JP6065439B2 - 積層コイル部品およびその製造方法 - Google Patents
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Description
磁性体部の中央領域の平均結晶粒径に対する、磁性体部の導体部近傍領域の平均結晶粒径の粒径比が0.8以下であることを特徴とする、積層コイル部品が提供される。
Fe2O3、NiO、ZnOおよびCuOを含み、かつCuO含有量が0.4〜4.0mol%であるフェライト材料のグリーンシートを、銀を含む導体ペースト層を介して積層し、導体ペースト層がフェライト材料のグリーンシートを貫通してコイル状に相互接続されている積層体を得ること、および
積層体を酸素濃度0.1体積%以下の雰囲気で熱処理することにより、フェライト材料のグリーンシートおよび銀を含む導体ペースト層を焼成して、それぞれ磁性体層および導体パターン層とし、これにより、それぞれ前記磁性体部および前記導体部を形成すること
を含む製造方法が提供される。
試料No.1〜12について得られた試料(積層コイル部品)を、平均結晶粒径、たわみ試験および熱衝撃試験により評価した。
試料No.1〜12につき各10個の試料を用いて、樹脂固めを行い、試料の厚み方向に研磨し、厚み方向の約1/2の時点における研磨断面を得て、観察用の断面とした。これをケミカルエッチングし、図5に示すように内部導体から約5μm離れた箇所(図5の内部導体近傍領域であってt=5μmの箇所)、および試料の略中央部(図5の素子中央領域)のSEM写真を撮影し、このSEM写真から、JIS規格(R1670)に準拠し、旭化成エンジニアリング製画像解析ソフトA像くん(商標登録)を用いて、円相当径に換算して平均結晶粒径を算出し、10個の試料での平均値を求め、平均結晶粒径とした。結果と粒径比を表1に併せて示す。
試料No.1〜12につき各50個の試料を用いて、大きさが100mm×40mm、厚さ0.8mmのたわみ強度試験用基板(ガラスエポキシ基板)の中央部に試料をはんだ付けし、試料がはんだ付けされた面とは別の面から毎秒0.5mmの速さで2mmのたわみを加えて、試料が破断しないか評価した。50個中破壊した試料がゼロ個のものを表1において○とした。また、1個でも破壊した試料を×とした。結果を表1に併せて示す。
試料No.1〜12につき各50個の試料を、−55℃〜+125℃の範囲での所定のヒートサイクルに供し、2000サイクル繰り返した。試験前後で、試料のインピーダンスZを、アジレント・テクノロジー社製のインピーダンスアナライザ(型番E4991A)を用いて測定し(測定周波数=100MHz)、ヒートサイクル試験前後でのインピーダンスZ変化率を求め、50個の試料での平均値を算出した。結果を表1に併せて示す。
2 積層体
3 導体パターン層
3a 導体部
4、5 磁性体層
4a 磁性体部
6、6a ビアホール
7、8 外部電極
X 中央領域
Y 導体部近傍領域
X’ 高Cu含有量領域
Y’ 低Cu含有量領域
Claims (3)
- Fe、Ni、ZnおよびCuを含む焼結フェライトである磁性体部と、銀を含み、磁性体部に埋設されて成るコイル状の導体部と、磁性体部の表面にコイル中心軸方向に対向して設けられ、導体部の両端に電気的に接続された一対の外部電極とを有する積層コイル部品であって、
磁性体部の中央領域の平均結晶粒径に対する、磁性体部の導体部近傍領域の平均結晶粒径の粒径比が0.8以下であることを特徴とする、積層コイル部品。 - 磁性体部の中央領域におけるCu含有量が、CuOに換算して、0.4〜4.0mol%である、請求項1に記載の積層コイル部品。
- 磁性体層が積層されて成る磁性体部と、磁性体層間に配置された複数の導体パターン層が磁性体層を貫通してコイル状に相互接続され、磁性体部に埋設されて成る導体部と、磁性体部の表面にコイル中心軸方向に対向して設けられ、導体部の両端に電気的に接続された一対の外部電極とを有し、磁性体部の中央領域の平均結晶粒径に対する、磁性体部の導体部近傍領域の平均結晶粒径の粒径比が0.8以下である積層コイル部品の製造方法であって、
Fe2O3、NiO、ZnOおよびCuOを含み、かつCuO含有量が0.4〜4.0mol%であるフェライト材料のグリーンシートを、銀を含む導体ペースト層を介して積層し、導体ペースト層がフェライト材料のグリーンシートを貫通してコイル状に相互接続されている積層体を得ること、および
積層体を酸素濃度0.1体積%以下の雰囲気で熱処理することにより、フェライト材料のグリーンシートおよび銀を含む導体ペースト層を焼成して、それぞれ磁性体層および導体パターン層とし、これにより、それぞれ前記磁性体部および前記導体部を形成すること
を含む製造方法。
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