JP6006187B2 - 導電性フイルム及びその製造方法 - Google Patents
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Description
[屈曲試験は、基台に対して回転自在に取り付けられた直径4mmのローラーに前記導電性フイルムを引っかけ、前記導電性フイルムの一方の端部を幅1mあたり28.6kgのテンションで引っ張りながら前記ローラーを回転させて前記導電性フイルムを屈曲させる工程と、前記導電性フイルムの他方の端部を幅1mあたり28.6kgのテンションで引っ張りながら前記ローラーを回転させて前記導電性フイルムを屈曲させる工程とを繰り返し行って、前記導電性フイルムを100回屈曲させる。]
AgBr(固体)+2個のS2O3イオン → Ag(S2O3)2
(易水溶性錯体)
透明基体32としては、プラスチックフイルム、プラスチック板、ガラス板等を挙げることができる。上記プラスチックフイルム及びプラスチック板の原料としては、例えば、ポリエチレンテレフタレート(PET)、ポリエチレンナフタレート(PEN)等のポリエステル類;トリアセチルセルロース(TAC)等を用いることができる。透明基体32としては、融点が約290℃以下であるプラスチックフイルム、又はプラスチック板が好ましく、特に、光透過性や加工性等の観点から、PETが好ましい。
電極部36を構成する金属細線52となる銀塩感光層66は、銀塩とバインダーの他、溶媒や染料等の添加剤を含有する。
ハロゲン化銀に含有されるハロゲン元素は、塩素、臭素、ヨウ素及びフッ素のいずれであってもよく、これらの組み合わせでもよい。例えば、AgCl、AgBr、AgIを主体としたハロゲン化銀が好ましく用いられ、さらにAgBrやAgClを主体としたハロゲン化銀が好ましく用いられる。塩臭化銀、沃塩臭化銀、沃臭化銀もまた好ましく用いられる。より好ましくは、塩臭化銀、臭化銀、沃塩臭化銀、沃臭化銀であり、最も好ましくは、塩化銀50モル%以上を含有する塩臭化銀、沃塩臭化銀が用いられる。なお、ここで、「AgBr(臭化銀)を主体としたハロゲン化銀」とは、ハロゲン化銀組成中に占める臭化物イオンのモル分率が50%以上のハロゲン化銀をいう。このAgBrを主体としたハロゲン化銀粒子は、臭化物イオンのほかに沃化物イオン、塩化物イオンを含有していてもよい。
本実施の形態に用いられるバインダーとしては、例えば、ゼラチン、ポリビニルアルコール(PVA)、ポリビニルピロリドン(PVP)、澱粉等の多糖類、セルロース及びその誘導体、ポリエチレンオキサイド、ポリビニルアミン、キトサン、ポリリジン、ポリアクリル酸、ポリアルギン酸、ポリヒアルロン酸、カルボキシセルロース等が挙げられる。これらは、官能基のイオン性によって中性、陰イオン性、陽イオン性の性質を有する。
銀塩感光層66の形成に用いられる溶媒は、特に限定されるものではないが、例えば、水、有機溶媒(例えば、メタノール等のアルコール類、アセトン等のケトン類、ホルムアミド等のアミド類、ジメチルスルホキシド等のスルホキシド類、酢酸エチル等のエステル類、エーテル類等)、イオン性液体、及びこれらの混合溶媒を挙げることができる。本実施の形態の銀塩感光層66に用いられる溶媒の含有量は、銀塩感光層66に含まれる銀塩、バインダー等の合計の質量に対して30〜90質量%の範囲であり、50〜80質量%の範囲であることが好ましい。
本実施の形態に用いられる各種添加剤に関しては、特に制限は無く、公知のものを好ましく用いることができる。
本実施の形態の導電性金属部の線幅(金属細線52の線幅)は、下限は1μm以上、3μm以上、4μm以上、もしくは5μm以上が好ましく、上限は10μm以下、9μm以下、8μm以下が好ましい。線幅が上記下限値未満の場合には、導電性が不十分となるためタッチパネル10に使用した場合に、検出感度が不十分となる。他方、上記上限値を超えると導電性金属部に起因するモアレが顕著になったり、タッチパネル10に使用した際に視認性が悪くなったりする。なお、上記範囲にあることで、導電性金属部のモアレが改善され、視認性が特によくなる。線間隔(ここでは格子38の互いに対向する辺の間隔)は30μm以上500μm以下であることが好ましく、さらに好ましくは50μm以上400μm以下、最も好ましくは100μm以上350μm以下である。また、導電性金属部は、アース接続等の目的においては、線幅は200μmより広い部分を有していてもよい。
本実施の形態における「光透過性部」とは、導電性フイルム16のうち導電性金属部以外の透光性を有する部分を意味する。光透過性部における透過率は、前述のとおり、透明基体32の光吸収及び反射の寄与を除いた380〜780nmの波長領域における透過率の最小値で示される透過率が90%以上、好ましくは95%以上、さらに好ましくは97%以上であり、さらにより好ましくは98%以上であり、最も好ましくは99%以上である。
第1導電性フイルム16Aの第1透明基体32A及び第2導電性フイルム16Bの第2透明基体32Bの厚さは、75〜350μmであることが好ましく、30〜150μmであることがさらに好ましい。75〜350μmの範囲であれば所望の可視光の透過率が得られ、且つ、取り扱いも容易である。
銀塩乳剤層の上に図示しない保護層を設けてもよい。また、銀塩感光層66よりも下に、例えば下塗り層を設けることもできる。
本実施の形態では、電極部36のメッシュパターン40を印刷方式によって施す場合を含むが、印刷方式以外は、電極部36のメッシュパターン40を露光と現像等によって形成する。すなわち、透明基体32の表面に設けられた銀塩感光層66を有する感光材料又はフォトリソグラフィ用フォトポリマーを塗工した感光材料への露光を行う。露光は、電磁波を用いて行うことができる。電磁波としては、例えば、可視光線、紫外線等の光、X線等の放射線等が挙げられる。さらに露光には波長分布を有する光源を利用してもよく、特定の波長の光源を用いてもよい。露光方法に関しては、表面にマスクパターンが形成されたガラスマスクを介した方法やレーザー描画によるパターン露光方式が好ましい。
本実施の形態では、銀塩感光層66を露光した後、さらに現像処理が行われる。現像処理は、銀塩写真フイルムや印画紙、印刷製版用フイルム、フォトマスク用エマルジョンマスク等に用いられる通常の現像処理の技術を用いることができる。現像液については特に限定はしないが、PQ現像液、MQ現像液、MAA現像液等を用いることもでき、市販品では、例えば、富士フイルム社処方のCN−16、CR−56、CP45X、FD−3、パピトール、KODAK社処方のC−41、E−6、RA−4、D−19、D−72等の現像液、又はそのキットに含まれる現像液を用いることができる。また、リス現像液を用いることもできる。
本実施の形態では、前記露光及び現像処理により形成された金属銀部の導電性を向上させる目的で、金属銀部70に導電性金属粒子を担持させるための物理現像及び/又はめっき処理を行ってもよい。本実施の形態では物理現像又はめっき処理のいずれか一方のみで導電性金属粒子を金属銀部70に担持させてもよく、物理現像とめっき処理とを組み合わせて導電性金属粒子を金属銀部70に担持させてもよい。
本実施の形態では、現像処理後の金属銀部70、並びに、物理現像及び/又はめっき処理によって形成された導電性金属部には、酸化処理を施すことが好ましい。酸化処理を行うことにより、例えば、光透過性部に金属が僅かに沈着していた場合に、該金属を除去し、光透過性部の透過性を略100%にすることができる。
銀塩感光層66に対して現像処理を行った後に、硬膜剤に浸漬して硬膜処理を行うことが好ましい。硬膜剤としては、例えば、グルタルアルデヒド、アジポアルデヒド、2,3−ジヒドロキシ−1,4−ジオキサン等のジアルデヒド類及びほう酸等の特開平2−141279号公報に記載のものを挙げることができる。
現像処理済みの金属銀部70にカレンダー処理を施して平滑化するようにしてもよい。これによって金属銀部70の導電性が顕著に増大する。カレンダー処理は、カレンダーロールにより行うことができる。カレンダーロールは通常一対のロールからなる。
線幅変動={(Wmax−Wmin)/Wave}×100(%)
にて求めた。
図9A及び図9Bに示すように、透明基体32(ここでは、ポリエチレンテレフタレート(PET))の表面に形成された厚み2μmの銅箔74上に、フォトレジスト膜78を形成した後、フォトレジスト膜78を露光、現像処理してレジストパターン80を形成し、レジストパターン80から露出する銅箔74をエッチングすることによって、金属細線52の線幅が変動するメッシュパターン40を形成して実施例1に係る導電性フイルムを作製した。実施例1に係る導電性フイルムの金属細線52の平均線幅は5μm、線幅変動は30%であった。
図9A及び図9Bに示すように、透明基体32(ここではPET)の表面に、スパッタ法によって銀(Ag)を堆積して、厚み2μmの銀膜76を形成した。その後、銀膜76上にフォトレジスト膜78を形成した後、フォトレジスト膜78を露光、現像処理してレジストパターン80を形成し、レジストパターン80から露出する銀膜76をエッチングすることによって、金属細線52の線幅が変動するメッシュパターン40を形成した。実施例2に係る導電性フイルムの金属細線52の平均線幅は5μm、線幅変動は30%であった。
(ハロゲン化銀感光材料)
水媒体中のAg150gに対してゼラチン10.0gを含む、球相当径平均0.1μmの沃臭塩化銀粒子(I=0.2モル%、Br=40モル%)を含有する乳剤を調製した。
その後、ゼラチン硬膜剤と共に、銀の塗布量が10g/m2となるように透明基体32(ここではPET)の表面に塗布した。この際、Ag/ゼラチン体積比は2/1とした。透明基体32の厚みは100μmとした。下層に乳剤Bを5g/m2、上層に乳剤Aを5g/m2となるように重層塗布を行って、感光層の厚みが1.5μmのハロゲン化銀感光材料を得た。
完成したハロゲン化銀感光材料に対して、メッシュパターン40に対応したマスクパターンを有するフォトマスクを密着させて、高圧水銀ランプを光源とした平行光を用いて露光した。
・現像液1L処方
ハイドロキノン 20 g
亜硫酸ナトリウム 50 g
炭酸カリウム 40 g
エチレンジアミン・四酢酸 2 g
臭化カリウム 3 g
ポリエチレングリコール2000 1 g
水酸化カリウム 4 g
pH 10.3に調整
・定着液1L処方
チオ硫酸アンモニウム液(75%) 300 ml
亜硫酸アンモニウム・1水塩 25 g
1,3−ジアミノプロパン・四酢酸 8 g
酢酸 5 g
アンモニア水(27%) 1 g
pH 6.2に調整
金属細線52の平均線幅を6μmにしたこと以外は、上述した実施例3と同様にして導電性フイルムを作製した。
金属細線52の平均線幅を5μm、線幅変動を20%にしたこと以外は、上述した実施例3と同様にして導電性フイルムを作製した。
金属細線52の平均線幅を5μm、線幅変動を25%にしたこと以外は、上述した実施例3と同様にして導電性フイルムを作製した。
金属細線52の平均線幅を5μmにしたこと以外は、上述した実施例3と同様にして導電性フイルムを作製した。
金属細線52の平均線幅を5μm、線幅変動を60%にしたこと以外は、上述した実施例3と同様にして導電性フイルムを作製した。
金属細線52の平均線幅を4μm、線幅変動を20%にしたこと以外は、上述した実施例3と同様にして導電性フイルムを作製した。
金属細線52の平均線幅を4μmにしたこと以外は、上述した実施例3と同様にして導電性フイルムを作製した。
金属細線52の平均線幅を4μm、線幅変動を60%にしたこと以外は、上述した実施例3と同様にして導電性フイルムを作製した。
金属細線52の平均線幅を3μm、線幅変動を20%にしたこと以外は、上述した実施例3と同様にして導電性フイルムを作製した。
金属細線52の平均線幅を3μmにしたこと以外は、上述した実施例3と同様にして導電性フイルムを作製した。
金属細線52の平均線幅を3μm、線幅変動を60%にしたこと以外は、上述した実施例3と同様にして導電性フイルムを作製した。
金属細線52の平均線幅を2μmにしたこと以外は、上述した実施例3と同様にして導電性フイルムを作製した。
金属細線52の平均線幅を20μm、線幅変動を20%にしたこと以外は、上述した実施例1と同様にして導電性フイルムを作製した。
金属細線52の平均線幅を10μm、線幅変動を20%にしたこと以外は、上述した実施例1と同様にして導電性フイルムを作製した。
金属細線52の平均線幅を10μmにしたこと以外は、上述した実施例1と同様にして導電性フイルムを作製した。
金属細線52の平均線幅を10μm、線幅変動を75%にしたこと以外は、上述した実施例1と同様にして導電性フイルムを作製した。
金属細線52の平均線幅を10μmにしたこと以外は、上述した実施例3と同様にして導電性フイルムを作製した。
金属細線52の平均線幅を5μm、線幅変動を15%にしたこと以外は、上述した実施例3と同様にして導電性フイルムを作製した。
金属細線52の平均線幅を5μm、線幅変動を75%にしたこと以外は、上述した実施例3と同様にして導電性フイルムを作製した。
金属細線52の平均線幅を4μm、線幅変動を75%にしたこと以外は、上述した実施例3と同様にして導電性フイルムを作製した。
金属細線52の平均線幅を3μm、線幅変動を75%にしたこと以外は、上述した実施例3と同様にして導電性フイルムを作製した。
金属細線52の平均線幅を2μm、線幅変動を75%にしたこと以外は、上述した実施例3と同様にして導電性フイルムを作製した。
(屈曲試験による抵抗変化率)
上述した屈曲試験(図5参照)を行う前の電極部36の表面抵抗R1と、屈曲試験を行った後の電極部36の表面抵抗R2を求め、抵抗変化率R2/R1を求めた。
実施例1〜15、比較例1〜10について、それぞれ導電性フイルムを表示装置22の表示パネル24上に貼り付けた後、表示装置22を回転盤に設置し、表示装置22を駆動して白色を表示させる。その状態で、回転盤をバイアス角−20°〜+20°の間で回転し、モアレの目視観察・評価を行った。
実施例1〜15及び比較例1〜10の評価結果を下記の表3に示す。
16A…第1導電性フイルム 16B…第2導電性フイルム
18…積層導電性フイルム 22…表示装置
24…表示パネル 32A…第1透明基体
32B…第2透明基体 36…電極部
36A…第1電極部 36B…第2電極部
38…格子 40…メッシュパターン
52…金属細線 56…基台
58…ローラー 66…銀塩感光層
68…現像銀 70…金属銀部
74…銅箔 76…銀膜
Claims (7)
- 絶縁基体と、該絶縁基体の表面に配置された金属細線による電極部とを有する導電性フイルムにおいて、
前記金属細線の線幅が変動しており、前記線幅の最大と最小の差が、前記金属細線の平均線幅の20%以上60%未満であり、
前記平均線幅が2μm以上7μm以下であり、
前記電極部は、複数の前記金属細線によるメッシュパターンを有し、
前記メッシュパターンを構成する複数の前記金属細線のうち、1本の金属細線が断線した場合に、前記電極部の電気抵抗の変化が5%以内であり、
下記の屈曲試験を行う前の前記電極部の表面抵抗をR1、下記屈曲試験を行った後の前記電極部の表面抵抗をR2としたとき、R2/R1≦8を満足することを特徴とする導電性フイルム。
[屈曲試験は、基台に対して回転自在に取り付けられた直径4mmのローラーに前記導電性フイルムを引っかけ、前記導電性フイルムの一方の端部を幅1mあたり28.6kgのテンションで引っ張りながら前記ローラーを回転させて前記導電性フイルムを屈曲させる工程と、前記導電性フイルムの他方の端部を幅1mあたり28.6kgのテンションで引っ張りながら前記ローラーを回転させて前記導電性フイルムを屈曲させる工程とを繰り返し行って、前記導電性フイルムを100回屈曲させる。] - 請求項1記載の導電性フィルムにおいて、
前記平均線幅が3μm以上6μm以下であり、
前記屈曲試験を行う前の前記電極部の表面抵抗をR1、前記屈曲試験を行った後の前記電極部の表面抵抗をR2としたとき、R2/R1<4を満足することを特徴とする導電性フイルム。 - 請求項1又は2記載の導電性フイルムにおいて、
前記絶縁基体と、該絶縁基体の表面に配置された金属細線による表面側の電極部と、前記絶縁基体の裏面に配置された金属細線による裏面側の電極部とを有することを特徴とする導電性フイルム。 - 請求項1〜3のいずれか1項に記載の導電性フィルムを作製する導電性フィルムの製造方法において、
前記絶縁基体の表面に少なくとも1層のハロゲン化銀乳剤層を形成する工程と、
前記ハロゲン化銀乳剤層を露光する露光工程と、
露光後の前記ハロゲン化銀乳剤層を現像処理する現像工程と、を有することを特徴とする導電性フイルムの製造方法。 - 請求項4記載の導電性フイルムの製造方法において、
前記ハロゲン化銀乳剤層の塗布銀量が、5g/m2以上、30g/m2以下であることを特徴とする導電性フイルムの製造方法。 - 請求項4又は5記載の導電性フイルムの製造方法において、
前記露光工程は、前記ハロゲン化銀乳剤層にガラスマスクを密着させて露光を行い、
前記ガラスマスクとして、表面が粗面処理されたガラスマスクを使用することを特徴とする導電性フイルムの製造方法。 - 請求項4〜6のいずれか1項に記載の導電性フイルムの製造方法において、
前記露光工程は、500nmよりも短い波長成分を含む複合波長の光を用いることを特徴とする導電性フイルムの製造方法。
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JP2011054382A (ja) * | 2009-09-01 | 2011-03-17 | Tohoku Univ | 導電性膜の製造方法、及び、導電性膜 |
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JP2012004042A (ja) * | 2010-06-18 | 2012-01-05 | Fujifilm Corp | 透明導電性フイルム及び透明導電性フイルムの製造方法 |
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