JP6001446B2 - 半導体発光素子及びその製造方法 - Google Patents
半導体発光素子及びその製造方法 Download PDFInfo
- Publication number
- JP6001446B2 JP6001446B2 JP2012287340A JP2012287340A JP6001446B2 JP 6001446 B2 JP6001446 B2 JP 6001446B2 JP 2012287340 A JP2012287340 A JP 2012287340A JP 2012287340 A JP2012287340 A JP 2012287340A JP 6001446 B2 JP6001446 B2 JP 6001446B2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- layer
- light emitting
- thickness
- semiconductor light
- type semiconductor
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Active
Links
Images
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/04—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a quantum effect structure or superlattice, e.g. tunnel junction
- H01L33/06—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a quantum effect structure or superlattice, e.g. tunnel junction within the light emitting region, e.g. quantum confinement structure or tunnel barrier
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B82—NANOTECHNOLOGY
- B82Y—SPECIFIC USES OR APPLICATIONS OF NANOSTRUCTURES; MEASUREMENT OR ANALYSIS OF NANOSTRUCTURES; MANUFACTURE OR TREATMENT OF NANOSTRUCTURES
- B82Y20/00—Nanooptics, e.g. quantum optics or photonic crystals
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/26—Materials of the light emitting region
- H01L33/30—Materials of the light emitting region containing only elements of group III and group V of the periodic system
- H01L33/32—Materials of the light emitting region containing only elements of group III and group V of the periodic system containing nitrogen
- H01L33/325—Materials of the light emitting region containing only elements of group III and group V of the periodic system containing nitrogen characterised by the doping materials
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/20—Structure or shape of the semiconductor body to guide the optical wave ; Confining structures perpendicular to the optical axis, e.g. index or gain guiding, stripe geometry, broad area lasers, gain tailoring, transverse or lateral reflectors, special cladding structures, MQW barrier reflection layers
- H01S5/2004—Confining in the direction perpendicular to the layer structure
- H01S5/2009—Confining in the direction perpendicular to the layer structure by using electron barrier layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/34—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers
- H01S5/343—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser
- H01S5/34333—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser with a well layer based on Ga(In)N or Ga(In)P, e.g. blue laser
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/34—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers
- H01S5/343—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser
- H01S5/34346—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers in AIIIBV compounds, e.g. AlGaAs-laser, InP-based laser characterised by the materials of the barrier layers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/005—Processes
- H01L33/0062—Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds
- H01L33/0066—Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds with a substrate not being a III-V compound
- H01L33/007—Processes for devices with an active region comprising only III-V compounds with a substrate not being a III-V compound comprising nitride compounds
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/025—Physical imperfections, e.g. particular concentration or distribution of impurities
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L33/00—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L33/02—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies
- H01L33/14—Semiconductor devices with at least one potential-jump barrier or surface barrier specially adapted for light emission; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof characterised by the semiconductor bodies with a carrier transport control structure, e.g. highly-doped semiconductor layer or current-blocking structure
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/32—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures
- H01S5/3211—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising PN junctions, e.g. hetero- or double- heterostructures characterised by special cladding layers, e.g. details on band-discontinuities
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S5/00—Semiconductor lasers
- H01S5/30—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region
- H01S5/34—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers
- H01S5/3407—Structure or shape of the active region; Materials used for the active region comprising quantum well or superlattice structures, e.g. single quantum well [SQW] lasers, multiple quantum well [MQW] lasers or graded index separate confinement heterostructure [GRINSCH] lasers characterised by special barrier layers
Description
なお、図面は模式的または概念的なものであり、各部分の厚みと幅との関係、部分間の大きさの比率などは、必ずしも現実のものと同一とは限らない。また、同じ部分を表す場合であっても、図面により互いの寸法や比率が異なって表される場合もある。
なお、本願明細書と各図において、既出の図に関して前述したものと同様の要素には同一の符号を付して詳細な説明は適宜省略する。
図1は、第1の実施形態に係る半導体発光素子を例示する模式図である。
図2は、第1の実施形態に係る半導体発光素子を例示する模式的断面図である。
まず、図2により、半導体発光素子の構成の概要について説明する。
n形半導体層10には、例えば、シリコン(Si)がドープされたn形GaN層が用いられる。n形半導体層10は、n形コンタクト層を含む。n形コンタクト層におけるSiの濃度は、例えば、1×1018(atoms/cm3)以上1×1019(atoms/cm3)であり、例えば、約8×1018(atoms/cm3)である。n形半導体層10の厚さは、例えば、2マイクロメートル(μm)以上8μmであり、例えば、5μmである。n形半導体層10の少なくとも一部は、例えば、n形クラッド層として機能する。
本明細書において、積層される状態は、互いに接して重ねられる状態の他に、間に他の層が挿入されて重ねられる状態も含む。
第3p側層23は、Mgを含む。第3p側層23として、例えば、Alx3Ga1−x3N(x2<x3<1)層が用いられる。
第2p側層22及び第3p側層23の例については、後述する。
以下に説明するように、複数の障壁層31において、p形半導体層20に近い障壁層31の厚さは薄い。それ以外の障壁層31の厚さは、例えば、3.5nm以上8nmである。
p側井戸層32p及びp側障壁層31pの例については、後述する。
図1は、発光層30及びp形半導体層20におけるAl組成比の例をモデル的に表している。横軸は、深さ方向(Z軸方向)の位置dzである。縦軸は、Al組成比CAlを表す。
Mgを含むp形半導体層20を発光層30に近づけると、Mgが発光層30内に拡散してしまい、発光層30の品質が低下する場合がある。そのため、発光層30(井戸層32)からp形半導体層20を遠ざけるために、発光層30とp形半導体層20との間に中間層(拡散防止層)などを配置する構成が考えられる。この構成においては、発光層30とp形半導体層20との間の距離が長く、例えば、その距離は、4nm以上である。場合によっては、6nm以上とされる。
図3は、半導体発光素子の発光効率を表すグラフ図である。横軸は、p側障壁層31pの厚さdp(ナノメートル:nm)である。縦軸は、発光効率Eff(ミリワット/ミリアンペア:mW/mA)である。発光効率Effは、半導体発光素子から放射される光の強度を、半導体発光素子に供給される電流Idで除算した値に対応する。図3においては、電流Idが100mAのときの発光効率Effが示されている。
図4(a)〜図4(c)は、第1の実施形態に係る別の半導体発光素子110a〜110cにおけるAl組成比の例を、それぞれ表している。横軸は、深さ方向(Z軸方向)の位置dzであり、縦軸は、Al組成比CAlである。
c面サファイアなどの基板50を、例えば、有機洗浄及び酸洗浄する。洗浄後の基板50上に、バッファ層、下地層60、n形半導体層10、積層体40、発光層30、及び、p形半導体層20を順に結晶成長させる。これにより、基板50の上に、積層構造体90が形成される。バッファ層は、必要に応じて形成される。
GaN層の上に、例えば、AlGaN層(p側障壁層31pの第2層33b)を形成する。このAlGaN層は、例えば、アンドープである。プロセスガスの供給はそのままにして、TMAをさらに供給することでこのAlGaN層が形成される。
さらに、TMAの供給量を増やして、p形AlGaN層(第3p側層23)を形成する。
次に、Cp2Mgの供給量を増やし、p形コンタクト層となるp形GaN層(第1p側層21)を形成する。
積層構造体90の一部を、p形半導体層20の側から、n形半導体層10に達するまで除去する。積層構造体90の除去には、例えば、RIE(Reactive Ion Etching)法が用いられる。露出したn形半導体層10の上に、第1電極70を形成する。第1p側層21上に、第2電極80を形成する。
これにより、本実施形態に係る半導体発光素子(例えば半導体発光素子110)が形成される。基板50の上に積層構造体90を形成した後に、基板50を除去しても良い。基板50の除去の際に、下地層60の一部が除去されても良い。
図5は、第2の実施形態に係る半導体発光素子を例示する模式的断面図である。
図5に表したように、本実施形態に係る半導体発光素子120においては、p側井戸層32pの構成が、複数の井戸層32のうちの他の井戸層32の構成とは異なる。その他の構成については、半導体発光素子110と同様とすることができるので説明を省略する。
図6は、半導体発光素子120における発光効率を半導体発光素子111の発光効率と共に表している。横軸は、電流Id(ミリアンペア:mA)であり、縦軸は、発光効率Eff(ミリワット/ミリアンペア:mW/mA)である。発光効率Effは、半導体発光素子から放射される光の強度を、半導体発光素子に供給される電流Idで除算した値に対応する。
本実施形態である半導体発光素子120においては、p側井戸層32pを厚くするだけでなく、p側井戸層32pに近接して、Al組成比CAlが上昇するAlGaN層が配置される。これにより、p側井戸層32pが厚い場合でも、応力が緩和されやすい。また、Al組成比が高いAlGaN層を含むため、高い電子ブロックも維持されるため、発光効率Effが大幅に改善される。半導体発光素子120においても、高い発光効率が得られる。
本実施形態は、窒化物半導体を含むn形半導体層10と、p形半導体層20と、発光層30と、を含む半導体発光素子の製造方法に係る。p形半導体層20は、Mgを含むAlx1Ga1−x1N(0≦x1<1)の第1p側層21と、第1p側層21とn形半導体層10との間に設けられMgを含むAlx2Ga1−x2N(0<x2<1)の第2p側層22と、第1p側層21と第2p側層22との間に設けられMgを含むAlx3Ga1−x3N(x2<x3<1)の第3p側層と、を含む。発光層30は、n形半導体層と第2p側層との間に設けられる。発光層30は、複数の障壁層31と、複数の井戸層32と、を含む。複数の井戸層32のそれぞれは、複数の障壁層31どうしの間に設けられる。
図7に表したように、本製造方法は、n形半導体層10の上に発光層30を形成する工程(ステップS110)と、発光層30の上にp形半導体層20を形成する工程(ステップS120)と、を含む。
Claims (20)
- 窒化物半導体を含むn形半導体層と、
p形半導体層であって、
Mgを含むAlx1Ga1−x1N(0≦x1<1)の第1p側層と、
前記第1p側層と前記n形半導体層との間に設けられMgを含むAlx2Ga1−x2N(0<x2<1)の第2p側層と、
前記第1p側層と前記第2p側層との間に設けられMgを含むAlx3Ga1−x3N(x2<x3<1)の第3p側層と、
を含むp形半導体層と、
前記n形半導体層と前記第2p側層との間に設けられ、複数の障壁層と、それぞれが前記複数の障壁層どうしの間に設けられた複数の井戸層と、を含む発光層と、
を備え、
前記複数の障壁層のうちで前記第2p側層に最も近いp側障壁層は、
Alz1Ga1−z1N(0≦z1)の第1層と、
前記第1層と第2p側層との間に設けられ前記第1層及び前記第2p側層に接するAlz2Ga1−z2N(z1<z2<x2)の第2層と、
を含み、
前記p側障壁層の厚さは、3.5ナノメートル未満である半導体発光素子。 - 前記複数の井戸層のうちで前記第2p側層に最も近いp側井戸層の厚さは、前記複数の井戸層のうちの他のいずれの前記井戸層の厚さよりも厚い請求項1に記載の半導体発光素子。
- 前記p側井戸層の厚さは、3ナノメートル以上6ナノメートル以下である請求項1または2に記載の半導体発光素子。
- 前記複数の井戸層のうちで前記p側井戸層を除く井戸層の厚さは、1.5ナノメートル以上6ナノメートル未満である請求項3記載の半導体発光素子。
- 前記複数の井戸層のそれぞれは、Inを含み、
前記p側井戸層におけるIn組成比は、前記複数の井戸層のうちの他のいずれの前記井戸層におけるIn組成比よりも低い請求項1〜4のいずれか1つに記載の半導体発光素子。 - 前記x3は、0.15以上0.25以下である請求項1〜5のいずれか1つに記載の半導体発光素子。
- 前記x2は、0.03以上0.15未満である請求項1〜6のいずれか1つに記載の半導体発光素子。
- 前記z2は、0.003以上0.03未満である請求項1〜7のいずれか1つに記載の半導体発光素子。
- 前記第1層の厚さは、前記第2層の厚さよりも厚い請求項1〜8のいずれか1つに記載の半導体発光素子。
- 前記第1層の厚さは、2ナノメートル以上3ナノメートル未満である請求項1〜9のいずれか1つに記載の半導体発光素子。
- 前記第2層の厚さは、0.5ナノメートル以上1.5ナノメートル未満である請求項10に記載の半導体発光素子。
- 前記第1層の厚さと前記第2層の厚さとの合計は、3.5ナノメートル未満である請求項1〜11のいずれか1つに記載の半導体発光素子。
- 前記第2p側層の厚さは、5ナノメートル以上20ナノメートル以下である請求項1〜12のいずれか1つに記載の半導体発光素子。
- 前記第3p側層の厚さは、5ナノメートル以上20ナノメートル以下である請求項1〜13のいずれか1つに記載の半導体発光素子。
- 前記p形半導体層は、前記第1p側層と前記第3p側層との間に設けられMgを含むAlx4Ga1−x4N(0≦x4<1、x4<x3)の第4p側層をさらに含む請求項1〜14のいずれか1つに記載の半導体発光素子。
- 前記x4は、前記x2よりも小さい請求項15記載の半導体発光素子。
- 前記複数の障壁層のうちで前記p側障壁層を除く前記障壁層は、GaN層である請求項1〜16のいずれか1つに記載の半導体発光素子。
- 前記発光層から放出される光のピーク波長は、400ナノメートル以上650ナノメートル以下である請求項1〜17のいずれか1つに記載の半導体発光素子。
- 前記複数の井戸層は、Iny2Ga1−y2N(0.08≦y2≦0.18)を含む請求項1〜18のいずれか1つに記載の半導体発光素子。
- 窒化物半導体を含むn形半導体層と、p形半導体層であって、Mgを含むAlx1Ga1−x1N(0≦x1<1)の第1p側層と、前記第1p側層と前記n形半導体層との間に設けられMgを含むAlx2Ga1−x2N(0<x2<1)の第2p側層と、前記第1p側層と前記第2p側層との間に設けられMgを含むAlx3Ga1−x3N(x2<x3<1)の第3p側層と、を含むp形半導体層と、前記n形半導体層と前記第2p側層との間に設けられ、複数の障壁層と、それぞれが前記複数の障壁層どうしの間に設けられた複数の井戸層と、を含む発光層と、を含む半導体発光素子の製造方法であって、
前記n形半導体層の上に発光層を形成する工程と、
前記発光層の上にp形半導体層を形成する工程と、
を備え、
前記発光層の形成は、
前記複数の障壁層のうちで前記第2p側層に最も近いp側障壁層が、前記n形半導体層と前記第2p側層との間に設けられたAlz1Ga1−z1N(0≦z1)の第1層と、前記第1層と第2p側層との間に設けられ前記第1層及び前記第2p側層に接するAlz2Ga1−z2N(z1<z2<x2)の第2層と、を含み、前記p側障壁層の厚さが3.5ナノメートル未満となるように、前記発光層を形成する半導体発光素子の製造方法。
Priority Applications (6)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012287340A JP6001446B2 (ja) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
TW102145579A TWI511331B (zh) | 2012-12-28 | 2013-12-11 | 半導體發光元件及其製造方法 |
US14/104,105 US9196786B2 (en) | 2012-12-28 | 2013-12-12 | Semiconductor light emitting element and method for manufacturing the same |
EP13198246.4A EP2772950A1 (en) | 2012-12-28 | 2013-12-18 | Semiconductor light emitting element and method for manufacturing the same |
KR1020130159990A KR101559210B1 (ko) | 2012-12-28 | 2013-12-20 | 반도체 발광 소자 및 그 제조 방법 |
CN201310741264.8A CN103915531A (zh) | 2012-12-28 | 2013-12-27 | 半导体发光元件及其制造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP2012287340A JP6001446B2 (ja) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JP2014130897A JP2014130897A (ja) | 2014-07-10 |
JP6001446B2 true JP6001446B2 (ja) | 2016-10-05 |
Family
ID=49767020
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP2012287340A Active JP6001446B2 (ja) | 2012-12-28 | 2012-12-28 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
Country Status (6)
Country | Link |
---|---|
US (1) | US9196786B2 (ja) |
EP (1) | EP2772950A1 (ja) |
JP (1) | JP6001446B2 (ja) |
KR (1) | KR101559210B1 (ja) |
CN (1) | CN103915531A (ja) |
TW (1) | TWI511331B (ja) |
Families Citing this family (9)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
DE102013107969B4 (de) * | 2013-07-25 | 2020-04-09 | Osram Opto Semiconductors Gmbh | Optoelektronischer Halbleiterchip |
JP6430317B2 (ja) * | 2014-08-25 | 2018-11-28 | 株式会社東芝 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
CN104282808B (zh) * | 2014-10-08 | 2017-06-06 | 西安神光皓瑞光电科技有限公司 | 一种紫外led外延有源区结构生长方法 |
CN105528793A (zh) * | 2016-01-12 | 2016-04-27 | 北京建筑大学 | 一种高空间分辨率遥感影像的分割方法及系统 |
WO2019187583A1 (ja) * | 2018-03-30 | 2019-10-03 | パナソニックIpマネジメント株式会社 | 半導体発光素子 |
US11552217B2 (en) * | 2018-11-12 | 2023-01-10 | Epistar Corporation | Semiconductor device |
CN110112273B (zh) * | 2019-05-10 | 2020-06-30 | 马鞍山杰生半导体有限公司 | 一种深紫外led外延结构及其制备方法和深紫外led |
JP7448782B2 (ja) | 2019-12-20 | 2024-03-13 | 日亜化学工業株式会社 | 窒化物半導体素子の製造方法 |
CN116130564B (zh) * | 2023-03-09 | 2023-12-19 | 安徽格恩半导体有限公司 | 一种半导体发光二极管 |
Family Cites Families (22)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
US6677619B1 (en) * | 1997-01-09 | 2004-01-13 | Nichia Chemical Industries, Ltd. | Nitride semiconductor device |
JPH10284795A (ja) * | 1997-04-03 | 1998-10-23 | Sony Corp | 歪み量及び層厚変調型多重量子井戸構造を備える半導体レーザ素子および製造方法 |
JP2000261106A (ja) | 1999-01-07 | 2000-09-22 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 半導体発光素子、その製造方法及び光ディスク装置 |
CN100521260C (zh) * | 2002-07-16 | 2009-07-29 | 氮化物半导体株式会社 | 氮化镓类化合物半导体装置 |
JP3909605B2 (ja) | 2003-09-25 | 2007-04-25 | 松下電器産業株式会社 | 窒化物半導体素子およびその製造方法 |
KR20050073740A (ko) | 2004-01-10 | 2005-07-18 | 삼성전자주식회사 | 이중 장벽층을 구비하는 양자우물 구조체를 포함하는반도체 소자 및 이를 채용한 반도체 레이저 및 그 제조 방법 |
JP2005203520A (ja) | 2004-01-14 | 2005-07-28 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 半導体発光素子 |
US8148713B2 (en) * | 2008-04-04 | 2012-04-03 | The Regents Of The University Of California | Method for fabrication of semipolar (Al, In, Ga, B)N based light emitting diodes |
KR100649749B1 (ko) | 2005-10-25 | 2006-11-27 | 삼성전기주식회사 | 질화물 반도체 발광 소자 |
US8053756B2 (en) * | 2006-05-26 | 2011-11-08 | Rohm Co., Ltd. | Nitride semiconductor light emitting element |
KR101330898B1 (ko) | 2007-04-05 | 2013-11-18 | 엘지전자 주식회사 | 반도체 레이저 다이오드 |
KR101438808B1 (ko) * | 2007-10-08 | 2014-09-05 | 엘지이노텍 주식회사 | 반도체 발광소자 및 그 제조방법 |
KR101404143B1 (ko) * | 2007-10-12 | 2014-06-05 | 에이전시 포 사이언스, 테크놀로지 앤드 리서치 | 인이 함유되지 않은 레드 및 화이트 질소 기반 led 제조 |
JP5182363B2 (ja) | 2008-03-19 | 2013-04-17 | 富士通株式会社 | 半導体発光素子及びその製造方法 |
CN102668138B (zh) * | 2009-12-21 | 2015-06-10 | 株式会社东芝 | 氮化物半导体发光元件及其制造方法 |
TW201126853A (en) * | 2010-01-25 | 2011-08-01 | Univ Nat Changhua Education | Laser diode with asymmetric quantum well |
JP5306254B2 (ja) * | 2010-02-12 | 2013-10-02 | 株式会社東芝 | 半導体発光素子 |
JP4892618B2 (ja) * | 2010-02-16 | 2012-03-07 | 株式会社東芝 | 半導体発光素子 |
JP5671244B2 (ja) | 2010-03-08 | 2015-02-18 | 日亜化学工業株式会社 | 窒化物系半導体発光素子 |
KR20120110831A (ko) | 2011-03-30 | 2012-10-10 | 엘지이노텍 주식회사 | 발광소자 |
US8648384B2 (en) | 2011-07-25 | 2014-02-11 | Lg Innotek Co., Ltd. | Light emitting device |
JP5337862B2 (ja) * | 2011-12-19 | 2013-11-06 | 株式会社東芝 | 半導体発光素子 |
-
2012
- 2012-12-28 JP JP2012287340A patent/JP6001446B2/ja active Active
-
2013
- 2013-12-11 TW TW102145579A patent/TWI511331B/zh not_active IP Right Cessation
- 2013-12-12 US US14/104,105 patent/US9196786B2/en active Active
- 2013-12-18 EP EP13198246.4A patent/EP2772950A1/en not_active Withdrawn
- 2013-12-20 KR KR1020130159990A patent/KR101559210B1/ko active IP Right Grant
- 2013-12-27 CN CN201310741264.8A patent/CN103915531A/zh active Pending
Also Published As
Publication number | Publication date |
---|---|
US20140183447A1 (en) | 2014-07-03 |
EP2772950A1 (en) | 2014-09-03 |
KR20140086848A (ko) | 2014-07-08 |
TWI511331B (zh) | 2015-12-01 |
CN103915531A (zh) | 2014-07-09 |
JP2014130897A (ja) | 2014-07-10 |
KR101559210B1 (ko) | 2015-10-12 |
US9196786B2 (en) | 2015-11-24 |
TW201442282A (zh) | 2014-11-01 |
Similar Documents
Publication | Publication Date | Title |
---|---|---|
JP6001446B2 (ja) | 半導体発光素子及びその製造方法 | |
JP6193443B2 (ja) | Iii族窒化物半導体発光素子およびその製造方法 | |
US9331234B2 (en) | Semiconductor light emitting device and method for manufacturing semiconductor light emitting device | |
JP5306254B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
JP5175918B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
JP5060656B2 (ja) | 窒化物半導体発光素子およびその製造方法 | |
JP5372045B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
JP2016171127A (ja) | Iii族窒化物半導体発光素子およびその製造方法 | |
JP5060637B1 (ja) | 半導体発光素子及びウェーハ | |
CN106415860B (zh) | 氮化物半导体发光元件 | |
JP6001627B2 (ja) | Iii族窒化物半導体発光素子の製造方法 | |
JP2012244163A (ja) | 半導体発光素子及びウェーハ | |
JP5889981B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
JP5607106B2 (ja) | 窒化物半導体発光素子およびその製造方法 | |
JP5615334B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
JP6084196B2 (ja) | Iii族窒化物半導体発光素子の製造方法およびiii族窒化物半導体発光素子 | |
JP2012256948A (ja) | 半導体発光素子 | |
JP5651758B2 (ja) | 半導体発光素子 | |
JP2013141017A (ja) | 半導体発光素子の製造方法 |
Legal Events
Date | Code | Title | Description |
---|---|---|---|
A621 | Written request for application examination |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A621 Effective date: 20150908 |
|
A977 | Report on retrieval |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A971007 Effective date: 20160531 |
|
TRDD | Decision of grant or rejection written | ||
A01 | Written decision to grant a patent or to grant a registration (utility model) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A01 Effective date: 20160803 |
|
A61 | First payment of annual fees (during grant procedure) |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: A61 Effective date: 20160901 |
|
R151 | Written notification of patent or utility model registration |
Ref document number: 6001446 Country of ref document: JP Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R151 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313111 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
S111 | Request for change of ownership or part of ownership |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R313113 |
|
R350 | Written notification of registration of transfer |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R350 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |
|
R250 | Receipt of annual fees |
Free format text: JAPANESE INTERMEDIATE CODE: R250 |