WO2007129375A1 - 光学素子コンポーネント - Google Patents

光学素子コンポーネント Download PDF

Info

Publication number
WO2007129375A1
WO2007129375A1 PCT/JP2006/308726 JP2006308726W WO2007129375A1 WO 2007129375 A1 WO2007129375 A1 WO 2007129375A1 JP 2006308726 W JP2006308726 W JP 2006308726W WO 2007129375 A1 WO2007129375 A1 WO 2007129375A1
Authority
WO
WIPO (PCT)
Prior art keywords
optical
multilayer film
element component
multilayer
optical multilayer
Prior art date
Application number
PCT/JP2006/308726
Other languages
English (en)
French (fr)
Inventor
Lu Chen
Hiromichi Nishimura
Original Assignee
Okamoto Glass Co., Ltd.
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Okamoto Glass Co., Ltd. filed Critical Okamoto Glass Co., Ltd.
Priority to PCT/JP2006/308726 priority Critical patent/WO2007129375A1/ja
Publication of WO2007129375A1 publication Critical patent/WO2007129375A1/ja

Links

Classifications

    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/20—Filters
    • G02B5/28—Interference filters
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B27/00—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00
    • G02B27/28—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising
    • G02B27/283—Optical systems or apparatus not provided for by any of the groups G02B1/00 - G02B26/00, G02B30/00 for polarising used for beam splitting or combining
    • G—PHYSICS
    • G02—OPTICS
    • G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B5/00—Optical elements other than lenses
    • G02B5/30—Polarising elements

Definitions

  • the present invention relates to an optical element component using an optical multilayer film formed by laminating materials having different refractive indexes.
  • FIG. 10 shows an optical glass substrate element having a multilayer film used for an optical filter or the like.
  • the optical glass substrate element 7 has, on the surface of the glass substrate 7b, for example, two types of low-high refractive index dielectric films of a silicon oxide L layer 7a and a tantalum oxide H layer 7c alternately. A film is formed and molded. In the manufacturing process, it is necessary to make the film thickness and film quality as uniform and stable as possible.
  • An optical glass substrate is likely to be deformed due to internal stress accumulated in the film during film formation, a difference in expansion coefficient between materials, and the like.
  • a method has been adopted in which a film is formed on both surfaces of the substrate, or the same material as that of the substrate is bonded onto the multilayer film element with a resin adhesive.
  • Patent Document 1 Japanese Patent Laid-Open No. 07-209516
  • Patent Document 2 JP 2000-206326 A
  • the multilayer film is composed of two types of materials, an oxide silicon L layer and an oxide tantalum H layer, and the last L layer 7a is in contact with air.
  • the film forming process it is necessary to deposit the film to a predetermined film thickness while monitoring the film thickness in a vacuum. At that time, in order to make the film thickness 'stabilize the film quality as much as possible', the monitor accuracy is increased, the temperature distribution is made uniform, and the evaporation source is stabilized. Is required.
  • the multilayer film is bonded to a predetermined position in the optical element component such as a lens, fiber, or waveguide using an organic polymer adhesive.
  • an organic polymer adhesive e.g., a UV curable adhesive or a thermosetting resin adhesive is used.
  • the PBS polarizing element which is an optical component used in the illumination optical system of the projector, is manufactured by cutting a multilayer filter glass substrate that is alternately bonded and laminated using the adhesive as described above.
  • the present invention has been made in view of the above situation, and an object thereof is to provide an optical element component excellent in durability and optical reliability.
  • an optical multilayer film device is formed by laminating at least two kinds of materials having different refractive indexes so that adjacent layers have different materials, and at least one of them is formed.
  • the SiO layer of the first multilayer film and the optically transparent substrate are reacted with a chemical solution containing hydrofluoric acid.
  • the laminated material for forming the multilayer film of the present invention includes silicon oxide, magnesium fluoride, aluminum fluoride, calcium fluoride, lanthanum fluoride, aluminum oxide, tantalum oxide, niobium oxide, zirconium oxide, Titanium oxide, titanium hafnium, cerium oxide, zinc oxide, silicon, silver, etc. can be used.
  • quartz glass or silicate glass in which two or more kinds of materials having different refractive indexes are laminated and formed such that materials of adjacent layers are different and an SiO layer is formed as the outermost layer.
  • the outermost layer is SiO
  • glass substrates can be joined together. It is also possible to repeat the pasting operation as many times as necessary according to the target function.
  • the surfaces treated with the hydrofluoric acid are heated to 100 ° C. to 450 ° C. under pressure.
  • the composite optical element component in which the multilayer films are bonded and the boundary surface of the multilayer films is inclined or perpendicular to the incident light can be a multiplexing / demultiplexing prism and a polarization beam splitter.
  • the intermediate bonding layer of the adhesive can be omitted, and attenuation and loss due to light absorption / scattering in the bonding bonding layer can be reduced.
  • the dimensional accuracy of the joint is extremely high.
  • multilayer films and multilayer films and glass substrates or glass substrates can be bonded together without an intermediate bonding layer, for example, compared with optical multilayer elements using a resin-based adhesive layer, high temperature, strong ultraviolet light Higher durability is obtained when used in the environment.
  • FIG. 1 is an explanatory view showing the structure of a polarizing beam splitter according to the first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 is a process diagram showing manufacturing steps of the polarization beam splitter shown in FIG.
  • FIG. 3 is an explanatory view showing a multilayer film used in the polarization beam splitter shown in FIG. [0020]
  • a polarizing beam splitter 10 according to the present embodiment includes a glass substrate 12 formed into a right-angle prism shape and a multilayer film 16 deposited thereon and a right-angle prism glass member 14 (same as the glass substrate 12). The multi-layer film 16 is sandwiched between the glass substrate 12 and the glass member 14.
  • a multilayer film 16 is formed on the glass substrate 12.
  • the multilayer film 16 on the glass substrate 12 is formed by alternating vapor deposition of TaO having a high refractive index and SiO material having a low refractive index.
  • the uppermost layer of the multilayer film 16 formed on the upper layer is an SiO layer.
  • the uppermost SiO layer of the formed multilayer film 16 is mixed with water fluoride having a concentration of 0.5 vol% or more.
  • the uppermost SiO layer of the multilayer film 16 is made of glass.
  • Bonded with member 16 heat-treated at 100 ° C to 450 ° C under pressure, and bonded by chemical bonding.
  • each multilayer film is disposed with an inclination of 45 degrees with respect to the incident light SP.
  • S indicates S-polarized wave
  • P indicates P-polarized wave.
  • FIG. 4 is an explanatory view showing the structure of a laser or a high-intensity LED beam splitter (hereinafter referred to as “laser beam splitter”) according to a second embodiment of the present invention.
  • 5 and 6 are process diagrams showing manufacturing steps of the laser beam splitter shown in FIG.
  • the laser beam splitter 20 includes a dielectric material containing SiO and having a different refractive index.
  • a multilayer film mirror 22, 24, 26 that reflects light of a predetermined wavelength and a glass substrate 28, 30, 32, 34 are stacked.
  • the multilayer mirrors 22, 24, and 26 are formed on the glass substrates 28, 30, and 32, respectively, and the glass substrate 34 is bonded to the uppermost portion. Form glass block 36 as shown.
  • the laser beam splitter 20 is completed by cutting out and polishing as indicated by the dotted line in the figure. Since the multilayer film forming method and the bonding method are the same as those in the first embodiment described above, a duplicate description is omitted.
  • the incident laser beam 200 is divided into three parts with equal intensity, and three parallel beams 210, 220, 23
  • FIG. 7 is an explanatory diagram showing the structure of the color separation / synthesis prism according to the third embodiment of the present invention.
  • the color separation / synthesis prism 30 according to the present embodiment is made of a dielectric material including SiO and having a different refractive index.
  • the color separation / synthesis prism 30 according to the present embodiment can be formed by replacing the multilayer mirror in Embodiment 2 with a dichroic film. Since the multilayer film forming method and the bonding method are the same as those in the first embodiment described above, redundant description is omitted.
  • the dichroic films 42, 44, and 46 are multilayer films that selectively reflect and transmit light in three wavelength ranges of red, green, and blue. As shown in Fig. 7, the incident white light 400 is decomposed into red R, green G, and blue B light. Conversely, R, G, B light can be incident and synthesized into white light. Since the manufacturing method is substantially the same as that of Example 2, the description thereof is omitted.
  • Example 4
  • FIG. 8 is an explanatory view showing the structure of a cross dichroic prism according to a fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is a process diagram showing manufacturing steps of the cross dichroic prism shown in FIG.
  • the cross dichroic prism (X cube) 50 includes four prisms 52, 54, 56, 58 and dichroic multilayer films 62, 64, 66, 68! / ⁇
  • a cross dichroic prism (X cube) which is a composite prism that forms an image at the end of the liquid crystal projector, can be manufactured with high reliability.
  • the refractive indexes including SiO are different on the four prisms 52, 54, 56, 58.
  • a dichroic multilayer film 62, 64, 66, 68 which also has a dielectric material force, is vapor-deposited and bonded together to produce a color combining optical prism. Since the multilayer film forming method and the bonding method are the same as those in the first embodiment described above, a duplicate description is omitted.
  • the cross dichroic prism (X cube) 50 according to the present embodiment, as shown in FIG. 8, R, G, B light 510, 520, 530 is synthesized and emitted as light 500.
  • the product of the present invention is applicable to the present invention even in the case of the above-described polarization separation film, dichroic multilayer film, other antireflection film, and the like, in which the type of multilayer film is not particularly limited.
  • a multilayer optical design can be made in advance, and since the shape of the member to be joined can be changed, it can be applied to optical functional elements such as multiplexing / demultiplexing elements and polarization control elements for each wavelength.
  • FIG. 1 is an explanatory view showing the structure of a polarizing beam splitter according to a first embodiment of the present invention.
  • FIG. 2 shows a manufacturing process of the polarizing beam splitter shown in FIG. 1, and (A) shows a film forming process of a multilayer film.
  • FIG. 3 is an explanatory view showing a multilayer film used in the polarization beam splitter shown in FIG. 1.
  • FIG. 4 is an explanatory view showing the structure of a laser beam splitter according to a second embodiment of the present invention.
  • FIG. 5 is a process diagram showing a manufacturing process of the laser beam splitter shown in FIG. 4.
  • FIG. 6 is a process diagram showing a manufacturing process of the laser beam splitter shown in FIG. 4.
  • FIG. 7 is an explanatory view showing the structure of a color separation / synthesis prism according to a third embodiment of the present invention.
  • FIG. 8 is an explanatory view showing the structure of a cross dichroic prism according to a fourth embodiment of the present invention.
  • FIG. 9 is a process diagram showing a manufacturing process of the cross dichroic prism shown in FIG. 8.
  • FIG. 10 is an explanatory diagram for explaining a conventional example.

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Optical Elements Other Than Lenses (AREA)
  • Polarising Elements (AREA)

Abstract

　本発明に係る光学多層膜素子は、少なくとも２種の屈折率の異なる材料を隣接する層の材料が異なるように積層して形成され、少なくとも一方の表面にＳｉＯ２層を有する第１の多層膜と；光学透明基板とを備える。そして、前記第１の多層膜のＳｉＯ２層と、前記光学透明基板とを、フッ化水素酸を含む薬液で反応させ、化学接合により貼り合わせている。 　本発明によれば、接着剤の中間接合層を省略することができ、接着接合層における光の吸収散乱による減衰や損失を減らすことができる。接合の寸法精度は極めて高い。また、多層膜同士、多層膜とガラス基板あるいはガラス基板同士を中間接合層なしで貼り合わせることができるので、例えば、樹脂系接着層を用いた光学多層素子に比べて、高温、強紫外線環境中で使用したときに、より高い耐久性が得られる。

Description

明 細 書
光学素子コンポーネント
技術分野
[0001] 本発明は、屈折率の異なる材料を積層して成形される光学多層膜を用いた光学素 子コンポーネントに関する。 背景技術
[0002] 図 10には、光学フィルタなどに使用される多層膜を有する光学ガラス基板素子を 示す。図に示すように、光学ガラス基板素子 7は、ガラス基板 7bの表面に、例えば、 酸化珪素 L層 7aと酸化タンタル H層 7cの二種類の低'高屈折率の誘電体膜が、交互 に成膜されて成形される。製造工程では、膜厚及び膜質をできるだけ安定に均質ィ匕 する必要がある。
[0003] 光学ガラス基板は、成膜時に膜に蓄積される内部応力や材料間の膨張率差等によ り基板に変形が生じ易い。これを避けるために、基板の両面に成膜する、あるいは、 多層膜素子の上に基板と同じ材料を榭脂系の接着剤により貼り合わせるといった方 法が採られてきた。
[0004] 特許文献 1 :特開平 07— 209516
特許文献 2：特開 2000— 206326
発明の開示
発明が解決しょうとする課題
[0005] 上記多層膜は、酸ィ匕珪素 L層と酸ィ匕タンタル H層の二種類の材料により構成され、 最後の L層 7aが空気と接する。成膜工程では、真空中で膜厚を監視しながら所定の 膜厚に堆積させる必要がある。その際、膜厚'膜質をできる限り安定化'均質ィ匕する ために、モニタ精度を上げ、温度分布を均一化させ、更には蒸発源の安定ィ匕をさせ るなどの厳し 、成膜条件が要求される。
[0006] 成膜条件が不安定であると、膜厚誤差やパーティクル異常成長などが多発し、製 品の光学特性が低下することがある。また、光学多層膜素子の積層数が多くなるほど 成膜プロセスが長くなるため、良好な成膜が困難となる。更に、多層化による応力に 起因して、多層膜光学素子自体に形状変化が生じ、素子の有効エリアの面積を減少 させる。
[0007] 上記のような多層膜素子を用いた光学コンポーネントでは、多層膜が有機高分子 類接着剤を用いてレンズ、ファイバーや導波路などの光学素子コンポーネント中の所 定の位置に接合される。接着剤としては、 UV硬化接着剤あるいは、熱硬化榭脂接 着剤が用いられる。プロジェクターの照明光学系に用いられる光学部品である PBS 偏光素子は、前述のような接着剤を用い、多層膜フィルタガラス基板を交互に接着- 積層したものを切断して製造される。
[0008] 接着剤を使用した場合、光が光路上の接合層を通過する際に、光の損失減衰が発 生する。特に、榭脂系接着剤を用いた場合には、光源としてハイパワーレーザを使用 した時、あるいは装置自体が高温環境に曝された時に、榭脂自体の特性により、素 子の耐熱劣化や紫外線劣化等を生じる場合がある。
[0009] 本発明は上記のような状況に鑑みてなされたものであり、耐久性と光学信頼性に優 れた光学素子コンポーネントを提供することを目的とする。
課題を解決するための手段
[0010] 上記課題を解決するために、本発明に係る光学多層膜素子は、少なくとも 2種の屈 折率の異なる材料を隣接する層の材料が異なるように積層して形成され、少なくとも 一方の表面に SiO層を有する第 1の多層膜と;光学透明基板とを備える。そして、前
2
記第 1の多層膜の SiO層と、前記光学透明基板とを、フッ化水素酸を含む薬液で反
2
応させ、化学的接合により貼り合わせている。
[0011] 本発明の多層膜を形成する積層材料としては、酸化珪素、フッ化マグネシウム、フ ッ化アルミニウム、フッ化カルシウム、フッ化ランタン、酸化アルミニウム、酸化タンタル 、酸化ニオブ、酸ィ匕ジルコニウム、酸ィ匕チタニウム、酸ィ匕ハフニウム、酸ィ匕セリウム、酸 化亜鉛、シリコン、銀などを使用することができる。
[0012] 例えば、 2種以上の屈折率の異なる材料を、隣接する層の材料が異なるように積層 して形成させ、最外層に SiO層を形成させた石英ガラスあるいはケィ酸塩系ガラス
2
基板を用意する。また、同様に最外層に SiO
2を有する多層膜ガラス基板、あるいは 多層膜を有しない石英ガラス基板あるいは各種のシリコン系透明ガラス基板を用意 する。そして、これらをフッ化水素酸を含む薬液で反応させ、化学接合を形成させる ことにより貼り合わせる。
[0013] なお、ガラス基板同士の接合も可能である。また、目的機能に応じて貼り合せ操作 を必要回数繰り返して構成することもできる。
[0014] フッ化水素酸を含む薬液で反応させる際には、例えば、当該フッ素水素酸で処理 された表面同士を、圧力をかけて 100°C〜450°Cに加熱する。
[0015] 上記多層膜を接合し、当該多層膜の境界面が入射光に対して傾斜あるいは垂直 に配置する複合光学素子コンポーネントは、合分波プリズムと偏光ビームスプリッタな どとすることができる。
発明の効果
[0016] 上記のような本発明によれば、接着剤の中間接合層を省略することができ、接着接 合層における光の吸収散乱による減衰や損失を減らすことができる。接合の寸法精 度は極めて高い。また、多層膜同士、多層膜とガラス基板あるいはガラス基板同士を 中間接合層なしで貼り合わせることができるので、例えば、榭脂系接着層を用いた光 学多層素子に比べて、高温、強紫外線環境中で使用したときに、より高い耐久性が 得られる。
[0017] 接合界面でフッ化水素酸による結合破壊と再組織ィ匕によるフッ素と関与している強 い化学結合が形成されるので、いわゆる物理的なオプティカルコンタクト法による接 合に比べて低 、接合温度でも強 ヽ接合強度が得られ、高温加熱が好ましくな 、光学 素子の作製に対応できる。また、予め光学設計された多層膜を積層することによって 、所定の光学特性を有する光学機能性素子を容易に作成することができる。 発明を実施するための最良の形態
[0018] 本発明の実施形態について、実施例 1〜実施例 4を参照しつつ詳細に説明する。
実施例 1
[0019] 図 1は、本発明の第 1実施例に係る偏光ビームスプリッタの構造を示す説明図であ る。図 2は、図 1に示す偏光ビームスプリッタの製造工程を示す工程図である。また、 図 3は、図 1に示す偏光ビームスプリッタに使用される多層膜を示す説明図である。 [0020] 本実施例に係る偏光ビームスプリッタ 10は、直角プリズム状に成形されたガラス基 板 12に多層膜 16を蒸着したものと直角プリズムガラス部材 14 (ガラス基板 12と同じ） とを備え、ガラス基板 12とガラス部材 14で多層膜 16を挟んだ格好となる。
[0021] 偏光ビームスプリッタ 10の製造に際しては、図 2に示すように、ガラス基板 12に多 層膜 16の成膜を行う。図 3に示すように、ガラス基板 12上の多層膜 16は、高屈折率 の Ta Oと低屈折率の SiO材料の交互蒸着により成膜される。ここで、ガラス基板 12
2 5 2
の上に形成された多層膜 16の最上層は、 SiO層にしておく。
2
[0022] 次に、成膜した多層膜 16の最上層の SiO層を、濃度が 0. 5vol%以上のフッ化水
2
素酸水溶液を用いて表面処理する。そして、多層膜 16の最上層の SiO層を、ガラス
2
部材 16と貼り合わせ、圧力をかけて 100°C〜450°Cで熱処理を行い、化学的接合に よって接合する。
[0023] なお、図 1に示すように、各多層膜の境界面は、入射光 SPに対して 45度を傾いて 配置されている。図中、「S」は S偏光波を示し、「P」は P偏光波を示す。
実施例 2
[0024] 図 4は、本発明の第 2実施例に係るレーザあるいは高輝度 LEDビームスプリッタ（以 降、「レーザビームスプリッタ」と称する）の構造を示す説明図である。図 5及び図 6は 、図 4に示すレーザビームスプリッタの製造工程を示す工程図である。
[0025] 本実施例に係るレーザビームスプリッタ 20は、 SiOを含む屈折率の異なる誘電体
2
材料が積層され、所定の 1つの波長の光を反射させる多層膜ミラー 22, 24, 26と、ガ ラス基板 28, 30, 32, 34とを備えて ヽる。
[0026] レーザビームスプリッタ 20の製造に際しては、多層膜ミラー 22, 24, 26を各々ガラ ス基板 28, 30, 32の上に形成し、最上部にガラス基板 34を接合して、図 6に示すよ うなガラスブロック 36を成形する。次に、図の中の点線のように切り出し、研磨してレ 一ザ一ビームスプリタ 20を完成させる。なお、多層膜の形成方法'接合方法は上述し た第 1実施例と同様であるため、重複した説明は省略する。
[0027] このような構造のレーザビームスプリッタ 20においては、図 4で示すように入射した レーザビーム 200は、均等な強度で 3分割され、 3本の平行なビーム 210, 220, 23
0として出射される。 実施例 3
[0028] 図 7は、本発明の第 3実施例に係る色分解/合成プリズムの構造を示す説明図であ る。本実施例に係る色分解/合成プリズム 30は、 SiOを含む屈折率の異なる誘電体
2
材料が積層されたダイクロイツク膜 42, 44, 46と、 4枚のガラス基板とを備えている。 本実施例に係る色分解/合成プリズム 30は、実施例 2での多層膜ミラーをダイクロイツ ク膜に換えることによって成形することができる。なお、多層膜の形成方法'接合方法 は上述した第 1実施例と同様であるため、重複した説明は省略する。
[0029] ダイクロイツク膜 42、 44、 46は赤，緑，青の 3つ波長域の光を選択的に反射および 透過する多層膜である。図 7で示すように、入射した白色光 400が赤 R,緑 G,青 Bの 光に分解される。また、逆に R, G, Bの光を入射して、白色光に合成することもできる 。製造方法は、実施例 2と実質的に同じであるため、説明については省略する。 実施例 4
[0030] 図 8は、本発明の第 4実施例に係るクロスダイクロイツクプリズムの構造を示す説明 図である。図 9は、図 8に示すクロスダイクロイツクプリズムの製造工程を示す工程図 である。
[0031] 本実施例に係るクロスダイクロイツクプリズム（Xキューブ） 50は、 4個のプリズム 52, 54, 56, 58と、ダイクロイツク多層膜 62, 64, 66, 68とを備えて!/ヽる。本実施 ί列にお いては、液晶プロジェクターの最後に結像させる合成プリズムであるクロスダイクロイツ クプリズム (Xキューブ)を高信頼性で製造可能である。
[0032] 本実施例に係るクロスダイクロイツクプリズム (Xキューブ） 50の製造に際しては、図 9に示すように、 4個のプリズム 52, 54, 56, 58の上に SiOを含む屈折率の異なる
2
誘電体材料力もなる、ダイクロイツク多層膜 62, 64, 66, 68を蒸着し、互いに接合し て、色合成光学プリズムを作製する。なお、多層膜の形成方法'接合方法は上述した 第 1実施例と同様であるため、重複した説明は省略する。
[0033] 本実施例に係るクロスダイクロイツクプリズム (Xキューブ） 50によれば、図 8で示すよ うに、 R, G, Bの光 510, 520, 530を合成させ、光 500として出射させることができる 産業上の利用可能性 [0034] 本発明品には、多層膜の種類が特に限定されたものではなぐ上述した偏光分離 膜、ダイクロイツク多層膜、その他の反射防止膜等の場合にも本発明に適用される。 予めの多層膜光学設計することができ、又、接合する部材の形を変えられるので、各 波長の合分波素子、偏光制御素子などの光学的な機能性素子に適用できる。 図面の簡単な説明
[0035] [図 1]図 1は、本発明の第 1実施例に係る偏光ビームスプリッタの構造を示す説明図 である。
[図 2]図 2は、図 1に示す偏光ビームスプリッタの製造工程を示し、（A)は多層膜の成 膜工程を示す。
[図 3]図 3は、図 1に示す偏光ビームスプリッタに使用される多層膜を示す説明図であ る。
[図 4]図 4は、本発明の第 2実施例に係るレーザビームスプリッタの構造を示す説明図 である。
[図 5]図 5は、図 4に示すレーザビームスプリッタの製造工程を示す工程図である。
[図 6]図 6は、図 4に示すレーザビームスプリッタの製造工程を示す工程図である。
[図 7]図 7は、本発明の第3実施例に係る色分解/合成プリズムの構造を示す説明図 である。
[図 8]図 8は、本発明の第 4実施例に係るクロスダイクロイツクプリズムの構造を示す説 明図である。
[図 9]図 9は、図 8に示すクロスダイクロイツクプリズムの製造工程を示す工程図である
[図 10]図 10は、従来例を説明するための説明図である。
符号の説明
[0036] 10 偏光ビームスプリッタ
12 ガラス基板
14 ガラス部材
16, 22, 24, 2642, 44, 46, 62, 64, 66, 68 多層膜
20 レーザビームスプリッタ 色分解/合成プリズム

Claims

請求の範囲
[1] 少なくとも 2種の屈折率の異なる材料を隣接する層の材料が異なるように積層して 形成され、少なくとも一方の表面に SiO層を有する第 1の多層膜と；
2
光学透明基板とを備え、
前記第 1の多層膜の SiO層と、前記光学透明基板とを、フッ化水素酸を含む薬液
2
で反応させ、化学的接合により貼り合わせたことを特徴とする光学素子コンポーネン
[2] 前記光学透明基板は、ガラス基板であることを特徴とする請求項 1に記載の光学素 子コンポーネント。
[3] 前記光学透明基板は、プリズムであることを特徴とする請求項 1に記載の光学素子 コンポーネント。
[4] 前記多層膜の境界面が入射光に対して傾斜ある 、は垂直に配置されることを特徴 とする請求項 1, 2又は 3に記載の光学多層膜素子コンポーネント。
[5] 前記光学多層膜素子コンポーネントは、偏光ビームスプリッタであることを特徴とす る請求項 1, 2, 3又は 4に記載の光学多層膜素子コンポーネント。
[6] 前記光学多層膜素子コンポーネントは、レーザあるいは高輝度 LEDビームスプリツ タであることを特徴とする請求項 1, 2, 3又は 4に記載の光学多層膜素子コンポーネ ント。
[7] 前記光学多層膜素子コンポーネントは、色分解/合成プリズムであることを特徴とす る請求項 1, 2, 3又は 4に記載の光学多層膜素子コンポーネント。
[8] 前記光学多層膜素子コンポーネントは、クロスダイクロイツクプリズム (Xキューブ)で あることを特徴とする請求項 1, 2, 3又は 4に記載の光学多層膜素子コンポーネント。
PCT/JP2006/308726 2006-04-26 2006-04-26 光学素子コンポーネント WO2007129375A1 (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2006/308726 WO2007129375A1 (ja) 2006-04-26 2006-04-26 光学素子コンポーネント

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
PCT/JP2006/308726 WO2007129375A1 (ja) 2006-04-26 2006-04-26 光学素子コンポーネント

Publications (1)

Publication Number Publication Date
WO2007129375A1 true WO2007129375A1 (ja) 2007-11-15

Family

ID=38667497

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
PCT/JP2006/308726 WO2007129375A1 (ja) 2006-04-26 2006-04-26 光学素子コンポーネント

Country Status (1)

Country Link
WO (1) WO2007129375A1 (ja)

Cited By (3)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102043256A (zh) * 2010-10-18 2011-05-04 中国科学技术大学 一种偏振分束器
WO2015159726A1 (ja) * 2014-04-14 2015-10-22 岡本硝子株式会社 キューブ型偏光ビームスプリッターモジュール
EP2995979A1 (en) * 2013-05-27 2016-03-16 Huawei Technologies Co., Ltd. Filter and manufacturing method thereof, and laser wavelength monitoring device

Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006195029A (ja) * 2005-01-12 2006-07-27 Okamoto Glass Co Ltd 光学多層膜素子

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2006195029A (ja) * 2005-01-12 2006-07-27 Okamoto Glass Co Ltd 光学多層膜素子

Non-Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Title
CHEN RU ET AL.: "Hydrofluoric Acid Chokusetsu Setsugo o Mochiita Tasomaku Kogaku Soshi no Sakusei", NEW GLASS, 2006, pages 48 - 52, XP003016989 *

Cited By (6)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
CN102043256A (zh) * 2010-10-18 2011-05-04 中国科学技术大学 一种偏振分束器
CN102043256B (zh) * 2010-10-18 2012-11-14 中国科学技术大学 一种偏振分束器
EP2995979A1 (en) * 2013-05-27 2016-03-16 Huawei Technologies Co., Ltd. Filter and manufacturing method thereof, and laser wavelength monitoring device
US9678277B2 (en) 2013-05-27 2017-06-13 Huawei Technologies Co., Ltd. Filter, method for producing filter, and laser wavelength monitoring apparatus
EP2995979B1 (en) * 2013-05-27 2018-11-14 Huawei Technologies Co., Ltd. Filter and manufacturing method thereof, and laser wavelength monitoring device
WO2015159726A1 (ja) * 2014-04-14 2015-10-22 岡本硝子株式会社 キューブ型偏光ビームスプリッターモジュール

Similar Documents

Publication Publication Date Title
KR100823751B1 (ko) 광학 제품 및 광학 제품의 제조 방법
US7995275B2 (en) Polarization conversion element, polarization conversion optical system and image projecting apparatus
JP5195354B2 (ja) 光学素子
JP2010060770A (ja) 光学物品及び光学物品の製造方法
TWI352825B (ja)
WO2007129375A1 (ja) 光学素子コンポーネント
JP4443425B2 (ja) 光学多層膜素子
KR100687562B1 (ko) 편광 필터 및 이 필터를 이용한 편광광 조사장치
JP2007279199A (ja) 偏光変換素子、及び偏光変換素子の製造方法
JP3584257B2 (ja) 偏光ビームスプリッタ
JP4080198B2 (ja) 偏光変換素子及びその製造方法
JP4080265B2 (ja) 偏光変換素子及びその製造方法
JP2006071754A (ja) 偏光ビームスプリッター及びその製造方法
JP2006064871A (ja) 偏光変換素子およびその製造方法
JP5182071B2 (ja) 偏光子、偏光子の製造方法およびプロジェクター
JP4191125B2 (ja) 偏光変換素子及びその製造方法
JP2001350024A (ja) 偏光ビームスプリッタ
JP2008116898A (ja) 光学フィルタ、投射型表示装置及び光学フィルタの製造方法
JP5458545B2 (ja) 光学物品の製造方法
JP2003014932A (ja) 偏光ビームスプリッタ、および偏光ビームスプリッタの作成方法
CN113391509B (zh) 波长转换元件及其制造方法、光源装置、投影仪
JP7322873B2 (ja) 偏光変換素子及び画像表示装置
JP2010276941A (ja) 接合型光学素子の製造方法
JP2003344654A (ja) 光学素子および偏光変換素子
US20100246012A1 (en) Opitical article and process for producing the same

Legal Events

Date Code Title Description
121 Ep: the epo has been informed by wipo that ep was designated in this application

Ref document number: 06745704

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: DE

122 Ep: pct application non-entry in european phase

Ref document number: 06745704

Country of ref document: EP

Kind code of ref document: A1

NENP Non-entry into the national phase

Ref country code: JP