JP6043269B2 - 絶縁性に優れた陽極酸化処理アルミニウム合金部材 - Google Patents
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Description
本発明で用いる陽極酸化皮膜は、リン(P)を含有することを特徴とする。陽極酸化皮膜中にリン(P)を含有することで、絶縁物(またはその前駆体)が、陽極酸化皮膜表面の少なくとも一部を被覆(微細孔の充填による被覆も含む)あるいは表面修飾した複合皮膜構造となりやすくなる。その結果、陽極酸化皮膜表面からの水分の浸入を抑えることができ、高い絶縁性(大きい体積抵抗率)を得ることができる。
耐電圧性を低下させる要因は、アルミニウム合金中に存在する金属間化合物が陽極酸化処理中に溶解すること無く、ほぼ金属の状態で陽極酸化皮膜中に取り込まれること、および溶解により形成される陽極酸化皮膜中のボイドである。陽極酸化処理中に溶解されず陽極酸化皮膜中に残る金属間化合物は、サイズ(大きさ)が大きいほど単位質量当たりの表面積が小さくなって、溶解に時間がかかるため、陽極酸化皮膜中に残る可能性が高くなる。
本発明の陽極酸化処理アルミニウム合金部材では、陽極酸化皮膜の少なくとも一部が、その表面を絶縁物で被覆または表面修飾した複合皮膜構造となっている。この様な複合皮膜構造では、微細孔が存在する陽極酸化皮膜表面の少なくとも一部を、絶縁物が被覆または表面修飾した複合皮膜構造を有し(微細孔への充填による被覆も含む)、その陽極酸化皮膜上に絶縁物が積層した構造も含まれる。
FeはAl−Fe系金属間化合物、SiはMg−Si系金属間化合物を夫々生成し、これらの金属間化合物は耐電圧性を低下させる原因となることから、金属間化合物のサイズや個数を所定以下とするために、いずれも0.05%以下に抑制することが好ましい。より高い耐電圧性を得るには、夫々0.02%以下とすることが好ましい。
Cuは、強度を向上させる元素であり、強度を高くすることで基材厚みを薄くすることができることから、放熱性を高めること(熱抵抗を小さくすること)ができる。また、Cuは陽極酸化皮膜の耐熱性(高温耐クラック性)を向上させる上でも有効な元素である。こうした観点から、Cuは0.02%以上含有させることが好ましい。より好ましくは0.03%以上である。また、アルミニウム合金の成分にMgを含まない場合は、Cu含有量は0.1%以上が好ましく、より好ましくは0.5%以上である。
Mgは、基材の強度を向上させる元素であり、強度を高くすることで基材厚みを薄くすることができることから、放熱性を高めること(熱抵抗を小さくすること)ができる。またアルミニウム合金中のMg含有量が多いほど、陽極酸化皮膜の成膜速度が速くなり、製造コストを低減できる。こうした理由から、アルミニウム合金中のMg含有量は3.5%超えで含有することが望ましく、より好ましくは3.6%以上である。しかしながら、Mg含有量が過剰になって6.5%を超えると、アルミニウム合金に圧延割れが発生しやすくなり、圧延加工が困難になる。Mg含有量のより好ましい上限は6.0%以下である。
CrについてもMgと同様に、強度向上に有効な元素(再結晶粒の微細化による)である。こうした効果を発揮させるためには、Crは0.02%以上含有させることが好ましい。より好ましくは、0.03%以上であり、更に好ましくは0.04%以上である。しかしながら、Cr含有量が過剰になって0.1%を超えると、晶出物サイズの粗大化を招くことになる。Cr含有量のより好ましい上限は0.08%以下であり、更に好ましくは0.07%以下である。
Znのようなアルミニウム合金中に均一に固溶する元素は、耐電圧性に影響を与えないので含まれていても問題はない。Znの場合、0.5%を超えると、Znの析出核が大きくなり、前処理のエッチングにより粒界部が深くエッチングされ欠陥が形成されるため、表面処理としては適切な表面状態でなくなる。より好ましくは0.3%以下である。Znの下限については、特に定めるものではないが、含有量が0.002%未満となると、極めて高価なアルミニウム合金地金が必要となるため、0.002%以上であることが好ましい。
本発明の陽極酸化処理アルミニウム合金部材では、基材として使用されるアルミニウム合金の少なくとも一部に陽極酸化皮膜と絶縁物が形成されていることを特徴とする。即ち、アルミニウム合金基材の全面がこの陽極酸化皮膜と絶縁物の複合皮膜構造となっていてもよいが、アルミニウム合金基材の一部がこの構造を持てばよい。
陽極酸化皮膜表面を走査型電子顕微鏡(SEM)にて、倍率1000倍の反射電子像で20視野以上を観察した。母相より白く写る部分、および母相より黒く写る部分を測定対象とし、陽極酸化皮膜上にある窪みと判断がつかない場合は、その部分をEDXで元素分析することで金属間化合物かどうかの判断を行った。画像処理により最大長さを求め、最大長さが4μm以上の金属間化合物の個数を測定し、単位面積当たりの個数(個数密度)を算出した。
各試料を、湿度50%、温度25℃の環境で7日間保管後、そのサンプルにφ3mmの金を蒸着し、電極とした。アドバンテスト R8340A デジタル超高抵抗/微少電流計を用い、+端子を金電極に接続し、−端子をアルミニウム合金基材に接続し、DC電圧(直流電圧)500Vを印加し、そのとき流れる電流を測定することによって、各試料の体積抵抗率(Ωcm)を求めた。
各試料の耐電圧は、耐電圧試験器(「GPT−9802」、商品名:インステック社製、DCモード)を用い、+端子を金電極のプローブに接続し、陽極酸化皮膜上に接触させ、−端子をアルミニウム合金基材に接続し、DC電圧(直流電圧)を徐々に印加し、1mA以上の電流が流れた時点での電圧(測定個数10点での平均値)を平均耐電圧とした。また測定に当たっては、沿面放電を避けるため、N2ガスを金電極に吹き付けながら測定した。
Claims (11)
- アルミニウム合金基材と、この基材表面に形成された厚みDが8μm以上150μm以下の陽極酸化皮膜とから構成され、
前記陽極酸化皮膜は、Pを含有し、その任意断面での最大長さが4μm以上の金属間化合物の個数が1mm2当たり40個以下であり、
前記陽極酸化皮膜の少なくとも一部が、その表面を絶縁物で被覆または表面修飾した複合皮膜構造になっていることを特徴とする絶縁性に優れたエレクトロニクス絶縁部材用陽極酸化処理アルミニウム合金部材。 - 前記陽極酸化皮膜中に含まれるPの平均含有量(CおよびOを除いた元素に対する割合)が、陽極酸化皮膜表面から深さ5μmの位置で0.003原子%以上である請求項1に記載の陽極酸化処理アルミニウム合金部材。
- 前記金属間化合物の1mm2当たりの個数が15個以下である請求項1または2に記載の陽極酸化処理アルミニウム合金部材。
- 前記陽極酸化皮膜表面からの絶縁物における厚みが10μm以下であり、且つ前記陽極酸化皮膜の厚みDと絶縁物の厚みdの比(D/d)が2以上である請求項1〜3のいずれかに記載の陽極酸化処理アルミニウム合金部材。
- 前記絶縁物は、珪素酸化物、シロキサン結合を含む化合物、ポリシラザン、アルキド樹脂、フッ素樹脂およびエポキシ樹脂の少なくともいずれかを含む化合物、またはこれら化合物の基本骨格の少なくともいずれかを含む化合物である請求項1〜4のいずれかに記載の陽極酸化処理アルミニウム合金部材。
- 前記アルミニウム合金基材は、Cu:0.02%以上4.0%以下(質量%の意味、化学成分について以下同じ)、Si:0.05%以下、Fe:0.05%以下を満足するものである請求項1〜5のいずれかに記載の陽極酸化処理アルミニウム合金部材。
- 前記アルミニウム合金基材は、更にMg:3.5%を超え6.5%以下で含有する請求項6に記載の陽極酸化処理アルミニウム合金部材。
- 前記アルミニウム合金基材表面で、陽極酸化皮膜と絶縁物が被覆されていない部分に、半導体素子が接合される請求項1〜7のいずれかに記載の陽極酸化処理アルミニウム合金部材。
- 前記金属間化合物は、Al−Fe系金属間化合物、Mg−Si系金属間化合物、及び非固溶Cuよりなる群から選ばれる少なくとも1種以上である請求項1〜8のいずれかに記載の陽極酸化処理アルミニウム合金部材。
- 前記アルミニウム合金基材表面で、陽極酸化皮膜と絶縁物が被覆されていない部分に、銅若しくは銅合金、またはアルミニウム若しくはアルミニウム合金を挟んで半導体素子が接するように構成される請求項1〜7のいずれかに記載の陽極酸化処理アルミニウム合金部材。
- 前記アルミニウム合金基材表面で、陽極酸化皮膜と絶縁物が被覆されていない部分に、冷却溶液が接するように構成される請求項1〜7のいずれかに記載の陽極酸化処理アルミニウム合金部材。
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