JP2000025885A - ウエハー梱包及びウエハー梱包方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】 【課題】 輸送中の破損や荷崩れを防止し、資材費や輸
送費を削減し省資源性に優れ、搬送性を著しく向上する
ことのできるウエハー梱包の提供を目的とする。 【解決手段】 本発明のウエハー梱包は、ａ）側壁部３
を備えたボックスパレット１と、ｂ）ボックスパレット
１のデッキボード２ａ上に載置された緩衝材７と，緩衝
材７の上に載置され１以上のウエハーカセット収納部９
を備えたウエハーカセット保持部材８と，ウエハーカセ
ット収納部９に収納されたウエハーカセット２１と，を
備えた１段目のユニットと、ｃ）１段目のユニットの上
に同様にして１乃至複数段載置された２段目以降のユニ
ットと、ｄ）最上段のユニットのウエハーカセット２１
の上に載置された天井緩衝材７ａと、ｅ）天井緩衝材７
ａ上に覆設された蓋部４と、を備えた構成を有してい
る。

Description

【発明の詳細な説明】

【０００１】

【発明の属する技術分野】本発明は各種の半導体基板材
料であるウエハーを安全にかつ低コストで輸送すること
のできるウエハー梱包及びウエハー梱包方法に関するも
のである。

【０００２】

【従来の技術】近年、マイクロコンピュータを搭載した
家電製品やパーソナルコンピュータ等の普及にともな
い、半導体基板材料であるウエハーの需要が増大し、ト
ラックや飛行機によるウエハーの輸送量が激増してい
る。輸送の際のウエハー梱包やウエハー梱包方法として
は、複数のウエハーを離間して収納したウエハーカセッ
トを、２個緩衝材を介して段ボール箱に収納し、その段
ボール箱を複数段段積し、平パレット上に載置して輸送
していた。しかしながら、段ボール箱を収納箱にした場
合は、水分や衝撃に弱く、また輸送中に横滑りして荷崩
れが起きやすいという問題点があったため、これを解決
すべく種々の工夫がなされてきた。以下、従来のウエハ
ー梱包及びウエハー梱包方法について図面を参照しなが
ら説明する。図５（ａ）はウエハーカセットの斜視図で
あり、図５（ｂ）は従来の段ボール製の収納箱の斜視図
であり、図６は収納箱をパレット上に複数段積載した従
来のウエハー梱包を示す斜視図である。図５（ａ），
（ｂ）において、２１は内部に複数のウエハーを収納し
密封包装されたウエハーカセット、２１ａはウエハーカ
セット本体、２１ｂは防湿、防埃等の目的でウエハーカ
セットを密封包装したプラスチック−アルミ箔積層フィ
ルムや単層フィルム等のシュリンクフィルムである。２
２はウエハーカセット２１を輸送中の衝撃から保護する
ための発泡スチロールやウレタンフォーム等からなる緩
衝材、２２ａはその本体部、２２ｂはウエハーカセット
２１を収納する収納部、２２ｃはその蓋部であり、２３
は段ボール等製の仕切板、２４は段ボール製の収納箱で
ある。図６において、２５は収納箱２４を積載し輸送す
るための平パレット、２６は段ボールや合板製で中央を
折り曲げて形成され収納箱２４の角部を保護する角部保
護部材、２７は塩化ビニールや塩化ビニリデン、ポリエ
チレン等からなるシュリンクフィルム、２８は荷崩れを
防止するために緊締した樹脂等製のバンドである。ここ
で、ウエハー梱包方法としては、収納箱２４に緩衝材の
本体部２４ａ、仕切板２３、ついでウエハーカセット２
１を収納し、緩衝材の蓋部２２ｃを被せて収納箱２４の
蓋を閉じ、テープ等で蓋を固定する。このようにウエハ
ーカセット２１を収納した収納箱２４は、平パレット２
５上に所定数積載して全体を略直方体状に整える。各角
部に角部保護部材２６を当てがい、次いで収納箱を防
水、固定するためシュリンクフィルム２７を引き延ばし
ながら略全面に被覆し、さらに荷崩れ防止のために要部
をバンド２８で固定する。

【０００３】

【発明が解決しようとする課題】しかしながら上記従来
のウエハー梱包は、以下のような課題を有していた。 １）表面が軟弱なシュリンクフィルムや段ボール製なの
で、フォークリフトのフォークや他の貨物がぶつかった
場合に破損しやすく、また、他のパレット梱包が上面部
に載置された場合には押し潰されやすいという問題を有
していた。 ２）段ボール製の収納箱と緩衝材は比較的高価な上に、
破損しやすく再使用が困難なため、省資源性に欠け資材
費がかさみ経済性に欠けるという問題点を有していた。 ３）シュリンクフィルムやウエハーカセット本体の破損
を防止するために、十分な厚みを有する緩衝材が必要と
なるため風袋体積が大きくなり、パレット１枚当たりで
輸送が可能なウエハーカセット数が限定されるととも
に、体積重量が大きくなるため、搬送性に欠け輸送費
（特に航空運賃）が増大するという問題点を有してい
た。 ４）収納箱数に端数があり、平パレット上で略直方体状
に積載することができない場合は、シュリンクフィルム
被覆やバンドで効果的に固定にしにくく、特に最上段の
収納箱が不安定になり、荷崩れしやすくなり安全性に欠
けるという問題点を有していた。 ５）一回のウエハーの搬送に、多数の収納箱を要し、コ
スト高となり搬送性に欠けるとともに、省資源性に欠け
るという問題点を有していた。また、上記従来のウエハ
ー梱包方法は、以下のような課題を有していた。 ６）１回の搬送に多数の段ボール製の収納箱を要し、更
に各収納箱に緩衝材を収納し、次いで個別包装したウエ
ハーカセットを詰め、各収納箱ごとに蓋部をテープ固定
するといった収納箱への収納に多大な作業工数が必要な
ため作業が煩瑣であるとともに、収納箱の表面の段ボー
ルが平坦で滑りやすいため、特に手袋等を着用して手作
業で運搬すると手を滑らせて収納箱を落としてしまうこ
ともあり、この場合には急激な衝撃が加わるためウエハ
ーが割れたりするという問題点を有していた。 ７）パレット上に収納箱を整列積載した後に角部保護部
材を配設したり、防水、固定のためにシュリンクフィル
ムで全面を覆ったり、荷崩れ防止のためバンドで固定す
る等の作業が必要なため、作業工数が多く、煩瑣であり
作業性に欠けるという問題点を有していた。

【０００４】本発明は上記従来の課題を解決するもの
で、輸送中の破損や荷崩れを防止し、資材費や輸送費を
削減し省資源性に優れ、搬送性を著しく向上することの
できるウエハー梱包の提供、及び少ない作業工数で安全
にウエハーを輸送することのできる搬送性に優れたウエ
ハー梱包方法の提供を目的とする。

【０００５】

【課題を解決するための手段】上記従来の課題を解決す
るため本発明のウエハー梱包は、ａ）側壁部を備えたボ
ックスパレットと、ｂ）前記ボックスパレットのデッキ
ボード上に載置された緩衝材と，前記緩衝材の上に載置
され１以上のウエハーカセット収納部を備えたウエハー
カセット保持部材と，前記ウエハーカセット収納部に収
納されたウエハーカセットと，を備えた１段目のユニッ
トと、ｃ）前記１段目のユニットの上に同様にして１乃
至複数段載置された２段目以降のユニットと、ｄ）最上
段のユニットのウエハーカセットの上に載置された天井
緩衝材と、ｅ）前記天井緩衝材上に覆設された蓋部と、
を備えた構成を有している。これにより、ボックスパレ
ットの側壁部や蓋部が段ボール材と比較して強固である
ため、輸送中の破損を防止することができる。安価な材
料の組み合わせで形成でき、再使用が可能なので資材費
を低減することができる。また、体積重量を削減するこ
とができるので、輸送費（特に航空運賃）を削減するこ
とができる。本発明のウエハー梱包方法は、側壁部を備
えたボックスパレットのデッキボードの上に緩衝材，１
以上のウエハーカセット収納部を有するウエハーカセッ
ト保持部材を載置し，前記ウエハーカセット収納部にウ
エハーカセットを収納し１段目のユニットを形成するユ
ニット形成工程と、前記ユニット形成工程で形成された
１段目のユニットの上に同様にして２段目以降のユニッ
トを形成し段積みする段積み工程と、最上段のユニット
上に天井緩衝材を載置する天井緩衝材載置工程と、前記
天井緩衝材の上に蓋部を覆設し全体を押圧する押圧工程
と、を備えた構成を有している。この構成により、少な
い作業工数で梱包ができるとともに、ウエハーカセット
の出し入れも容易なため作業性に優れたウエハー梱包方
法が得られる。

【０００６】

【発明の実施の形態】本発明の請求項１に記載のウエハ
ー梱包は、ａ）側壁部を備えたボックスパレットと、
ｂ）前記ボックスパレットのデッキボード上に載置され
た緩衝材と，前記緩衝材の上に載置され１以上のウエハ
ーカセット収納部を備えたウエハーカセット保持部材
と，前記ウエハーカセット収納部に収納されたウエハー
カセットと，を備えた１段目のユニットと、ｃ）前記１
段目のユニットの上に同様にして１乃至複数段載置され
た２段目以降のユニットと、ｄ）最上段のユニットのウ
エハーカセットの上に載置された天井緩衝材と、ｅ）前
記天井緩衝材上に覆設された蓋部と、を備えた構成を有
している。この構成により、ボックスパレットが堅牢な
側壁部を有しているため、輸送中の破損を防止すること
ができ、再使用が可能になるという作用を有する。ま
た、ウエハーカセット保持部材によってウエハーカセッ
トの下部を保持し、天井緩衝材を蓋部で押圧するため、
各ウエハーカセットの上下や横方向への移動や不要な振
動を防止することができるという作用を有する。ウエハ
ーカセットの上下や横方向への移動や振動が防止できる
ので、同段のウエハーカセット間に緩衝材を配設する必
要がなく、必要最小限の間隔でウエハーカセットを並べ
ることができる。これにより同数のウエハーカセットを
収納する場合、段ボール製の収納箱をパレットに積載す
る場合に比較して、体積重量とそれに伴う輸送費（特に
航空運賃）を５％以上も削減することができるという作
用を有する。高価な段ボール製の収納箱を使用せず、緩
衝材の使用数量も大幅に削減できるため、資材費を７０
％以上も削減することができるという作用を有する。

【０００７】ここで、ボックスパレットとしては、側壁
部やスキッド部に木製やアルミニウム，スチール，プラ
スチック等製の板状材，ネット，柵等を使用し、蓋部も
同様の材料で形成されたものが好適に使用される。板状
材を使用する場合は、１枚板で側壁部の１面を覆っても
よく、必要に応じて複数の板状材を用いて各板状材間に
間隙を有してもよい。また、側壁部の１面以上を開閉自
在にしてもよい。内容物の出し入れが容易になり作業性
がさらに向上するからである。緩衝材としては、発泡ス
チロール，発泡ポリエチレン，ウレタンフォーム，発泡
ゴム等の発泡体や合成ゴム等の弾性体、ペーパーモール
ド、ハニカムボード、ファイバーボード等が用いられ、
必要に応じて緩衝材の下面にウエハーカセット上部を嵌
入する凹部や溝部及び／又はウエハーカセット上部を挟
持する凸部等を形成してもよい。ウエハーカセット保持
部材としては、段ボール，板紙，ペーパーモールド，パ
ルプ成型品，合板，プラスチック，発泡スチロールやウ
レタンフォームの発泡体等が使用され、平板状に形成す
るか一体成型する。ウエハーカセット収納部としては、
ウエハーカセットの下部を嵌入する凹部や溝部、又はウ
エハーカセットの下部を挟持する凸部等がウエハーカセ
ット保持部材の上面に形成される。ここで、緩衝材とウ
エハーカセット保持部材を接着等によって一体とするか
一体成型品にしてもよい。部品点数と梱包の作業工数が
減るからである。天井緩衝材としては、前述の緩衝材と
同様のものが使用されるが、蓋部によって適度な押圧力
が得られウエハーカセットが移動しない程度の厚みのも
のが特に好適に使用される。１枚の天井緩衝材で十分な
押圧力が得られない場合等の必要に応じて複数枚を重ね
合わせて使用される。なお、前適当な押圧力を得ること
が出来るように弾性を有するロープやネット状のものを
ボックスパレット側壁部の内面間で張設してもよい。な
お、必要に応じて側壁部とウエハーカセット保持部材と
の間に緩衝材を配設してもよい。横方向の衝撃をさらに
弱めることができ、ウエハーカセットやシュリンクフィ
ルムの保護性が向上するからである。

【０００８】本発明の請求項２に記載のウエハー梱包
は、請求項１に記載のウエハー梱包において、前記ウエ
ハーカセット保持部材が、前記側壁部との間隙を１〜６
０ｍｍ，好ましくは３〜１５ｍｍ有するように形成さ
れ、及び／又は前記ウエハーカセット保持部材の前記ウ
エハーカセット収納部が前記ウエハーカセットの側壁の
高さの１／４乃至１／２の深さを有する凹部で形成され
ている構成を有している。この構成により、ウエハーカ
セット保持部材とボックスパレットとの間に所定の間隙
を有し、ウエハーカセット保持部材の出し入れの際に引
っ掛かりや抵抗がなくなるため、作業性を向上させるこ
とができるという作用を有する。また、収納部が十分な
深さに形成されているので、ウエハーカセットがウエハ
ーカセット保持部材から外れたり、横方向へずれたりす
ることを防止でき、より安定に保持することができると
いう作用を有する。ここで、ウエハーカセット保持部材
と側壁部との間隔が３ｍｍより狭くなるにつれボックス
パレットへの出し入れが困難となり作業性が低下する傾
向を生じ、１５ｍｍよりも広くなるにつれ１段ごとのユ
ニット間で横方向にズレが生じやすくなるため重量のバ
ランスが適切でなくなったり衝撃によってズレやすくな
る傾向を生じるためいずれも好ましくなく、１ｍｍより
狭くなるか６０ｍｍより広くなるにつれ上記傾向が強く
なるのでより好ましくない。また、凹部の深さがウエハ
ーカセットの高さの１／４より小さくなるにつれ所定の
保持力が得られがたくなるとともに強度が低くなる傾向
を生じ、１／２より大きくなるにつれ対費用効果が小さ
くなる傾向を生じるので、いずれも好ましくない。

【０００９】本発明の請求項３に記載のウエハー梱包
は、請求項１又は２に記載のウエハー梱包において、前
記ウエハーカセット保持部材が、段ボール，ペーパーモ
ールド，板紙，ファイバーボード等のうちいずれか１以
上で形成され、かつ、前記ウエハーカセット収納部が前
記ウエハーカセット保持部材に立設されたリブ部、又は
前記ウエハーカセットの側壁下部に当接する立柱部と、
前記リブ部又は前記立柱部に支持された前記ウエハーカ
セットの側壁下部を囲繞する上面部と、を有している構
成を有している。この構成により、前述の作用に加え
て、樹脂成型品等のように金型を必要としないため安価
に形成でき資材費を削減することができるとともに、軽
量なため、輸送費も削減することができるという作用を
有する。また、ウエハーカセットのサイズや個数の変
更，ボックスパレットのサイズ変更等にも、切り貼り等
によって容易に対応できるため、加工の作業性に優れる
という作用を有する。

【００１０】本発明の請求項４に記載のウエハー梱包
は、請求項１乃至３の内いずれか１に記載のウエハー梱
包において、１段毎の前記緩衝材及び／又は前記天井緩
衝材が、１以上の板状材で形成されている構成を有して
いる。これにより、前述の作用に加え、緩衝材が単純な
形状の市販品をそのまま利用することができ、複雑な加
工が不要なため資材費をさらに削減することができると
いう作用を有する。天井緩衝材を介して蓋部による押圧
でウエハーカセットを保持するため、ウエハーカセット
や緩衝材が横ズレしにくく、必ずしも１面を覆わなくて
もよく、複数の緩衝材同士に所定の間隙を作ることもで
きるため、緩衝材の使用量を更に削減し資材費をさらに
低減することができるという作用を有する。また、ウエ
ハーカセットのサイズや個数の変更やボックスパレット
のサイズ変更等に対応して載置する緩衝材のサイズや枚
数，間隔を適宜調節することで対応することが出来るた
め、適応性に優れるという作用を有する。

【００１１】本発明の請求項５に記載のウエハー梱包方
法は、側壁部を備えたボックスパレットのデッキボード
の上に緩衝材，次いで１以上のウエハーカセット収納部
を有するウエハーカセット保持部材を載置し，前記ウエ
ハーカセット収納部にウエハーカセットを収納し１段目
のユニットを形成するユニット形成工程と、前記ユニッ
ト形成工程で形成された１段目のユニットの上に同様に
して２段目以降のユニットを形成し段積みする段積み工
程と、最上段のユニット上に天井緩衝材を載置する天井
緩衝材載置工程と、前記天井緩衝材の上に蓋部を覆設し
全体を押圧する押圧工程と、を備えた構成を有してい
る。この構成により、従来のウエハーカセット梱包方法
に比べて、収納箱に緩衝材を入れウエハーカセットを収
納したり、収納箱ごとに蓋をテープ固定する作業や、パ
レット上に積載して固定し角部を角部保護部材で保護し
たり、シュリンクフィルムで全面を覆った後に荷崩れ防
止のためバンドで固定するという煩わしい作業が不要と
なり、作業工数を著しく減らすことができるため、作業
性に優れるという作用を有する。梱包の経費も７０％以
上削減することができる。また、滑りやすい段ボール製
の収納箱を使用しないため、手作業による運搬の際の落
下やそれに伴うウエハーの破損等の危険性を減少させる
ことができるという作用を有する。

【００１２】以下に、本発明の実施の形態について、図
面を参照しながら説明する。 （実施の形態１）図１は本発明の実施の形態１における
ウエハー梱包の部分断面斜視図であり、図２はそのＡ−
Ａ′面の断面模式図であり、図３はそのウエハーカセッ
ト保持部材の要部斜視図である。図１乃至図３におい
て、１は木材やプラスチック，金属等の板材や棒材等か
らなるボックスパレット、２はフォークリフト等の搬送
機器のフォークを差し込み運搬するためのスキッド部、
２ａはスキッド部２の上面のデッキボード、２ｂはスキ
ッド部２の補強部、２ｃはスキッド部２の下面部、２ｄ
はフォークを差し込む差込口、３はスキッド部２の各端
部から立設された側壁部、４はボックスパレット１の上
面に配設され内容物を押圧して固定する蓋部、５は各側
壁部３及び蓋部４を固定し補強する桟、６はフォークに
よる側壁部３の損傷を防止するためのフォークガード、
７は長板状の発泡スチロールやウレタンフォーム等の緩
衝材、７ａは緩衝材７と同様に形成され最上段のウエハ
ーカセットの上部に敷設した天井緩衝材、８は緩衝材７
上に載置しウエハーカセット２１を収納する段ボール材
等の板材を貼合したウエハーカセット保持部材であり、
側壁部とは１〜６０ｍｍの間隙を有している。９はウエ
ハーカセット保持部材８の上面に所定数形成されウエハ
ーカセット２１を収納し深さがウエハーカセット２１の
高さの１／４〜１／２の深さに形成された凹部からなる
収納部、１０はウエハーカセット保持部材８の上面部、
１１は上面部１０を支持するリブ部、１２はウエハーカ
セット保持部材８の底面部である。２１はシュリンクフ
ィルム（図示せず）で個別密封包装したウエハーカセッ
トであり、これは従来のものと同様であるので同一の符
号を付して説明を省略する。なお、本実施の形態ではウ
エハーカセット保持部材８を複数の板状材を貼合したも
のを使用したが、リブ部１１を発泡体等で形成するか立
柱部としてもよく、全体をプラスチックや発泡体等で一
体成型したものでもよい。

【００１３】以上のように本実施の形態のウエハー梱包
は構成されているので、以下の作用を有する。ボックス
パレットが木材、合成樹脂、金属等で形成されているた
め、段ボールに比べて強固であり、フォークリフトのフ
ォークや他の貨物がぶつかったり、上部に別のパレット
が載せられた場合等でも、表面や内容物の破損を防止す
ることができるという作用を有する。比較的高価な段ボ
ール製の収納箱を使用せず、緩衝材の使用数量も削減で
きるととともに、ほとんどすべての資材は再使用が可能
であるため資材費を著しく削減することができるという
作用を有する。段ボール製の収納箱をパレット輸送する
場合に比較して体積重量を削減できるため、航空運賃を
主とした輸送費を削減することができるという作用を有
する。

【００１４】次に、本実施の形態のウエハー梱包方法に
ついて述べる。まずユニット形成工程として、ボックス
パレット１のデッキボード２ａの上に長板状の緩衝材７
を所定の間隔で載置する。ここで緩衝材７の間隔は、ウ
エハーカセット２１が沈下したりウエハーカセット保持
部材８が変形することなしに所定の緩衝作用が得られる
間隔に設定する。次いで、緩衝材７の上にウエハーカセ
ット保持部材８を載置し、収納部９にウエハーカセット
２１を収納し１段目のユニットを形成する。また、段積
み工程として１段目のユニットの上に同様にして２段目
以降のユニットを形成し所定段数だけ段積みする。さら
に天井緩衝材載置工程として最上段のユニットのウエハ
ーカセット上に天井緩衝材７ａを載置し、最後に押圧工
程として天井緩衝材７ａの上に蓋部４を覆設し全体を押
圧し、桟５を釘，木ネジ等で固定して梱包を完了する。
なお、梱包するウエハーカセット２１に端数が出てウエ
ハーカセット収納部９に空きが生じる場合は、段ボール
を折り畳んだものや緩衝材等を代用として収納すればよ
い。これにより、段ボール製の収納箱を必要としないた
め、コストを著しく軽減でき省資源性に優れるととも
に、段ボール箱毎に緩衝材を収納し個別包装したウエハ
ーカセットを収納するという作業も不要で、極めて簡単
な操作によって多数のウエハーカセットを積み重ねるこ
とができるため、作業工数を低減することができ、作業
性や搬送性を著しく向上させることができるという作用
を有する。また、ウエハーカセット数に端数が生じる場
合も、ウエハーカセット収納部に代用品を収納すること
で容易に対応でき、荷崩れを防止することができ安全性
に優れるという作用を有する。

【００１５】（実施の形態２）図４は実施の形態２にお
けるウエハーカセット保持部材の要部斜視図である。図
４において、８′は実施の形態２におけるウエハーカセ
ット保持部材、９はウエハーカセット２１を収納する凹
部、１０は上面部、１１は上面部１０を支持するリブ部
であり、これらは段ボール材等で形成されている。本実
施の形態のウエハーカセット保持部材が実施の形態１と
異なる点は、所定数の短手方向のリブ部１１を除いた点
である。これにより、製造時の部品点数や作業工数を減
らすことができるため、資材費や作業時間，費用を低減
することができるという作用を有する。なお、本実施の
形態では所定数の短手方向の支持部材を除いたが、所定
の強度と保持作用が得られれば、長手方向の支持部材を
除いてもよい。

【００１６】

【発明の効果】以上のように本発明の請求項１に記載の
発明によれば、 １）ボックスパレットが堅牢なため、輸送中のウエハー
カセットやそれを包んだシュリンクフィルムの破損を防
止することができ、保護性に優れる。 ２）比較的高価な段ボール製の収納箱が不要で、安価な
材料の組み合わせで形成できるとともに、緩衝材の使用
数量も大幅に削減でき、堅牢なため再使用が可能になる
ので、資材費を７０％以上削減することができる。 ３）同段のウエハーカセット間に緩衝材を配設しなくて
も各ウエハーカセットの前後左右への移動を防止でき、
必要最小限の間隔でウエハーカセットを並べることがで
きるため、体積重量とそれに伴う航空運賃を５％以上削
減することができる。

【００１７】本発明の請求項２に記載の発明によれば、
請求項１に記載の発明の効果に加えて、 １）ウエハーカセット保持部材とボックスパレットとの
間に所定のクリアランスが出来るため、ウエハーカセッ
ト保持部材のボックスパレットへの出し入れが容易にな
り、作業性を向上させることができる。 ２）収納部が十分な深さの凹部で形成されているので、
ウエハーカセットがウエハーカセット保持部材から外れ
たり、横方向へずれたりすることを防止でき、より強固
に保持することができるため、安全性を向上させること
ができる。

【００１８】本発明の請求項３に記載の発明によれば、
請求項１又は２に記載の発明の効果に加えて、 １）樹脂成型品等のように金型を必要としないため安価
に形成できるとともに、軽量なため、資材費や輸送費を
削減することができる。 ２）ウエハーカセットのサイズや個数の変更、ボックス
パレットのサイズ変更等にも、切り貼り等によって容易
に対応できるため、作業性に優れる。

【００１９】本発明の請求項４に記載の発明によれば、
請求項１乃至３の内いずれか１に記載の発明の効果に加
えて、緩衝材が単純な形状であるため市販の物をそのま
ま利用することができ、加工が不要なため資材費をさら
に削減することができる。また、蓋部による押圧でウエ
ハーカセットを保持することができ、ウエハーカセット
や緩衝材に横ズレが生じにくいため、各緩衝材同士に所
定の間隙を空けることができ緩衝材の使用量と費用を削
減することができる。

【００２０】本発明の請求項５に記載の発明によれば、 １）従来のウエハーカセット梱包方法に比べて、収納箱
に緩衝材を入れウエハーカセットを収納したり、収納箱
ごとに蓋をテープ固定する作業や、パレット上に積載し
て角部を角部保護部材で保護したり、シュリンクフィル
ムで全面を覆った後に荷崩れ防止のためバンドで固定す
るという煩わしい作業が不要となり、作業工数を著しく
減らすことができるため、作業性に優れ、梱包費を７０
％以上削減することができる。２）滑りやすい段ボール
製の収納箱を使用しないため、手作業による運搬の際の
収納箱の落下やそれに伴うウエハーの破損等を防止する
ことができる。

【図面の簡単な説明】

【図１】本発明の実施の形態１におけるウエハー梱包の
部分断面斜視図

【図２】そのＡ−Ａ′面の断面模式図

【図３】そのウエハーカセット保持部材の要部斜視図

【図４】本発明の実施の形態２におけるウエハーカセッ
ト保持部材の要部斜視図

【図５】従来の段ボール製の収納箱とウエハーカセット
の要部斜視図

【図６】従来のウエハー梱包を示す要部斜視図

【符号の説明】

１ ボックスパレット ２ スキッド部 ２ａ デッキボード ２ｂ 補強部 ２ｃ 下面部 ２ｄ 差込口 ３ 側壁部 ４ 蓋部 ５ 桟 ６ フォークガード ７ 緩衝材 ７ａ 天井緩衝材 ８、８′ ウエハーカセット保持部材 ９ ウエハーカセット収納部 １０ 上面部 １１ リブ部 １２ 底面部 ２１ ウエハーカセット ２１ａ ウエハーカセット本体 ２１ｂ シュリンクフィルム ２２ 緩衝材 ２２ａ 本体部 ２２ｂ 収納部 ２２ｃ 蓋部 ２３ 仕切板 ２４ 収納箱 ２５ 平パレット ２６ 角部保護部材 ２７ シュリンクフィルム ２８ バンド

Claims (5)

【特許請求の範囲】
1. 【請求項１】 ａ）側壁部を備えたボックスパレット
   と、 ｂ）前記ボックスパレットのデッキボード上に載置され
   た緩衝材と，前記緩衝材の上に載置され１以上のウエハ
   ーカセット収納部を備えたウエハーカセット保持部材
   と，前記ウエハーカセット収納部に収納されたウエハー
   カセットと，を備えた１段目のユニットと、 ｃ）前記１段目のユニットの上に同様にして１乃至複数
   段載置された２段目以降のユニットと、 ｄ）最上段のユニットのウエハーカセットの上に載置さ
   れた天井緩衝材と、 ｅ）前記天井緩衝材上に覆設された蓋部と、 を備えたことを特徴とするウエハー梱包。
2. 【請求項２】 前記ウエハーカセット保持部材が、前記
   側壁部との間隙を１〜６０ｍｍ，好ましくは３〜１５ｍ
   ｍ有するように形成され、及び／又は前記ウエハーカセ
   ット保持部材の前記ウエハーカセット収納部が前記ウエ
   ハーカセットの側壁の高さの１／４乃至１／２の深さを
   有する凹部で形成されていることを特徴とする請求項１
   に記載のウエハー梱包。
3. 【請求項３】 前記ウエハーカセット保持部材が、段ボ
   ール，ペーパーモールド，板紙，ファイバーボード等の
   うちいずれか１以上で形成され、かつ、前記ウエハーカ
   セット収納部が前記ウエハーカセット保持部材に立設さ
   れたリブ部、又は前記ウエハーカセットの側壁下部に当
   接する立柱部と、前記リブ部又は前記立柱部に支持され
   た前記ウエハーカセットの側壁下部を囲繞する上面部
   と、を有していることを特徴とする請求項１又は２に記
   載のウエハー梱包。
4. 【請求項４】 １段毎の前記緩衝材及び／又は前記天井
   緩衝材が、１以上の板状材で形成されていることを特徴
   とする請求項１乃至３の内いずれか１に記載のウエハー
   梱包。
5. 【請求項５】 側壁部を備えたボックスパレットのデッ
   キボードの上に緩衝材，次いで１以上のウエハーカセッ
   ト収納部を有するウエハーカセット保持部材を載置し，
   前記ウエハーカセット収納部にウエハーカセットを収納
   し１段目のユニットを形成するユニット形成工程と、前
   記ユニット形成工程で形成された１段目のユニットの上
   に同様にして２段目以降のユニットを形成し段積みする
   段積み工程と、最上段のユニット上に天井緩衝材を載置
   する天井緩衝材載置工程と、前記天井緩衝材の上に蓋部
   を覆設し前記天井緩衝材を押圧する押圧工程と、を備え
   たことを特徴とするウエハー梱包方法。