JP6022887B2 - 基板収納容器の梱包体 - Google Patents
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Description
そこで、450mmタイプの基板収納容器については、作業の安全性や効率化等を図り、業界の規約を満たすため、ロボットアーム等によるハンドリングや梱包が研究されている。
包装体の基板収納容器を、複数枚の半導体ウェーハを上下方向に並べて収納可能な容器本体の正面を施錠機構内蔵の蓋体により開閉する総重量が8kgf以上のフロントオープンボックスタイプとし、容器本体の天井には搬送用のフランジが装着されており、
収納箱を、機械搬送用の底部パレットに中空の箱本体を搭載することにより構成し、これら底部パレットと箱本体とを樹脂含有の成形材料により形成し、底部パレットに、フォークリフトのフォークに挿通される搬送挿入口を設けるとともに、この搬送挿入口を底部パレットの前後あるいは左右方向に向け、箱本体の上部と周壁の正面のうち、少なくとも周壁の正面を開口し、この周壁の正面を扉により開閉可能とし、
個別パレットを、緩衝性の発泡材料により、基板収納容器の蓋体が上向きとなるよう包装体を搭載する機械搬送用の台に形成し、この個別パレットに、収納箱の外部から箱本体の周壁の開口した正面を介してロボットアームのフォークに挿通されるアクセス挿入口を設け、
緩衝材を、樹脂含有の成形材料あるいは発泡倍率の大きい発泡材により形成したことを特徴としている。
また、箱本体の周壁の背面壁に対して一側壁を横方向に回転可能に支持させ、この一側壁に、箱本体の周壁の正面を開閉する扉を回転可能に支持させることもできる。
また、個別パレットを、台の表面に包装体を包囲する包囲壁を形成することで構成し、包囲壁の内周面を傾斜させて上方に向かうにしたがい徐々に広がるようにしても良い。
複数の棚片上に包装体が搭載される場合に、包装体と個別パレット表面の間に、挿通口に連通する空隙を区画するようにしても良い。
また、緩衝材を複数の個別パレットに対向可能な大きさに形成し、この緩衝材の表面に、個別パレットの底面に嵌挿する嵌挿部を突出形成することが可能である。
さらに、緩衝材の包装体と相対する面に、複数の包装体の上部に嵌合可能な嵌合穴を並べ設けることも可能である。
請求項6記載の発明によれば、個別パレットを、上部パレットと下部パレットとに分割して構成するので、個別パレットに大きく重い包装体を搭載する際の便宜を図ることが可能になる。
請求項8記載の発明によれば、包装体のみを取り扱うことができるので、外部環境とクリーン環境との間で包装体を容易に受け渡しすることが可能になる。
請求項10記載の発明によれば、緩衝材の位置決め壁により、個別パレットの前後左右方向への位置ずれやがたつきを抑制することができる。また、個別パレットのアクセス挿入口に緩衝材の正面側の位置決め壁が対向せず、隠蔽したり、障害物とならないので、個別パレットのアクセス挿入口に対してロボットのフォークを円滑に挿脱することができる。
請求項12記載の発明によれば、緩衝材の位置決め壁、切り欠き、位置決め部等を省略し、緩衝材の構成の簡素化を図ることができる。
2 収納箱
3 底部パレット
4 搬送挿入口
6 箱本体
7 壁
8 下部
10 上部
11 上蓋
12 周壁
13 正面(開口)
14 背面壁
15 側壁
16 扉
16A 第一の扉
16B 第二の扉
17 マジックテープ
20 個別パレット
21 上部パレット
24 第一嵌合凸部(凸部)
25 第一嵌合凹部(凹部)
26 位置決め溝
27 下部パレット
30 第二嵌合凹部(凹部)
31 第二嵌合凸部(凸部)
32 包囲壁
32A 包囲壁
32B 包囲壁
32C 包囲壁
33 内周面上部(内周面)
34 挿通口
35 棚片
36 空隙
37 嵌挿穴
40 緩衝材
41 位置決め壁
42 位置決め壁
43 位置決め壁
44 切り欠き
45 位置決め壁
46 搭載領域
47 位置決め片(位置決め部)
48 嵌合穴
49 嵌挿部
50 アクセス手段
51 アクセス挿入口
52 切り欠き
53 アクセス凹部
54 アクセス凸部
55 貫通口
Claims (13)
- 基板収納容器を包装する包装体用の収納箱と、包装体を搭載する個別パレットと、包装体と個別パレットの少なくともいずれか一方に接触する緩衝材とを含んでなる基板収納容器の梱包体であって、
包装体の基板収納容器を、複数枚の半導体ウェーハを上下方向に並べて収納可能な容器本体の正面を施錠機構内蔵の蓋体により開閉する総重量が8kgf以上のフロントオープンボックスタイプとし、容器本体の天井には搬送用のフランジが装着されており、
収納箱を、機械搬送用の底部パレットに中空の箱本体を搭載することにより構成し、これら底部パレットと箱本体とを樹脂含有の成形材料により形成し、底部パレットに、フォークリフトのフォークに挿通される搬送挿入口を設けるとともに、この搬送挿入口を底部パレットの前後あるいは左右方向に向け、箱本体の上部と周壁の正面のうち、少なくとも周壁の正面を開口し、この周壁の正面を扉により開閉可能とし、
個別パレットを、緩衝性の発泡材料により、基板収納容器の蓋体が上向きとなるよう包装体を搭載する機械搬送用の台に形成し、この個別パレットに、収納箱の外部から箱本体の周壁の開口した正面を介してロボットアームのフォークに挿通されるアクセス挿入口を設け、
緩衝材を、樹脂含有の成形材料あるいは発泡倍率の大きい発泡材により形成したことを特徴とする基板収納容器の梱包体。 - 箱本体の上部を開口し、この箱本体の上部を上蓋により被覆し、箱本体の周壁の一側壁に、周壁の正面を開閉する扉を回転可能に支持させた請求項1記載の基板収納容器の梱包体。
- 箱本体の上部を開口し、箱本体の周壁の背面壁に、箱本体の上部を開閉する上蓋を回転可能に支持させるとともに、この上蓋に、箱本体の正面上部を開閉する第一の扉を回転可能に支持させ、箱本体の下部に、箱本体の正面下部を開閉する第二の扉を回転可能に支持させた請求項1記載の基板収納容器の梱包体。
- 箱本体の周壁の背面壁に対して一側壁を横方向に回転可能に支持させ、この一側壁に、箱本体の周壁の正面を開閉する扉を回転可能に支持させた請求項1記載の基板収納容器の梱包体。
- 箱本体の周壁の背面壁に一側壁を横方向に回転可能に支持させ、箱本体の周壁の他側壁に、箱本体の周壁の正面を開閉する扉を回転可能に支持させた請求項1記載の基板収納容器の梱包体。
- 個別パレットを、包装体に嵌通される上部パレットと、包装体と上部パレットとを搭載する下部パレットとに分割し、上部パレットと下部パレットとの一方に凹部を、他方に凸部をそれぞれ形成するとともに、これら凹部と凸部とを嵌合可能とした請求項1ないし5いずれかに記載の基板収納容器の梱包体。
- 個別パレットを、台の表面に包装体を包囲する包囲壁を形成することで構成し、包囲壁の内周面を傾斜させて上方に向かうにしたがい徐々に広がるようにした請求項1ないし5いずれかに記載の基板収納容器の梱包体。
- 個別パレットの表面周縁部の前部中央、後部、両側部に、包装体を包囲する包囲壁を形成し、前部中央の包囲壁と両側部の包囲壁との間に、ロボットアームのフォーク用の挿通口をそれぞれ区画するとともに、前部中央の包囲壁、後部の包囲壁、両側部の包囲壁に、包装体を搭載する複数の棚片を形成し、
複数の棚片上に包装体が搭載される場合に、包装体と個別パレット表面の間に、挿通口に連通する空隙を区画するようにした請求項1ないし5いずれかに記載の基板収納容器の梱包体。 - 個別パレットの隅部に、天井搬送装置のフックを係止可能なアクセス凹部と、天井搬送装置のフックに係止される貫通口付きのアクセス凸部の少なくともいずれか一方を形成した請求項1ないし8いずれかに記載の基板収納容器の梱包体。
- 緩衝材を複数の個別パレットに対向可能な大きさに形成し、この緩衝材表面の少なくとも周縁部に、複数の個別パレットの周縁に接触可能な位置決め壁を形成するとともに、この位置決め壁の正面側を切り欠いて個別パレットのアクセス挿入口を露出可能とし、緩衝材の表面に、複数の個別パレットの間に介在してこれら複数の個別パレットを位置決めする位置決め部を形成した請求項1ないし9いずれかに記載の基板収納容器の梱包体。
- 個別パレットのアクセス挿入口を複数とし、緩衝材の位置決め壁の正面側を切り欠いて個別パレットの複数のアクセス挿入口を露出可能とし、緩衝材の位置決め部を個別パレットの複数のアクセス挿入口の間に位置させるようにした請求項10記載の基板収納容器の梱包体。
- 緩衝材を複数の個別パレットに対向可能な大きさに形成し、この緩衝材の表面に、個別パレットの底面に嵌挿する嵌挿部を突出形成した請求項1ないし8いずれかに記載の基板収納容器の梱包体。
- 緩衝材の包装体と相対する面に、複数の包装体の上部に嵌合可能な嵌合穴を並べ設けた請求項1ないし12いずれかに記載の基板収納容器の梱包体。
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JP2012125935 | 2012-06-01 | ||
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