JP6039825B2 - 樹脂部材の赤外線透過波長域に対応する熱放射光を選択的に放射する波長選択性熱放射材料及びその製造方法 - Google Patents
樹脂部材の赤外線透過波長域に対応する熱放射光を選択的に放射する波長選択性熱放射材料及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6039825B2 JP6039825B2 JP2015559383A JP2015559383A JP6039825B2 JP 6039825 B2 JP6039825 B2 JP 6039825B2 JP 2015559383 A JP2015559383 A JP 2015559383A JP 2015559383 A JP2015559383 A JP 2015559383A JP 6039825 B2 JP6039825 B2 JP 6039825B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wavelength
- heat radiation
- radiation material
- selective
- selective heat
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
- 230000005855 radiation Effects 0.000 title claims description 193
- 239000000463 material Substances 0.000 title claims description 153
- 239000011347 resin Substances 0.000 title claims description 58
- 229920005989 resin Polymers 0.000 title claims description 58
- 230000005540 biological transmission Effects 0.000 title claims description 39
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 34
- 239000011888 foil Substances 0.000 claims description 52
- 238000000034 method Methods 0.000 claims description 38
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims description 30
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims description 30
- 238000000866 electrolytic etching Methods 0.000 claims description 27
- 238000005530 etching Methods 0.000 claims description 27
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 claims description 25
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 25
- 238000003825 pressing Methods 0.000 claims description 25
- 230000003746 surface roughness Effects 0.000 claims description 24
- LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N Ethanol Chemical compound CCO LFQSCWFLJHTTHZ-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N Hydrochloric acid Chemical compound Cl VEXZGXHMUGYJMC-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 16
- 239000010409 thin film Substances 0.000 claims description 16
- VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N perchloric acid Chemical compound OCl(=O)(=O)=O VLTRZXGMWDSKGL-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 14
- 238000005868 electrolysis reaction Methods 0.000 claims description 13
- 239000013078 crystal Substances 0.000 claims description 9
- RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N Copper Chemical compound [Cu] RYGMFSIKBFXOCR-UHFFFAOYSA-N 0.000 claims description 7
- 229910052802 copper Inorganic materials 0.000 claims description 7
- 239000010949 copper Substances 0.000 claims description 7
- 238000004544 sputter deposition Methods 0.000 claims description 7
- 229910000838 Al alloy Inorganic materials 0.000 claims description 5
- 238000005498 polishing Methods 0.000 claims description 5
- 239000007769 metal material Substances 0.000 claims description 3
- 229920005570 flexible polymer Polymers 0.000 claims description 2
- 239000011259 mixed solution Substances 0.000 claims description 2
- 239000000203 mixture Substances 0.000 claims description 2
- 238000007740 vapor deposition Methods 0.000 claims description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 claims 1
- 230000003595 spectral effect Effects 0.000 description 30
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 19
- HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M Sodium hydroxide Chemical compound [OH-].[Na+] HEMHJVSKTPXQMS-UHFFFAOYSA-M 0.000 description 15
- 238000004458 analytical method Methods 0.000 description 15
- 238000005259 measurement Methods 0.000 description 14
- 229920001084 poly(chloroprene) Polymers 0.000 description 14
- 238000000635 electron micrograph Methods 0.000 description 12
- 230000000737 periodic effect Effects 0.000 description 9
- 239000007864 aqueous solution Substances 0.000 description 8
- 239000000758 substrate Substances 0.000 description 7
- 238000004364 calculation method Methods 0.000 description 6
- 239000000243 solution Substances 0.000 description 6
- 238000012546 transfer Methods 0.000 description 6
- 238000000354 decomposition reaction Methods 0.000 description 5
- 230000020169 heat generation Effects 0.000 description 5
- 230000010354 integration Effects 0.000 description 5
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 description 5
- 238000004506 ultrasonic cleaning Methods 0.000 description 5
- 238000005033 Fourier transform infrared spectroscopy Methods 0.000 description 4
- 238000010521 absorption reaction Methods 0.000 description 4
- 230000007423 decrease Effects 0.000 description 4
- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 description 4
- 238000004088 simulation Methods 0.000 description 4
- 230000015572 biosynthetic process Effects 0.000 description 3
- 239000008151 electrolyte solution Substances 0.000 description 3
- 238000000206 photolithography Methods 0.000 description 3
- OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N Carbon Chemical compound [C] OKTJSMMVPCPJKN-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 2
- 229910052799 carbon Inorganic materials 0.000 description 2
- 238000003486 chemical etching Methods 0.000 description 2
- 238000009826 distribution Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 230000005672 electromagnetic field Effects 0.000 description 2
- 238000002474 experimental method Methods 0.000 description 2
- 239000010408 film Substances 0.000 description 2
- 229920000642 polymer Polymers 0.000 description 2
- -1 polypropylene Polymers 0.000 description 2
- 239000004094 surface-active agent Substances 0.000 description 2
- 229920002284 Cellulose triacetate Polymers 0.000 description 1
- 239000004593 Epoxy Substances 0.000 description 1
- 238000004566 IR spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 239000004952 Polyamide Substances 0.000 description 1
- 239000004695 Polyether sulfone Substances 0.000 description 1
- 239000004743 Polypropylene Substances 0.000 description 1
- NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N [(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5-diacetyloxy-3-[(2s,3r,4s,5r,6r)-3,4,5-triacetyloxy-6-(acetyloxymethyl)oxan-2-yl]oxy-6-[(2r,3r,4s,5r,6s)-4,5,6-triacetyloxy-2-(acetyloxymethyl)oxan-3-yl]oxyoxan-2-yl]methyl acetate Chemical compound O([C@@H]1O[C@@H]([C@H]([C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O)O[C@H]1[C@@H]([C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@@H](COC(C)=O)O1)OC(C)=O)COC(=O)C)[C@@H]1[C@@H](COC(C)=O)O[C@@H](OC(C)=O)[C@H](OC(C)=O)[C@H]1OC(C)=O NNLVGZFZQQXQNW-ADJNRHBOSA-N 0.000 description 1
- 238000000137 annealing Methods 0.000 description 1
- 229920002301 cellulose acetate Polymers 0.000 description 1
- 230000000052 comparative effect Effects 0.000 description 1
- 230000003247 decreasing effect Effects 0.000 description 1
- 230000001747 exhibiting effect Effects 0.000 description 1
- 239000007788 liquid Substances 0.000 description 1
- 238000012986 modification Methods 0.000 description 1
- 230000004048 modification Effects 0.000 description 1
- 238000000465 moulding Methods 0.000 description 1
- 238000005192 partition Methods 0.000 description 1
- 230000000704 physical effect Effects 0.000 description 1
- 238000007517 polishing process Methods 0.000 description 1
- 229920002647 polyamide Polymers 0.000 description 1
- 229920000515 polycarbonate Polymers 0.000 description 1
- 239000004417 polycarbonate Substances 0.000 description 1
- 229920006393 polyether sulfone Polymers 0.000 description 1
- 229920001155 polypropylene Polymers 0.000 description 1
- 229920001343 polytetrafluoroethylene Polymers 0.000 description 1
- 239000004810 polytetrafluoroethylene Substances 0.000 description 1
- 239000011148 porous material Substances 0.000 description 1
- 230000002265 prevention Effects 0.000 description 1
- 238000007788 roughening Methods 0.000 description 1
- 239000007787 solid Substances 0.000 description 1
- 238000001228 spectrum Methods 0.000 description 1
- 238000002198 surface plasmon resonance spectroscopy Methods 0.000 description 1
- 238000012360 testing method Methods 0.000 description 1
- 230000037303 wrinkles Effects 0.000 description 1
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
- H01L23/367—Cooling facilitated by shape of device
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/0021—Reactive sputtering or evaporation
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/04—Coating on selected surface areas, e.g. using masks
- C23C14/042—Coating on selected surface areas, e.g. using masks using masks
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
- C23C14/16—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
- C23C14/20—Metallic material, boron or silicon on organic substrates
- C23C14/205—Metallic material, boron or silicon on organic substrates by cathodic sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/22—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the process of coating
- C23C14/34—Sputtering
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/58—After-treatment
- C23C14/5846—Reactive treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/58—After-treatment
- C23C14/5873—Removal of material
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/58—After-treatment
- C23C14/5886—Mechanical treatment
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23F—NON-MECHANICAL REMOVAL OF METALLIC MATERIAL FROM SURFACE; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL; MULTI-STEP PROCESSES FOR SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL INVOLVING AT LEAST ONE PROCESS PROVIDED FOR IN CLASS C23 AND AT LEAST ONE PROCESS COVERED BY SUBCLASS C21D OR C22F OR CLASS C25
- C23F1/00—Etching metallic material by chemical means
- C23F1/10—Etching compositions
- C23F1/14—Aqueous compositions
- C23F1/16—Acidic compositions
- C23F1/20—Acidic compositions for etching aluminium or alloys thereof
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25F—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
- C25F3/00—Electrolytic etching or polishing
- C25F3/02—Etching
- C25F3/04—Etching of light metals
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25F—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
- C25F3/00—Electrolytic etching or polishing
- C25F3/02—Etching
- C25F3/14—Etching locally
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25F—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
- C25F3/00—Electrolytic etching or polishing
- C25F3/16—Polishing
- C25F3/18—Polishing of light metals
- C25F3/20—Polishing of light metals of aluminium
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C25—ELECTROLYTIC OR ELECTROPHORETIC PROCESSES; APPARATUS THEREFOR
- C25F—PROCESSES FOR THE ELECTROLYTIC REMOVAL OF MATERIALS FROM OBJECTS; APPARATUS THEREFOR
- C25F3/00—Electrolytic etching or polishing
- C25F3/16—Polishing
- C25F3/22—Polishing of heavy metals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L23/00—Details of semiconductor or other solid state devices
- H01L23/34—Arrangements for cooling, heating, ventilating or temperature compensation ; Temperature sensing arrangements
- H01L23/36—Selection of materials, or shaping, to facilitate cooling or heating, e.g. heatsinks
- H01L23/373—Cooling facilitated by selection of materials for the device or materials for thermal expansion adaptation, e.g. carbon
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K7/00—Constructional details common to different types of electric apparatus
- H05K7/20—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
-
- H—ELECTRICITY
- H05—ELECTRIC TECHNIQUES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H05K—PRINTED CIRCUITS; CASINGS OR CONSTRUCTIONAL DETAILS OF ELECTRIC APPARATUS; MANUFACTURE OF ASSEMBLAGES OF ELECTRICAL COMPONENTS
- H05K7/00—Constructional details common to different types of electric apparatus
- H05K7/20—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating
- H05K7/2039—Modifications to facilitate cooling, ventilating, or heating characterised by the heat transfer by conduction from the heat generating element to a dissipating body
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C23—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; CHEMICAL SURFACE TREATMENT; DIFFUSION TREATMENT OF METALLIC MATERIAL; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL; INHIBITING CORROSION OF METALLIC MATERIAL OR INCRUSTATION IN GENERAL
- C23C—COATING METALLIC MATERIAL; COATING MATERIAL WITH METALLIC MATERIAL; SURFACE TREATMENT OF METALLIC MATERIAL BY DIFFUSION INTO THE SURFACE, BY CHEMICAL CONVERSION OR SUBSTITUTION; COATING BY VACUUM EVAPORATION, BY SPUTTERING, BY ION IMPLANTATION OR BY CHEMICAL VAPOUR DEPOSITION, IN GENERAL
- C23C14/00—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material
- C23C14/06—Coating by vacuum evaporation, by sputtering or by ion implantation of the coating forming material characterised by the coating material
- C23C14/14—Metallic material, boron or silicon
- C23C14/16—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon
- C23C14/165—Metallic material, boron or silicon on metallic substrates or on substrates of boron or silicon by cathodic sputtering
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L2924/00—Indexing scheme for arrangements or methods for connecting or disconnecting semiconductor or solid-state bodies as covered by H01L24/00
- H01L2924/0001—Technical content checked by a classifier
- H01L2924/0002—Not covered by any one of groups H01L24/00, H01L24/00 and H01L2224/00
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Electrochemistry (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Power Engineering (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- General Chemical & Material Sciences (AREA)
- Thermal Sciences (AREA)
- Cooling Or The Like Of Semiconductors Or Solid State Devices (AREA)
- Moulds For Moulding Plastics Or The Like (AREA)
- Photometry And Measurement Of Optical Pulse Characteristics (AREA)
Description
表面の(100)の結晶面の面積占有率が93%以上であるアルミニウム箔使用し、該アルミニウム箔を過塩素酸/エタノール浴を用いて電解研磨を施した後、その表面に直径2μmの細孔が5μm間隔で規則配列した構造を有するネオプレン薄膜層を密着形成させた。そして、該アルミニウム箔にスパッタリング処理により銅を付着させた後、浴温度が25℃、7Mの塩酸水溶液からなる電解浴を用いて、電解開始時の電流密度が1500mA/cm2であり、そして150mA/cm2/sの電流密度減少レートで200mA/cm2まで電流密度を減少させた後、前記200mA/cm2の電流密度で15秒保持する条件で電解エッチングを施した。その後、1wt%の水酸化ナトリウム水溶液に浸し超音波洗浄を1分30秒間行うことでネオプレン薄膜層を除去することにより、一辺の長さaが3μm、開口比a/Λ(a;開口径,Λ;開口の周期)が0.6のマイクロキャビティが形成された波長選択性熱放射材料を得た。得られた波長選択性熱放射材料の熱放射面の電子顕微鏡写真を図2(a)に示す。
電解浴の浴温が30℃であること以外は、実施例1と同じ条件で電解エッチングを施すことにより、一辺の長さaが3μm、開口比a/Λ(a;開口径,Λ;開口の周期)が0.6のマイクロキャビティが形成された波長選択性熱放射材料を得た。
電解浴の浴温が35℃であること以外は、実施例1と同じ条件で電解エッチングを施すことにより、一辺の長さaが3μm、開口比a/Λ(a;開口径,Λ;開口の周期)が0.6のマイクロキャビティが形成された波長選択性熱放射材料を得た。
電解浴の浴温が40℃であること以外は、実施例1と同じ条件で電解エッチングを施すことにより、一辺の長さaが3μm、開口比a/Λ(a;開口径,Λ;開口の周期)が0.6のマイクロキャビティが形成された波長選択性熱放射材料を得た。得られた波長選択性熱放射材料の熱放射面の電子顕微鏡写真を図2(b)に示す。
電解浴の浴温が45℃であること以外は、実施例1と同じ条件で電解エッチングを施すことにより、一辺の長さaが3μm、開口比a/Λ(a;開口径,Λ;開口の周期)が0.6のマイクロキャビティが形成された波長選択性熱放射材料を得た。
電解浴の浴温が50℃であること以外は、実施例1と同じ条件で電解エッチングを施すことにより、一辺の長さaが3μm、開口比a/Λ(a;開口径,Λ;開口の周期)が0.6のマイクロキャビティが形成された波長選択性熱放射材料を得た。得られた波長選択性熱放射材料の熱放射面の電子顕微鏡写真を図2(c)に示す。
表面の(100)の結晶面の面積占有率が93%以上であるアルミニウム箔使用し、該アルミニウム箔を過塩素酸/エタノール浴を用いて電解研磨を施した後、その表面に直径2μmの細孔が5μm間隔で規則配列した構造を有するネオプレン薄膜層を密着形成させた。そして、該アルミニウム箔にスパッタリング処理により銅を付着させた後、浴温度が40℃、7Mの塩酸水溶液からなる電解浴を用いて、電解開始時の電流密度が1500mA/cm2であり、そして150mA/cm2/sの電流密度減少レートで200mA/cm2まで電流密度を減少させた後、前記200mA/cm2の電流密度で5秒保持する条件で電解エッチングを施した。その後、1wt%の水酸化ナトリウム水溶液に浸し超音波洗浄を1分30秒間行うことでネオプレン薄膜層を除去することにより、一辺の長さaが3μm、開口比a/Λ(a;開口径,Λ;開口の周期)が0.6のマイクロキャビティが形成された波長選択性熱放射材料を得た。得られた波長選択性熱放射材料の熱放射面の電子顕微鏡写真を図4(a)に示す。
200mA/cm2の電流密度での保持時間が10秒であること以外は、実施例7と同じ条件で電解エッチングを施すことにより、一辺の長さaが3μm、開口比a/Λ(a;開口径,Λ;開口の周期)が0.6のマイクロキャビティが形成された波長選択性熱放射材料を得た。
200mA/cm2の電流密度での保持時間が15秒であること以外は、実施例7と同じ条件で電解エッチングを施すことにより、一辺の長さaが3μm、開口比a/Λ(a;開口径,Λ;開口の周期)が0.6のマイクロキャビティが形成された波長選択性熱放射材料を得た。得られた波長選択性熱放射材料の熱放射面の電子顕微鏡写真を図4(b)に示す。
200mA/cm2の電流密度での保持時間が20秒であること以外は、実施例7と同じ条件で電解エッチングを施すことにより、一辺の長さaが3μm、開口比a/Λ(a;開口径,Λ;開口の周期)が0.6のマイクロキャビティが形成された波長選択性熱放射材料を得た。
200mA/cm2の電流密度での保持時間が30秒であること以外は、実施例7と同じ条件で電解エッチングを施すことにより、一辺の長さaが3μm、開口比a/Λ(a;開口径,Λ;開口の周期)が0.6のマイクロキャビティが形成された波長選択性熱放射材料を得た。
200mA/cm2の電流密度での保持時間が40秒であること以外は、実施例7と同じ条件で電解エッチングを施すことにより、一辺の長さaが3μm、開口比a/Λ(a;開口径,Λ;開口の周期)が0.6のマイクロキャビティが形成された波長選択性熱放射材料を得た。
200mA/cm2の電流密度での保持時間が50秒であること以外は、実施例7と同じ条件で電解エッチングを施すことにより、一辺の長さaが3μm、開口比a/Λ(a;開口径,Λ;開口の周期)が0.6のマイクロキャビティが形成された波長選択性熱放射材料を得た。得られた波長選択性熱放射材料の熱放射面の電子顕微鏡写真を図4(c)に示す。
表面の(100)の結晶面の面積占有率が93%以上であるアルミニウム箔使用し、該アルミニウム箔を過塩素酸/エタノール浴を用いて電解研磨を施した後、その表面に直径2μmの細孔が5μm間隔で規則配列した構造を有するネオプレン薄膜層を密着形成させた。そして、該アルミニウム箔にスパッタリング処理により銅を付着させた後、浴温度が40℃、7Mの塩酸水溶液からなる電解浴を用いて、電解開始時の電流密度が1500mA/cm2であり、そして150mA/cm2/sの電流密度減少レートで200mA/cm2まで電流密度を減少させた後、前記200mA/cm2の電流密度で15秒保持する条件で電解エッチングを施した。その後、1wt%の水酸化ナトリウム水溶液に浸し超音波洗浄を1分30秒間行うことでネオプレン薄膜層を除去することにより、一辺の長さaが3μm、開口比a/Λが0.6、アスペクト比が16/3のマイクロキャビティが形成された波長選択性熱放射材料を作製した。
表面の(100)の結晶面の面積占有率が93%以上であるアルミニウム箔使用し、該アルミニウム箔を過塩素酸/エタノール浴を用いて電解研磨を施した後、その表面に直径2μmの細孔が5μm間隔で規則配列した構造を有するネオプレン薄膜層を密着形成させた。そして、該アルミニウム箔にスパッタリング処理により銅を付着させた後、浴温度が40℃、7Mの塩酸水溶液からなる電解浴を用いて、対極にはカーボン板を使用し、1500mA/cm2の定電流(定電流密度)にて、電解時間を0.5、3.0、5.0、10秒と変化させて電解エッチングを施した。その後、1wt%の水酸化ナトリウム水溶液に浸し超音波洗浄を1分30秒間行うことでネオプレン薄膜層を除去することにより、実施例15〜18の直行マイクロキャビティの規則配列を形成した。
表面の(100)の結晶面の面積占有率が93%以上であるアルミニウム箔使用し、該アルミニウム箔を過塩素酸/エタノール浴を用いて電解研磨を施した後、その表面に直径2μmの細孔が5μm間隔で規則配列した構造を有するネオプレン薄膜層を密着形成させた。そして、該アルミニウム箔にスパッタリング処理により銅を付着させた後、電解時間3秒、7Mの塩酸水溶液からなる電解浴を用いて、対極にはカーボン板を使用し、1500mA/cm2の定電流(定電流密度)にて、浴温を30、35、40、45、50℃と変化させて電解エッチングを施した。その後、1wt%の水酸化ナトリウム水溶液に浸し超音波洗浄を1分30秒間行うことでネオプレン薄膜層を除去することにより、実施例19〜23の直行マイクロキャビティの規則配列を形成した。
周期的な表面微細構造により波長選択的な吸収特性が得られる現象は、周期構造により誘起される表面プラズモンによる吸収やキャビティ構造による定在波モードの吸収などで説明されているが、材料物性も関係してくる複雑な事象であるため、定量的な説明はまだなされておらず、解析的に特性を評価することは困難である。
そこで、本発明者等は、マクスウェル方程式の厳密解法であるRCWA法を用いてマイクロキャビティ周期構造の最適形状モデルの決定を行った。最適形状モデルは、開口径aと深さdを有する矩形のマイクロキャビティが、周期Λで縦横に二次元配列された構造である。これらのマイクロキャビティはアルミニウム箔の片面に形成されているものとした。
上記のような構造を有する解析モデルを用いてRCWA法に基づく数値解析を行い、表面にサブミクロン周期構造を持つ材料の光学特性をシミュレーション評価した。計算には,市販のシミュレーションソフト(DiffractMod,RSOFT社)を使用した.RCWA法では材料の誘電率分布をフーリエ級数展開により表現するため、任意の周期構造の解析が可能である。幾何形状及び材料の光学定数(複素屈折率)を入力し、マクスウェル方程式を厳密に解くことにより入射波の応答を求めることができる。RCWA法は一般的な三次元の回折格子問題を分析する方法である。微細構造領域での誘電率分布は、フーリエ展開によって表現される。解析精度は電磁場の空間的な調和展開項の数に依存する。本発明では調和展開項の数を8として解析を行った。
図12は、横軸に波長λ(μm)をとり、縦軸にスペクトル放射率をとって、図11に示される構造モデルをRCWA法で数値解析した結果を示すスペクトル放射特性線図である。
図14は、横軸に波長λ(μm)をとり、縦軸にスペクトル放射率をとって、図13に示される構造モデルをRCWA法で数値解析した結果を示すスペクトル放射特性線図である。
図16は、横軸に波長λ(μm)をとり、縦軸にスペクトル放射率をとって、図15に示される構造モデルをRCWA法で数値解析した結果を示すスペクトル放射特性線図である。
2・・・押圧面
r・・・曲率半径
Claims (20)
- 熱放射光を通過させるように配置することにより、その後に通過させる樹脂部材の赤外線透過波長域に対応する熱放射光を選択的に放射する波長選択性熱放射材料であって、
前記波長選択性熱放射材料は、周期的に繰り返され且つ格子状に二次元配列される矩形の開口を有する多数のマイクロキャビティが形成された熱放射面を有しており、そして
前記マイクロキャビティは、開口比a/Λ(a;開口径,Λ;開口の周期)が0.5〜0.9の範囲であり、且つアスペクト比d/a(d;開口の深さ,a;開口径)が3.3以上であり、且つ前記マイクロキャビティを区画するキャビティ壁上部の表面粗さRzが1μm以下であることを特徴とする波長選択性熱放射材料。 - 前記開口は、前記樹脂部材の赤外線透過波長域の波長と実質的に同じ周期か又は1μm短い周期で配列されていることを特徴とする請求項1に記載の波長選択性熱放射材料。
- 前記開口は、4〜7μmの周期で配列されていることを特徴とする請求項1ないし3のいずれかに記載の波長選択性熱放射材料。
- 波長1〜10μmの赤外領域の放射率が0.4以下の金属材料からなることを特徴とする請求項1ないし4のいずれかに記載の波長選択性熱放射材料。
- (100)の結晶面の面積占有率が93%以上であるアルミニウム又はアルミニウムの合金からなることを特徴とする請求項1ないし5のいずれかに記載の波長選択性熱放射材料。
- 前記熱放射光は、赤外線であることを特徴とする請求項1ないし6のいずれかに記載の波長選択性熱放射材料。
- 前記樹脂部材は発熱源を覆っており、且つ前記波長選択性熱放射材料は前記発熱源と前記樹脂部材の間に配置されていることを特徴とする請求項1ないし7のいずれかに記載の波長選択性熱放射材料。
- 前記発熱源と前記樹脂部材との間に配置されることを特徴とする請求項1ないし8のいずれかに記載の波長選択性熱放射材料。
- 金属箔からなる請求項1ないし9のいずれかに記載の波長選択性熱放射材料を製造する方法であって、
(a)所定の開口を有するマスクを前記金属箔の一面に設置して密着させるステップと、
(b)前記マスクの開口部で前記金属箔をエッチングし、前記金属箔にマイクロキャビティを形成するステップと、そして
(c)前記マスクを前記金属箔から剥離するステップと
を含んでいることを特徴とする波長選択性熱放射材料の製造方法。 - 前記マスクは、可橈性のポリマーからなることを特徴とする請求項10に記載の波長選択性熱放射材料の製造方法。
- 前記マスクは、その表面において、かまぼこ状の押圧面を有するスタンプを用いて押圧し、揺動させることにより、荷重が加えられていることを特徴とする請求項10又は11に記載の波長選択性熱放射材料の製造方法。
- 前記スタンプの押圧面は、0.01〜0.2の曲率を有していることを特徴とする請求項12に記載の波長選択性熱放射材料の製造方法。
- 前記マスクに加える荷重は、104〜106Paであることを特徴とする請求項12又は13に記載の波長選択性熱放射材料の製造方法。
- 前記エッチングの前に、前記マスクの上面に蒸着またはスパッタリングにより銅の薄膜を形成するステップを含んでいることを特徴とする請求項10ないし14のいずれかに記載の波長選択性熱放射材料の製造方法。
- 金属箔からなる請求項1ないし9のいずれかに記載の波長選択性熱放射材料を製造する方法であって、
(a)マイクロキャビティの位置に対応して配列された突起を有する押し型を押し付けることにより、前記金属箔の一面に凹部を形成させるステップと、そして
(b)前記金属箔をエッチングし、前記金属箔にマイクロキャビティを形成するステップと、
を含んでいることを特徴とする波長選択性熱放射材料の製造方法。 - 前記金属箔の一面に所定の開口を有するマスクを密着させる前に又は前記金属箔の一面に凹部を形成させる前に、前記金属箔を化学研磨処理または電解研磨処理を行うステップを含んでいることを特徴とする請求項10ないし16のいずれかに記載の波長選択性熱放射材料の製造方法。
- 前記電解研磨処理は、過塩素酸およびエタノールの混合溶液を用いて行われるものであることを特徴とする請求項17に記載の波長選択性熱放射材料の製造方法。
- 前記エッチングは、電解エッチングであることを特徴とする請求項10ないし18のいずれかに記載の波長選択性熱放射材料の製造方法。
- 前記電解エッチングは、浴組成が5〜7M塩酸水溶液、浴温が25〜45℃の電解浴を用いて、電解開始時の電流密度が1500mA/cm2であり、そして150mA/cm2/sの電流密度減少レートで200mA/cm2まで電流密度を減少させた後、前記200mA/cm2の電流密度を5〜40秒保持するものであることを特徴とする請求項19に記載の波長選択性熱放射材料の製造方法。
- 前記電解エッチングにおける浴温は30〜40℃であり、且つ電流密度が200mA/cm2時の保持時間が5〜15秒であることを特徴とする請求項20に記載の波長選択性熱放射材料の製造方法。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2014122260 | 2014-06-13 | ||
JP2014122260 | 2014-06-13 | ||
PCT/JP2015/060447 WO2015190163A1 (ja) | 2014-06-13 | 2015-04-02 | 樹脂部材の赤外線透過波長域に対応する熱放射光を選択的に放射する波長選択性熱放射材料及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP6039825B2 true JP6039825B2 (ja) | 2016-12-07 |
JPWO2015190163A1 JPWO2015190163A1 (ja) | 2017-04-20 |
Family
ID=54833272
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2015559383A Active JP6039825B2 (ja) | 2014-06-13 | 2015-04-02 | 樹脂部材の赤外線透過波長域に対応する熱放射光を選択的に放射する波長選択性熱放射材料及びその製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9520335B2 (ja) |
JP (1) | JP6039825B2 (ja) |
KR (1) | KR101985063B1 (ja) |
CN (1) | CN107004652B (ja) |
TW (1) | TWI670813B (ja) |
WO (1) | WO2015190163A1 (ja) |
Families Citing this family (8)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP6777912B2 (ja) * | 2016-10-07 | 2020-10-28 | 株式会社マキタ | バッテリパック及び電動作業機 |
CN110350048A (zh) * | 2019-07-05 | 2019-10-18 | 电子科技大学 | 一种光子辐射散热结构 |
CN110572993A (zh) * | 2019-10-18 | 2019-12-13 | Oppo广东移动通信有限公司 | 用于电子设备的散热件、制备方法和电子设备 |
WO2021102703A1 (en) * | 2019-11-26 | 2021-06-03 | Guangdong Oppo Mobile Telecommunications Corp., Ltd. | Electric apparatus |
CN112111780B (zh) * | 2020-09-11 | 2021-10-12 | 山东大学 | 一种提高高强铝合金表面疏水性能及耐蚀性的方法及铝合金材料与应用 |
CN114497262B (zh) * | 2022-03-02 | 2024-04-02 | 爱思菲尔光学科技(苏州)有限公司 | 窄带选择性超表面辐射器及其制造方法 |
JP7455180B1 (ja) | 2022-11-30 | 2024-03-25 | 星和電機株式会社 | 熱放射制御部材及びそれを用いた電子機器並びに熱放射制御部材の製造方法 |
JP7486908B1 (ja) | 2022-12-26 | 2024-05-20 | 星和電機株式会社 | 波長選択型赤外放射制御部材 |
Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003332607A (ja) * | 2002-05-07 | 2003-11-21 | Univ Tohoku | 波長選択性太陽光吸収材料及びその製造方法 |
JP2004238230A (ja) * | 2003-02-04 | 2004-08-26 | Japan Science & Technology Agency | ふく射性ガスの選択的加熱による改質反応促進の方法、波長選択性熱放射材料及びその製造方法 |
JP2010027831A (ja) * | 2008-07-18 | 2010-02-04 | Tohoku Univ | 発熱源が樹脂部材で覆われている電子機器の放熱効率を向上させる方法、波長選択性熱放射材料及びその製造方法 |
JP2013093293A (ja) * | 2011-10-27 | 2013-05-16 | Stanley Electric Co Ltd | 白熱電球、フィラメントおよびその製造方法 |
JP2014033062A (ja) * | 2012-08-03 | 2014-02-20 | Tohoku Univ | ナノインプリント方法によるアルミニウムシートからなる波長選択性熱放射材料の製造方法 |
Family Cites Families (6)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH04305911A (ja) | 1990-03-01 | 1992-10-28 | Nippon Light Metal Co Ltd | 電解コンデンサ用アルミニウム箔の製造方法 |
US5601661A (en) * | 1995-07-21 | 1997-02-11 | Milstein; Joseph B. | Method of use of thermophotovoltaic emitter materials |
JP3995769B2 (ja) | 1997-08-29 | 2007-10-24 | 秀樹 益田 | 電解コンデンサ用電極箔の作製方法 |
US20080116779A1 (en) * | 2006-11-20 | 2008-05-22 | The Aerospace Corporation | Micro-nanostructured films for high efficiency thermal light emitters |
EP2634817A4 (en) * | 2010-10-29 | 2017-06-07 | Stanley Electric Co., Ltd. | Power generation device, thermal power generation method and solar power generation method |
JP5872213B2 (ja) | 2011-09-08 | 2016-03-01 | 公益財団法人神奈川科学技術アカデミー | 拡面処理された箔の製造方法 |
-
2015
- 2015-04-02 WO PCT/JP2015/060447 patent/WO2015190163A1/ja active Application Filing
- 2015-04-02 KR KR1020167005181A patent/KR101985063B1/ko active IP Right Grant
- 2015-04-02 CN CN201580001984.8A patent/CN107004652B/zh active Active
- 2015-04-02 US US15/029,441 patent/US9520335B2/en active Active
- 2015-04-02 JP JP2015559383A patent/JP6039825B2/ja active Active
- 2015-06-08 TW TW104118520A patent/TWI670813B/zh active
Patent Citations (5)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2003332607A (ja) * | 2002-05-07 | 2003-11-21 | Univ Tohoku | 波長選択性太陽光吸収材料及びその製造方法 |
JP2004238230A (ja) * | 2003-02-04 | 2004-08-26 | Japan Science & Technology Agency | ふく射性ガスの選択的加熱による改質反応促進の方法、波長選択性熱放射材料及びその製造方法 |
JP2010027831A (ja) * | 2008-07-18 | 2010-02-04 | Tohoku Univ | 発熱源が樹脂部材で覆われている電子機器の放熱効率を向上させる方法、波長選択性熱放射材料及びその製造方法 |
JP2013093293A (ja) * | 2011-10-27 | 2013-05-16 | Stanley Electric Co Ltd | 白熱電球、フィラメントおよびその製造方法 |
JP2014033062A (ja) * | 2012-08-03 | 2014-02-20 | Tohoku Univ | ナノインプリント方法によるアルミニウムシートからなる波長選択性熱放射材料の製造方法 |
Non-Patent Citations (1)
Title |
---|
JPN7015003301; 切替大善: '金属被膜シリコンマイクロキャビティのふく射スペクトルに対する表面粗さの影響' 第46回日本伝熱シンポジウム講演論文集 , 200906, [online] * |
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
TW201611210A (zh) | 2016-03-16 |
KR101985063B1 (ko) | 2019-05-31 |
JPWO2015190163A1 (ja) | 2017-04-20 |
CN107004652B (zh) | 2019-06-28 |
KR20170020300A (ko) | 2017-02-22 |
CN107004652A (zh) | 2017-08-01 |
WO2015190163A1 (ja) | 2015-12-17 |
US20160260649A1 (en) | 2016-09-08 |
US9520335B2 (en) | 2016-12-13 |
TWI670813B (zh) | 2019-09-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6039825B2 (ja) | 樹脂部材の赤外線透過波長域に対応する熱放射光を選択的に放射する波長選択性熱放射材料及びその製造方法 | |
Maidecchi et al. | Deep ultraviolet plasmon resonance in aluminum nanoparticle arrays | |
Petukhov et al. | Comparative study of structure and permeability of porous oxide films on aluminum obtained by single-and two-step anodization | |
JP5008617B2 (ja) | 発熱源が樹脂部材で覆われている電子機器の放熱効率を向上させる方法、波長選択性熱放射材料及びその製造方法 | |
Al-Haddad et al. | Dimensional dependence of the optical absorption band edge of TiO2 nanotube arrays beyond the quantum effect | |
Kong et al. | Minimizing isolate catalyst motion in metal-assisted chemical etching for deep trenching of silicon nanohole array | |
D’Andrea et al. | Decoration of silicon nanowires with silver nanoparticles for ultrasensitive surface enhanced Raman scattering | |
WO2010065071A2 (en) | Replication of patterned thin-film structures for use in plasmonics and metamaterials | |
Hong et al. | Self-assembled three-dimensional nanocrown array | |
WO2011111697A1 (ja) | 陽極酸化層の形成方法、型の製造方法および反射防止膜の製造方法 | |
Zhang et al. | Reduction of plasmon damping in aluminum nanoparticles with rapid thermal annealing | |
JP2006250924A (ja) | ラマン分光用デバイス、及びラマン分光装置 | |
Choudhari et al. | Recent progress in the fabrication and optical properties of nanoporous anodic alumina | |
Preston et al. | Plasmonics under attack: protecting copper nanostructures from harsh environments | |
JP2022531873A (ja) | パターン化された導電性物品 | |
Roslyakov et al. | Evolution of pore ordering during anodizing of aluminum single crystals: In situ small-angle X-ray scattering study | |
Yang et al. | Surface modification and microstructuring of 4H-SiC (0001) by anodic oxidation with sodium chloride aqueous solution | |
Fang et al. | Femtosecond laser structuring for flexible surface-enhanced Raman spectroscopy substrates | |
Higashino et al. | Improving the plasmonic response of silver nanoparticle arrays via atomic layer deposition coating and annealing above the melting point | |
Kim et al. | Controlling the multiscale topography of anodized aluminum oxide nanowire structures for surface-enhanced Raman scattering and perfect absorbers | |
JP2015059977A (ja) | 透明微細凹凸構造体の製造方法 | |
Wohlwend et al. | Chemical engineering of Cu–Sn disordered network metamaterials | |
Yang et al. | A fabrication method of the silica-based moth-eye structures and its application to the organic light-emitting diodes | |
KR101517811B1 (ko) | 탄소계 방열시트 및 그 제조방법 | |
Park et al. | A strain induced subwavelength-structure for a haze-free and highly transparent flexible plastic substrate |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20161101 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20161104 |
|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
Ref document number: 6039825 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R150 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
S533 | Written request for registration of change of name |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313533 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |