JP6024657B2 - 半導体レーザ素子 - Google Patents
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Description
基板と、前記基板上に設けられ前記基板の反対側の面にリッジを有する半導体部と、前記リッジ上に設けられた電極と、前記リッジの両側の半導体部上に設けられた絶縁膜と、前記電極上に設けられたパッド電極と、を備え、前記パッド電極側を実装面側とする半導体レーザ素子であって、
前記パッド電極は、前記絶縁膜上に延在して設けられており、
前記半導体部と前記パッド電極の間の前記リッジから離れた一部にスペーサ部が設けられたことを特徴とする。
すなわち、スペーサ部が設けられていない場合には、リッジの両側が低くなっていることからリッジを中心にして揺動することから傾きが生じる。
しかしながら、本発明のように、リッジから離れた位置にスペーサ部を設けることにより、実装時に少なくともリッジとスペーサ部によって、支持されることになるので、ジャンクションダウン接合時の傾きを抑制することができる。
さらに、本発明に係る半導体レーザ素子では、前記半導体部と前記パッド電極の間の前記リッジから離れた一部にスペーサ部が設けられているので、スペーサ部をリッジ両側のほぼ全面に形成したときのように放熱性を悪化させることがない。
以上のように構成された実施形態の半導体レーザ素子では、第1スペーサ部5aと、第1スペーサ部5a’と、第2スペーサ部5bと及び第2スペーサ部5b’の上に形成されたパッド電極の上面の高さを、スペーサが設けられていない場所に形成された絶縁膜上のパッド電極の高さより高くしているので、ジャンクションダウン接合時に、半導体レーザ素子100の傾きを抑制することができる。第1スペーサ部5a、第1スペーサ部5a’、第2スペーサ部5b及び第2スペーサ部5b’は、上部電極3の高さと略同一の厚さに形成されることが好ましく、これにより、第1スペーサ部5a、第1スペーサ部5a’、第2スペーサ部5b及び第2スペーサ部5b’の上に形成されたパッド電極の上面の高さと、リッジ上(電極3上)に形成されたパッド電極6の上面の高さとを、略同一の高さにでき、より効果的に半導体レーザ素子100の傾きを抑えることができる。
さらに、第1スペーサ部5aを含むスペーサ部が部分的に設けられているので、比較的薄い絶縁膜4上にパッド電極6がスペーサ部を介することなく設けられている。これにより、スペーサ部をほぼ全面に設けた場合に比較して、放熱性を向上させることができる。すなわち、スペーサ部をリッジ2aの両側のほぼ全面に設けた場合には、熱伝導率の大きい金属からなるパッド電極6と半導体層の間に比較的厚い熱伝導の悪いスペーサ部がほぼ全面に存在することになり、スペーサ部に熱がこもり温度が上昇する。これに対して、スペーサ部を部分的に設けるようにすると、比較的薄い絶縁膜上のパッド電極に熱が効果的に伝達されて熱伝導が良好なパッド電極により放熱される。
このように、リッジ2aの長手方向に平行な方向(例えば図1に示すC−C’線に沿った方向)に、スペーサ部を介して絶縁膜が形成されている部分とスペーサ部を介することなく絶縁膜が形成されている部分が存在する(並置されている)と、半導体レーザ素子100の傾きを抑制することができ、さらに放熱性を向上させることができる。
基板1には種々の材料を用いることができる。半導体部2が窒化物半導体からなる場合は、基板1も窒化物半導体とすることが好ましい。ここでは、基板1は導電性を有し、基板1に直接下部電極7が形成されている。なお、「窒化物半導体」とは窒素を含む半導体であり、典型的にはInxAlyGa1-x-yN(0≦x、0≦y、x+y≦1)で示すことができる。
半導体部2には種々の材料及び構造を用いることができる。半導体部2は、例えば、基板1側から、下部クラッド層、下部ガイド層、活性層、上部ガイド層、上部クラッド層及び上部コンタクト層を順に備えることができる(図示せず)。さらに、半導体部2はその上側にリッジ2aを有する。リッジ2aは、半導体部2の上側に設けられたストライプ状の凸部であり、典型的には、半導体部2の上側からリッジとなる部分以外を任意の深さで除去することにより得られる。半導体部2は、リッジ2aの側面からリッジ外側に連続してその上面が露出している。なお、本明細書では、「リッジ上面」と、リッジ2aの上面から両側に連続して延伸する「リッジ側面」と、リッジ2aの側面から外側に連続して延伸する「半導体部上面」と、を区別して使用する。
この段差部には、以下のような意義がある。
すなわち、図6に示すようにジャンクションダウン実装時には、支持部材8とパッド電極6が導電部材9により接合されるが、その際に導電部材9が半導体部2側面を這い上がる可能性がある。
そこで、図2、図3に示すように、段差部を設け且つ段差部に絶縁膜を形成することによって導電部材9の這い上がりを防止でき、導電部材9の這い上がりに起因したリークの発生を抑制することができる。なお、図面の理解を容易にするために図1においては段差部を示していない。
上部電極3は、リッジ2a上に設けられる電極である。上部電極3とリッジ2aの上面とが接触する領域は任意に設定することができる。しかしながら、図1等に示すように、リッジ2a上面の略全域とすることが好ましい。なお、上部電極3を形成する領域はリッジ2a上面のみに限られず、絶縁膜4及び4’を介して半導体部2上面まで延在させることもできる。上部電極3の材料としては、例えば、Pd、Pt、Ni、Au、Ti、W、Cu、Ag、Zn、Sn、In、Al、Ir、Rh又はITOのいずれかを含めることができる。
図1において、リッジ2aの右側に設けられた絶縁膜を符号4で示し、リッジ2aの左側に設けられた絶縁膜を符号4’で示す。絶縁膜4及び4’は埋込膜とも称されるものであり、光をリッジ内に閉じ込めやすくするために半導体部2よりも屈折率の低い部材からなる。ジャンクションダウン時には絶縁膜4を介して放熱が行われる。しかしながら、絶縁膜は一般的には熱伝導率が低い。そのため光の閉じ込めに影響を与えない範囲で、できる限り膜厚を薄く成膜することが望ましい。したがって、絶縁膜4及び4’の上面は通常、リッジ2aの上面よりも低く、半導体部2の上面からからリッジ2a側面にわたって形成されている。リッジ2a側面からリッジ2a上面に絶縁膜4及び4’の一部を延在させ、上部電極3が形成される領域を除いてリッジの上面にも絶縁膜を形成するようにしてもよい。その材料としては、例えば、Si、Zr、Al又はZnの酸化物、窒化物又は酸窒化物が挙げられる。
本発明におけるスペーサ部の基本的な機能は、ジャンクションダウン実装時における半導体レーザ素子の傾きを抑制するものである。その基本的な機能を果たすために、スペーサ部は、絶縁膜4又は4’のうち少なくとも一方の上面の少なくとも一部に設けられていればよい。例えば、スペーサ部を一箇所形成する場合、スペーサ部は、パッド電極6の下でかつリッジ2aの両端から最も離れた位置に形成することが好ましい。このようにすると、リッジ2aとスペーサ部で半導体レーザ素子を支持することができ、半導体レーザ素子の傾きを効果的に抑制することができる。
また、スペーサ部は、リッジ2a両側の絶縁膜4,4’上のほぼ全面に形成することなく、部分的に形成されており、これにより、スペーサ部か形成された部分で実装時の傾きを抑制する一方、スペーサ部か形成されていない部分では絶縁膜4,4’上に直接パッド電極を形成することで良好な熱伝導を確保している。
このスペーサ部は、上述のように少なくとも1つあればよいが、上記傾き防止機能の他に種々の機能を併せ持った複数のスペーサ部からなっていてもよい。
図1等に示す第1スペーサ部5a及び5a’は、ジャンクションダウン実装時における半導体レーザ素子の傾きを抑制するという基本機能に加え、さらに後述の機能を有している。
図1においては、リッジ2aの両側に第1スペーサ部が設けられており、リッジ2aの右側に設けられた第1スペーサ部を符号5aで示し、リッジ2aの左側に設けられた第1スペーサ部を符号5a’で示す。以下では主として第1スペーサ部を符号5aについて説明するが、第1スペーサ部5a’についても同様であることは言うまでもない。
第1スペーサ部が設けられた絶縁膜上面には、さらに第2スペーサ部を設けることができる。図1において、リッジ2aの右側に設けられた第2スペーサ部を符号5bで示し、リッジ2aの左側に設けられた第2スペーサ部を符号5b’で示す。以下では主として第2スペーサ部5bについて説明するが、第2スペーサ部5b’についても同様であることは言うまでもない。
図1において、リッジ2aの右側に設けられたブロック部を符号5cで示し、リッジ2aの左側に設けられたブロック部を符号5c’で示す。以下では主としてリッジ2aの右側に設けられたブロック部5cについて説明する。ただし、その説明はリッジ2aの左側に設けられたブロック部5c’についても当てはまることは言うまでもない。
尚、第1スペーサ部5a、第2スペーサ部5b及びブロック部5cが一体で形成されている場合、第1スペーサ部5aと第2スペーサ部5bとを連結する部分をブロック部5cとする。
パッド電極6は、共振器長方向における一直線上において少なくとも第1スペーサ部5aと絶縁膜4を被覆している。パッド電極6は第1スペーサ部5a上面の全面を被覆する必要はなく、少なくともその一部を被覆していればよい。図4に示すように第1スペーサ部5aを介して半導体部2上面に設けられたパッド電極6上面は、第1スペーサ部5aを介さずに半導体部2上面に設けられたパッド電極6上面よりも高くなっている。パッド電極6の材料としては、熱伝導率に優れた金属材料とすることができ、例えば、Ni、Ti、Au、Pt、Pd、Wの少なくとも一つを含めることができる。
半導体レーザ素子100と異なる形態として、図7に示す半導体レーザ素子200のような構成をとることもできる。半導体レーザ素子200は、絶縁膜4上に、スペーサ部50を有し、第2スペーサ部及びブロック部を備えない。さらに、スペーサ部50は端面近傍ではなくリッジ2aの延伸方向における中央部に設けてある。この構成では、ミラー成分の回り込み抑制による放熱性の向上及びブロック部によりリーク抑制の効果は期待できないものの、ジャンクションダウン実装時における半導体レーザ200の傾き防止及び放熱性については一定のレベルで期待できる。
先ず、n型GaNからなるウエハ状の基板1上に、SiドープAl0.02Ga0.98N(膜厚1.6μm)よりなる下地層と、SiドープIn0.05Ga0.95N(膜厚0.15μm)よりなるクラック防止層と、SiドープAl0.07Ga0.93N(膜厚0.9μm)よりなる下部クラッド層と、SiドープGaN(膜厚0.15μm)及びアンドープGaN(膜厚0.15μm)よりなる下部ガイド層と、MQWの活性層と、MgドープAl0.12Ga0.88N(膜厚1.5nm)及びMgドープAl0.16Ga0.84N(膜厚8.5nm)よりなるキャリア閉じ込め層と、ノンドープGaN(膜厚0.15μm)とMgドープGaN(膜厚0.35μm)よりなる上部ガイド層と、MgドープGaN(膜厚15nm)より上部コンタクト層と、を順に積層して半導体部2とした。なお、MQW活性層は、基板1側から順に、SiドープIn0.03Ga0.97N(膜厚170nm)よりなる障壁層と、アンドープIn0.14Ga0.86N(膜厚3nm)よりなる井戸層と、アンドープGaN(膜厚14nm)よりなる障壁層と、アンドープIn0.14Ga0.86N(膜厚3nm)よりなる井戸層と、アンドープIn0.03Ga0.97N(膜厚70nm)よりなる障壁層と、を備える。
ジャンクションダウン実装時、効果的に傾きを抑制するためには、リッジ2aの両側のほぼ全面に500nm厚さのSiO2を形成し、パッド電極6の表面全体を実質的に平坦にした構成も考えられる。しかしながら、そのように構成すると、上述したように放熱特性が悪化する。そのことを確認するために、比較例として、図11に示すように、リッジ2aの両側において、絶縁膜4,4’のほぼ全面に均一にSiO2を形成した半導体レーザ素子600を作製して放熱特性を実施例の半導体レーザ素子と比較した。すなわち、比較例の半導体レーザ素子600は、実施例の半導体レーザ素子において、外周を取り囲むように形成した第1スペーサ部5a,5a’、第2スペーサ部5b,5b’及びブロック部5c,5c’に代えて、リッジ2aの両側に絶縁膜4,4’のほぼ全面を覆うSiO2を形成した以外は半導体レーザ素子100と同様な構成を有する。
図8に過渡熱抵抗測定結果を示す。縦軸は熱抵抗値の相対値を示し、横軸は通電パルス時間を示している。チップとサブマウント間の熱抵抗値を示すと考えられるPT=0.01Secあたりの熱抵抗値に差があり、比較例よりも小さくなっていることが確認できた。この結果から、半導体レーザ素子100とサブマウント間の放熱性が比較例に比べて優れていることが理解できる。この熱抵抗の差は小さくみえるかもしれないが、Wクラスの高出力半導体レーザ素子を作成する場合、高電流領域において発熱量が大きくなるために、熱抵抗のわずかな差により発熱量に大きな差が生じてしまう。実際、このようなわずかな差であっても、後述するようにI−L特性やライフ特性に大きな差が生じることが理解できる。
実施例の放熱性が比較例よりも優れているためにこのような結果となったと考えられる。
以上のように、本発明に係る実施例の半導体レーザ素子100は、ジャンクションダウン接合時の傾きを抑制することができ、しかも放熱性の高いことが確認できた。
1…基板
2…半導体部
3…上部電極
4、4’…絶縁膜
5a、5a’…第1スペーサ部
5b、5b’…第2スペーサ部
5c、5c’…連結部
6…パッド電極
7…下部電極
8…支持部材
9…導電部材
Claims (11)
- 基板と、前記基板上に設けられ前記基板と反対側の面にリッジを有する半導体部と、前記リッジ上に設けられた電極と、前記リッジの両側の半導体部上に設けられた絶縁膜と、
前記電極上に設けられたパッド電極と、を備え、前記パッド電極側を実装面側とする半導体レーザ素子であって、
前記パッド電極は、前記絶縁膜上に延在して設けられており、
前記半導体部と前記パッド電極の間の一部に絶縁材料からなるスペーサ部が設けられており、
前記スペーサ部は、前記半導体部の出射端面近傍に配置された第1スペーサ部と前記半導体部の反射端面近傍に配置された第2スペーサ部を含み、
前記リッジの上に位置するパッド電極の上面と、前記スペーサ部の上方に位置するパッド電極の上面とが実質的に同じ高さにあり、
前記第1スペーサ部と前記第2スペーサ部の間の前記絶縁膜が前記パッド電極と接していることを特徴とする半導体レーザ素子。 - 前記リッジに平行に前記基板の側面に沿って前記パッド電極から離間して配置され、前記スペーサ部と実質的に同じ高さになるように前記絶縁膜上に形成されたブロック部を含む請求項1に記載の半導体レーザ素子。
- 前記ブロック部は、Siの酸化物、Zrの酸化物、Alの酸化物、Znの酸化物、Siの窒化物、Zrの窒化物、Alの窒化物、Znの窒化物、Siの酸窒化物、Zrの酸窒化物、Alの酸窒化物及びZnの酸窒化物からなる群から選択された1つを含んでなる請求項2に記載の半導体レーザ素子。
- 前記第1スペーサ部と前記第2スペーサ部と前記ブロック部とが一体化されている請求項2又は3記載の半導体レーザ素子。
- 前記スペーサ部は、Siの酸化物、Zrの酸化物、Alの酸化物、Znの酸化物、Siの窒化物、Zrの窒化物、Alの窒化物、Znの窒化物、Siの酸窒化物、Zrの酸窒化物、Alの酸窒化物及びZnの酸窒化物からなる群から選択された1つを含んでなる請求項1〜4のうちのいずれか1つに記載の半導体レーザ素子。
- 前記半導体部の縁部にはリッジの延伸方向に延伸する段差部を備え、
前記段差部に前記絶縁膜が形成されている請求項1〜5のうちのいずれか1つに記載の半導体レーザ素子。 - 前記半導体レーザ素子はマルチモードレーザである請求項1〜6のうちのいずれか1つに記載の半導体レーザ素子。
- 前記絶縁膜は、Siの酸化物、Zrの酸化物、Alの酸化物、Znの酸化物、Siの窒化物、Zrの窒化物、Alの窒化物、Znの窒化物、Siの酸窒化物、Zrの酸窒化物、Alの酸窒化物及びZnの酸窒化物からなる群から選択された1つを含んでなる請求項1〜7のうちのいずれか1つに記載の半導体レーザ素子。
- 前記リッジと前記スペーサ部とは離間している請求項1〜8のいずれか1つに記載の半導体レーザ素子。
- 前記リッジと前記スペーサ部との距離は、10μm未満である請求項9に記載の半導体レーザ素子。
- 前記半導体部は窒化物半導体である請求項1〜10のうちのいずれか1つに記載の半導体レーザ素子。
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2011148763 | 2011-07-05 | ||
JP2011148763 | 2011-07-05 | ||
PCT/JP2012/067051 WO2013005759A1 (ja) | 2011-07-05 | 2012-07-04 | 半導体レーザ素子 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPWO2013005759A1 JPWO2013005759A1 (ja) | 2015-02-23 |
JP6024657B2 true JP6024657B2 (ja) | 2016-11-16 |
Family
ID=47437106
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2013523029A Active JP6024657B2 (ja) | 2011-07-05 | 2012-07-04 | 半導体レーザ素子 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US8995492B2 (ja) |
EP (1) | EP2731212B1 (ja) |
JP (1) | JP6024657B2 (ja) |
CN (2) | CN103608986B (ja) |
TW (1) | TWI599131B (ja) |
WO (1) | WO2013005759A1 (ja) |
Families Citing this family (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102014105191B4 (de) * | 2014-04-11 | 2019-09-19 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Halbleiter-Streifenlaser und Halbleiterbauteil |
US10339179B2 (en) * | 2016-04-11 | 2019-07-02 | Oracle International Corporation | Graph processing system that can define a graph view from multiple relational database tables |
Family Cites Families (30)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP3348024B2 (ja) * | 1998-08-17 | 2002-11-20 | 松下電器産業株式会社 | 半導体レーザ装置 |
JP2002111137A (ja) * | 2001-07-13 | 2002-04-12 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体レーザ素子 |
JP2003332676A (ja) * | 2002-05-08 | 2003-11-21 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体光装置 |
JP2004014943A (ja) * | 2002-06-10 | 2004-01-15 | Sony Corp | マルチビーム型半導体レーザ、半導体発光素子および半導体装置 |
JP2004140141A (ja) | 2002-10-17 | 2004-05-13 | Mitsubishi Electric Corp | 半導体レーザ |
TWI303909B (en) * | 2002-11-25 | 2008-12-01 | Nichia Corp | Ridge waveguide semiconductor laser diode |
TWI327781B (en) * | 2003-02-19 | 2010-07-21 | Nichia Corp | Nitride semiconductor device |
JP4622335B2 (ja) * | 2003-08-04 | 2011-02-02 | 日亜化学工業株式会社 | 半導体レーザ素子 |
US7319076B2 (en) * | 2003-09-26 | 2008-01-15 | Intel Corporation | Low resistance T-shaped ridge structure |
JP5028640B2 (ja) * | 2004-03-26 | 2012-09-19 | 日亜化学工業株式会社 | 窒化物半導体レーザ素子 |
EP1583190B1 (en) * | 2004-04-02 | 2008-12-24 | Nichia Corporation | Nitride semiconductor laser device |
JP2006080275A (ja) * | 2004-09-09 | 2006-03-23 | Toshiba Corp | 半導体レーザ素子 |
JP2006128558A (ja) * | 2004-11-01 | 2006-05-18 | Sony Corp | 半導体レーザ、半導体レーザの実装方法、半導体レーザ実装構造体および光ディスク装置 |
JP4535997B2 (ja) * | 2005-12-09 | 2010-09-01 | シャープ株式会社 | 窒化物半導体レーザ素子およびその製造方法 |
JP4762729B2 (ja) * | 2006-01-13 | 2011-08-31 | シャープ株式会社 | 半導体レーザ素子の実装構造 |
JP4047358B2 (ja) * | 2006-03-31 | 2008-02-13 | 松下電器産業株式会社 | 自励発振型半導体レーザ装置 |
US7646798B2 (en) * | 2006-12-28 | 2010-01-12 | Nichia Corporation | Nitride semiconductor laser element |
JP4976974B2 (ja) | 2007-03-28 | 2012-07-18 | パナソニック株式会社 | 発光装置 |
JP4845790B2 (ja) * | 2007-03-30 | 2011-12-28 | 三洋電機株式会社 | 半導体レーザ素子およびその製造方法 |
JP2009059933A (ja) * | 2007-08-31 | 2009-03-19 | Toshiba Corp | 半導体発光素子 |
WO2009034928A1 (ja) * | 2007-09-10 | 2009-03-19 | Rohm Co., Ltd. | 半導体発光素子及び半導体発光装置 |
JP2009088490A (ja) * | 2007-09-10 | 2009-04-23 | Rohm Co Ltd | 半導体発光素子及び半導体発光装置 |
JP2009117543A (ja) * | 2007-11-05 | 2009-05-28 | Rohm Co Ltd | 窒化物半導体発光素子及びその製造方法 |
JP2009188273A (ja) | 2008-02-07 | 2009-08-20 | Rohm Co Ltd | ジャンクションダウン型の光半導体素子及び光半導体装置 |
JP2010040752A (ja) * | 2008-08-05 | 2010-02-18 | Sanyo Electric Co Ltd | 半導体レーザ装置およびその製造方法 |
JP2010098001A (ja) * | 2008-10-14 | 2010-04-30 | Sharp Corp | 半導体レーザ装置およびその製造方法 |
JP2010108965A (ja) | 2008-10-28 | 2010-05-13 | Nippon Electric Glass Co Ltd | 波長変換部材 |
US8064492B2 (en) * | 2009-01-26 | 2011-11-22 | Sanyo Electric Co., Ltd. | Method of manufacturing semiconductor laser device, semiconductor laser device and light apparatus |
JP4901909B2 (ja) * | 2009-05-19 | 2012-03-21 | シャープ株式会社 | 光学部品及びその製造方法 |
KR20110094996A (ko) | 2010-02-18 | 2011-08-24 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광소자 패키지, 그 제조방법 및 조명시스템 |
-
2012
- 2012-07-04 US US14/130,896 patent/US8995492B2/en active Active
- 2012-07-04 JP JP2013523029A patent/JP6024657B2/ja active Active
- 2012-07-04 CN CN201280029817.0A patent/CN103608986B/zh active Active
- 2012-07-04 EP EP12807026.5A patent/EP2731212B1/en active Active
- 2012-07-04 CN CN201610019680.0A patent/CN105490161B/zh active Active
- 2012-07-04 WO PCT/JP2012/067051 patent/WO2013005759A1/ja active Application Filing
- 2012-07-05 TW TW101124299A patent/TWI599131B/zh active
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
EP2731212A1 (en) | 2014-05-14 |
JPWO2013005759A1 (ja) | 2015-02-23 |
CN105490161A (zh) | 2016-04-13 |
CN105490161B (zh) | 2022-12-30 |
TW201308807A (zh) | 2013-02-16 |
WO2013005759A1 (ja) | 2013-01-10 |
CN103608986B (zh) | 2016-02-10 |
CN103608986A (zh) | 2014-02-26 |
EP2731212A4 (en) | 2015-06-24 |
TWI599131B (zh) | 2017-09-11 |
US20140140362A1 (en) | 2014-05-22 |
EP2731212B1 (en) | 2022-12-07 |
US8995492B2 (en) | 2015-03-31 |
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Legal Events
Date | Code | Title | Description |
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A521 | Request for written amendment filed |
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RD04 | Notification of resignation of power of attorney |
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A131 | Notification of reasons for refusal |
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TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
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|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
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|
R150 | Certificate of patent or registration of utility model |
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|
R250 | Receipt of annual fees |
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R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |