JP6019551B2 - コモンモードチョークコイルの製造方法 - Google Patents
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銀を含む導体により上記導体コイルを形成すること、
銀を含む導体の存在下にて、ガラスセラミックスを酸素濃度0.1体積%以下の雰囲気で焼成することにより、上記非磁性層を少なくとも部分的に形成すること
を含む製造方法が提供される。
上記非磁性層を形成するための焼成、上記第2磁性層を形成するための焼成、および上記第1磁性層を形成するための焼成を同時に実施するものであってよい。かかる態様によれば、上述の本発明者らの知見から、第2磁性層を形成するためのフェライト材料の焼成および第1磁性層を形成するための焼成をいずれも低温で実現できる。しかも、かかる態様においては、これらの焼成を非磁性層を形成するための焼成と同時に実施しているので、ガラスセラミックス中の銀への熱負荷を最小限にすることができて、ガラスセラミックスへの銀の拡散を一層抑制することができ、その結果、非磁性層中の導体コイル間の絶縁抵抗の低下および導体コイルの配線抵抗の上昇を更に一層効果的に防止できる。また、本発明の上記態様によれば、第2磁性層および第1磁性層の比抵抗および焼結密度を高く維持できるので、得られるコモンモードチョークコイルの絶縁抵抗および信頼性を高めることができる。
導体コイルが銀を含む導体から成り
非磁性層が、銀を含む導体の存在下にて、酸素濃度0.1体積%以下の雰囲気で焼成された焼結ガラスセラミックスから成る、コモンモードチョークコイルもまた提供される。
図1〜2に示すように、本実施形態のコモンモードチョークコイル10は、第1磁性層1ならびにその上に順次積層された非磁性層3および第2磁性層5より構成される積層体7を含んで成る。非磁性層3の内部には、2つの導体コイル2、4が対向するように埋設される。積層体7の周囲には外部電極9a〜9dが設けられ得、導体コイル2の両端は外部電極9a、9cに、導体コイル4の両端は外部電極9b、9dにそれぞれ接続され得る。
まず、第1磁性層1として、焼結フェライト材料から成る磁性基板を準備する。焼結フェライト材料から成る磁性基板は、所定のインダクタンスを得ることができる限り、任意の適切なフェライト材料を焼結したものであってよい。フェライト材料には、例えば、Fe2O3およびNiOを主成分として含むNi系フェライト材料、Fe2O3、NiOおよびZnOを主成分として含むNi−Zn系フェライト材料、Fe2O3、NiO、ZnOおよびCuOを主成分として含むNi−Zn−Cu系フェライト材料などを使用してよい。かかる磁性基板は、フェライト材料を焼結したものから所望の形状に切り出したものであってよいが、これに限定されない。
次に、第1磁性層1上にガラスセラミックスを積層し、得られた積層体を熱処理に付して、ガラスセラミックスを焼成して非磁性サブ層3aを形成する。原料のガラスセラミックスには、感光性または非感光性のガラスセラミックスを使用してよいが、非磁性サブ層3bと同じ(感光性の)ガラスセラミックスを使用することが好ましい。例えば、ガラスセラミックスには、ホウケイ酸ガラス(二酸化ケイ素を主成分として含み、更にホウ酸および必要に応じて他の化合物を含むガラス)、無ホウケイ酸ガラス(二酸化ケイ素を主成分として含み、ホウ酸を含まず、必要に応じて他の化合物を含むガラス)などを使用してよい。第1磁性層1上へのガラスセラミックスの積層は、ガラスセラミックスを任意の適切な他の絶縁性成分と一緒にペースト状にしたもの(以下、単にガラスペーストと言う)を印刷等の方法で第1磁性層1上に塗膜することや、ガラスセラミックスを任意の適切な他の絶縁性成分と一緒にグリーンシート状にしたもの(以下、単にガラスセラミックグリーンシートと言う)を第1磁性層1上に重ね合わせることによって実施できる。非磁性サブ層3aを形成するための焼成(熱処理)は、ガラスセラミックスを焼結できれば特に限定されない。この工程において、積層体には銀を含む導体は未だ存在していないので、積層体を空気中で熱処理することによりガラスセラミックスを焼成してよい。焼成温度は、ガラスの軟化点以上の温度であれば特に限定されないが、例えば820〜870℃とし得る。
次に、非磁性サブ層(焼結ガラスセラミックス層)3a上に、銀を含む導体をパターン形成して、引出し部2aを形成する。銀を含む導体は、銀を主成分として含み、場合により他の導電性成分を含むものであってよい。銀を含む導体のパターン形成は、銀(および必要に応じて他の導電性成分、以下も同様)の粉末をガラスなどと一緒にペースト状にしたものを非磁性サブ層3a上に所定のパターンでスクリーン印刷することや、銀をスパッタリング法で非磁性サブ層3a上に成膜し、フォトリソグラフィ法により所定のパターンにエッチングすることや、銀を所定のパターンに選択メッキすることによって実施できる。選択メッキは、例えばフルアディティブ法(レジストパターン形成、無電解メッキ、およびレジスト剥離による方法)や、セミアディティブ法(無電解メッキによるシード層の成膜、レジストパターン形成、電気メッキ、レジスト剥離、シード層除去による方法)などを利用できる。
その後、非磁性サブ層(焼結ガラスセラミックス層)3aおよび引出し部2a上に、上記工程(b)と同様にしてガラスセラミックスを積層する。但し、本工程においては、原料のガラスセラミックスには、感光性のガラスセラミックスを使用し、この層にビア6aをフォトリソグラフィ法により形成して、引出し部2aを部分的に露出させる。そして、得られた積層体を熱処理に付して、ガラスセラミックスを焼成して非磁性サブ層3bを形成する。非磁性サブ層3bを形成するための焼成(熱処理)は、積層体を酸素濃度0.1体積%以下の雰囲気中で熱処理してガラスセラミックスを該雰囲気で焼成することにより実施する。この工程において、積層体には銀を含む導体が存在しており、ガラスセラミックスを酸素濃度0.1体積%以下の雰囲気で焼成することにより、銀の拡散を防止することができる。本発明はいかなる理論によっても拘束されないが、銀が酸化するとガラスセラミックスへの拡散が促進されると考えられ、低酸素濃度雰囲気で焼成することにより銀の酸化を抑制でき、これにより銀の拡散が抑制されるものと考えられる。焼成雰囲気の酸素濃度は0.1体積%以下であればよいが、ガラスセラミックスの焼結性を確保する観点から0.0001体積%以上であることが好ましい。焼成温度は、ガラスの軟化点以上の温度であれば特に限定されないが、例えば820〜870℃とし得る。
次に、ビア6a内部および非磁性サブ層(焼結ガラスセラミックス層)3b上に、銀を含む導体をパターン形成して、本体部2bを渦巻状に形成する。銀を含む導体のパターン形成は、上記工程(c)と同様にして行い得るが、ビア6a内部に銀を含む導体を埋設して本体部2bと引出し部2aを接続するものとし、これらが一体となって導体コイル2を構成するようにする。
その後、非磁性サブ層(焼結ガラスセラミックス層)3bおよび本体部2b上に、上記工程(b)と同様にしてガラスセラミックスを積層し、得られた積層体を熱処理に付して、ガラスセラミックスを焼成して非磁性サブ層3cを形成する。非磁性サブ層3cを形成するための焼成(熱処理)は、上記工程(d)と同様、積層体を酸素濃度0.1体積%以下の雰囲気中で熱処理してガラスセラミックスを該雰囲気で焼成することにより実施する。
次に、非磁性サブ層(焼結ガラスセラミックス層)3c上に、銀を含む導体をパターン形成して、本体部4bを渦巻状に形成する。銀を含む導体のパターン形成は、上記工程(c)と同様にして行い得る。
その後、非磁性サブ層(焼結ガラスセラミックス層)3cおよび本体部4b上に、上記工程(b)と同様にしてガラスセラミックスを積層する。但し、本工程においては、原料のガラスセラミックスには、感光性のガラスセラミックスを使用し、この層にビア6bをフォトリソグラフィ法により形成して、本体部4bを部分的に露出させる。そして、得られた積層体を熱処理に付して、ガラスセラミックスを焼成して非磁性サブ層3dを形成する。非磁性サブ層3dを形成するための焼成(熱処理)は、上記工程(d)と同様、積層体を酸素濃度0.1体積%以下の雰囲気中で熱処理してガラスセラミックスを該雰囲気で焼成することにより実施する。
次に、ビア6b内部および非磁性サブ層(焼結ガラスセラミックス層)3d上に、銀を含む導体をパターン形成して、引出し部4aを形成する。銀を含む導体のパターン形成は、上記工程(c)と同様にして行い得るが、ビア6b内部に銀を含む導体を埋設して本体部4bと引出し部4aを接続するものとし、これらが一体となって導体コイル4を構成するようにする。
その後、非磁性サブ層(焼結ガラスセラミックス層)3dおよび引出し部4a上に、上記工程(b)と同様にしてガラスセラミックスを積層し、得られた積層体を熱処理に付して、ガラスセラミックスを焼成して非磁性サブ層3eを形成する。非磁性サブ層3eを形成するための焼成(熱処理)は、上記工程(d)と同様、積層体を酸素濃度0.1体積%以下の雰囲気中で熱処理してガラスセラミックスを該雰囲気で焼成することにより実施する。非磁性サブ層3eの形成により、非磁性サブ層3a〜3eが全部焼結され、これらは全体として非磁性層3(焼結ガラスセラミックス層)を成すものとなる。
以上により得られた積層体の非磁性層3上に、所定のフェライト材料を積層し、得られた積層体を熱処理に付して、このフェライト材料を焼成して第2磁性層5を形成する。このフェライト材料には、Fe2O3、NiO、ZnO、CuOを含み、かつCuOの含有量が5mol%以下であるNi−Zn−Cu系フェライト材料を使用する。非磁性層3上へのフェライト材料の積層は、フェライト材料を任意の適切な他の成分と一緒にペースト状にしたものを印刷等の方法で非磁性層3上に塗膜することや、フェライト材料を任意の適切な他の成分と一緒にグリーンシート状にしたものを非磁性層3上に重ね合わせることによって実施できる。第2磁性層5を形成するための焼成(熱処理)は、積層体を酸素濃度0.1体積%以下の雰囲気中で熱処理してフェライト材料を該雰囲気で焼成することにより実施する。フェライト材料を酸素濃度0.1体積%以下の雰囲気で焼成することにより、フェライト材料を空気中で焼成する場合よりも低温で焼結できる。本発明はいかなる理論によっても拘束されないが、低酸素濃度雰囲気で焼成した場合、結晶構造中に酸素欠陥が形成され、結晶中に存在するFe、Ni、Cu、Znの相互拡散が促進され、低温焼結性を高めることができるものと考えられる。この工程において、積層体には銀を含む導体が存在しているが、フェライト材料を酸素濃度0.1体積%以下の雰囲気で低温焼成することにより、銀の拡散を防止することができる。加えて、CuOの含有量が5mol%以下であるNi−Zn−Cu系フェライト材料を使用することにより、酸素濃度0.1体積%以下の雰囲気で焼成しても、第2磁性層5において高い比抵抗を確保することができる。本発明はいかなる理論によっても拘束されないが、低酸素濃度雰囲気で焼成した場合、熱処理雰囲気の還元作用によりCuOがCu2Oに還元されて第2磁性層5の比抵抗が低下する(インピーダンスが低下する)と考えられ、CuOの含有量を小さくすることによりCuOの還元によるCu2Oの生成を抑制でき、これにより比抵抗の低下が抑制されるものと考えられる。フェライト材料中のCuOの含有量は5mol%以下であればよいが、十分な焼結性を得るためには0.2mol%以上であることが好ましい。かかるフェライト材料は、必要に応じて他の成分、例えばBi2O3などを、主成分であるFe2O3、ZnO、NiO、CuOの合計100重量部に対して、例えば0.1〜1重量部で更に含んでいてよい。また、焼成雰囲気の酸素濃度は0.1体積%以下であればよいが、第2磁性層の比抵抗を確保するには0.001体積%以上であることが好ましい。本発明はいかなる理論によっても拘束されないが、酸素濃度があまり低すぎると、酸素欠陥が必要以上に生成されて第2磁性層5の比抵抗が低下するおそれがあり、酸素をある程度存在させることにより、酸素欠陥の生成が過剰となるのを回避でき、これにより高い比抵抗を確保できるものと考えられる。
積層体7の対向する側部に、外部電極9a〜9dを形成する。外部電極9a〜9dの形成は、例えば、銀の粉末をガラスなどと一緒にペースト状にしたものを所定の領域に塗布し、得られた構造体を酸素濃度0.1体積%以下の雰囲気中で、例えば750〜780℃で熱処理して銀を焼き付けることによって実施し得る。
本実施形態は、実施形態1にて上述したコモンモードチョークコイル10を別の方法で製造するものであり、以下、実施形態1と同様の部材を同じ符号により説明するものとする。本実施形態の製造方法は、概略的には、基板レス工法により、保持層上に第1磁性層1の材料を積層し、非磁性層3の材料を(導体コイル2、4を形成しながら)積層し、その上に、第2磁性層5の材料を積層した後、得られた積層体を一括焼成して、第1磁性層1、非磁性層3および第2磁性層5を形成するものである(第1磁性層、非磁性層および第2磁性層の共焼成)。
任意の適切な保持層(図示せず)上に、所定のフェライト材料を積層して、第1磁性層1の材料層を形成する。このフェライト材料には、Fe2O3、NiO、ZnO、CuOを含み、かつCuOの含有量が5mol%以下であるNi−Zn−Cu系フェライト材料を使用する。保持層上へのフェライト材料の積層は、フェライト材料を任意の適切な他の成分と一緒にペースト状にしたものを印刷等の方法で保持層上に塗膜し、乾燥させることや、フェライト材料を任意の適切な他の成分と一緒にグリーンシート状にしたものを保持層上に重ね合わせることによって実施できる。
この第1磁性層1の材料層(未焼結Ni−Zn−Cu系フェライト材料層)上に、非磁性サブ層3a〜3eを形成するために各工程にて焼成を実施しなかったこと以外は、実施形態1にて上述した工程(b)〜(j)と同様にして、非磁性サブ層3a〜3eの材料層(未焼結ガラスセラミックス材料層)を、導体コイル2、4を形成しながら積層する。これにより、非磁性層3の材料層が、その内部に導体コイル2、4を埋設した状態で形成される。
その後、非磁性層3の材料層上に、上記工程(m)と同様にして、所定のフェライト材料を積層して、第2磁性層5の材料層を形成する。このフェライト材料にも、Fe2O3、NiO、ZnO、CuOを含み、かつCuOの含有量が5mol%以下であるNi−Zn−Cu系フェライト材料を使用する。かかる条件を満たす限り、第1磁性層1の材料および第2磁性層5の材料は同じであっても、異なっていてもよい。
以上のようにして得られた未焼成の積層体を熱処理に付して、ガラスセラミックスを焼成して非磁性層3を形成すると共に、フェライト材料を焼成して第1磁性層1および第2磁性層を形成する。これら第1磁性層1、非磁性層3および第2磁性層5を形成するための焼成(熱処理)は、積層体を酸素濃度0.1体積%以下の雰囲気中で熱処理してガラスセラミックスおよびフェライト材料を該雰囲気で同時に焼成することにより実施する。
その後、実施形態1にて上述した工程(l)と同様にして、積層体7の対向する側部に、外部電極9a〜9dを形成する。
第2磁性層の材料として使用するのに適したフェライト材料を調べるために、以下の実験を行った。
実施形態1の製造方法に従って、図1〜2に示すコモンモードチョークコイル10を作製した。本実施例においては、以下の条件を適用した。
非磁性層3b〜3eを形成するための各焼成および外部電極9a〜9dを形成するための焼成を、酸素濃度を0.001体積%に調整したN2−O2混合ガス雰囲気を用いて実施したこと以外は、実施例1と同様にしてコモンモードチョークコイルを作製した(表2参照)。
非磁性層3b〜3eを形成するための各焼成、第2磁性層5を形成するための焼成および外部電極9a〜9dを形成するための焼成を空気中で実施したこと、ならびに第2磁性層5の材料としてNi−Zn−Cu系フェライト材料(Fe2O3 49.0mol%、ZnO 30mol%、NiO 12.0mol%、CuO 9.0mol%、およびこれら主成分の合計100重量部に対してBi2O3 0.25重量部添加)を用いた磁性体ペーストで置換したこと以外は、実施例1と同様にしてコモンモードチョークコイルを作製した(表2参照)。なお、ここで使用したNi−Zn−Cu系フェライト材料は、表1中に示すNo.7の組成に一致するものである。
実施形態2の製造方法に従って、図1〜2に示すコモンモードチョークコイル10を作製した。本実施例においては、以下の条件を適用した。
2 導体コイル
2a 引出し部
2b 本体部
3 非磁性層
3a〜3e 非磁性サブ層
4 導体コイル
4a 引出し部
4b 本体部
5 第2磁性層
6a、6b ビア
7 積層体
9a〜9d 外部電極
10 コモンモードチョークコイル
11 貫通孔
Claims (3)
- 第1磁性層上に非磁性層および第2磁性層が積層され、該非磁性層中に2つの対向する導体コイルを含むコモンモードチョークコイルの製造方法であって、
銀を含む導体により前記導体コイルを形成すること、
銀を含む導体の存在下にて、ガラスセラミックスを酸素濃度0.1体積%以下の雰囲気で焼成することにより、前記非磁性層を少なくとも部分的に形成すること、および
Fe 2 O 3 、NiO、ZnO、CuOを含み、かつCuOの含有量が5mol%以下であるフェライト材料を用いて、該フェライト材料を酸素濃度0.1体積%以下の雰囲気で焼成することにより、前記第2磁性層を形成すること
を含む製造方法。 - 前記第1磁性層として、焼結フェライト材料を使用する、請求項1に記載のコモンモードチョークコイルの製造方法。
- Fe2O3、NiO、ZnO、CuOを含み、かつCuOの含有量が5mol%以下であるフェライト材料を用いて、該フェライト材料を酸素濃度0.1体積%以下の雰囲気で焼成することにより、前記第1磁性層を形成することを更に含み、
前記非磁性層を形成するための焼成、前記第2磁性層を形成するための焼成、および前記第1磁性層を形成するための焼成を同時に実施する、請求項1に記載のコモンモードチョークコイルの製造方法。
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