JP5800257B2 - 露光装置及び露光方法、並びにデバイス製造方法 - Google Patents
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Description
以下、第1の実施形態を図1〜図6に基づいて説明する。
次に、第2の実施形態について、図7〜図9に基づいて説明する。ここで、前述した第1の実施形態と同一若しくは同等の構成部分については、同一の符号を用いるとともにその説明を簡略若しくは省略する。
σ:ボルツマン定数
TA:物体Aの絶対温度
TB:物体Bの絶対温度
εA :物体Aの放射率
εB :物体Bの放射率
SA :物体Aの表面積
SB :物体Bの表面積
FAB:物体AからBへの形態係数
上式(1)中の形態係数は1以下の数字であるが、本実施形態のような矩形平板間の伝熱の場合、形態係数は矩形の辺の長さの、平板間距離に対する比が大きいほど値が1に近づく。走査型露光装置では、本実施形態のようにレチクルRの照明領域がスリット状であることが多く、図8に示されるようにレチクルRの上に、近接冷却デバイス110A,110BをレチクルRにかなり近接させて配置した場合には、レチクルステージRSTが走査範囲内のどこの位置にあっても、常に近接冷却デバイス110A,110BをレチクルR全面積に対しておおよそ2/3程度の面積まで相対させることが可能である。従って、形態係数は容易に0.2程度の値にすることが可能である。
冷却デバイスの制御方法は上記に限らず,他の方法でも良い。例えば、レチクルRの温度を計測する温度センサ及び冷却デバイスの温度をモニタする温度センサの一方、又は両方を設けることなく、例えば、予め実験又はシミュレーションなどで冷却デバイスの制御パターンを決定しても良い。
Claims (27)
- マスクと物体とを第1方向に同期移動して、投影光学系を介して前記マスクに形成されたパターンを前記物体上に転写する露光装置であって、
前記マスクを保持する保持部と、前記保持部を囲むように当該保持部の周囲に配置される上面とを有するスライダと、
前記マスクを照明光により照明する照明系と、
前記スライダに対して前記照明系側に配置され、前記第1方向に移動する前記スライダの上面に対して微小な隙間を隔てて対向可能な対向部材と、を備える露光装置。 - 前記対向部材の下面が前記第1方向に沿って前記スライダの上面とほぼ平行となるように、前記対向部材は前記照明系側に配置される請求項1に記載の露光装置。
- 前記同期移動の際に、前記対向部材と前記スライダの上面との間に形成された微小な間隙が維持される請求項1又は2に記載の露光装置。
- 前記スライダの上面と前記対向部材とにより、前記照明系から前記マスクに至る前記照明光の光路を含む第1空間が外部に対してほぼ気密状態に隔離される請求項1〜3のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記スライダの上面は、前記スライダの前記第1方向端部を覆うカバー部材の上面を含む請求項4に記載の露光装置。
- 前記第1空間が、湿度が抑制された気体で満たされる請求項4又は5に記載の露光装置。
- 前記スライダを移動可能に支持する定盤と、
前記定盤と前記投影光学系との間の前記照明光の光路を取り囲む環状のシール部材と、をさらに備え、
前記シール部材により前記スライダの下面と前記投影光学系との間の第2空間が外気に対して隔離されている請求項6に記載の露光装置。 - 前記第2空間に、湿度が抑制された気体が満たされる請求項7に記載の露光装置。
- 前記第1空間と前記第2空間は互いに隔離されている請求項7又は8に記載の露光装置。
- 前記第2空間には、前記スライダの位置を計測するための位置計測部材が収容されている請求項7〜9のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記スライダの位置計測を行うための位置計測部材が、前記スライダの下面に配置されている請求項1〜10のいずれか一項に記載の露光装置。
- 前記位置計測部材はグレーティングを含み、
前記グレーティングへ計測光を照射するエンコーダヘッドが前記スライダの下面と対向して配置される請求項11に記載の露光装置。 - 前記エンコーダヘッドは、前記スライダと前記投影光学系との間に配置される請求項12に記載の露光装置。
- マスクと物体とを第1方向に同期移動して、投影光学系を介して前記マスクに形成されたパターンを前記物体上に転写する露光方法であって、
前記マスクを保持部で保持するとともに前記保持部を囲むように当該保持部の周囲に配置される上面を有するスライダを、前記スライダに対して前記照明系側に配置された対向部材に対向させて前記第1方向に移動させることと、
前記対向部材と対向して前記第1方向に移動するスライダに保持された前記マスクに対して照明系を介して照明光を照明することと、
前記照明光により照明されたパターンを、前記投影光学系を介して前記物体上に転写すること、を含む露光方法。 - 前記対向部材の下面が前記第1方向に沿って前記スライダの上面とほぼ平行となるように、前記対向部材は前記照明系側に配置される請求項14に記載の露光方法。
- 前記同期移動の際に、前記対向部材と前記スライダの上面との間に形成された微小な間隙が維持される請求項14又は15に記載の露光方法。
- 前記スライダの上面と前記対向部材とにより、前記照明系から前記マスクに至る前記照明光の光路を含む第1空間が外部に対してほぼ気密状態に隔離される請求項14〜16のいずれか一項に記載の露光方法。
- 前記スライダの上面は、前記スライダの前記第1方向端部を覆うカバー部材の上面を含む請求項17に記載の露光方法。
- 前記第1空間が、湿度が抑制された気体で満たされる請求項17又は18に記載の露光方法。
- 前記スライダを移動可能に支持する定盤と前記投影光学系との間の前記照明光の光路を取り囲む環状のシール部材により、前記スライダの下面と前記投影光学系との間の第2空間が外気に対して隔離されている請求項19に記載の露光方法。
- 前記第2空間に、湿度が抑制された気体が満たされる請求項20に記載の露光方法。
- 前記第1空間と前記第2空間は互いに隔離されている請求項20又は21に記載の露光方法。
- 前記第2空間には、前記スライダの位置を計測するための位置計測部材が収容されている請求項20〜22のいずれか一項に記載の露光方法。
- 前記スライダの位置計測を行うための位置計測部材が、前記スライダの下面に配置されている請求項14〜23のいずれか一項に記載の露光方法。
- 前記位置計測部材はグレーティングを含み、
前記グレーティングへ計測光を照射するエンコーダヘッドが前記スライダの下面と対向して配置される請求項24に記載の露光方法。 - 前記エンコーダヘッドは、前記スライダと前記投影光学系との間に配置される請求項25に記載の露光方法。
- 請求項14〜26のいずれか一項に記載の露光方法により物体上にパターンを転写することと、
前記パターンが転写された前記物体を現像することと、を含むデバイス製造方法。
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