JP6008219B2 - 露光装置及びデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
以下、第1の実施形態を図1〜図6に基づいて説明する。
次に、第2の実施形態について、図7〜図9に基づいて説明する。ここで、前述した第1の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については、同一の符号を用いるとともにその説明を簡略若しくは省略する。
σ:ボルツマン定数
TA:物体Aの絶対温度
TB:物体Bの絶対温度
εA :物体Aの放射率
εB :物体Bの放射率
SA :物体Aの表面積
SB :物体Bの表面積
FAB:物体AからBへの形態係数
上式(1)中の形態係数は1以下の数字であるが、本実施形態のような矩形平板間の伝熱の場合、形態係数は矩形の辺の長さの、平板間距離に対する比が大きいほど値が1に近づく。走査型露光装置では、本実施形態のようにレチクルRの照明領域がスリット状であることが多く、図8に示されるようにレチクルRの上に、近接冷却デバイス110A,110BをレチクルRにかなり近接させて配置した場合には、レチクルステージRSTが走査範囲内のどこの位置にあっても、常に近接冷却デバイス110A,110BをレチクルR全面積に対しておおよそ2/3程度の面積まで相対させることが可能である。従って、形態係数は容易に0.2程度の値にすることが可能である。
Claims (13)
- 照明光でマスクを照明する照明光学系と、前記マスクのパターン像を基板上に投影する投影光学系と、を有し、前記照明光に対して前記マスクと前記基板をそれぞれ相対移動して前記基板を走査露光する露光装置であって、
前記投影光学系を支持するメトロロジーフレームと、前記投影光学系の上方に配置され、前記照明光が通過する開口を有する定盤と、を有するボディ機構と、
前記照明光が通過する開口内で前記マスクを保持するチャック部材を有し、前記走査露光において前記マスクが移動される、前記投影光学系の光軸と直交する所定面内の第1方向に関して移動可能なスライダを有し、前記定盤上に配置されるステージと、
一部が前記ステージに設けられるモータを有し、前記モータによって前記ステージを移動する駆動系と、
前記照明光学系と前記ステージとの間に配置され、前記照明光の光路を含む第1空間を形成するための隔壁部材と、を備え、
前記隔壁部材は、前記光路を囲む筒状部と、前記筒状部の下端側に配置され、前記筒状部に対して前記第1方向の一側と他側にそれぞれ延設される一対の板状部と、を有し、
前記一対の板状部はそれぞれ、前記走査露光においてその下方で移動される前記ステージの上面と対向可能な下面を有し、前記下面が前記所定面と実質的に平行となるように配置され、
前記走査露光において、前記隔壁部材、前記ステージおよび前記マスクによって前記第1空間が実質的に気密に形成されるように、前記ステージはその上面が前記一対の板状部の下面と近接しつつ移動される露光装置。 - 請求項1に記載の露光装置において、
前記走査露光において、前記ステージは、前記開口が形成される前記スライダの上面が前記一対の板状部の下面と近接しつつ移動される露光装置。 - 請求項1又は2に記載の露光装置において、
前記スライダは、前記第1方向の一端側と他端側にそれぞれ上面を有するカバー部材を有し、
前記走査露光において、前記ステージは、前記カバー部材の上面が前記一対の板状部の下面と近接しつつ移動される露光装置。 - 請求項1〜3のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記筒状部は上端側が前記照明光学系に接続され、
前記第1空間内は湿度が10%以下のガスが供給されるパージ空間である露光装置。 - 請求項1〜4のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記第1空間は湿度が1%以下のクリーンドライエアが供給されるパージ空間である露光装置。 - 請求項1〜5のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記投影光学系と前記ステージとの間で前記照明光の光路を含む第2空間を形成するための第2隔壁部材を、さらに備え、
前記第2空間は、前記第2隔壁部材、前記定盤、前記ステージ、および前記マスクによって気密に形成される露光装置。 - 請求項6に記載の露光装置において、
前記第2隔壁部材は上端側が前記定盤に接続され、下端側が前記投影光学系に接続され、
前記第2空間は湿度が1%以下のクリーンドライエアが供給されるパージ空間である露光装置。 - 請求項1〜7のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記駆動系によって移動される前記ステージが近接可能に配置され、前記スライダおよび前記マスクの少なくとも一方を冷却する冷却部材を、さらに備える露光装置。 - 請求項8に記載の露光装置において、
前記冷却部材は、前記一対の板状部の少なくとも一部として設けられる露光装置。 - 請求項1〜9のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記定盤上に配置され、前記スライダを囲む枠状のカウンタマスを、さらに備え、
前記モータは、前記所定面内で前記第1方向と直交する第2方向に関して前記スライダの開口を挟んで配置される一対の可動子と、前記カウンタマスに配置される一対の固定子と、を有し、前記第1方向を含む複数の方向に関して前記ステージを移動可能である露光装置。 - 請求項1〜10のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記チャック部材は、前記スライダの開口内で前記第2方向に離れて配置され、それぞれ前記マスクの下面を保持する一対のバキュームチャックを有し、
前記ステージは、前記スライダに配置され、前記マスクを複数点で押圧する固定装置を有し、
前記マスクは、前記一対のバキュームチャックと前記固定装置によって前記スライダに保持される露光装置。 - 請求項1〜11のいずれか一項に記載の露光装置において、
前記定盤は、複数の防振ユニットを介して設けられ、
前記複数の防振ユニットで支持される前記定盤を駆動する複数のアクチュエータを、さらに備える露光装置。 - デバイス製造方法であって、
請求項1〜12のいずれか一項に記載の露光装置を用いて基板を露光することと、
前記露光された基板を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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