JP6047811B2 - フィルタ、フィルタを製作する方法、およびレーザ波長監視装置 - Google Patents

フィルタ、フィルタを製作する方法、およびレーザ波長監視装置 Download PDF

Info

Publication number
JP6047811B2
JP6047811B2 JP2016515586A JP2016515586A JP6047811B2 JP 6047811 B2 JP6047811 B2 JP 6047811B2 JP 2016515586 A JP2016515586 A JP 2016515586A JP 2016515586 A JP2016515586 A JP 2016515586A JP 6047811 B2 JP6047811 B2 JP 6047811B2
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
filter
translucent
laser wavelength
wavelength monitoring
laser
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Expired - Fee Related
Application number
JP2016515586A
Other languages
English (en)
Other versions
JP2016520218A (ja
Inventor
▲敏▼ 周
▲敏▼ 周
磊 王
磊 王
▲華▼▲楓▼ 林
▲華▼▲楓▼ 林
振▲興▼ 廖
振▲興▼ 廖
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Huawei Technologies Co Ltd
Original Assignee
Huawei Technologies Co Ltd
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Huawei Technologies Co Ltd filed Critical Huawei Technologies Co Ltd
Publication of JP2016520218A publication Critical patent/JP2016520218A/ja
Application granted granted Critical
Publication of JP6047811B2 publication Critical patent/JP6047811B2/ja
Expired - Fee Related legal-status Critical Current
Anticipated expiration legal-status Critical

Links

Images

Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/28Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals
    • G02B6/293Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means
    • G02B6/29346Optical coupling means having data bus means, i.e. plural waveguides interconnected and providing an inherently bidirectional system by mixing and splitting signals with wavelength selective means operating by wave or beam interference
    • G02B6/29361Interference filters, e.g. multilayer coatings, thin film filters, dichroic splitters or mirrors based on multilayers, WDM filters
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4204Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms
    • G02B6/4215Packages, e.g. shape, construction, internal or external details the coupling comprising intermediate optical elements, e.g. lenses, holograms the intermediate optical elements being wavelength selective optical elements, e.g. variable wavelength optical modules or wavelength lockers
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/26Optical coupling means
    • G02B6/34Optical coupling means utilising prism or grating
    • CCHEMISTRY; METALLURGY
    • C23COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
    • C23CCOATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
    • C23C18/00Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating
    • C23C18/16Chemical coating by decomposition of either liquid compounds or solutions of the coating forming compounds, without leaving reaction products of surface material in the coating; Contact plating by reduction or substitution, e.g. electroless plating
    • C23C18/1601Process or apparatus
    • C23C18/1633Process of electroless plating
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/10Beam splitting or combining systems
    • G02B27/14Beam splitting or combining systems operating by reflection only
    • G02B27/141Beam splitting or combining systems operating by reflection only using dichroic mirrors
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/30Collimators
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00Optical elements other than lenses
    • G02B5/20Filters
    • G02B5/28Interference filters
    • G02B5/285Interference filters comprising deposited thin solid films
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04BTRANSMISSION
    • H04B10/00Transmission systems employing electromagnetic waves other than radio-waves, e.g. infrared, visible or ultraviolet light, or employing corpuscular radiation, e.g. quantum communication
    • H04B10/07Arrangements for monitoring or testing transmission systems; Arrangements for fault measurement of transmission systems
    • H04B10/075Arrangements for monitoring or testing transmission systems; Arrangements for fault measurement of transmission systems using an in-service signal
    • H04B10/079Arrangements for monitoring or testing transmission systems; Arrangements for fault measurement of transmission systems using an in-service signal using measurements of the data signal
    • H04B10/0795Performance monitoring; Measurement of transmission parameters
    • H04B10/07957Monitoring or measuring wavelength
    • HELECTRICITY
    • H04ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
    • H04BTRANSMISSION
    • H04B10/00Transmission systems employing electromagnetic waves other than radio-waves, e.g. infrared, visible or ultraviolet light, or employing corpuscular radiation, e.g. quantum communication
    • H04B10/25Arrangements specific to fibre transmission
    • H04B10/2589Bidirectional transmission
    • H04B10/25891Transmission components
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B1/00Optical elements characterised by the material of which they are made; Optical coatings for optical elements
    • G02B1/10Optical coatings produced by application to, or surface treatment of, optical elements
    • G02B1/11Anti-reflection coatings
    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B6/00Light guides; Structural details of arrangements comprising light guides and other optical elements, e.g. couplings
    • G02B6/24Coupling light guides
    • G02B6/42Coupling light guides with opto-electronic elements
    • G02B6/4201Packages, e.g. shape, construction, internal or external details
    • G02B6/4286Optical modules with optical power monitoring

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Engineering & Computer Science (AREA)
  • Electromagnetism (AREA)
  • Computer Networks & Wireless Communication (AREA)
  • Signal Processing (AREA)
  • General Chemical & Material Sciences (AREA)
  • Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
  • Materials Engineering (AREA)
  • Mechanical Engineering (AREA)
  • Metallurgy (AREA)
  • Organic Chemistry (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Lasers (AREA)
  • Optical Couplings Of Light Guides (AREA)
  • Semiconductor Lasers (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)

Description

本発明は、光ファイバ通信技術の分野に関し、詳細には、フィルタ、フィルタを製作する方法、およびレーザ波長監視装置に関する。
帯域幅に関するユーザの要求が継続して大きくなるにつれ、従来の銅線ブロードバンドアクセスシステムはますます帯域幅に関する障害に直面している。同時に、大きな帯域幅容量を用いる光ファイバ通信技術はますます成熟し、光ファイバアクセスネットワークが、次世代ブロードバンドアクセスネットワークにおける手強い競合技術になっている。特に、PON(passive optical network、受動光ネットワーク)システムがより競争力が高い。
PONシステムでは、光学モジュールが、送受信機システムを実装するための物理的な実体として用いられ、光学モジュールの機能は極めて重要である。すなわち、レーザが通信光波の送出装置として用いられ、レーザの機能は最優先事項である。PON分野の多くの応用例の状況では、レーザデバイスの発振波長は特定の値において安定している必要があり、それによって、物理的発振および光通信規格の技術仕様が満足されることが保証される。したがって、多くの応用例の状況では、光学モジュールのレーザは、一般に、波長を調整するために用いられる半導体冷却器または加熱膜を有し、レーザ波長監視装置を用いてフィードバック調整を実施する必要がある。
図1に示すように、従来のレーザ波長監視装置は、コリメーションレンズ1、第1のフォーカスレンズ2、F−Pエタロン3、2つのビームスプリッタ4aおよび4b、2つの光受信機5aおよび5b、ならびに2つの第2のフォーカスレンズ6aおよび6bを含み、F−Pエタロン3は櫛形フィルタとして機能し、2つのビームスプリッタ4aおよび4bはそれぞれ固定分割比を有するビームスプリッタである。レーザ7によって放出された光は、コリメーションレンズ1を通過した後でコリメートされた光になる。ビームスプリッタ4aはコリメートされた光を特定の比に従って分割し、光の一部は第2のフォーカスレンズ6aを通過した後で光受信機5aによって受け取られ、光の他の部分はビームスプリッタ4aを通過した後でF−Pエタロン3に入射する。ビームスプリッタ4bは、特定の比に従って、F−Pエタロン3を通過する光を分割し、光の一部は第2のフォーカスレンズ6bを通過した後で光受信機5bによって受け取られ、光の他の部分はビームスプリッタ4bを通過し、次いで、第1のフォーカスレンズ2を通過した後で伝達ファイバの入射ポート8に入射する。
PD10およびPD20はそれぞれ2つの光受信機5aおよび5bの最初に較正された光強度であり、PD1およびPD2はそれぞれ2つの光受信機5aおよび5bが実際に受け取る光強度であり、光受信機5bが実際に受け取る光強度と光受信機5aが実際に受け取る光強度との比はA=PD2/PD1であるとする。レーザ波長に赤方偏移が生じると、PD2=PD20+ΔPとなり、レーザ波長に青方偏移が生じると、PD2=PD20−ΔPとなるが、PD1はレーザ波長に応じて変化しない。したがって、波長オフセットは下記のようになる。
ΔA=+ΔP/PD10 (赤方偏移)、およびΔA=−ΔP/PD10 (青方偏移) (1)
したがって、レーザ波長の変化状態は波長オフセットΔAに従って定義され得る。
従来技術は以下のデメリットを有します:2つのビームスプリッタのために、レーザ波長監視装置の全体的なパッケージングサイズが比較的大きくなること及び、パッケージングコストが比較的高くなり、それが現在の開発傾向である小型化および低コストに合わないこと。さらに、この構造のレーザ波長監視装置の監視精度は十分ではない。
本発明の実施形態は、フィルタ、フィルタを製作する方法、およびレーザ波長監視装置を提供し、それによって、レーザ波長監視装置の体積およびコストを低減させ、さらに監視精度を向上させる。
本発明の第1の態様によれば、フィルタが提供される。このフィルタは、2つの半透明体であって、半透明体はそれぞれ、第1の面、第1の面に対してくさび角を形成する第2の面、ならびに第1の面および第2の面の両方と交差する第3の面を有し、2つの半透明体の第1の面は互いに平行であり、2つの半透明体の第2の面は互いに平行である、半透明体と、
ビーム分割膜であって、両側の面がそれぞれ2つの半透明体の第1の面と結合される、ビーム分割膜と、
2つの反射膜であって、それぞれ2つの半透明体の第2の面と結合される、反射膜と、を備える。
第1の態様の可能な実装形態では、くさび角が45°±λであり、λは設定された許容可能な誤差である。
第1の態様の可能な実装形態では、2つの半透明体の第3の面が互いに平行または非平行である。
第1の態様の可能な実装形態では、2つの半透明体において、半透明体の一方は少なくとも2つの半透明基板を含み、反射防止被覆が2つの隣接する半透明基板の間に配設される。
本発明の第2の態様によれば、前述の技術的解決策のいずれか1つによるフィルタを製作する方法が提供される。この方法は、2つの半透明体の第2の面に別々に反射膜をメッキし、一方の半透明体の第1の面にビーム分割膜をメッキするステップと、
他方の半透明体の第1の面をビーム分割膜と結合するステップと、を含む。
第2の態様の可能な実装形態では、他方の半透明体の第1の面をビーム分割膜と結合するステップは、具体的に、
他方の半透明体の第1の面をビーム分割膜に接合するステップである。
本発明の第3の態様によれば、レーザ波長監視装置が提供される。この装置は、2つの光受信機および前述の技術的解決策のいずれか1つによるフィルタを備え、
フィルタの2つの反射膜はそれぞれレーザの送出ポートおよび伝達ファイバの入射ポートに対向し、フィルタの2つの第3の面はそれぞれ2つの光受信機の受信ポートに対向する。
第3の態様の可能な実装形態では、レーザ波長監視装置は、レーザの送出ポートと、レーザの送出ポートに対向する、フィルタの反射膜との間に配置されるコリメーションレンズをさらに含む。
第3の態様の可能な実装形態では、コリメーションレンズの一方の側は平面であり、コリメーションレンズのこの側に対向する、フィルタの反射膜と結合される。
第3の態様の可能な実装形態では、レーザ波長監視装置は、伝達ファイバの入射ポートと、伝達ファイバの入射ポートに対向する、フィルタの反射膜との間に配置される第1のフォーカスレンズをさらに含む。
第3の態様の可能な実装形態では、第1のフォーカスレンズの一方の側は平面であり、第1のフォーカスレンズのこの側に対向する、フィルタの反射膜と結合される。
第3の態様の可能な実装形態では、レーザ波長監視装置は、フィルタの2つの第3の面と、フィルタの2つの第3の面に対向する、光受信機の受信ポートとの間にそれぞれ配置される2つの第2のフォーカスレンズをさらに含む。
第3の態様の可能な実装形態では、フィルタにおいて、少なくとも2つの半透明基板を含む半透明体が、ビーム分割膜の一方の側で、伝達ファイバの入射ポートの近傍に配置される。
本発明の実施形態の技術的解決策では、ビーム分割膜が2つの半透明体の第1の面間に配設され、そのため、レーザ波長監視装置の波長監視光路が従来技術の光路と比較して大幅に短くなり、レーザ波長監視装置の体積が比較的小さくなり、小型パッケージングを実現することができ、それによって製品のパッケージングコストが大幅に低くなる。さらに、フィルタを有するレーザ波長監視装置は、透過強度および反射強度を監視することができ、また、波長オフセットの監視精度が2倍になる。したがって、レーザ波長監視装置は、監視精度が従来技術の精度と比較して高くなる。
従来のレーザ波長監視装置の概略構造図である。 本発明の第1の実施形態によるフィルタの第1の実装形態の概略構造図である。 本発明の第1の実施形態によるフィルタの第2の実装形態の概略構造図である。 本発明の第5の実施形態によるフィルタを製作する方法の概略フローチャートである。 本発明の或る実施形態によるフィルタを製作するプロセスの概略図である。 本発明の第7の実施形態によるレーザ波長監視装置の概略構造図である。 本発明の第8の実施形態によるレーザ波長監視装置の概略構造図である。 本発明の第9の実施形態によるレーザ波長監視装置の概略構造図である。 本発明の第10の実施形態によるレーザ波長監視装置の概略構造図である。 本発明の第11の実施形態によるレーザ波長監視装置の概略構造図である。
レーザ波長監視装置の体積を小さくし、コストを下げ、さらに監視精度を改善するために、本発明の実施形態では、フィルタ、フィルタを製作する方法、およびレーザ波長監視装置が提供される。本発明の実施形態の技術的解決策では、ビーム分割膜が2つの半透明体の第1の面間に配設され、そのため、レーザ波長監視装置の波長監視光路が従来技術の光路と比較して大幅に短くなり、レーザ波長監視装置の体積が比較的小さくなり、小型パッケージングを実現することができ、それによってパッケージングコストが比較的低くなる。さらに、フィルタを有するレーザ波長監視装置は、透過強度および反射強度を監視することができ、また、波長オフセットの監視精度が2倍になる。したがって、レーザ波長監視装置はさらに、監視精度が従来技術の精度と比較して高くなる。本発明のこれらの目的、技術的解決策、および利点をよりわかりやすくするために、以下に具体的な実施形態を列挙することによって本発明をさらに詳細に説明する。
図2aに示すように、本発明の第1の実施形態におけるフィルタは、
2つの半透明体9であって、半透明体9はそれぞれ、第1の面10、第1の面10に対してくさび角を形成する第2の面11、ならびに第1の面10および第2の面11の両方と交差する第3の面12を有し、2つの半透明体9の第1の面10は互いに平行であり、2つの半透明体9の第2の面11は互いに平行である、半透明体9と、
ビーム分割膜13であって、両側の面がそれぞれ2つの半透明体9の第1の面10と結合されるビーム分割膜13と、
2つの反射膜14であって、それぞれ2つの半透明体9の第2の面11と結合される反射膜14と、を含む。
半透明体9は、半透明基板を1つだけ含むか、または、2つ以上の半透明基板を含み得る。図2bに示す実施形態では、2つの半透明体9において、半透明体9の一方は少なくとも2つの半透明基板16を含み、反射防止被覆17が2つの隣接する半透明基板16の間に配設される。反射防止被覆17を配置することによって、光の損失が低減され得る。半透明基板16の材料は限定されないが、ガラスなどの材料が選択され使用され得、半透明基板の断面形状は三角形、台形などとされ得る。
平行干渉共鳴モード(F−P干渉およびG−T干渉を含むが、これらに限定されるものではない)を用いてフィルタリング機能を実現するために、2つの半透明体9の第1の面10は互いに平行であり、2つの半透明体9の第2の面11は互いに平行である。ビーム分割膜13は固定分割比を有し、この比に従って入射レーザ光を分割し得、一方の部分は反射され、他方の部分は透過する。まず一方の半透明体9の第1の面10上にビーム分割膜13がメッキされ、次いで他方の半透明体9の第1の面10がビーム分割膜13に接合され、それによって、安定な平行干渉共鳴がフィルタ内に形成され得ることが保証される。反射膜14は、一般に、異なる厚さの複数の膜の層が交互に配置されている。これらの膜の層は二酸化シリコン膜の層、二酸化タンタル膜の層などとし得る。これらの膜の層の特定の構造の設計は従来技術であり、本明細書では詳細を重ねて説明しない。
くさび角は特定の値に限定されない。本発明の第2の実施形態におけるフィルタではくさび角が45°±λであり、ここでλは設定された許容可能な誤差であり、例えば1°である。この値の範囲内でくさび角を選択し用いることによって、フィルタの光路の設計が比較的簡単かつ好都合となり得、それによって、レーザ波長監視装置の内部の機械的な部分のレイアウトが容易になる。
本発明の第3の実施形態におけるフィルタでは、2つの半透明体9の第3の面12が互いに平行ではない。本発明の第4の実施形態におけるフィルタでは、2つの半透明体9の第3の面12が互いに平行である。2つの半透明体9の第3の面12を互いに平行に配設することによって、レーザ波長監視装置の2つの光受信機が対称位置に配設され得、それによって、光路の設計ならびに製品の簡潔さおよび小型化がさらに容易になり、製品のパッケージングコストがさらに低減される。
図3および図4に示すように、本発明の第5の実施形態におけるフィルタを製作する方法は、下記のステップを含む。
ステップ101:2つの半透明体の第2の面に別々に反射膜をメッキし、一方の半透明体の第1の面上にビーム分割膜をメッキする。
ステップ102:他方の半透明体の第1の面をビーム分割膜と結合する。
本発明の第6の実施形態におけるフィルタを製作する方法では、ステップ102で、具体的には接合技術を用いることによって他方の半透明体の第1の面をビーム分割膜と結合する。好ましくは光学接合剤接合技術が用いられる。光学接合剤接合は、別の結合剤および高圧が必要とされない場合には、一連の表面処理を実施した後で2つの同種または異種材料を緊密に貼り合わせて室温で光学接合剤を形成し、次いで、この光学接合剤に熱処理を施して恒久的な接合を得ることである。レーザ応用例の態様では、この技術は、レーザの温度性能およびビームの質を大幅に改善するだけでなく、レーザシステムの統合を容易にする。
図5に示すように、本発明の第7の実施形態におけるレーザ波長監視装置は、2つの光受信機5aおよび5bならびに前述の実施形態のいずれか1つによるフィルタ15を含む。
フィルタ15の2つの反射膜14はそれぞれレーザ7の送出ポートおよび伝達ファイバの入射ポート8に対向し、フィルタ15の2つの第3の面12はそれぞれ2つの光受信機5aおよび5bの受信ポートに対向する。
光受信機5aおよび5bは、フォトダイオードを用いて、受け取ったレーザ光の強度を検出し得る。
図6に示す第8の好ましい実施形態を参照すると、レーザ波長監視装置は、レーザ7の送出ポートと、レーザ7の送出ポートに対向する、フィルタ15の反射膜14との間に配置されるコリメーションレンズ1と、伝達ファイバの入射ポート8と、伝達ファイバの入射ポート8に対向する、フィルタ15の反射膜14との間に配置される第1のフォーカスレンズ2とをさらに含む。コリメーションレンズ1および第1のフォーカスレンズ2は、レーザ7および伝達ファイバの入射ポート8の構造内でそれぞれ設計されてもよい。ただし、この場合、レーザ7および伝達ファイバの入射ポート8のサイズが比較的大きく、レーザ7および伝達ファイバの入射ポート8の構造がやや複雑になり、コリメーションレンズ1および第1のフォーカスレンズ2の位置を調整することも不便である。
図6に示す好ましい実施形態をさらに参照すると、レーザ波長監視装置は、フィルタ15の2つの第3の面12と光受信機5aおよび5bの受信ポートとの間にそれぞれ配置され、フィルタ15の2つの第3の面12に対向する2つの第2のフォーカスレンズ6aおよび6bをさらに含む。上記同様、代わりに、第2のフォーカスレンズ6aおよび6bは、光受信機5aおよび5bの構造内でそれぞれ設計され得る。光受信機5aおよび5bの受信面の面積が特定の条件を満たす場合、第2のフォーカスレンズ6aおよび6bの配設が省かれ得ることに留意されたい。
図7に示すように、本発明の第9の実施形態におけるレーザ波長監視装置では、コリメーションレンズ1の一方の側は平面であり、コリメーションレンズ1のこの側に対向する、フィルタ15の反射膜14と結合される。この場合、レーザ波長監視装置のパッケージングサイズは比較的小さく、第1のフォーカスレンズ2の位置は自由に調整され得る。
図8に示すように、本発明の第10の実施形態におけるレーザ波長監視装置では、第1のフォーカスレンズ2の一方の側は平面であり、第1のフォーカスレンズ2のこの側に対向する、フィルタ15の反射膜14と結合される。この場合、レーザ波長監視装置のパッケージングサイズは比較的小さく、コリメーションレンズの位置は自由に調整され得る。
図9に示すように、本発明の第11の実施形態におけるレーザ波長監視装置では、コリメーションレンズ1の一方の側は平面であり、コリメーションレンズ1のこの側に対向する、フィルタ15の反射膜14と結合され、第1のフォーカスレンズ2の一方の側は平面であり、フィルタ15の反射膜14と結合される。この場合、レーザ波長監視装置のパッケージングサイズは第9および第10の実施形態におけるレーザ波長監視装置のパッケージングサイズと比較して最も小さいが、コリメーションレンズおよび第1のフォーカスレンズの位置は自由に調整され得ない。
フィルタ15では、半透明体9の一方が少なくとも2つの半透明基板16を含む場合、入射光の損失を低減させるために、少なくとも2つの半透明基板16を含む半透明体9は、好ましくは、伝達ファイバの入射ポート8の近傍の、ビーム分割膜13の一方の側に設計される。
図6に示す実施形態を例として用いる。レーザ波長監視装置の作動原理は下記のとおりである。レーザ7によって送出されるレーザ光は、コリメーションレンズ1を通過した後でコリメートされた光になり、コリメートされた光はフィルタ15の一方の側の反射膜14に入射し、ビーム分割膜13は受け取ったレーザ光を比に従って分割し、一部は反射されフィルタ15から放出されて第1の光受信機5aに至り、他の部分はフィルタ15の他方の側の反射膜14を透過し、次いで、一部は反射してビーム分割膜13に戻り、ビーム分割膜13は受け取ったレーザ光を比に従って再度分割し、一部は反射してフィルタから放出されて第2の光受信機5bに至る。
ビーム分割膜は2つの半透明体の第1の面間に配設され、そのため、レーザ波長監視装置の波長監視光路は従来技術の光路と比較して大幅に短くなり、レーザ波長監視装置の体積は比較的小さくなり、小型のパッケージングが実現され得、それによって製品のパッケージングコストが大幅に低減される。例えば、従来技術の波長監視装置は一般にXMDパッケージングを用い、パッケージングコストが比較的高い。しかし、この解決策における波長監視装置はTOパッケージングを用い得、それによってパッケージングコストが大幅に低減される。
PD1およびPD2はそれぞれ2つの光受信機5aおよび5bが実際に受け取る光強度であり、フィルタ15の全体的な反射光強度はPfであり、フィルタ15の全体的な透過光強度はPtであるとする。レーザ波長に赤方偏移が生じると、フィルタ15の全体的な透過光強度はPt+ΔPになり、レーザ波長に青方偏移が生じると、フィルタ15の全体的な反射光強度はPf−ΔPになり、PD1はレーザ波長に応じて変化しない。したがって、波長オフセットは下記のようになる。
ΔA=+2ΔP/(Pf+Pt) (赤方偏移)、およびΔA=−2ΔP/(Pf+Pt) (青方偏移) (2)
フィルタ全体としては、Pf+Pt=P0となり、ここでP0は一定値であり、レーザ波長に応じて変化しない。したがって、レーザ波長の変化状態はやはり波長オフセットΔAに従って定義され得る。
式(2)を従来技術の式(1)と比較することによって、レーザ波長監視装置は透過強度および反射強度を監視し得、波長オフセットの監視精度は2倍になることがわかる。したがって、従来技術のレーザ波長監視装置と比較すると、本レーザ波長監視装置は監視精度がより高く、監視能力がより高い。
当業者が本発明の範囲を逸脱することなく本発明に様々な改変および変形をなし得ることは明らかである。本発明は、これらの改変および変形を、これらが下記の特許請求の範囲およびこれらに等価な技術によって定義される保護範囲に含まれる限り、包含することを意図している。
1 コリメーションレンズ
2 第1のフォーカスレンズ
3 F−Pエタロン
4a、4b ビームスプリッタ
5a、5b 光受信機
6a、6b 第2のフォーカスレンズ
7 レーザ
8 入射ポート
9 半透明体
10 第1の面
11 第2の面
12 第3の面
13 ビーム分割膜
14 反射膜
15 フィルタ
16 半透明基板

Claims (13)

  1. 2つの半透明体であって、前記2つの半透明体はそれぞれ、第1の面、前記第1の面に対してくさび角を形成する第2の面、ならびに前記第1の面および前記第2の面の両方と交差する第3の面を有し、前記2つの半透明体の第1の面は互いに平行であり、前記2つの半透明体の第2の面は互いに平行である、半透明体と、
    ビーム分割膜であって、両側の面がそれぞれ前記2つの半透明体の前記第1の面と結合される、ビーム分割膜と、
    2つの反射膜であって、それぞれ前記2つの半透明体の前記第2の面と結合される、反射膜と、
    を備えることを特徴とするフィルタ。
  2. 前記くさび角が45°±λであり、λは設定された許容可能な誤差である、請求項1に記載のフィルタ。
  3. 前記2つの半透明体の第3の面が互いに平行または非平行である、請求項1または2に記載のフィルタ。
  4. 前記2つの半透明体において、前記半透明体の一方は少なくとも2つの半透明基板を含み、反射防止被覆が2つの隣接する半透明基板の間に配設される、請求項3に記載のフィルタ。
  5. 請求項1から4のいずれか一項に記載のフィルタの製作方法であって、
    前記2つの半透明体の第2の面に別々に反射膜をメッキし、一方の前記半透明体の第1の面にビーム分割膜をメッキするステップと、
    他方の前記半透明体の第1の面を前記ビーム分割膜と結合するステップと、
    を含むことを特徴とする製作方法。
  6. 他方の前記半透明体の第1の面を前記ビーム分割膜と結合する前記ステップは、具体的に、
    他方の前記半透明体の前記第1の面を前記ビーム分割膜に接合するステップである、請求項5に記載の製作方法。
  7. 2つの光受信機および請求項1から4のいずれか一項に記載の前記フィルタを備え、
    前記フィルタの2つの反射膜はそれぞれレーザの送出ポートおよび伝達ファイバの入射ポートの管オリフィスに対向し、前記フィルタの前記2つの第3の面はそれぞれ前記2つの光受信機の受信ポートに対向することを特徴とするレーザ波長監視装置。
  8. 前記レーザの前記送出ポートと、前記レーザの前記送出ポートに対向する、前記フィルタの前記反射膜との間に配置されるコリメーションレンズをさらに備える、請求項7に記載のレーザ波長監視装置。
  9. 前記コリメーションレンズの一方の側は平面であり、前記コリメーションレンズの前記側に対向する、前記フィルタの反射膜と結合される、請求項8に記載のレーザ波長監視装置。
  10. 前記伝達ファイバの前記入射ポートの前記管オリフィスと、前記伝達ファイバの前記入射ポートの前記管オリフィスに対向する、前記フィルタの前記反射膜との間に配置される第1のフォーカスレンズをさらに備える、請求項7から9のいずれか一項に記載のレーザ波長監視装置。
  11. 前記第1のフォーカスレンズの一方の側は平面であり、前記第1のフォーカスレンズの前記側に対向する、前記フィルタの前記反射膜と結合される、請求項10に記載のレーザ波長監視装置。
  12. 前記フィルタの前記2つの第3の面と、前記フィルタの前記2つの第3の面に対向する、前記光受信機の前記受信ポートとの間にそれぞれ配置される2つの第2のフォーカスレンズをさらに備える、請求項7から11のいずれか一項に記載のレーザ波長監視装置。
  13. 前記フィルタにおいて、少なくとも2つの半透明基板を備える半透明体が、前記伝達ファイバの前記入射ポートの近傍の、ビーム分割膜の一方の側に配置される、請求項7から12のいずれか一項に記載のレーザ波長監視装置。
JP2016515586A 2013-05-27 2013-05-27 フィルタ、フィルタを製作する方法、およびレーザ波長監視装置 Expired - Fee Related JP6047811B2 (ja)

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/CN2013/076273 WO2014190473A1 (zh) 2013-05-27 2013-05-27 滤波器、滤波器的制造方法和激光波长监控装置

Publications (2)

Publication Number Publication Date
JP2016520218A JP2016520218A (ja) 2016-07-11
JP6047811B2 true JP6047811B2 (ja) 2016-12-21

Family

ID=51987837

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP2016515586A Expired - Fee Related JP6047811B2 (ja) 2013-05-27 2013-05-27 フィルタ、フィルタを製作する方法、およびレーザ波長監視装置

Country Status (11)

Country Link
US (1) US9678277B2 (ja)
EP (1) EP2995979B1 (ja)
JP (1) JP6047811B2 (ja)
KR (1) KR101807684B1 (ja)
CN (1) CN104380160B (ja)
AU (1) AU2013391380B2 (ja)
CA (1) CA2913482C (ja)
ES (1) ES2710558T3 (ja)
MX (1) MX347531B (ja)
RU (1) RU2660761C2 (ja)
WO (1) WO2014190473A1 (ja)

Families Citing this family (7)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
AU2013391380B2 (en) * 2013-05-27 2016-06-23 Huawei Technologies Co., Ltd. Filter and manufacturing method thereof, and laser wavelength monitoring device
CN104730655B (zh) * 2015-03-27 2017-01-04 青岛海信宽带多媒体技术有限公司 一种光学器件及收发一体光器件
CN108873159B (zh) * 2018-06-19 2021-01-01 武汉电信器件有限公司 一种用于掺饵光纤放大器的集成器件
CN109151664B (zh) * 2018-09-11 2021-04-20 陕西千山航空电子有限责任公司 一种双模式导光型音频监控器
CA3164273A1 (en) 2019-12-12 2021-06-17 Brolis Sensor Technology, Uab Solid-state device
KR102537400B1 (ko) 2020-12-31 2023-05-30 주식회사씨아이티시스템 자돈을 위한 보온시스템
WO2023037510A1 (ja) * 2021-09-10 2023-03-16 三菱電機株式会社 波長ロッカー、モニタフォトダイオード、ビームスプリッタおよび波長ロッカーの調芯方法

Family Cites Families (69)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
US4074930A (en) * 1976-01-28 1978-02-21 The United States Of America As Represented By The Secretary Of The Air Force Coaxial optical system
JPS57130001A (en) * 1981-02-05 1982-08-12 Canon Inc Low polalization achromatic beam splitter
US4431258A (en) * 1981-12-15 1984-02-14 Gte Laboratories Incorporated Optical fiber transmission system and dichroic beam splitter therefor
US4627688A (en) * 1983-07-01 1986-12-09 Sano Kiko Co., Ltd. Beam splitter
JPS6069614A (ja) * 1983-09-27 1985-04-20 Mitsubishi Electric Corp 集光装置、及この装置を利用した光学式情報記録、または再生装置
FR2580414B1 (fr) * 1985-04-12 1987-06-05 Telecommunications Sa Dispositif multiplexeur demultiplexeur pour fibres optiques et son procede de fabrication
US4844584A (en) * 1986-06-26 1989-07-04 Fuji Photo Film Co., Ltd. Semiconductor laser beam splitting device
US4859029A (en) * 1986-07-03 1989-08-22 Durell William E Variable ratio beam splitter and beam launcher
US4733926A (en) * 1986-11-10 1988-03-29 Lockheed Missiles & Space Company, Inc. Infrared polarizing beamsplitter
JPH0777038B2 (ja) * 1986-12-25 1995-08-16 ソニー株式会社 光学ピツクアツプ装置
JPH02123321A (ja) * 1988-11-02 1990-05-10 Shojiro Kawakami 光アイソレータの製造方法および同製造方法に用いられる偏光素子アレイ並びに同製造方法で得られた光アイソレータを一体化した光学モジュール
JP2781987B2 (ja) 1989-05-23 1998-07-30 株式会社小松製作所 波長検出装置
JPH04110916A (ja) * 1990-08-31 1992-04-13 Sony Corp 半導体レーザ用合波装置
GB2256725B (en) * 1991-06-10 1995-01-18 Alps Electric Co Ltd Polarising light separation element and light receiving optical device using same
US5164857A (en) * 1991-06-24 1992-11-17 Nanometrics, Incorporated Wide band non-coated beam splitter
US5400179A (en) * 1992-02-18 1995-03-21 Asahi Kogaku Kogyo Kabushiki Kaisha Optical multilayer thin film and beam splitter
JPH06138413A (ja) * 1992-10-29 1994-05-20 Canon Inc プレート型偏光分離装置及び該偏光分離装置を用いた偏光照明装置
US5457558A (en) * 1993-06-30 1995-10-10 Nec Corporation Optical waveguide multiplexer for optical fiber amplifiers
JPH0774343A (ja) * 1993-08-31 1995-03-17 Fujitsu Ltd 集積化光装置及びその製造方法
US5790306A (en) * 1995-06-16 1998-08-04 Global Surgical Corporation Microscope beamsplitter
JP3538987B2 (ja) * 1995-08-17 2004-06-14 富士通株式会社 光レベル監視モジュール及び光レベル監視回路
US5883730A (en) * 1995-12-29 1999-03-16 Lucent Technologies Inc. Optical transceiver for multi-directional and multi-wavelength applications
US6487014B2 (en) * 1996-08-12 2002-11-26 National Research Council Of Canada High isolation optical switch, isolator or circulator having thin film polarizing beam-splitters
US6097521A (en) * 1997-09-26 2000-08-01 Siemens Aktiengesellschaft Optoelectronic module for bidirectional optical data transmission
US6212014B1 (en) * 1997-09-29 2001-04-03 Lsa, Inc. MWIR polarizing beamsplitter cube and method of making the same
US6190014B1 (en) * 1998-03-02 2001-02-20 Nikon Corporation Projection display apparatus
US6320993B1 (en) * 1998-06-05 2001-11-20 Astarte Fiber Networks, Inc. Optical switch pathway configuration using control signals
US6421176B1 (en) * 1998-09-18 2002-07-16 3M Innovative Properties Company Optical isolator
JP3698393B2 (ja) * 1998-12-11 2005-09-21 富士通株式会社 光送受信モジュールの構造及びその製法
JP2003514248A (ja) * 1999-01-29 2003-04-15 エヌイーシートーキン株式会社 ファラデー回転子に対して磁界を印加するための高性能且つ低価格の磁石を備えた光アイソレータ
JP3924104B2 (ja) * 2000-01-28 2007-06-06 信越化学工業株式会社 光ファイバ付きフェルール接続型光アイソレータ
US6587214B1 (en) * 2000-06-26 2003-07-01 Jds Uniphase Corporation Optical power and wavelength monitor
JP2004526999A (ja) * 2001-03-26 2004-09-02 コーニンクレッカ フィリップス エレクトロニクス エヌ ヴィ 光ファイバと協働するトランシーバ装置
US6621580B2 (en) * 2001-05-08 2003-09-16 Precision Photonics Corporation Single etalon wavelength locker
US7116479B1 (en) * 2001-07-19 2006-10-03 Wavesplitter Technologies, Inc. Array polarization beamsplitter and combiner
JP2003045063A (ja) * 2001-07-27 2003-02-14 Olympus Optical Co Ltd 光学ヘッド
US6571033B2 (en) * 2001-09-28 2003-05-27 Corning Incorporated Optical signal device
DE10225176C1 (de) * 2002-05-31 2003-12-24 Infineon Technologies Ag Vorrichtung zum Demultiplexen optischer Signale einer Vielzahl von Wellenlängen
CN2583691Y (zh) * 2002-07-02 2003-10-29 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 光学群组滤波器
JP4062073B2 (ja) * 2002-07-05 2008-03-19 日本ビクター株式会社 色分解及び色合成光学系
US7039278B1 (en) * 2002-07-10 2006-05-02 Finisar Corporation Single-fiber bi-directional transceiver
US6654178B1 (en) * 2002-08-14 2003-11-25 Agilent Technologies, Inc. Immersed non-polarizing beamsplitters
US6838658B2 (en) * 2002-11-12 2005-01-04 Intel Corporation Simple and compact laser wavelength locker
US20040109166A1 (en) * 2002-12-09 2004-06-10 Fibera, Inc. Wavelength Locker With Confocal Cavity
JP2004234818A (ja) * 2003-01-07 2004-08-19 Matsushita Electric Ind Co Ltd 光学ヘッド
JP2004233484A (ja) * 2003-01-29 2004-08-19 Oki Electric Ind Co Ltd 光モジュール
US7145727B2 (en) * 2003-03-07 2006-12-05 Optoplex Corporation Unpolarized beam splitter having polarization-independent phase difference when used as an interferometer
JP4393094B2 (ja) * 2003-04-10 2010-01-06 キヤノン株式会社 光学系
US6922294B2 (en) * 2003-05-02 2005-07-26 International Business Machines Corporation Optical communication assembly
JP2005049821A (ja) * 2003-07-11 2005-02-24 Omron Corp 光合分波器、光集積回路及びそれらを用いた光送受信器
JP4461272B2 (ja) * 2003-12-02 2010-05-12 富士通オプティカルコンポーネンツ株式会社 波長分離素子および光モジュール
JP2005235276A (ja) * 2004-02-18 2005-09-02 Tdk Corp 光ヘッド、光再生装置及び光記録再生装置
WO2005119669A1 (ja) * 2004-06-03 2005-12-15 Matsushita Electric Industrial Co., Ltd. 光記録再生装置用光ヘッド
JP2006195301A (ja) * 2005-01-17 2006-07-27 Konica Minolta Opto Inc 光学素子
US7529029B2 (en) * 2005-07-29 2009-05-05 3M Innovative Properties Company Polarizing beam splitter
JP4348636B2 (ja) * 2005-12-16 2009-10-21 並木精密宝石株式会社 光アイソレータ付きレセプタクルおよびその製造方法
US20070154218A1 (en) * 2005-12-30 2007-07-05 Bookham Technology, Plc Optical discriminators and systems and methods
KR100754641B1 (ko) * 2006-03-02 2007-09-05 삼성전자주식회사 모니터들을 구비한 다파장 양방향 광송수신기
JP2007249129A (ja) * 2006-03-20 2007-09-27 Epson Toyocom Corp 波長分離素子、波長分離素子の製造方法及び光モジュール
WO2007129375A1 (ja) * 2006-04-26 2007-11-15 Okamoto Glass Co., Ltd. 光学素子コンポーネント
CN102346284B (zh) * 2007-03-19 2014-09-10 金定洙 一种利用自立式平行板分束器的激光二极管封装体结构
EP2142953B1 (en) * 2007-04-22 2019-06-05 Lumus Ltd A collimating optical device and system
JP2009105106A (ja) * 2007-10-22 2009-05-14 Hitachi Ltd 光送受信モジュール
US8488238B2 (en) * 2009-08-10 2013-07-16 Chroma Technology Corporation Microscope cube
CN101726872B (zh) * 2009-12-31 2012-09-19 招远招金光电子科技有限公司 一种可切换的低色散光梳状滤波器及方法
JP5796934B2 (ja) * 2010-04-13 2015-10-21 日本オクラロ株式会社 偏波ダイバーシティ光学系装置、復調器及び送受信機
CN101943772A (zh) * 2010-08-26 2011-01-12 华中科技大学 G-t谐振腔与双折射元件结合的可调谐光梳状滤波器
US8705975B2 (en) * 2011-02-24 2014-04-22 Avago Technologies General Ip (Singapore) Pte. Ltd. Single wavelength bidirectional fiber optical link with beam-splitting element
AU2013391380B2 (en) * 2013-05-27 2016-06-23 Huawei Technologies Co., Ltd. Filter and manufacturing method thereof, and laser wavelength monitoring device

Also Published As

Publication number Publication date
ES2710558T3 (es) 2019-04-25
EP2995979B1 (en) 2018-11-14
RU2660761C2 (ru) 2018-07-09
MX347531B (es) 2017-05-02
EP2995979A4 (en) 2016-06-29
WO2014190473A1 (zh) 2014-12-04
CA2913482C (en) 2018-05-15
AU2013391380B2 (en) 2016-06-23
JP2016520218A (ja) 2016-07-11
KR101807684B1 (ko) 2017-12-11
CN104380160A (zh) 2015-02-25
RU2015156205A (ru) 2017-06-28
US20160085028A1 (en) 2016-03-24
EP2995979A1 (en) 2016-03-16
US9678277B2 (en) 2017-06-13
CN104380160B (zh) 2017-12-05
KR20160013160A (ko) 2016-02-03
AU2013391380A1 (en) 2015-12-24
CA2913482A1 (en) 2014-12-04
MX2015016214A (es) 2016-03-11

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JP6047811B2 (ja) フィルタ、フィルタを製作する方法、およびレーザ波長監視装置
US20210119702A1 (en) Single-fiber bidirectional optical transceiver subassembly
WO2021259027A1 (zh) 硅基可调滤波器、激光器及光模块
CN110554463B (zh) 光整合器件及环形器
JP5623675B2 (ja) 光信号多重化方法および光多重化装置
JP2013145356A (ja) 光通信モジュール
US10613339B2 (en) Collimation lens and optical module
US9645315B2 (en) Multiplexer
WO2015157990A1 (zh) NxN并行收发光模块
JP6551193B2 (ja) 光学フィルタ、およびそれを用いた光mimo通信システム
US7173763B2 (en) Optical interleaver and filter cell design with enhanced clear aperture
US6963404B2 (en) Fabry-Perot device compensating for an error of full width at half maximum and method of making the same
CN115621839B (zh) 一种激光装置及其制作方法
KR100935743B1 (ko) 광학 모듈
JP2010113157A (ja) 光受信装置
KR101630354B1 (ko) 양방향 광 송수신 모듈
CN220105430U (zh) 光信号合束结构、发端光器件及光模块
JP2006053200A (ja) エッジフィルタ
CN106785901B (zh) 一种基于模式变换器的硅基可调谐激光器及其实现方法
JP5981888B2 (ja) ビームスプリッタおよびこれを使用した光信号処理装置
Park Technologies for Optically Interconnected CPU
WO2022253405A1 (en) A photonic interposer, a photonic arrangement and a method for manufacturing a photonic interposer
CN118099924A (zh) 一种可调谐激光器的封装结构
JP2010230955A (ja) 光部品及び波長分散補償器
US20130077171A1 (en) Tunable interference filter with shaping prisms

Legal Events

Date Code Title Description
A977 Report on retrieval

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007

Effective date: 20161014

TRDD Decision of grant or rejection written
A01 Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01

Effective date: 20161025

A61 First payment of annual fees (during grant procedure)

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61

Effective date: 20161031

R150 Certificate of patent or registration of utility model

Ref document number: 6047811

Country of ref document: JP

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

R250 Receipt of annual fees

Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250

LAPS Cancellation because of no payment of annual fees