JP6008284B2 - 半導体紫外発光素子 - Google Patents
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Description
以下、本実施形態の半導体紫外発光素子10について、図1ないし図6を用いて説明する。なお、図中において同じ構成要素に対しては、同一の符号を付している。また、各図における構成要素の比率は、必ずしも実際の寸法を反映するものではない。
図7に示す本実施形態の半導体紫外発光素子10は、図1に示す実施形態1の非被覆領域Eを覆うように、反射膜8を備えた点が主として相違する。なお、実施形態1と同様の構成要素には、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
図8ないし図11に示す本実施形態の半導体紫外発光素子10は、p電極7および複数個のドット状のp型コンタクト部5bの構造が主として相違する。なお、実施形態1および実施形態2と同様の構成要素については、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
図15ないし図17に示す本実施形態の半導体紫外発光素子10は、実施形態3におけるp型導電層5abの一表面5aa上に、複数個のドット状のp型コンタクト部5bを設ける代わりに、複数個の孔部5caを備えたp型コンタクト層5cを有する点が主として相違する。なお、実施形態3と同様の構成要素には、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
図20ないし図22に示す本実施形態の半導体紫外発光素子10は、実施形態5における円形状の孔部5caを備えたp型コンタクト層5cの代わりに、平面視において矩形状の孔部5caを有しメッシュ状となるp型コンタクト層5cを備えた点が主として異なる。なお、実施形態5と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
図23ないし図25に示す本実施形態の半導体紫外発光素子10は、図8ないし図14に示す実施形態3と略同一であり、非被覆領域Eに、紫外光を反射する反射膜8を有する点が主として異なる。なお、実施形態3と同様の構成要素には、同一の符号を付して説明を適宜省略する。
図30ないし図32に示す本実施形態の半導体紫外発光素子10は、実施形態6と略同じであり、p型コンタクト部5bの周囲に反射膜8を備える代わりに、p型コンタクト層5cの孔部5caを埋めるように、反射膜8を備えた点が主として異なる。なお、実施形態6と同様の構成要素には同一の符号を付して説明を省略する。
d p型コンタクト部同士の間隔
t p型導電層の厚み
r 仮想の真円の直径
3 n型窒化物半導体層
4 発光層
5 p型窒化物半導体層
5a p型導電層
5aa 一表面
5b p型コンタクト部
5c p型コンタクト層
5ca 孔部
6 n電極
7 p電極
8 反射膜
10 半導体紫外発光素子
Claims (3)
- n型窒化物半導体層と、p型窒化物半導体層と、前記n型窒化物半導体層と前記p型窒化物半導体層との間に設けられた窒化物半導体の発光層と、前記n型窒化物半導体層に接続されたn電極と、前記p型窒化物半導体層に接続されたp電極とを有する半導体紫外発光素子であって、
前記p型窒化物半導体層は、前記p型窒化物半導体層における前記発光層側に設けられ前記発光層よりもバンドギャップが大きいp型導電層と、前記p型窒化物半導体層における前記発光層とは反対側に設けられ前記発光層よりもバンドギャップが小さく前記p電極と接触するp型コンタクト部とを備えており、
前記p型窒化物半導体層は、前記p型導電層の一表面上に複数個のドット状の前記p型コンタクト部を設けて、前記一表面に前記p型コンタクト部で覆われない非被覆領域を形成しており、
前記p型導電層は、p型GaAlNであり、前記p型コンタクト部は、p型GaNであり、前記発光層は、360nm以下の紫外光を発光し、
前記p型窒化物半導体層は、任意の隣接する前記p型コンタクト部同士の間隔(d)を前記p型導電層の厚み(t)で除した値(d/t)のうち、0<d/t≦3.0となるものが70%以上となるように前記p型コンタクト部が配置されており、
前記p電極は、前記複数個のドット状のp型コンタクト部を覆い前記発光層からの紫外光を透過する金属からなる第1電極を備えることを特徴とする半導体紫外発光素子。 - 前記p型窒化物半導体層は、任意の隣接する前記p型コンタクト部同士の間隔(d)を前記p型導電層の厚み(t)で除した値(d/t)のうち、0<d/t≦1.8となるものが100%となるように前記p型コンタクト部が配置されていることを特徴とする請求項1に記載の半導体紫外発光素子。
- 前記非被覆領域は、前記p型導電層の前記一表面に対して少なくとも50%以上の面積を占めることを特徴とする請求項1または請求項2に記載の半導体紫外発光素子。
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