JP5997761B2 - 水中ロボット式ベント及び検査システム - Google Patents

Description

関連出願の相互参照
本願は、２０１１年４月２２日付け米国仮特許出願第６１／４７８、４６９号（発明の名称：水中ロボット式検査システム）に基づく優先権を主張し、その開示内容は参照により本明細書に組み込まれる。

本発明は、原子炉の或る特定の構造に関して存在し得るような浸漬環境の検査システムに関する。

如何なる原子炉であってもそれを安全に運転するために考慮すべき主要事項は、正常状態及び事故状態の両方で、放射性物質や放射能を制御し封じ込めることである。作業員と公衆を放射線の影響から守るために、多数の制御及び障壁装置が原子力発電所に据え付けられる。

壊滅的な破損を回避するために、また、予防保全手順のスケジューリングを適切に行うために、原子炉の定期検査は不可欠である。沸騰水型原子炉（ＢＷＲ）において、検査が必要なエリアの１つは蒸気乾燥器集合体である。蒸気乾燥器集合体は、原子炉容器内で蒸気分離器集合体の上方に取り付けられ、湿り蒸気プレナムの頂部及び側部を形成する。湿り蒸気は乾燥器を介して上方へそして外へ流れる。湿り蒸気を乾燥器のベーンに当てることによって水分が除去され、凝縮した水分がドレーンを介して炉水へ流下する。蒸気乾燥器は安全に関係するコンポーネントではないが、集合体はルースパーツを生じさせることなく設計基準事象に耐えるように設計されており、乾燥機には構造的一体性を維持することが期待される。

蒸気乾燥器検査における主な難点は、蒸気乾燥器が「頂部」が閉じた倒立した缶の形をしていることである。検査を行うにはその構造の底部近傍の比較的狭い開口部からアクセスするので、検査装置は開口部を通過した後に上向きに移動しなければならない。

この問題への対策の多くは、小型の遠隔操縦車両（ＲＯＶ）又は他の繋留車両を用いる。ディープ・オーシャン・エンジニアリング社の製品、ＰＨＡＮＴＯＭ（登録商標）Ｆｉｒｅｆｌｙ（商標）は、ＢＷＲ原子炉の検査用として設計された市販のＲＯＶカメラシステムの１つである。多くのＲＯＶと同様に、このシステムは浮力とスラスターを組み合わせて利用することにより容器内にある車両を操縦するものであるが、構造内には内部ハードウェアによって形成された多くの障害があり、狭い空間であるため、車両は内部をアンビリカルケーブルを引きずりながら移動しなければならないため、問題が多い。また、所与の領域をカメラで検査するに十分長い時間の間、自由に移動可能なＲＯＶを所与の位置に保つ困難さもある。したがって改良が望まれている。

本発明は、運転中のＢＷＲに付属する種々の蒸気乾燥器のための点検および評価（Ｉ＆Ｅ）能力を与える。このツールは、蒸気乾燥器が原子炉容器から取り外され、機器ピットに置かれて水等の流体中に浸漬されているときに、様々な発電所の蒸気乾燥器構造の検査を支援する。このツールは、検査ブイと共に、水中クローラー又はトラクターを用いる。クローラーは、蒸気乾燥器の直下に位置する機器ピット又は他の構造物の床の上を移動し、ブイを蒸気乾燥器の上方内部領域に展開させて、溶接部や強度部材等の目視検査を可能にする。システムは、主制御装置、検査ブイを備えた１つのクローラー、及び主制御装置をクローラーに連結するための相互連結ケーブルを含む。システムはさらに、別の連結手段によって主制御装置に連結される携帯ユニットを含んでもよい。

本発明の他の局面は改良型検査装置に係り、該検査装置は、一般的に、制御装置と、連結されたトラクター及び駆動機構より成り、駆動機構が制御装置に連結されたトラクター装置と、トラクター上に位置して展開位置と引込位置の間で可動である繋留装置と、繋留装置に連結され、ブイ及びカメラ装置より成るブイ装置とにより構成されると述べることができる。ブイは流体内に浸漬された状態でカメラ装置に浮力を与えるように構成されており、繋留装置が展開位置にあるとき、ブイ装置は繋留装置が引込位置にあるときよりも垂直方向に相対的に高い上昇位置にあり、繋留装置が引込位置にあるとき、ブイ装置は垂直方向に相対的に低い別の位置にあり、カメラ装置は制御装置に可視出力信号を提供するように構成されている。

本発明のさらなる局面は、流体に浸漬された物体の下面に捕捉されたエアポケットの少なくとも一部を排気するように構成された改良型装置に係る。該装置は、制御装置と、連結されたトラクター及び駆動機構より成り、駆動機構が制御装置に連結されたトラクター装置と、トラクター上に位置して展開位置と引込位置の間で可動である繋留装置と、繋留装置に連結され、ブイ及びカメラ装置より成るブイ装置とにより構成されると述べることができる。ブイは流体内に浸漬された状態でカメラ装置に浮力を与えるように構成されており、繋留装置が展開位置にあるとき、ブイ装置は繋留装置が引込位置にあるときよりも垂直方向に相対的に高い上昇位置にあり、繋留装置が引込位置にあるとき、ブイ装置は垂直方向に相対的に低い別の位置にあり、ブイ装置が上昇位置にあるときベント装置の少なくとも一部がエアポケットと流体連通して少なくとも一部のエアポケットを排気するように構成されている。

本発明は添付図面に関連させて以下の説明を読むとさらに理解が深まるであろう。

本発明による改良型検査およびベント装置を示す図である。

図１に示す装置の制御装置の概略図である。

機器ピット内に浸漬された状態にあり、蒸気乾燥器の一部分の下面に捕捉されたエアポケットを排気するように配置された装置の斜視図である。

浸漬状態で蒸気乾燥器を検査するAUTOMATICモードにある装置を示す図である。

本明細書全体を通して、同様の数字は同様の部分を指す。

図１は改良型検査およびベント装置２を略示し、少なくともその一部が図２乃至４に示される。検査装置２は、例えば対象物が水又は他の流体中に浸漬された環境である浸漬環境で目視検査作業を遠隔操作で行うのに用いると有利である。

検査装置２は、制御装置４、トラクター装置６、繋留装置８、ブイ装置１０、及びベント装置１２を含むと述べることができる。図１において、制御装置４は、制御デバイス１４と携帯ユニット１６を含むものとして示されている。さらに図１において、トラクター装置６、繋留装置８、ブイ装置１０、及びベント装置１２はまとめて遠隔部１８を形成すると述べることができる。検査装置２の典型的な使い方では、遠隔部１８が浸漬環境に配置されて作動される一方、制御ユニット１４及び携帯ユニット１６は、他の場所、即ち浸漬場所から離れた所に配置される。制御装置４は図１の例では遠隔部１８とは別体であるが、制御装置４の部分は実際には遠隔部１８上に配置され、したがってこの例示は検査装置２の構成要素の配置を限定することを意図するものではないことが理解されよう。

さらに図１に関して、携帯ユニット１６と制御デバイス１４は、有線接続であるとして該図に示す接続部２０を介して互いに通信するが、本発明から逸脱することなく無線接続を用いることもできる。また、第１アンビリカルケーブル２２は、制御デバイス１４と遠隔部１８との間に延びる有線接続であると示されている。図示された第１アンビリカルケーブル２２は特定用途での必要性に応じて無線接続に置き換えることが可能である。

図２から分かるように、制御装置４は、プロセッサ２８及び記憶部３０を含むプロセッサ装置２６を含むと述べることができる。プロセッサ２８は、例えばマイクロプロセッサ又は他のプロセッサ等であるがこれらに限定されない多種多様なプロセッサの任意のものであってよく、記憶部３０は同様に、例えばＲＡＭ 、ＲＯＭ、ＥＰＲＯＭ、 ＥＥＰＲＯＭ、ＦＬＡＳＨ等であるがこれらに限定されない様々な形態のいずれであってもよい。記憶部３０は、検査装置２に或る特定の作業を行わせるためにプロセッサ２８上で実行可能な多数のルーチン３２を格納している。本明細書で用いるように、「多数」という表現及びその変形は、１を含む任意のゼロでない量を広く指すものとする。

制御装置４はさらに、プロセッサ装置２６に入力信号を供給する入力装置（Ｉ．Ａ．）３４及びプロセッサ装置２６からの出力信号を受信する出力装置（Ｏ．Ａ．）３６を含むと述べることができる。入力装置３４は、例えばスイッチ、ジョイスティック、接触感知表示装置の入力コンポーネントであるがこれらに限定されない多種多様な入力デバイスのいずれであってもよい。出力装置３６は同様に、例えば映像表示装置、ライト、可聴出力素子であるが、これらに限定されない等の様々なデバイスのいずれであってよい。

制御装置４は、図２に略示される多数のアクチュエータ３８を含む。通常これらのアクチュエータはすべて遠隔部１８上に配置される。アクチュエータ３８は、入力装置３４からの入力信号及び他の信号に応答して、プロセッサ装置２６によって制御され、トラクター装置６ 、繋留装置８ 、ブイ装置１０及びベント装置１２の部分を作動するように作動可能である。アクチュエータ３８は、プロセッサ装置２６によって又は他の態様で発生される電気信号に応答して遠隔部８上で必要な作業を行うのに適している任意の構造とすることができる。

図１、図３及び図４から理解できるように、トラクター装置６は互いに接続されたトラクター４０及び駆動機構４２を含むと述べることができる。トラクター４０は、一般的には、その上に繋留装置８、ブイ装置１０、ベント装置１２及び制御装置４の部分が配置される支持体又はフレームとして機能する。本明細書に一般的に示される実施態様では、トラクター装置６はさらに、トラクター４０上に配置され、トラクター装置６の位置決め及び以下でより詳細に記載されるような他の目的で使用するためのカメラ装置４４をも含む。

駆動機構４２は、例示的な一対のトラックがトラクター４０上に移動自在に配置されたトラック集合体４６を含む。駆動機構４２はさらに、トラック集合体４６に動力を提供し、プロセッサ装置２６等によって発生される操縦コマンド及び他のコマンドに応答してトラクター装置６を操縦するために、モーター４８と、該モーター４８とトラック集合体４６の間に延びる１つ以上の機械的運動伝達装置とを含む。

カメラ装置４４は、どちらもトラクター４０上に配置されたカメラ５０及び照明システム５２を含むと述べることができる。カメラは、多種多様なカメラデバイスのうちの任意のものでよく、図示する例示的な実施態様では、水中環境に適しており、チルト、パン及びズーム制御可能なものである。カメラ５０は、視覚的表示装置等で見るために、出力装置３６に対して視覚的出力信号を提供する。

照明システム５２は、どちらもカメラ５０によって検出可能な電磁エネルギーを発生する照明装置５４及び照準装置５６を含むと述べることができる。図示する例示的な実施態様では、照明装置５４は、白色光即ち可視光を発生する多数のＬＥＤ素子を含む。照明装置５４は、トラック集合体４６がほぼ水平な向きのプラットフォーム又はベース上に位置すると想定すると、ほぼ上方向に照明を向けるように配向されている。照明装置５４はこのように遠隔部１８がその下に位置する対象物の下面を照明するように構成されている。

照準装置５６は、レーザー又は他の電磁エネルギー供給源を含み、試験又は検査対象物に対してトラクター装置６を配向するために、図４に総体的に示すような照明面５７を出力する。より具体的には、そして図４から理解できるように、照準装置５６は、カメラ５０によって検出可能であり、トラクター装置６の方向に整列する光等の電磁エネルギー線を他の構造物に対して投射する。即ち、照準装置５６は、順方向又は逆方向にトラック集合体４６を動作させるようにモーター４８が付勢される場合、別の物体に当たった出力がトラクター装置６の移動方向を指示するように配向されている。

したがって、検査装置２の動作中に、入力装置３４を操作して、照準装置５６の可視出力がトラクター装置６の所望の移動方向に向くようになるまで駆動機構４２を操作してトラクター４０を転回させることができる。次いで技術者は、制御装置４にAUTOMATICモードを始動させる所定のコマンドを入力することができるが、該モードではモーター４８が付勢されて遠隔部１８を順方向に例えば一定速度で動かすようにトラック集合体４６を駆動する。 AUTOMATICモードは、プロセッサ２８上で実行され、指示された態様でモーター４８を駆動するために適切なコマンドを１つ以上のアクチュエータ３８に送信させるルーチン３２によって始動される。

繋留装置８は、滑車６０上を動く第２アンビリカルケーブル５９ （図３及び図４）を巻き取り及び巻き出すウインチ５８を含むと述べることができる。制御装置４からのコマンドに応答して、ウインチ５８は、図３及び図４に総体的に示すような、ある長さの第２アンビリカルケーブル５９がウインチ５８から巻き出された展開位置と、第２アンビリカルケーブル５９がほぼウインチ５８の周りに巻き取られた引込位置（図１）の間で動くように作動可能である。

ブイ装置１０は、ウインチ５８の反対側にある第２アンビリカルケーブル５９の端部に固定されたブイ６２を含む。ブイ装置１０はさらに、ブイ６２に取り付けられたカメラ装置６４を含む。一般的に理解されるように、ブイ６２は、少なくとも部分的に流体中に浸漬された環境でカメラ装置６４に浮力を与える浮揚装置である。そのため、第２アンビリカルケーブル５９が少なくとも部分的にウインチ５８から巻き出されると、流体中のブイ６２が発生する浮力により、カメラ装置６４を上昇位置に浮上させるが、その位置は第２アンビリカルケーブルが（図１に一般的に示されるような）引込位置にある場合のブイ６２及びカメラ装置６４よりも垂直方向に高い。

カメラ装置６４は、カメラ６６及び照明装置６８を含むと述べることができる。カメラ６６はカメラ５０と同様であり、照明装置６８は照明装置５４と同様である。ただし、記載された実施態様では、カメラ６６によって観察中の対象物を照明するために、照明装置５４はパン方向とチルト方向にカメラ６６と共に動く。

ベント装置１２は、ブイ６２上に配置されたベント管７０を含み、さらにトラクター４０上に配置され、ベント管７０と流体連通してベント管７０を減圧する真空ポンプ７２を含むと述べることができる。図示の実施態様におけるベント装置１２はさらに、検査作業の一部としてガス又はガスの混合物（例えば空気）等の１つ以上の流体を排出するために、真空ポンプ７２と流体連通して真空ポンプ７４から加圧される排気管７４を含む。

より具体的には、検査装置２は、フード７６を含むような蒸気乾燥器（図３及び図４では符号７８で略示される）の部分に対して検査作業等の作業を行うのに有利に使用できる。蒸気乾燥器７８は最も一般的には複数のフード７６含み、フード７６の構成は同じであっても異なるものであってもよいことが理解されよう。本明細書に記載の有利な方法の１つの例示的な用途は、検査装置２をフード７６の検査に用いることによりフード７６を試験又は検査対象とすることである。

フード７６を検査するためには、普通、蒸気乾燥器７８を原子炉容器から取り外し、少なくとも一部が水８２によって満たされている機器ピット（図３及び図４において符号８０で略示）に置く。蒸気乾燥器７８を原子炉容器から取り外して機器ピット８０内に置くとき、フード７６の構成に起因して、通常、空気が捕捉されフード７６の下面８６にエアポケット８４が形成される。ベント装置１２は、空気ポケット８４の少なくとも一部を機器ピット８０の外部に排気するために用いると有利である。これは、いくつかの理由、特に、ブイ６２が流体（図示例では水）の中で浮力を与えるように構成されているため、エアポケット８４内ではカメラ装置６４に浮力を与えることができないという理由により望ましい。ブイ６２は例えば水中及び空気中の両方で浮力を与えるヘリウムを含むように構成することが可能であるが、図示の実施態様ではブイ６２は空気によって満たされているため、ベント装置１２を用いてフード７６の下面８６からエアポケット８４の一部又は全部を排気し、カメラ装置６４による検査を可能にすると有利である。

運転時、遠隔部１８を、トラック集合体４６が機器ピット８０の床面８８に係合するように、機器ピット８０内に下降させる。第１アンビリカルケーブル２２の構成によるが、遠隔部１８の下降は、例えば第１アンビリカルケーブル２２とトラクター４０との間の緊張状態を緩和する構造を併用し、遠隔部１８を第１アンビリカルケーブル２２から吊るすことによって可能である。次いで、照明装置５４及び／又は照準装置５６が作動することにより、カメラ５０が機器ピット８０の床領域の可視画像を提供することができ、トラクター装置６を操縦してフード７６直下の場所へ移動させることが可能となる。このように、最初に遠隔部分１８を下降させる際、繋留装置８は図１に総体的に示す引込位置にある。

ブイ６２が概ねフード７６とエアポケット８４の直下に位置するようにトラクター装置６を配置すると、ウインチ５８を付勢して第２アンビリカルケーブル５９の少なくとも一部を展開させることができる。このように第２アンビリカルケーブル５９を配置すると、ブイ６２がカメラ装置６４に与える浮力６２により、カメラ装置６４は垂直上方に移動する。第２アンビリカルケーブル５９をウインチ６８により滑車６０から送り出すと、ブイ６２とカメラ装置６４は水８２の中を垂直方向に上昇する。ブイ６２がベント管７０をエアポケット８４と流体連通させるのに十分な高さまで水８２の中を上昇すると、真空ポンプ７２を付勢してベント管７０を減圧し、エアポケット８４の一部又は全部を下面８６から排気し、排気管７４を介して機器ピット８０の外部の場所に排出することができる。なお、ベント装置１２の代替的な実施態様は、液圧原理のみに基づき、真空ポンプ７２を使用せずにベント作業を行うように構成してもよいことに留意されたい。

エアポケット８４が部分的又は完全にフード７６から排気されると、照準装置５６を（既に作動していなければ）作動させることにより、光面５７がフード７６又は機器ピット８０の下面８６又は他の部分に当たり、その光面が駆動機構４２を正方向又は逆方向に付勢するときのトラクター装置６の移動方向を指示する。制御装置１４及び／又は携帯ユニット１６にある入力装置３４の移動制御器を操作することによって、トラクター装置６を転回及び／又は並進させることができる。その際に、トラクター４０上のカメラ装置４４を用いて出力装置３６上に可視出力を提供することにより、トラクター装置６をフード７６に対して所望の位置へ操縦することができる。

トラクター装置６が所望のように配置されると、必要に応じて繋留装置８を付勢して、ブイ装置１０をさらに展開させ又は部分的に引き込むことにより、カメラ装置６４を用いてフード７６の検査をすることができる。次いで、技術者が駆動機構７２を付勢することにより、トラクター装置６、したがってカメラ装置６４をフード７６に対して並進させ、フード７６、特にその下面８６又はその他の部分を適宜検査するのを可能にする。トラクター装置６のこのような並進移動は技術者が手入力で行うことができるが、代替的には技術者がAUTOMATICモードを作動し、図示の例示的実施態様では順方向に一定速度である予めプログラムされた態様でトラクター装置６を移動させ、カメラ装置６４をフード７６に沿って移動させることができる。このような運転の際に、カメラ６６からの可視出力信号を出力装置３６上に出力し、ほとんどの場合さらに記憶部３０又は他の場所に格納して、後で検討及び解析することができる。フード７６の検査が完了すると、遠隔部１８を別のフードに移動して、上述の手順が繰り返す。蒸気乾燥器７８のすべてのフード及び他の部分の検査が終了すると、遠隔部１８を機器ピット８０から取り出すことができる。

したがって、本発明の便利な検査装置２は、機器ピット８０の内部の場所からのエアポケット８４の排気だけでなく、水等の流体中に浸漬された状態の蒸気乾燥器７８の下面８６の検査に使用できることが分かる。トラクター４０は機器ピット８０の底面８８に配置されるので、ブイ６２がカメラ装置６４に与える浮力が、カメラ装置６４をフード７６に対して一定の（そして調節可能な）垂直高さに容易に維持するため、検査が促進される 。

本発明は、その思想又は本質的な特徴から逸脱することなく他の特定の形態で具現化することができる。記載した実施態様は、全ての点において限定的でなく例示的なものとしてのみ見なされるものとする。したがって、開示の範囲は、以上の記載ではなく添付の特許請求の範囲によって示される。特許請求の範囲の均等物の意味及び範囲の内にある全ての変更は、それらの範囲内に包含されるものとする。

Claims (20)

1. 制御装置と、
   連結されたトラクター及び駆動機構より成り、駆動機構が制御装置に連結されたトラクター装置と、
   トラクター上に位置して展開位置と引込位置の間で可動である繋留装置と、
   繋留装置に連結され、ブイ及びカメラ装置より成るブイ装置とにより構成され、
   ブイは流体内に浸漬された状態でカメラ装置に浮力を与えるように構成されており、繋留装置が展開位置にあるとき、ブイ装置は繋留装置が引込位置にあるときよりも垂直方向に相対的に高い上昇位置にあり、繋留装置が引込位置にあるとき、ブイ装置は垂直方向に相対的に低い別の位置にあり、カメラ装置は制御装置に可視出力信号を提供するように構成されている検査装置。
2. 制御装置はトラクター装置から離れたところに配置され、トラクター装置に電子的命令を送信するように構成された制御デバイスを含む、請求項１に記載の検査装置。
3. 制御装置はさらに、可視出力信号に応答して可視出力を出力するように構成されている可視出力素子を含む請求項２に記載の検査装置。
4. カメラ装置はカメラ素子及び照明素子を含み、カメラ素子は制御装置から受信したカメラ移動信号に応答して移動できるように構成されている請求項１に記載の検査装置
5. トラクター装置はさらに、トラクター上に位置し、制御装置に別の可視出力信号を提供するように構成された別のカメラ装置を含む請求項１に記載の検査装置。
6. カメラ装置はカメラ素子及び照明装置を含み、照明装置はブイ装置の上昇位置の方向に照明を与えるように構成された照明要素を含む請求項５に記載の検査装置。
7. 照明装置はさらに、カメラ素子によって検出可能な整列要素を可視出力する照準装置を含む請求項６に記載の検査装置。
8. 照準装置は、整列要素としてトラクター装置の移動方向に整列する可視光ビームを出力するように構成されている請求項７に記載の検査装置。
9. 制御装置は、プロセッサと記憶部を含み、記憶部は内部にプロセッサ上で実行されると駆動機構にトラクターを移動方向に駆動させる命令を格納している請求項７に記載の検査装置。
10. 流体に浸漬された物体の下面に捕捉されたエアポケットの少なくとも一部を排気するように構成された装置であって、
    制御装置と、
    連結されたトラクター及び駆動機構より成り、駆動機構が制御装置に連結されたトラクター装置と、
    トラクター上に位置して展開位置と引込位置の間で可動である繋留装置と、
    繋留装置に連結され、ブイ及びカメラ装置より成るブイ装置とにより構成され、
    ブイは流体内に浸漬された状態でカメラ装置に浮力を与えるように構成されており、繋留装置が展開位置にあるとき、ブイ装置は繋留装置が引込位置にあるときよりも垂直方向に相対的に高い上昇位置にあり、繋留装置が引込位置にあるとき、ブイ装置は垂直方向に相対的に低い別の位置にあり、カメラ装置は制御装置に可視出力信号を提供するように構成されている装置。
11. ベント装置は互いに流体連通する導管及びポンプより成り、導管の少なくとも一部はブイ上に位置し、ポンプはトラクター上に位置する請求項１０に記載の装置。
12. 少なくとも一部が流体に浸漬されている試験対象物の一部を検査する方法であって、
    流体内においてブイを試験対象物の少なくとも一部の直下である第１の位置に展開させ;
    ブイと流体との間の浮力により、ブイに連結されたカメラを第１の位置よりも垂直方向に高い第２の位置に上昇させ、
    第２の位置にあるカメラから試験対象物の直下にある領域の少なくとも一部を表す出力信号を受信するステップより成る検査方法。
13. ブイがその上に位置するトラクター装置を容器の床面上に配置することをさらに含む請求項１２に記載の方法。
14. 床面に沿ってトラクター装置を並進させることにより、ブイを初期位置から第１の位置に移動させるステップをさらに含む請求項１３ に記載の方法。
15. トラクター装置の駆動機構を作動して少なくともトラクター装置の並進を始動するステップをさらに含む請求項１４に記載の方法。
16. ブイが連結されたアンビリカルケーブルを少なくとも部分的に展開して、浮力によりブイ及びカメラを第２の位置に上昇させることをさらに含む請求項１４に記載の方法。
17. アンビリカルケーブルを引き込むことにより、浮力に打ち勝ち、ブイ及びカメラをトラクター装置に引き込み、
    トラクター装置を流体から取り出すことをさらに含む請求項１６に記載の方法。
18. トラクター装置上に位置する照明装置を作動させて試験対象物の少なくとも一部の下面に可視光ビームを照射し、
    照射した可視光ビーム及び照射した可視光の少なくとも一部を表す、トラクター装置上に位置する別のカメラからの出力信号を用いて、トラクター装置を操縦するステップをさらに含む請求項１４に記載の方法。
19. さらに、照明装置の少なくとも一部として、レーザー光の光面を出力して試験対象物の少なくとも一部の下面に当てる照準装置を作動させるステップをさらに含む請求項１８に記載の方法。
20. 浮力によりベント装置の少なくとも一部を試験対象物の少なくとも一部の直下に位置するエアポケットと流体連通関係にし、
    エアポケットの少なくとも一部を排気するステップをさらに含む請求項１２に記載の方法。
    

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