たとえば、ホルダ部材４の下側面に固定される塗布針１２，１２のなす角度αは、１００度以下が好ましい。実施の形態１では、角度αを約８０度程度に設定している。

角度αが１００度を超えると塗布針１２の先端１３への触媒材料８の供給に支障をきたす。また、角度αが１００度を超えると塗布針１２，１２の先端１３，１３の液滴保持部１０に触媒材料８が保持できないおそれがある。

そして、一回の転写で十分モールド可能な塗布量の触媒材料８が受渡せるように、液滴保持部１０に転写される適量の液滴１８が保持可能な適切な角度αおよび間隔寸法Ｗ１が設定されている。

実施の形態１では、液滴保持部１０の中心に位置する先端１３，１３側から反対側に位置するホルダ部材４の方向へ向けて、間隔寸法Ｗ１がさらに拡開されるように塗布針１２が固定されている。

これにより液滴保持部１０が保持する液滴１８の形状は、塗布針１２，１２のそれぞれの長手方向に沿って左右へ拡大される。従って、長手方向の寸法が長尺となる紡錘形状など、さらに所望の形状、寸法に近似した形状の液滴１８を液滴保持部１０に形成することができる。

また、コイル２の形状および寸法に適合させた状態とは、液滴保持部１０に付着状態の液滴１８が保持されている状態が、すでにコイル２にモールドされている状態の触媒８８の形状および寸法に近似していることを示す。

すなわち、図５に示すガスセンサ１の端子１１，１１間に位置するコイル２の外周面に広がる塗布領域全体を完全に覆う形状および寸法に近似している状態であってもよい。

図６に示すモールドされた触媒８８の紡錘形状に近似している状態としては、たとえば、図１（ｂ）に示すように液滴保持部１０に保持された紡錘形状を呈する状態と、液滴１８が形成されている状態を含む。

さらに、適合させた状態とは、液滴１８の長手方向の寸法Ｗ２が触媒８８の長手方向の寸法Ｗ４と同等の寸法となるように保持されている状態を含む。

また、液滴１８が有する紡錘形状の短手方向の直径寸法が触媒８８の短手方向の直径寸法に適合するように同等の寸法に設定されている状態を含む。

これにより、液滴１８の長手方向および短手方向の寸法および形状がモールドされた後の状態では、所望する触媒８８の長手方向および短手方向の寸法および形状とほぼ等しくなるように設定されている。

さらに、コイル２の周囲にモールドされた状態で、コイル２が内設されることによる触媒８８の長手方向および短手方向の寸法の増減を考慮して、液滴１８の長手方向および短手方向の寸法および形状を設定しても良い。

また、コイル２の外周面に設定される塗布領域の長手方向外形寸法がコイル２の両端を固定して張設する端子１１，１１間の間隔寸法Ｗ３に近接している場合、塗布針１２，１２が端子１１，１１に干渉してしまうおそれがある。

図１（ｂ）に示すように、先端１３，１３が斜めに対峙する塗布針１２，１２間には、液状の触媒材料８が液滴保持部１０によって液滴１８の形状で保持されている。

また、ガスセンサ１のコイル２は、針金状の金属線材をらせん状に巻回して形成されている。このため、金属線材の全長が長く形成され、直線状に形成される場合に比して大きな表面積を得られる。

そして、液滴１８が円滑に受渡しされるように、コイル２の塗布領域の外表面の面積に比して、液滴保持部１０の先端１３，１３に位置する塗布針１２，１２の外表面の面積を小さく設定して、液滴１８が接触する表面積を相違させている。

よって、表面張力差による保持力の差を利用して、液滴保持部１０から液滴１８がコイル２の塗布領域に受渡しされ易くなっており、転写がスムーズに行なわれる。これにより、転写に必要とされる時間は、刷毛塗りなどの塗装に必要とされる時間や、通常の単数の塗布針を用いる場合の時間に比して短い時間で行なえる。

転写による塗装では、従来のインクジェット塗装や、インク溝を形成した塗装針などのように細い道程を塗料が通過する部分がない。このため、粘度が高く、粒子径の大きな液体材料であっても目詰まりが発生しない。よって、時間当たりの塗布量も増大させることができる。

[塗布機構の構成]
図２は、図１に示す塗布具３を用いて、触媒材料８を接触させて塗布する塗布機構２１の構成を示す一部省略した斜視図である。図２において、塗布機構２１は、駆動部として、塗布具３を垂直駆動させるための塗布具駆動シリンダ２２と、塗布具駆動シリンダ２２の駆動で、近接離反方向へ移動可能となる駆動軸２３とを含む。

駆動軸２３の下端部には、保持部材２４を介してホルダ部材４が着脱自在に設けられている。実施の形態では、駆動軸２３に設けられた保持部材２４に対して、ホルダ部材４が着脱自在となるように図示省略のネジ部材などを用いて固定されている。また特にこれに限らず、たとえばマグネットなどを用いて固定しても良く、ネジ部材とマグネットなどとを併用してもよい。

ホルダ部材４からは、さらに下方に向けて一対の塗布針１２，１２が突設されている。
それぞれ斜めに固定された塗布針１２，１２の各先端１３，１３は、塗布具駆動シリンダ２２による駆動軸２３の上下動方向への伸縮駆動に伴って、塗布されるコイル２を設けたガスセンサ１のワーク５０に近接、離反方向（ここでは上下方向）に移動可能に構成される。

また、塗布具駆動シリンダ２２は、保持部材２４を介して、塗布具３のホルダ部材４を装着した状態で、駆動軸２３を上下方向の所望の位置で、所望の時間、停止させることができる。

たとえば、塗布具駆動シリンダ２２は、塗布針１２，１２の先端に付着させた液滴１８を、コイル２の上面に接触させた状態で一時停止させることができる。

このため、液滴保持部１０としての先端１３，１３に、触媒材料８を適量、所望の形状で付着させて液滴１８の形状が保持された状態のまま、上下方向に移動させる。これにより、液滴１８をワーク５０の上方から、コイル２の上面側に接触させる位置まで移動させることができる。

さらに、塗布機構２１は、水平に設けられた回転板としての回転テーブル２５を含み、回転テーブル２５の回転中心には、回転軸２６が立設されている。

塗布機構２１は、回転テーブル２５の回転軸２６を回転させるためのインデックス用のモータ３４を含む。

回転テーブル２５には、塗布針１２，１２に触媒材料８を付着させた状態の塗布具３を通過させるための切欠部２７が外周縁の一部を中心に向けて凹設されている。

また、回転テーブル２５には、液体材料容器２８〜３１が回転軸２６から半径方向へほぼ等距離となるように外周縁に沿って一定間隔で配列されている。

そして、これらの液体材料容器２８〜３１は、複数種類の触媒材料８などが適宜注入されていて、４種類の異なる触媒材料８などを搭載することができる。

さらに、回転テーブル２５の外周縁に沿って、これらの液体材料容器２８〜３１と同様に並べられた洗浄装置３２、エアパージ装置３３がそれぞれ設置されている。そして、回転テーブルの回転移動によって洗浄装置３２、エアパージ装置３３をそれぞれ塗布針１２，１２の下方に位置させることができる。

このうち、洗浄装置３２は、塗布針１２に付着した触媒材料８を除去するためのものである。また、エアパージ装置３３は塗布針１２に付着した洗浄液などを吹飛ばして乾燥させることができるように構成されている。

また、塗布機構２１には、さらに回転軸２６とともに回転するインデックス板３５と、インデックス板３５を介して回転テーブル２５の回転位置を検出するためのインデックス用センサ３６と、インデックス板３５を介して回転テーブル２５の回転位置が原点に復帰したことを検出するための原点復帰用センサ３７とが設けられる。

モータ３４はインデックス用センサ３６，原点復帰用センサ３７の出力に基づいて制御される。モータ３４によって回転テーブル２５が回転されると、切欠部２７、液体材料容器２８〜３１、洗浄装置３２およびエアパージ装置３３のうちいずれかが塗布具３の塗布針１２，１２の下方に移動して位置決め停止される。

このため、液体材料容器２８〜３１にそれぞれ異なる液体材料を搭載して、被塗布物に合う塗料などの液体材料を適宜、塗布具３に付着させることができる。

なお、塗布具駆動シリンダ２２とモータ３４とは、図３に示すＺ軸テーブルに固定されている。また、ガスセンサ１のコイル２が単数または複数個保持されたワーク５０は、塗布針１２の下方のＸＹテーブルによって、水平方向の二方向に相当するＸ方向およびＹ方向に移動が可能に構成されている。

そして、塗布具３に対して、ワーク５０が相対位置をＸ方向およびＹ方向位置に移動させて、塗布工程における適正位置となるように位置決めされる。

[塗布機構の動作]
次に、塗布機構２１の動作について説明する。

まず、ＸＹテーブルおよびＺ軸テーブルが駆動され、コイル２の上方の所定位置に塗布針１２の先端が位置決めされる。モータ３４によって回転テーブル２５が回転され、所望の液体材料容器２８などが塗布針１２の下に移動される。次に、塗布具駆動シリンダ２２によって塗布針１２が上下に駆動され、塗布針１２の先端部に触媒材料８が付着される。

次いで、モータ３４によって回転テーブル２５が回転され、切欠部２７が塗布針１２の下に移動される。

塗布機構２１では、回転軸２６とともに回転するインデックス板３５に設けられて、回転テーブル２５の回転位置を示す位置決めマークがインデックス用センサ３６、および原点復帰用センサ３７によって検出される。

回転位置の検出により、回転テーブル２５に配置されている液体材料容器２８〜３１、洗浄装置３２、エアパージ装置３３および切欠部２７のいずれかが塗布具３を駆動する塗布具駆動シリンダ２２の真下まで回転により移動されて位置決めされるとともに、停止される。

次に、塗布具駆動シリンダ２２によって塗布針１２が上下に駆動され、塗布針１２の先端部に付着した触媒材料８がコイル２に接触することにより、液滴１８を受渡しして転写する。

塗布針１２の洗浄時は、モータ３４によって回転テーブル２５が回転され、洗浄装置３２が塗布針１２の下に移動される。次に、塗布具駆動シリンダ２２によって塗布針１２が上下に駆動され、塗布針１２に付着した触媒材料８が洗浄される。

次いで、モータ３４によって回転テーブル２５が回転され、エアパージ装置３３が塗布針１２の下に移動される。

そして、塗布具駆動シリンダ２２によって塗布針１２が上下に駆動され、塗布針１２に付着した洗浄液が吹き飛ばされる。これにより４種類の触媒材料を被塗布物に合わせて交換して塗布することが可能となる。

[塗布装置の構成]
図３は、図２に示した塗布機構２１を搭載した塗布装置の全体構成を示す図である。図３において、塗布装置は、大きく分類すると、観察光学機構としての観察光学系４０、ＣＣＤカメラ４１、および塗布機構２１と、塗布機構２１をコイル２に対して垂直方向（Ｚ軸方向）に移動させるＺ軸テーブル４４と、Ｚ軸テーブル４４を搭載してＸ軸方向に移動させるためのＸ軸テーブル４５と、ガスセンサを搭載してＹ軸方向に移動させるためのＹ軸テーブル４６と、装置全体の動作を制御する制御用コンピュータ４７と、制御用コンピュータ４７に作業者からの指令を入力するための操作パネル４８とを有して主に構成される。

観察光学系４０は、コイル２の状態や、塗布機構２１で触媒を転写した被塗布物の様子を観察するためのものである。観察光学系４０によって観察される画像は、ＣＣＤカメラ４１により電気信号に変換され、制御装置としての制御用コンピュータ４７のモニタ画面に表示される。

観察光学系４０と、ワーク５０が載置された基台を相対移動させる位置決め駆動機構が設けられている。位置決め駆動機構は、Ｚ軸テーブル４４と、Ｘ軸テーブル４５と、Ｙ軸テーブル４６とを備える。

制御用コンピュータは、観察光学系４０で確認された基台の位置に基づいて塗布機構２１により触媒材料８が塗布されるコイル２を含むワーク５０を、観察光学系４０の真下へ移動させる。

そして、観察光学系４０により、塗布対象となるコイル２のＸＹ軸方向位置とＺ軸方向高さ位置とが確認される。コイル２の位置の確認が行なわれた後、塗布具３の真下へ移動される。

塗布具３は、ホルダ部材４に固定された塗布針１２，１２を備える。塗布具駆動シリンダ２２は駆動軸２３の下端に設けられたホルダ部材４および液滴保持部１０を構成する塗布針１２，１２を降下させる。

塗布具３の液滴保持部１０に保持されている液滴１８は、コイル２の上面側に上方から接触されて、コイル２の周囲に受渡しされることにより転写が確実に行なわれる。

また、塗布機構２１で触媒材料８が塗布されたコイル２は、Ｘ軸テーブル４５とＹ軸テーブル４６とにより、観察光学系４０の真下へ移動させられて、転写が確実に行なわれたかを確認できるようにしてもよい。

[塗布工程]
図４は、発明の実施の形態の塗布装置を用いた塗布工程を説明するものである。

図４（ａ）は、液体材料容器９に収容された触媒材料８を、塗布具３の液滴保持部１０に付着させる塗布工程を示している。

まず塗布工程では、図１に示す回転テーブル２５の回転位置が、モータ３４の回転駆動により変更される。そして、塗布工程に使用される触媒材料８を収容した液体材料容器２８〜３１のいずれかが塗布具３の真下まで移動されて配置される。

液体材料容器２８〜３１のいずれかが、図４（ａ）の液体材料容器９の位置に示すように配置されると、塗布具駆動シリンダ２２の駆動軸２３が駆動されて図４（ｂ）に示すように塗布具３を液体材料容器９の位置方向へ降下させる。このため、塗布具３のホルダ部材４の下面側から突設されている塗布針１２，１２は、先端１３，１３が触媒材料８内に浸漬される。

一旦、先端１３，１３を触媒材料８内に浸漬させた状態で上下方向の移動を停止させた駆動軸２３は、再び駆動されて、図４（ｃ）に示すように塗布具３を上方へ移動させる。

塗布針１２，１２の先端１３，１３間を中心として設けられた液滴保持部１０には、触媒材料８が付着して、ホルダ部材４の上方への移動に伴って紡錘形形状を呈する液滴１８が液滴保持部１０に形成される。

実施の形態１では、液滴保持部１０を構成する塗布針１２，１２が所定の角度αで、先端１３，１３間を対向させて左右対称に設けられている。液滴保持部１０で、触媒材料８は、表面張力により、ほぼ球形に纏まろうとする。

この際、先端１３，１３間の隙間を中心として各塗布針１２，１２の延設方向に向けて塗布針１２，１２の表面に付着する触媒材料８は、各塗布針１２，１２の長尺方向に沿って左右に拡開する。

よって紡錘形状となるように保持された液滴１８は、球形の状態に比して長尺方向の寸法が延伸されて分量が増大し紡錘形状が保持されたまま、所定の位置まで上昇する。液滴１８の形状および寸法は、実施の形態のガスセンサ１を構成するコイル２の塗布領域の形状および寸法に適合した状態となり、液滴保持部１０によって移動中も保持される。

回転テーブル２５の回転位置は、切欠部２７を塗布具３の真下に位置させることにより、塗布具３を次の工程で降下させても、塗布針１２，１２が回転テーブル２５と干渉しないように移動される。

また、回転テーブル２５の下側に位置するＸ軸テーブル４５とＹ軸テーブル４６とがそれぞれ駆動されて、塗布されるコイル２を設けたワーク５０を塗布具３の真下位置まで移動させる。

この状態で塗布具駆動シリンダ２２の駆動軸２３を駆動して、図４（ｄ）に示すようにホルダ部材４を降下させる。ホルダ部材４の液滴保持部１０は、液滴１８を一定の形状および寸法に保持したまま、液滴１８が形成する紡錘形状の長手方向をコイル２の長手方向と一致させた状態で、駆動軸２３の駆動により降下されてコイル２の上方から上面側に近接する。

液滴保持部１０に保持された液滴１８をガスセンサ１のコイル２の上面側に位置する塗布領域に接触させると、液滴１８の紡錘形状が、転写によりコイル２側の塗布領域に受け渡される。

このため、短時間で、液滴１８を紡錘形状として形成する十分な分量の触媒材料８を、コイル２の周囲の塗布領域に転写により受け渡して、所望の分量の触媒材料８を塗布することができる。

液滴１８の受渡しに必要とされる移動距離は、長尺方向をコイルの延設される方向に一致させた液滴１８の紡錘形状によって、コイル２の塗布領域に所望される形状と適合されている。このため、従来の塗布方法に比べて、比較的短い移動距離で効率的に転写されることにより、塗布領域の全体を円滑に覆うことができる。

従って、たとえば比較的粘度が高く、粒子径が大きな触媒材料８などの液体材料であっても、液滴保持部１０に一定の形状および寸法を有する液滴１８として保持し、短時間でコイル２に転写できる。

このように、所望の液量の触媒材料８を一回の転写により、コイル２の周囲の形状に適合させて塗布できる。このため、コイル２全体を所望の状態でモールドすることが可能となる。

また、塗布装置には、回転テーブル２５およびＸ軸テーブル４５とＹ軸テーブル４６とが設けられている。このため、塗布具駆動シリンダ２２の駆動軸２３は、軸方向（装置上下方向）に沿って塗布具３を移動させる動作により、液滴１８を液体材料容器２８〜３１からコイル２へ受渡すことができる。

従って、左右方向（装置水平方向）にも、塗布具３を移動させて液滴１８を搬送する塗布機構のように、水平方向の加速度が液滴保持部１０部分に加わることがない。

よって、液滴保持部１０に加わる加減速の回数を減らすことが可能で、この点においても、液滴１８の落下などで液体材料を失なうことなく、所望の形状および寸法を保持できる。

また、転写が行なわれている間は、塗布具駆動シリンダ２２の駆動軸２３の駆動が停止されて、図４（ｄ）に示す液滴１８をコイル２に接触させている状態で、塗布具３をコイル２から一定の距離に保持する。

液滴１８をコイル２に転写する際、特に触媒材料８の粘度が高かったり、あるいは粒子が、巻線部分の隙間に比して比較的大きい場合には、コイル２のらせん状に巻回された部分の内側に触媒材料８が入り込むまでに所定の時間が必要とされる。

実施の形態では、コイル２から一定距離に塗布具３を保持した接触状態で、塗布具駆動シリンダ２２の駆動を停止させることにより、液滴保持部１０に保持されている液滴１８を一定時間、コイル２の塗布領域に接触させた状態で保持する。

これにより、液滴１８がコイル２側に転写される時間が確保されて、触媒材料８がコイル２の内側に浸入するとともに、外周面にも十分な触媒材料８を行き渡らせることができる。

従って、触媒８８の付回りが良好で、コイル２の内部まで浸入して塗布されることにより、さらに良好なモールド状態を得られる。

また、塗布具３を一定時間停止させる工程と組み合わせて、もしくは単独で、液滴１８がコイル２に位置する塗布領域に移動するまでの時間、塗布具駆動シリンダ２２の駆動軸２３の駆動により、液滴保持部１０とコイル２との間隔を近接離反させる方向へ往復動させてもよい。

この場合、さらに触媒材料８の流動性が増大して、触媒材料８がコイル２に転写される時間を短縮することができる。

さらに、図４（ｄ）に示すように液滴１８がコイル２に接触している状態で、一定距離に保たれた液滴保持部１０の位置を中心として、駆動軸２３を駆動して塗布具３を上下方向へ往復動させてもよい。この場合、転写される触媒材料８は常にコイル２に接触しているので、転写中の触媒材料８の供給を途切れにくくすることができる。

また、図４（ｄ）に示すように液滴１８がコイル２に接触している状態で、一定距離に保たれた液滴保持部１０の位置を中心として、塗布具３を揺動方向へ往復動させるようにしてもよい。

そして、図４（ｄ）に示すように液滴１８がコイル２に接触している状態で、駆動軸２３に支持されている塗布具３に、図示しない超音波振動発生装置により超音波振動を与えても良い。この場合、さらに触媒材料８がコイル２の内側に入り込ませて転写する時間を短縮できる。

また、音波振動発生装置による音波振動の周波数は、超音波に特に限定されるものではなく、低周波振動など、他の周波数帯域の振動が与えられてもよい。

次に図４（ｅ）に示すように塗布具３の液滴保持部１０は上方へ移動される。そして、塗布針１２，１２の先端１３，１３から、触媒材料８が離脱してコイル２の周囲に残留する。

この際、コイル２の塗布領域内に位置する針金状の金属線材がらせん状に巻回された部分と、塗布針１２の先端１３，１３とがそれぞれ異なる表面積で、触媒材料８に接触している。したがって、表面張力による保持力の差により、保持力が小さな液滴保持部１０からは触媒材料８がほとんど離脱して、コイル２側に受渡しされる。

受渡しにより、触媒材料８は、コイル２の周囲に十分に行き亘り、図４（ｆ）に示すようにコイル２の被塗布領域内に転写された触媒８８によって、所望の紡錘形状でコイル２の表面全体をモールドすることができる。

さらに、実施の形態では、触媒材料８の流下速度にも保持力の差が影響する。すなわち、コイル２と、液滴保持部１０の塗布針１２の先端１３，１３との表面張力の相違が利用されて、保持力が小さな液滴保持部１０から保持力が比較的大きなコイル２へ向けて、短い時間で触媒材料８を流下させて受渡すことができる。

実施の形態では、一対の塗布針１２，１２の先端１３，１３間に保持された液滴１８の形状および寸法がコイル２の塗布領域に形成される触媒８８の紡錘形状に適合させた状態に保持されている。

このため、液滴１８の紡錘形状のうち長手方向を、コイル２の長手方向と平行に沿わせることにより、同一近接距離で比較して接触面積が点接触に限られる場合よりも、大きな接触面積で、触媒材料８を流下させて移動させることができる。

よって、円滑にコイル２の塗布領域に受渡しされ、刷毛塗りなどの塗装方法に比して短い時間で、モールドに必要とされる分量の触媒材料８が転写される。

また、従来のインク溝を形成した塗装針や、ディスペンサや、インクジェット方式などのように、細い管の中などの道程に液体材料を通過させる必要がない。

このため、触媒材料８のように粘度が高く、粒子の径が比較的大きな液体材料であっても目詰まりなどの問題がない。

さらに、液滴１８を構成する触媒材料８により、一回の転写で、触媒８８のモールドが形成できる。

また、実施の形態では、一対の塗布針１２，１２が先端１３，１３間を所定の間隔寸法Ｗ１、離間させた状態でホルダ部材４の下面側に固定されている。

図１（ａ）に示すように、液滴保持部１０を構成する一対の塗布針１２，１２の間の相対位置は、ホルダ部材４の下面側に固定される塗布針１２，１２のそれぞれの基端部の固定状態により一義に決定される。

また、先端１３，１３の間の間隔寸法Ｗ１および塗布針１２，１２がなす角度αは、図１（ｂ）に示すように、液滴保持部１０に保持される液滴１８の形状および寸法に、大きな影響を与える。

このため、塗布針１２，１２間の間隔および角度を、ホルダ部材４への固定状態の設定により調整することが容易に可能である。

しかも実施の形態では、ホルダ部材４が保持部材２４を介して駆動軸２３の下端部に、図示省略のネジ部材あるいはマグネットなどを用いて着脱自在とされている。このため、必要とされる液滴１８の形状および寸法に合わせて、予め用意されていた異なる塗布針１２，１２の固定間隔および角度を有するホルダ部材４へ交換することができる。

ホルダ部材４などの交換により、塗布具３などを容易に液体材料の種類や、被塗布物の形態、塗布領域の形状および寸法に適合させることができる。このため、予め複数種類の液状材料および被塗布物の組合せに適合するように、ホルダ部材４などを準備しておくことができる。

また、実施の形態１では、図１（ａ）に示すように、塗布針１２,１２の各基端部が、先端１３，１３の間隔寸法Ｗ１から、さらに拡開されてホルダ部材４の下面側に固定されている。

これにより、塗布針１２，１２間は、一定の角度αを有して先端１３，１３間を対峙させる。先端１３，１３の間をほぼ中心とする液滴保持部１０では、図１（ｂ）に示すように塗布針１２，１２が拡開する、それぞれの長手方向に沿って液滴１８の形状が伸長される。

従って、長手方向の寸法Ｗ２を縦横比で長尺として、所望の紡錘形状に近似した液滴１８を液滴保持部１０に形成できる。

ここで、拡開された一対の塗布針１２，１２のなす角度αは、１００度以下が好ましい。さらに好ましくは、実施の形態１に示すように約７０〜８５度付近が紡錘形状の液滴１８の形状の保持に適している。一対の塗布針１２，１２のなす角度αが１００度以上となると塗布針１２，１２の先端１３，１３への触媒材料８の供給が困難になる。

また、液体材料の粘度や粒子の大きさにも影響されるが、１００度以上となると先端１３，１３間を中心とする液滴保持部１０の所望の位置に液滴１８を保持できないおそれが生じる。

さらに、転写時に、塗布針１２，１２が端子１１に干渉してしまうといった問題もあるため、諸条件に応じて適宜、角度αが設定されることが望ましい。

上述してきたように、図１（ｂ）に示すように液滴保持部１０によって保持されている触媒材料８からなる液滴１８の分量を十分なものとすることができる。

このため、コイル２の塗布領域に液滴１８を接触させると、一回の転写で所望の分量の触媒材料８が転写により受渡しされる。そして、比較的粘度が高く粒子径が大きな触媒材料８などであっても、短時間で図６に示すように、触媒８８の塗布を完了させてコイル２の周囲全体を確実にモールドすることができる。

たとえば、図１（ｂ）に示す液滴１８の寸法Ｗ２を触媒８８の長手方向の寸法Ｗ４に適合するように設定して転写することにより、所望の形状および寸法のモールドを被塗布領域に形成できる。

また、実施の形態では、被塗布物としてガスセンサ１に設けられたコイル２に、比較的高粘度でしかも液中の粒子の大きさが比較的大きな触媒材料８が受渡しされて転写される。

ガスセンサ１を構成するコイル２は、針金状の金属線材がらせん状に巻回されて、塗布領域の表面積が、塗布針１２，１２の先端１３，１３の表面積よりも比較的容易に大きく設定されている。

このため、一対の塗布針１２，１２で構成される液滴保持部１０の保持力に比して、表面張力による保持力を大きく設定することが容易で、保持力の差を利用して液滴保持部１０から塗布領域にさらに短い時間で円滑な転写を行なえる。

また、実施の形態では、塗布工程が終了して、塗布針１２を洗浄する際には、塗布装置のモータ３４によって回転テーブル２５が回転され、洗浄装置３２が塗布針１２の下方に移動される。次に、塗布具駆動シリンダ２２によって塗布針１２が上下に駆動され、塗布針１２に付着した触媒材料８が洗浄される。

次いで、モータ３４によって回転テーブル２５が回転され、エアパージ装置３３が塗布針１２の下に移動される。そして、塗布具駆動シリンダ２２によって塗布針１２が上下に駆動され、塗布針１２に付着した洗浄液が吹き飛ばされる。

そして、実施の形態の図３に示す塗布装置の塗布機構２１では、回転テーブル２５に配置されている液体材料容器２８〜３１の中に、各種液体材料が収容されている。

塗布工程が終了した後の待機状態では、塗布具３の塗布針１２，１２の先端１３，１３がいずれかの液体材料容器２８〜３１の中に浸されて保持される。

待機状態では、液滴保持部１０の先端が液体材料容器２８〜３１の中に浸されることにより湿潤状態に保たれる。このため、付着した液体材料が乾燥したり、あるいは硬化して先端１３に粘着するなど、不要に塗布針１２に付着して塗布性能を阻害するおそれを減少させることができる。

また、待機中には、液状で塗布に適した良好な状態の触媒材料８が適度に塗布針１２，１２の先端１３，１３に付着している状態で保持されている。

このため、塗布工程に移行すると、液滴保持部１０の先端が液体材料容器２８〜３１の中から取出されて、直ちに塗布具３として使用できる。従ってメンテナンス性が良好であるとともに、塗布工程を開始するまでの準備時間を短縮できる。

[実施の形態の変形例１]
図７は、本発明の実施の形態１のうち、変形例１の塗布具、塗布機構、塗布装置および塗布方法を示している。以下、変形例１の構成および作用効果を詳述する。実施の形態１の塗布具、塗布機構、塗布装置および塗布方法との相違点を中心に説明して同一となる構成および作用効果について記述を繰り返さない。

実施の形態１では、図４（ｃ）に示すように、液滴保持部１０に付着させた液滴１８の紡錘形状のうち長手方向をコイル２の長手方向と平行に沿わせて、液滴１８をコイル２に接触させている。

これに対して変形例１では、図７（ｃ）に示すように、液滴保持部１０に付着させた液滴１８の長手方向をコイル２の長手方向と直交させて、液滴１８をコイル２に接触させる。

すなわち、この変形例１では、図７（ｄ）に示すように、直交する位置で下降する液滴１８は、長手方向がコイル２の短手方向と一致して、先端１３，１３間にコイル２の巻線部分が介挿された状態で、転写される。

このため、塗布針１２，１２の各先端１３，１３間には、図１（ａ）に示すように一定の間隔寸法Ｗ１が設けられている。

また、実施の形態１では、図５に示すようにガスセンサ１のコイル２の両側でコイル２を張設する端子１１，１１の間隔寸法Ｗ３が比較的狭い場合、先端１３，１３間に例えば、間隔寸法Ｗ１のような所定の大きさの制限が設定される。これにより先端１３，１３と端子１１，１１との干渉が防止されている。

この変形例１では、塗布具３を降下させる際、液滴１８の長手方向がコイル２の短手方向に一致して先端１３，１３がコイル２の巻線部分の両側に位置して、端子１１，１１およびコイル２に当接しにくい。

よって、コイル２が張設されている高さ位置近傍まで、塗布針１２，１２の先端１３，１３を降下させて、触媒材料８を転写しやすい高さ位置に維持できる。

さらに、液滴保持部１０を降下させても、コイル２の直径方向の両側に跨ぐように塗布針１２，１２の先端１３，１３がコイル２の長手方向に直交して、コイル２の両側に位置する。

このように、塗布針１２，１２がコイル２を跨いでいる状態から、塗布具３を上下方向に振動または揺動させることもできる。このため、さらに短時間でコイル２の周囲の塗布領域へ十分な分量の触媒材料８を転写して、図７（ｅ）に示すようにモールドすることができる。

また、一回で塗布される触媒材料８の分量を多くするため、塗布針１２，１２の先端１３，１３間の間隔寸法Ｗ１を大きく設定して、液滴保持部１０に保持できる液滴１８の分量を多くすることが考えられる。

実施の形態１のように、コイル２の長手方向に液滴保持部１０の長手方向を平行に沿わせた位置関係では、先端１３，１３間の間隔寸法Ｗ１が大きく設定されると、端子１１，１１に干渉するおそれがある。

干渉を防止するため、端子１１，１１間の寸法の制約を受け入れると、液滴保持部１０に保持できる触媒材料８の分量を増加させることができない。

変形例１では、ホルダ部材４の装着方向を９０度変更、または、被塗布物の載置方向をホルダ部材４に対して９０度変更して、配列される一対の塗布針１２，１２の方向とコイル２の長手方向を直交させた。

液滴保持部１０を下降させると、コイル２の短手方向と平行位置に液滴保持部１０が沿い、各先端１３，１３がコイル２の両側に対峙する位置に到達して、液滴１８を短時間で転写することができる。

しかも液滴保持部１０を上方からコイル２に近接させても、塗布針１２，１２はコイル２の短手方向の両側に位置して、端子１１，１１およびコイル２に干渉しない。

このため、液滴１８を保持している塗布針１２，１２の間隔寸法Ｗ１を大きく設定でき、よって、実施の形態のように端子１１，１１の間隔Ｗ３寸法に制約されるものに比して、液滴保持部１０に保持される液滴１８の分量を増加させることができる。

たとえば、コイル２の短手方向の両側に塗布針１２，１２の各先端１３，１３を対峙させる位置であれば、液滴１８の紡錘形状の長手方向がコイル２の長手方向に対して、完全に９０度で直交しなくてもどのような斜め角度で交差しても良く、この場合も干渉が防止される。

また、液滴保持部１０の長手方向の寸法Ｗ２を、コイル２の長手方向の巻線部分の寸法（たとえば図６の寸法Ｗ４に相当する部分）よりも大きく設定出来る。

この変形例では、塗布針１２，１２が端子１１，１１と干渉するおそれがないので、液滴保持部１０の長手方向をコイル２の短手方向に沿って大きく設定して、紡錘形状の液滴１８の分量を増大させることができる。

また、コイル２の端子１１，１１間の寸法設定に拘束されないため、さらに液滴保持部１０の長手方向の寸法Ｗ２を、コイル２の長手方向の全長の寸法（たとえば図５の間隔寸法Ｗ３に相当する部分）よりも、さらに大きく設定することができる。

したがって、液滴保持部１０に保持させる液滴１８の寸法設定の自由度を向上させて、より液滴１８の分量を多くするなど、実施の形態１のように端子１１，１１間の寸法に制約されることなく、所望の分量の液滴１８を転写できる。

[実施の形態２]
図８は、発明の実施の形態２による塗布具、塗布機構、塗布装置および塗布方法を示している。以下、実施の形態２の構成および作用効果を詳述するが実施の形態１の塗布具、塗布機構、塗布装置および塗布方法との相違点を中心に説明して同一となる構成および作用効果については、記述を繰り返さない。

実施の形態１では、図１に示すように、塗布具３の塗布針１２，１２の基端部がホルダ部材４の下側面から斜めに突設されて固定されている。

実施の形態２では、図８（ａ）に示すように塗布具６３の液滴保持部６０が一対の塗布針１２，１２によって構成されている。

塗布針１２，１２は、基端部がホルダ部材４の下側面から平行に突設されて固定されている。

このように構成された実施の形態２の塗布具６３では、図８（ｂ）に示すように塗布針１２，１２の先端間の隙間を中心として、触媒材料８が付着される。

触媒材料８は、一対の塗布針１２，１２方向に延伸して、紡錘形状の液滴１８が形成される。液滴１８は、形状および寸法が被塗布物の塗布領域に適合するように液滴保持部６０に保持されたまま、転写される。

[実施の形態３]
図９は、発明の実施の形態３の塗布具、塗布機構、塗布装置および塗布方法を示している。以下、実施の形態３の構成および作用効果を詳述する。実施の形態１の塗布具、塗布機構、塗布装置および塗布方法との相違点を中心に説明して同一となる構成および作用効果について記述を繰り返さない。

実施の形態１では、図１に示すように、塗布具３の一対の塗布針１２，１２がホルダ部材４の下側面から斜めに突設されて、液滴保持部１０が形成されている。

実施の形態３では、図９に示すように、液滴保持部７０が塗布領域に沿わせた腕部７２と、腕部７２に連設されてホルダ部材４に支持される支持脚部７１，７１とを有して形成されている。図９で（ａ）は、塗布具７３の側面を示し、（ｂ）は、塗布具７３の液滴保持部７０に液滴１８を付着させた様子を示し、（ｃ）は、（ａ）のＩ−Ｉ線に沿った位置での断面を示している。

このうち、支持脚部７１，７１は、腕部７２側の間隔寸法Ｗ５に比してホルダ部材４側の間隔寸法Ｗ６が大きくなるように設定されている。そして、支持脚部７１，７１間がなす角度α２がホルダ部材側に向かうに従って拡開する。拡開によりなす角度は角度α２＝約８０度程度に設定されている。

このように構成された実施の形態３の塗布具７３では、図９（ａ）に示すように支持脚部７１，７１の腕部７２側端部が腕部７２の両端部にそれぞれ一体となるように連設されて、一本の逆台形形状の門型を呈している。

そして、腕部７２から、支持脚部７１，７１の腕部７２側各端部間にかけて、触媒材料８を付着させて、紡錘形状の液滴１８を保持させる液滴保持部７０が形成されている。

この液滴保持部７０は、液滴１８の形状および寸法が被塗布物の塗布領域に適合する。
このように構成された実施の形態３の塗布具７３では、図９（ｂ）に示すように支持脚部７１，７１の各下端部と、これらの支持脚部７１，７１間を一体に連設する腕部７２とが液滴保持部７０として触媒材料８を付着させる。

触媒材料８は、水平方向に延設される腕部７２に沿って、両側に位置する支持脚部７１，７１の各下端部まで延伸して、紡錘形状の液滴１８が形成される。

液滴１８は、形状および寸法が被塗布物の塗布領域に適合するように液滴保持部７０に保持されたまま、転写される。

実施の形態３では、図９（ａ）に示すように一対の支持脚部７１，７１の各下端部が、これらの支持脚部７１，７１間を一体に連設する水平方向に延設される腕部７２によって逆台形形状の門型を呈している。しかしながら、特にこれに限らず、一本の支持脚部７１の下端部に、水平方向に延設される腕部７２を接続して、片持ち梁状にしてもよく、液滴保持部を形成する部材の形状、数量、および材質が特に限定されるものではない。

[実施の形態４]
図１０は、発明の実施の形態４の塗布具、塗布機構、塗布装置および塗布方法を示している。以下、実施の形態４の構成および作用効果を詳述する。実施の形態１の塗布具、塗布機構、塗布装置および塗布方法との相違点を中心に説明して同一となる構成および作用効果について記述を繰り返さない。

実施の形態１では、図１に示すように、塗布具３の一対の塗布針１２，１２が用いられて液滴保持部１０が形成されている。

実施の形態４では、図１０に示すように、塗布具８３がホルダ部材４の下面側に固着される平板状部材８１を有して構成されている。

平板状部材８１は、図１０（ｃ）に示されるように水平断面形状を長方形として、所定の板厚を有する厚板状に形成されていて、ホルダ部材４の下面側から長手方向を下方に向けて突設されている。

平板状部材８１は、先端に下端面８２が設けられている。下端面８２は、突設された方向に対して直交する横幅方向を長手方向とする下端面８２を有している。

下端面８２の各四隅部は面取加工されていて、先端に付着させた液体材料を、被塗布物の塗布領域に接触させて塗布を行なう液滴保持部８０を構成する。

また、液滴保持部８０は、横幅方向をコイル２の延設方向である長手方向に沿うように、転写時の配置が設定されている。

そして、図１０（ｂ）に示すように、平板状部材８１の下端面８２に触媒材料８を接触させると、液滴保持部８０に触媒材料８が付着して、紡錘形形状の液滴１８として保持される。

今回開示された実施の形態はすべての点で例示であって制限的なものではないと考えられるべきである。本発明の範囲は上記した説明ではなくて特許請求の範囲によって示され、特許請求の範囲と均等の意味および範囲内でのすべての変更が含まれることが意図される。

１ ガスセンサ、２ コイル、３ 塗布具、４ ホルダ部材、５，１２ 塗布針、６ 針先端、７ スリット、８ 触媒材料、９，２８〜３１ 液体材料容器、１０，６０，７０，８０ 液滴保持部、１１ 端子、１３ 先端、１８ 液滴、２１ 塗布機構、２２ 塗布具駆動シリンダ、２３ 駆動軸、２４ 保持部材、２５ 回転テーブル、２６ 回転軸、２７ 切欠部、３２ 洗浄装置、３３ エアパージ装置、３４ モータ、３６ インデックス用センサ、３７ 原点復帰用センサ、４０ 観察光学系、４１ カメラ、４４，４５，４６ Ｘ，Ｙ，Ｚ軸テーブル、４７ 制御用コンピュータ、４８ 操作パネル、５０ ワーク、７１ 支持脚部、７２ 腕部、８１ 平板状部材、８２ 下端面、８８ 触媒、１００ 台座部、１０１ 脚部。

Claims (19)

1. 先端に付着させた液体材料の液滴を、被塗布物の塗布領域に接触させて塗布を行なう液滴保持部を備え、
   前記液滴保持部は、前記液滴の形状および寸法を前記塗布領域の形状および寸法に適合させた状態に保持したまま、前記塗布領域に前記液滴を受渡して転写し、
   前記液滴保持部は、前記液滴保持部に付着させた前記液滴の形状の長手方向を前記被塗布物の長手方向と直交させて前記被塗布物に前記液滴を接触させる、塗布具。
2. 前記液滴保持部は、少なくとも一対の塗布針を含み、
   前記塗布針の先端間を所定の間隔寸法、離間させた状態で固定するホルダ部材をさらに備える、請求項１に記載の塗布具。
3. 前記一対の塗布針は、前記先端側の間隔寸法に比して、長尺方向で反対側に位置する前記ホルダ部材側を拡開して、所定角度をなす状態で前記ホルダ部材に固定されている、請求項２に記載の塗布具。
4. 前記一対の塗布針のなす角度は、１００度以下である、請求項３に記載の塗布具。
5. 前記一対の塗布針は、なす角度が平行となるように前記ホルダ部材に固定される、請求項２に記載の塗布具。
6. 先端に付着させた液体材料の液滴を、被塗布物の塗布領域に接触させて塗布を行なう液
   滴保持部と、
   前記液滴保持部を保持するホルダ部材とを備え、
   前記液滴保持部は、
   前記塗布領域に沿わせた腕部と、
   前記腕部の両端部にそれぞれ連設されて前記ホルダ部材に支持される一対の支持脚部とを有し、
   前記支持脚部は、前記腕部側の間隔に比して前記ホルダ部材側の間隔を大きく設定することで、所定角度で前記ホルダ部材側に向かうに従って拡開し、
   前記液滴保持部は、前記液滴の形状および寸法を前記塗布領域の形状および寸法に適合
   させた状態に保持したまま、前記塗布領域に前記液滴を受渡して転写する、塗布具。
7. 前記被塗布物は、ガスセンサ用のコイルであり、
   前記液体材料は、ガスセンサ用の触媒材料である、請求項１〜６のいずれか１項に記載の塗布具。
8. 請求項１〜７のいずれか１項に記載の塗布具と、
   前記液滴保持部の先端に液滴を付着させた状態で、前記液滴を前記被塗布物に接触させる位置まで前記液滴保持部を移動させる駆動部とを有する、塗布機構。
9. 前記液体材料を収納した容器を搭載して、回転可能に構成された回転板と、
   前記回転板を回転駆動させる回転駆動機構と、
   前記回転板に搭載された容器を、前記塗布具の直下に位置決めするためのインデックス板と、
   前記インデックス板に設けられた位置決めマークを検出する検出部とを有する、請求項８に記載の塗布機構。
10. 前記回転板に前記塗布具に付着した液体材料を洗浄液によって洗浄する洗浄装置と、
    前記塗布具に封着した洗浄液を乾燥させる乾燥装置とを有する、請求項９に記載の塗布機構。
11. 請求項８〜１０のいずれか１項に記載の塗布機構と、
    前記被塗布物を保持する基台と、
    前記被塗布物の様子を観察する観察光学機構と、
    前記塗布機構および、前記観察光学機構を、前記基台に対して垂直および平行に相対移動させる位置決め駆動機構と、
    前記観察光学機構で確認された前記基台の位置に基づいて、前記位置決め駆動機構を制御する制御装置とを備える、塗布装置。
12. 先端に付着させた液体材料の液滴を、被塗布物の塗布領域に接触させて塗布を行なう液滴保持部を備える塗布具を用いた塗布方法であって、
    前記液滴保持部は、前記液滴の形状および寸法を前記塗布領域の形状および寸法に適合させた状態に保持したまま、前記塗布領域に前記液滴を受渡して転写し、
    前記液滴保持部は、前記液滴保持部に付着させた前記液滴の形状の長手方向を前記被塗布物の長手方向と直交させて前記被塗布物に前記液滴を接触させる、塗布方法。
13. 前記液滴保持部は、少なくとも一対の塗布針を含み、
    前記一対の塗布針の間隔を、前記被塗布物の短手方向の塗布領域寸法よりも大きく設定した、請求項１２に記載の塗布方法。
14. 前記液滴保持部の先端に保持した前記液体材料の液滴を前記被塗布物に塗布する際に、前記液滴が前記被塗布物に設けられた塗布領域に移動する時間、前記液滴保持部と前記被塗布物との間隔を一定距離に保持する、請求項１２または１３に記載の塗布方法。
15. 前記液滴保持部の先端に保持した前記液体材料の液滴を前記被塗布物に塗布する際に、前記液滴が前記被塗布物に位置する塗布領域に移動する時間、前記液滴保持部と前記被塗布物との間隔を近接離反させる方向へ往復動させる、請求項１２または１３に記載の塗布方法。
16. 前記往復動は、前記液滴が前記塗布領域に接触した状態を保持しながら行なわれる、請求項１５に記載の塗布方法。
17. 前記液滴保持部の先端を超音波振動させることにより、前記液滴を前記被塗布物に移行させる、請求項１４に記載の塗布方法。
18. 前記先端に付着した前記液体材料が乾燥しないように、塗布しない待機状態では、前記液滴保持部の先端が、前記液体材料を収容する液体材料容器の中で、前記液体材料に浸漬されて保持される、請求項１２〜１７のいずれか１項に記載の塗布方法。
19. ガスセンサに設けられたコイルに、前記ガスセンサを構成する触媒材料を受渡して転写する、請求項１２〜１８のいずれか１項に記載の塗布方法。

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