JPWO2016072428A1

JPWO2016072428A1 - 積層コイル部品

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Publication number: JPWO2016072428A1
Application number: JP2016557780A
Authority: JP
Inventors: 岡田　佳子; 佳子岡田; 山本　篤史; 篤史山本
Original assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Current assignee: Murata Manufacturing Co Ltd
Priority date: 2014-11-06
Filing date: 2015-11-04
Publication date: 2017-08-10
Also published as: CN107077948A; US11139095B2; WO2016072428A1; US20170229221A1; KR20170066538A

Abstract

本発明は、Ｆｅ、Ｚｎ、ＶおよびＮｉを含み、さらにＭｎおよび／またはＣｕを含んでいてもよい磁性体部と、銅を含むコイル状の導体部とを有する積層コイル部品であって、磁性体部において、Ｆｅ２Ｏ３に換算したＦｅ含有量、ＺｎＯに換算したＺｎ含有量、Ｖ２Ｏ５に換算したＶ含有量、およびＮｉＯに換算したＮｉ含有量、ならびに存在する場合、ＣｕＯに換算したＣｕ含有量およびＭｎ２Ｏ３に換算したＭｎ含有量の合計に対して、Ｆｅの含有量が、Ｆｅ２Ｏ３に換算して、３４．０〜４８．５ｍｏｌ％であり、Ｚｎの含有量が、ＺｎＯに換算して、６．０〜４５．０ｍｏｌ％であり、Ｍｎの含有量が、Ｍｎ２Ｏ３に換算して、０〜７．５ｍｏｌ％でありＣｕの含有量が、ＣｕＯに換算して、０〜５．０ｍｏｌ％であり、Ｖの含有量が、Ｖ２Ｏ５に換算して、０．５〜５．０ｍｏｌ％であることを特徴とする、積層コイル部品を提供する。本発明の積層コイル部品は、内部導体として銅を用いることができ、工業規模で大量に生産した場合であっても比抵抗のばらつきが少ない。

Description

本発明は、積層コイル部品に関し、より詳細には、銅を主成分とする導体部を有して成る積層コイル部品に関する。

積層コイル部品の内部導体として銅を用いる場合、銅が酸化しないような還元雰囲気で銅導体とフェライト材料（磁性体材料）とを同時焼成する必要があるが、このような条件下で焼成すると、フェライト材料のＦｅが３価から２価に還元され、積層コイル部品の比抵抗が低下する等の問題がある。したがって、一般的に、銀を主成分とする導体が用いられてきた。しかしながら、低抵抗であることや、銀よりも安価であること、マイグレーションを起こしにくいことを考慮すると、銅を主成分とする導体を用いることが好ましい。

特許文献１には、少なくともＦｅ、Ｍｎ、Ｎｉ、及びＺｎを含有したフェライト磁器組成物であって、Ｃｕの含有モル量がＣｕＯに換算して０〜５ｍｏｌ％であり、かつ、ＦｅをＦｅ_２Ｏ_３に換算したときの含有モル量ｘｍｏｌ％、及びＭｎをＭｎ_２Ｏ_３に換算したときの含有モル量ｙｍｏｌ％を（ｘ，ｙ）で表したときに、（ｘ，ｙ）が、Ａ（２５，１）、Ｂ（４７，１）、Ｃ（４７，７．５）、Ｄ（４５，７．５）、Ｅ（４５，１０）、Ｆ（３５，１０）、Ｇ（３５，７．５）、及びＨ（２５，７．５）で囲まれる領域にあることを特徴とするフェライト磁器組成物が開示されている。このような構成のフェライト磁器組成物によれば、Ｃｕ系材料と同時焼成しても、Ｃｕが酸化されたりＦｅ_２Ｏ_３が還元されたりすることを抑制することができ、これにより比抵抗ρの低下を招くこともなく、所望の絶縁性を確保することができる、とされている。

特開２０１３−５３０４２号公報

本発明者らの研究により、特許文献１に記載のフェライト磁器組成物（積層コイル部品）においては、研究室規模では内部導体として銅を使用した場合であっても、良好な性能が得られるが、工業規模にスケールアップすると、比抵抗にばらつきが生じ、例えば外部電極にめっき処理を行う際に、磁性体部にまでめっきが成長するという問題が生じ得ることが分かった。

本発明の目的は、内部導体として銅を用いることができ、工業規模で大量に生産した場合であっても比抵抗のばらつきが少ない積層コイル部品を提供することにある。

本発明者らは、上記の比抵抗のばらつきの原因について検討した結果、内部導体として銅を用いる場合、積層体の焼成は低酸素雰囲気下（具体的には、Ｃｕ−Ｃｕ_２Ｏ平衡酸素分圧下）で行われるが、大量に積層コイル部品を製造する場合には、焼成炉内での酸素分圧にばらつきが生じ、その結果、積層コイル部品の比抵抗にばらつきが生じることに気づいた。このように比抵抗にばらつきが生じると、比抵抗が小さな積層コイル部品において、外部電極のめっき処理を行う際に、磁性体部にまでめっきが成長するという問題が生じ得る。

焼成炉内での酸素分圧にばらつきは、以下のような原因によるものであると考えられる。積層コイル部品を大量に製造する場合、積層体を焼成するための焼成炉はその規模に応じて大きくなる。大きな焼成炉を用いる場合には、焼成炉内を均一な雰囲気とすることが難しく、排風の影響などにより焼成炉内の酸素分圧にばらつきが生じ得る。また、積層コイル部品の製造においては、上記の焼成前に、積層体中の有機バインダーを、３００〜４００℃の温度で加熱することにより燃焼させて除去する。内部導体として銅を用いる場合、この燃焼は、銅の酸化を防止するために低酸素雰囲気下で行われるので、有機バインダーが完全には燃焼せずに、積層体中に残留することがある。この残留有機バインダーが、焼成炉内で燃焼し、有機バインダーが酸素を奪うことから、局所的に酸素分圧が低い箇所が生じ得る。そして、酸素分圧が設定値よりも低くなった場所では、磁性体中の鉄が還元され、比抵抗が低下すると考えられる。

本発明者らは、上記問題を解決すべく鋭意検討した結果、磁性体に所定量のバナジウムを含有させ、鉄、亜鉛、マンガン、銅などの他の成分の量を調整することにより、積層コイル部品を大量生産し、焼成炉内に低酸素分圧である箇所が生じた場合であっても、めっき伸びの不良を低減できることを見出し、本発明を完成するに至った。

本発明の１つの要旨によれば、Ｆｅ、Ｚｎ、ＶおよびＮｉを含み、さらにＭｎおよび／またはＣｕを含んでいてもよい磁性体部と、銅を含むコイル状の導体部とを有する積層コイル部品であって、
磁性体部において、Ｆｅ_２Ｏ_３に換算したＦｅ含有量、ＺｎＯに換算したＺｎ含有量、Ｖ_２Ｏ_５に換算したＶ含有量、およびＮｉＯに換算したＮｉ含有量、ならびに存在する場合、ＣｕＯに換算したＣｕ含有量およびＭｎ_２Ｏ_３に換算したＭｎ含有量の合計に対して、
Ｆｅの含有量が、Ｆｅ_２Ｏ_３に換算して、３４．０〜４８．５ｍｏｌ％であり、
Ｚｎの含有量が、ＺｎＯに換算して、６．０〜４５．０ｍｏｌ％であり、
Ｍｎの含有量が、Ｍｎ_２Ｏ_３に換算して、０〜７．５ｍｏｌ％であり
Ｃｕの含有量が、ＣｕＯに換算して、０〜５．０ｍｏｌ％であり、
Ｖの含有量が、Ｖ_２Ｏ_５に換算して、０．５〜５．０ｍｏｌ％である
ことを特徴とする、積層コイル部品が提供される。

本発明によれば、磁性体部におけるＦｅの含有量をＦｅ_２Ｏ_３に換算して３４．０〜４８．５ｍｏｌ％とし、Ｚｎの含有量をＺｎＯに換算して６．０〜４５．０ｍｏｌ％とし、Ｍｎの含有量をＭｎ_２Ｏ_３に換算して０〜７．５ｍｏｌ％とし、Ｃｕの含有量をＣｕＯに換算して０〜５．０ｍｏｌ％とし、Ｖの含有量をＶ_２Ｏ_５に換算して０．５〜５．０ｍｏｌ％とすることにより、内部導体として銅を用い、大量生産した場合であっても、めっき伸び不良が生じにくく、大量生産が可能な積層コイル部品が提供される。

図１は、本発明の１つの実施形態におけるコモンモードチョークコイルの概略斜視図である。図２は、図１の実施形態におけるコモンモードチョークコイルの概略分解平面図であって、外部電極を省略した図である。

本発明の積層コイル部品（本実施形態においては、コモンモードチョークコイル）およびその製造方法について、以下、図面を参照しながら詳細に説明する。但し、本発明の積層コイル部品の構成、形状、巻回数および配置等は、図示する例に限定されないことに留意されたい。

図１および図２に示すように、本実施形態のコモンモードチョークコイル１は、概略的には、磁性体部と、磁性体部に埋設された２つのコイル状の導体部とを有する積層体２を含んで成り、外部電極４ａ，４ｂ，４ｃ，４ｄが積層体２の外面に設けられている。

より詳細には、図２に示すように、磁性体部は、磁性体層６ａ〜６ｉが積層されて成る。導体部は、磁性体層上に形成された導体層８ａ〜８ｄおよび８ａ’〜８ｄ’が、それぞれ、磁性体層に貫通して設けられたビアホール１０ａ〜１０ｅおよび１０ａ’〜１０ｆ’を通って、コイル状に接続されている。

磁性体部は、Ｆｅ、Ｚｎ、ＶおよびＮｉ、所望によりＭｎおよび／またはＣｕを含む焼結フェライトから成る。

導体部は、銅を含む導体から成るものであればよいが、銅を主成分として含む導体から成ることが好ましい。尚、導体における主成分とは、導体中において最も多く存在する成分を意味し、例えば、導体全体に対して、５０質量％以上、好ましくは８０質量％以上、より好ましくは９０質量％以上、例えば９５質量％以上、９８質量％以上または９９質量％以上である成分であり得る。好ましい態様において、上記導体部を構成する導体は、実質的に銅から成る。

外部電極４ａ〜４ｄは、特に限定されないが、通常、銅または銀を主成分として含む導体から成り、ニッケルおよび／またはスズなどがメッキされ得る。

上記した本実施形態のコモンモードチョークコイル１は、以下のようにして製造される。

まず、Ｆｅ、Ｚｎ、ＮｉおよびＶを含み、所望によりＭｎおよび／またはＣｕを含んでいてもよいフェライト材料を準備する。

フェライト材料は、Ｆｅ、Ｚｎ、ＮｉおよびＶを主成分として含み、必要に応じて他の主成分、例えばＭｎおよび／またはＣｕを含んでいてもよい。また、さらに添加成分を含んでいてもよい。通常、フェライト材料は、これらの主成分の素原料として、Ｆｅ_２Ｏ_３、ＺｎＯ、ＮｉＯ、Ｖ_２Ｏ_５、Ｍｎ_２Ｏ_３およびＣｕＯの粉末を所望の割合で混合および仮焼して調製され得るが、これに限定されるものではない。

フェライト材料におけるＦｅ（Ｆｅ_２Ｏ_３換算）含有量は、３４．０〜４８．５ｍｏｌ％（主成分合計基準）である。Ｆｅ（Ｆｅ_２Ｏ_３換算）含有量を４８．５ｍｏｌ％以下とすることによって、Ｆｅの３価から２価への還元を抑制し、比抵抗の低下を抑制することができる。また、Ｆｅ（Ｆｅ_２Ｏ_３換算）含有量を３４．０ｍｏｌ％未満とすると、却って比抵抗の低下を招き、絶縁性を確保できなくなることから、３４．０ｍｏｌ％以上であることが好ましい。

フェライト材料におけるＺｎ（ＺｎＯ換算）含有量は、６．０〜４５．０ｍｏｌ％（主成分合計基準）である。Ｚｎ（ＺｎＯ換算）含有量を６．０ｍｏｌ％以上とすることによって、高い透磁率を得ることができ、大きなインダクタンスを取得できる。また、Ｚｎ（ＺｎＯ換算）含有量を４５．０ｍｏｌ％以下とすることによって、キュリー点の低下を回避でき、積層コイル部品の動作温度の低下を回避できる。

フェライト材料におけるＶ（Ｖ_２Ｏ_５換算）含有量は、０．５〜５．０ｍｏｌ％（主成分合計基準）とする。Ｖ（Ｖ_２Ｏ_５換算）含有量を０．５〜５．０ｍｏｌ％として積層体を焼成することによって、比抵抗を向上させることができ、さらに積層コイル部品間での比抵抗のばらつきを低減することができる。

本発明において、フェライト材料は、さらにＣｕを含んでいてもよい。フェライト材料におけるＣｕ（ＣｕＯ換算）含有量は、０〜５．０ｍｏｌ％（主成分合計基準）である。尚、Ｃｕは必須成分ではなく、Ｃｕの含有量は０であってもよい。一の態様において、フェライト材料におけるＣｕ（ＣｕＯ換算）含有量は、０．１〜５．０ｍｏｌ％である。Ｃｕを含ませて積層体を焼成することによって、直流重畳特性を向上させることができる。

本発明において、フェライト材料は、さらにＭｎを含んでいてもよい。フェライト材料におけるＭｎ（Ｍｎ_２Ｏ_３換算）含有量は、０〜７．５ｍｏｌ％（主成分合計基準）である。尚、Ｍｎは必須成分ではなく、Ｍｎの含有量は０であってもよい。一の態様において、フェライト材料におけるＭｎ（Ｍｎ_２Ｏ_３換算）含有量は、０．１〜７．５ｍｏｌ％である。Ｍｎを含有させることにより、磁性体の保持力が低減し、磁束密度が大きくなることから、透磁率を向上させることができ、さらに、ＭｎはＦｅよりも優先的に還元されることから、Ｆｅの還元に起因する比抵抗の低下を回避することができる。

フェライト材料におけるＮｉ（ＮｉＯ換算）含有量は、特に限定されず、上述した他の主成分であるＦｅ、Ｚｎ、Ｖ、ＣｕおよびＭｎの残部とし得る。

フェライト材料における添加成分としては、例えばＢｉが挙げられるが、これに限定されるものではない。Ｂｉ含有量（添加量）は、主成分（Ｆｅ（Ｆｅ_２Ｏ_３換算）、Ｚｎ（ＺｎＯ換算）、Ｖ（Ｖ_２Ｏ_５換算）、Ｃｕ（ＣｕＯ換算）、Ｍｎ（Ｍｎ_２Ｏ_３換算）、Ｎｉ（ＮｉＯ換算））の合計１００重量部に対して、Ｂｉ_２Ｏ_３に換算して０．１〜１重量部とすることが好ましい。Ｂｉ（Ｂｉ_２Ｏ_３換算）含有量を０．１〜１重量部とすることによって、低温焼成がより促進されると共に、異常粒成長を回避することができる。Ｂｉ（Ｂｉ_２Ｏ_３換算）含有量が高すぎると、異常粒成長が起こり易く、異常粒成長部位にて比抵抗が低下し、外部電極形成時のめっき処理の際に、異常粒成長部位にめっきが付着するので好ましくない。

尚、磁性体部の焼結前後において、焼結前のフェライト材料の各種成分、例えば、ＣｕＯ、Ｆｅ_２Ｏ_３は焼成によりその一部がそれぞれＣｕ_２Ｏ、Ｆｅ_３Ｏ_４に変化することが起り得る。しかし、かかる焼結後の磁性体部における各主成分、例えばＣｕＯ換算含有量、Ｆｅ_２Ｏ_３換算含有量は、それぞれ、焼結前のフェライト材料における各主成分、ＣｕＯ含有量、Ｆｅ_２Ｏ_３含有量と実質的に相違ないと考えて差し支えない。

上記のフェライト材料を用いて磁性体シートを準備する。例えば、フェライト材料を、バインダー樹脂および有機溶剤を含む有機ビヒクルと混合／混練し、シート状に成形することにより磁性体シートを得てよいが、これに限定されるものではない。

別途、銅を含む導体ペーストを準備する。市販で入手可能な、銅を粉末の形態で含む一般的な銅ペーストを使用できるが、これに限定されない。導体ペースト中の銅粉末の平均粒径Ｄ５０（レーザー回折散乱法で求めた体積基準の累積百分率５０％相当径）は、０．５〜１０μｍの範囲であることが好ましく、０．５〜５μｍにすることがより好ましい。銅粉末の平均粒径Ｄ５０をかかる範囲とすることにより、内部導体から磁性体への銅の拡散が促進され、好適な状態となり、磁性体の特定の領域において所定のＣｕ含有量比を得ることができる。

そして、上記磁性体シート（磁性体層６ａ〜６ｉに対応する）を、銅を含む導体ペースト層（導体層８ａ〜８ｄおよび８ａ’〜８ｄ’に対応する）を介して積層し、導体ペースト層が磁性体シートに貫通して設けられたビアホール（ビアホール１０ａ〜１０ｅおよび１０ａ’〜１０ｆ’に対応する）を通ってコイル状に相互接続されている積層体（未焼成積層体であり、積層体２に対応する）を得る。

積層体の形成方法は、特に限定されず、シート積層法および印刷積層法などを利用して積層体を形成してよい。シート積層法による場合、磁性体シートに、適宜ビアホールを設けて、導体ペーストを所定のパターンで（ビアホールが設けられている場合には、ビアホールに充填しつつ）印刷して導体ペースト層を形成し、導体ペースト層が適宜形成された磁性体シートを積層および圧着し、所定の寸法に切断して、積層体を得ることができる。印刷積層法による場合、上記磁性フェライト材料をペーストとし、ＰＥＴ（ポリエチレンテレフタレート）フィルムなどの基材の上に、磁性フェライトペースト、および導体ペーストを所定の順番で印刷し、磁性体ペースト層、導体ペースト層を形成することを適宜繰り返し、最後に所定の寸法に切断して、積層体を得ることができる。この積層体は、複数個をマトリクス状に一度に作製した後に、ダイシング等により個々に切断して（素子分離して）個片化したものであってよいが、予め個々に作製したものであってもよい。

次に、上記で得られた未焼成積層体を、所定の酸素分圧下で熱処理することにより、磁性体シートおよび銅を含む導体ペースト層を焼成して、それぞれ磁性体層６ａ〜６ｉおよび導体層８ａ〜８ｄおよび８ａ’〜８ｄ’とする。これにより得られた積層体２において、磁性体層６ａ〜６ｉは磁性体部を形成し、導体層８ａ〜８ｄが１つのコイル状の導体部を形成し、導体層８ａ’〜８ｄ’が、もう１つのコイル状の導体部を形成する。

上記焼成を行う際の酸素分圧は、好ましくはＣｕ−Ｃｕ_２Ｏ平衡酸素分圧以下（還元雰囲気）、より好ましくはＣｕ−Ｃｕ_２Ｏ平衡酸素分圧である。このような酸素分圧で未焼成積層体を熱処理することにより、導体部のＣｕが酸化するのを回避することができる。また、空気中で熱処理する場合よりも低温で未焼成積層体を焼結でき、例えば、焼成温度を９５０〜１１００℃とし得る。本発明はいかなる理論によっても拘束されないが、低酸素濃度雰囲気で焼成した場合、結晶構造中に酸素欠陥が形成され、かかる酸素欠陥を介してＦｅ、Ｚｎ、Ｖ、Ｃｕ、Ｍｎ、Ｎｉの相互拡散が促進され、低温焼結性を高めることができるものと考えられる。

次に、上記で得られた積層体２の端面に、外部電極４ａ〜４ｄを形成する。外部電極４ａ〜４ｄの形成は、例えば、銅または銀の粉末をガラスなどと一緒にペースト状にしたものを所定の領域に塗布し、得られた構造体を、銅が酸化しない雰囲気下、例えば７００〜８５０℃で熱処理して銅または銀を焼き付けることによって実施し得る。

以上のようにして、本実施形態のコモンモードチョークコイル１が製造される。

本発明の積層コイル部品は、バナジウムを含まない従来の積層コイル部品と比較して、比抵抗が向上し、さらに大量生産時に生じ得る酸素分圧のばらつきの影響を受けにくく、比抵抗のばらつきが低減され得る。本発明はいかなる理論によっても拘束されないが、磁性体部にバナジウムを加えることによって、比抵抗が向上し、ばらつきが低減される理由は以下のように考えられる。比抵抗の低下は、Ｆｅが３価から２価に還元し、Ｂサイト間でホッピング伝導を起こすことが原因であると考えられる。ここにＶ（Ｖ_２Ｏ_５）が存在すると、Ｖが５価から４価または３価に還元され、このＶがＢサイトに入ることによりホッピング伝導を抑制し、比抵抗が改善すると考えられる。

本発明の積層コイル部品の磁性体部の比抵抗（ｌｏｇρ）は、好ましくは７Ωｃｍ以上であり得る。

好ましい態様において、本発明の積層コイル部品は、Ｃｕ−Ｃｕ_２Ｏ平衡酸素分圧以下（還元雰囲気）で、磁性体部および導体部が同時に焼成される。Ｃｕ−Ｃｕ_２Ｏ平衡酸素分圧以下で焼成されていることから、導体部の銅の酸化が防止される。また、上記したように磁性体部が特定の組成を有することにより、還元雰囲気下で同時焼成した場合であっても、磁性体部は高い比抵抗を維持することができる。

以上、本発明の１つの実施形態について説明したが、本発明は当該実施形態に限定されるものではなく、種々の改変が可能である。例えば、積層体の一部に非磁性体層を設け、開磁路型とすることができる。非磁性体層は、コイルが形成する磁路を横切るように設置されればよく、コイル間またはコイル外のいずれに設置してもよい。非磁性体層としては、特に限定されないが、磁性体部と熱膨張係数が類似する材料、例えば、磁性体材料中のＮｉをＺｎで全量置換した材料を使用することができる。このような開磁路型の積層コイル部品によれば、より一層の直流重畳特性の向上を図ることができる。

実施例１
Ｆｅ_２Ｏ_３、ＺｎＯ、Ｖ_２Ｏ_５、ＮｉＯ、Ｍｎ_２Ｏ_３およびＣｕＯ粉末を組成が表１の試料Ｎｏ．１〜２９に示す割合となるように秤量した。なお、試料Ｎｏ．２〜５、Ｎｏ．９〜１４、Ｎｏ．１７〜２２およびＮｏ．２４〜３０が本発明の実施例であり、試料Ｎｏ．１、６〜８、１５、１６、２３および３１（表中、記号「*」を付して示す）は比較例である。

次いで、試料Ｎｏ．１〜３１の各秤量物を、純水およびＰＳＺ（Partial Stabilized Zirconia；部分安定化ジルコニア）ボールと共に、塩化ビニル製のポットミルに入れ、湿式で十分に混合粉砕した。粉砕処理物を蒸発乾燥させた後、７５０℃の温度で２時間仮焼した。これにより得られた仮焼粉を、エタノール（有機溶剤）およびＰＳＺボールと共に、再び塩化ビニル製のポットミルに入れ、十分に混合粉砕し、さらにポリビニルブチラール系バインダ（有機バインダ）を加えて十分に混合して、セラミックスラリーを得た。次に、ドクターブレード法により、上記で得たセラミックスラリーを厚さ２５μｍのシート状に成形した。得られた成形体を縦５０ｍｍ、横５０ｍｍの大きさに打ち抜いて、フェライト材料の磁性体シートを作製した。

次いで、磁性体シートを焼成後の厚みが０．５ｍｍになるように積層し、６０℃の温度、１００ＭＰａの圧力で１分間圧着し、圧着ブロックを作製した。得られた圧着ブロックから外径が２０ｍｍ、内径が１２ｍｍのリング状の試料を金型で打ち抜いた。

これらの試料を焼成炉に入れ、窒素中４００℃に加熱して十分に脱脂し、次に、Ｎ_２−Ｈ_２−Ｈ_２Ｏの混合ガスにより酸素分圧をＣｕ−Ｃｕ_２Ｏ平衡酸素分圧に調整して、１０００℃で２〜５時間保持して焼成した。

実施例２
レーザー加工機を使用し、実施例１で作製した磁性体シートの所定位置（図２に示した位置）にビアホールを形成した後、Ｃｕ粉末、ワニス、及び有機溶剤を含有したＣｕペーストをフェライトシートの表面にスクリーン印刷し、かつ前記Ｃｕペーストをビアホールに充填し、コイルパターンを形成した。

このようにして作製したコイルパターンが形成されたフェライトシートとコイルパターンが形成されていないフェライトシートを図２のように積層し、６０℃の温度、１００ＭＰａの圧力で１分間圧着し、圧着ブロックを作製した。そして、この圧着ブロックを所定のサイズに切断し、セラミック積層体を作製した。

このようにして作製したセラミック積層体を、２００ｍｍ×２００ｍｍのＺｒＯ_２質のプレートにほぼ隙間なく並べ、このプレートを５０枚準備し、焼成炉で窒素中４００℃に加熱して十分に脱脂した。次に、量産時の酸素分圧のばらつきを想定して、Ｎ_２−Ｈ_２−Ｈ_２Ｏの混合ガスにより酸素分圧をＣｕ−Ｃｕ_２Ｏ平衡酸素分圧の０．１倍の酸素分圧に調整し、１０００℃で２〜５時間保持して焼成した。

次に、焼成したセラミック積層体の所定の位置にＣｕ粉末、ガラスフリット、ワニス、及び有機溶剤を含有した銅ペーストを塗布し、これを銅が酸化しない雰囲気下、８００℃で５分焼き付け、さらに電解めっきでＮｉ、Ｓｎめっきを順に行い、外部電極を形成し、これにより磁性体部にコイル導体が埋設された図１に示す積層コイル部品（コモンモードチョークコイル）を作製した。作製した積層コイル部品は、長さ２．１ｍｍ、幅１．２ｍｍ、厚さ１．０ｍｍであった。

（評価）
・透磁率μ
実施例１で作製したリング状の試料について、アジレント・テクノロジー社製の磁性体測定冶具（型番１６４５４Ａ−ｓ）に入れて、アジレント・テクノロジー社製のインピーダンスアナライザ（型番Ｅ４９９１Ａ）を用いて１ＭＨｚでの透磁率μの測定を行った。結果を表２に示す。

・めっき特性
実施例２で作製した各試料番号の試料について、各１００個の試料表面を光学顕微鏡で観察し、外部電極の端の位置を始点として、めっきが最も伸びた位置までの距離を測定した。めっき伸びの長さが１００μｍを超える場合をめっき伸び不良とし、不良率を求めた。結果を表２に併せて示す。

上記の結果から、フェライト材料において、Ｆｅ、Ｚｎ、Ｍｎ、ＣｕおよびＶの含有量を本発明の範囲とすることにより、実施例２のように量産時の酸素分圧のばらつきを想定してＣｕ−Ｃｕ_２Ｏ平衡酸素分圧の０．１倍の酸素分圧で焼成した場合であっても、めっき伸び不良が抑制されることが確認された。これにより、安定した量産が可能になると考えられる。

本発明によって得られる積層コイル部品は、例えば種々の電子機器において幅広く様々な用途に使用され得る。

１コモンモードチョークコイル
２積層体
４ａ〜４ｄ外部電極
６ａ〜６ｉ磁性体層
８ａ〜８ｄ導体層
８ａ’〜８ｄ’ 導体層
１０ａ〜１０ｅビアホール
１０ａ’〜１０ｆ’ ビアホール

Claims

Ｆｅ、Ｚｎ、ＶおよびＮｉを含み、さらにＭｎおよび／またはＣｕを含んでいてもよい磁性体部と、銅を含むコイル状の導体部とを有する積層コイル部品であって、
磁性体部において、Ｆｅ_２Ｏ_３に換算したＦｅ含有量、ＺｎＯに換算したＺｎ含有量、Ｖ_２Ｏ_５に換算したＶ含有量、およびＮｉＯに換算したＮｉ含有量、ならびに存在する場合、ＣｕＯに換算したＣｕ含有量およびＭｎ_２Ｏ_３に換算したＭｎ含有量の合計に対して、
Ｆｅの含有量が、Ｆｅ_２Ｏ_３に換算して、３４．０〜４８．５ｍｏｌ％であり、
Ｚｎの含有量が、ＺｎＯに換算して、６．０〜４５．０ｍｏｌ％であり、
Ｍｎの含有量が、Ｍｎ_２Ｏ_３に換算して、０〜７．５ｍｏｌ％であり
Ｃｕの含有量が、ＣｕＯに換算して、０〜５．０ｍｏｌ％であり、
Ｖの含有量が、Ｖ_２Ｏ_５に換算して、０．５〜５．０ｍｏｌ％である
ことを特徴とする、積層コイル部品。
Ｍｎの含有量が、Ｍｎ_２Ｏ_３に換算して、０．１〜７．５ｍｏｌ％である、請求項１に記載の積層コイル部品。
Ｃｕの含有量が、ＣｕＯに換算して、０．１〜５．０ｍｏｌ％である、請求項１または２に記載の積層コイル部品。