JP5996447B2

JP5996447B2 - Ｘ線検査装置

Info

Publication number: JP5996447B2
Application number: JP2013015777A
Authority: JP
Inventors: 聡三谷
Original assignee: Anritsu Infivis Co Ltd
Current assignee: Anritsu Infivis Co Ltd
Priority date: 2013-01-30
Filing date: 2013-01-30
Publication date: 2016-09-21
Anticipated expiration: 2033-01-30
Also published as: JP2014145733A

Description

本発明は、張力を付与した状態で搬送される連続帯状の被検査物にＸ線を照射して、被検査物を透過した透過Ｘ線のＸ線透過量に基づいてこの被検査物の品質（外観、割れ欠け、異物混入の有無など）を検査するＸ線検査装置に係り、詳細には、検査部におけるＸ線検出手段と被検査物の距離を常に一定に保持するＸ線検査装置に関する。

図７には、連続帯状の被検査物にＸ線を照射して、被検査物を透過した透過Ｘ線のＸ線透過量に基づいてこの被検査物の品質（外観、割れ欠け、異物混入の有無など）を検査するＸ線検査装置を示している。図７に示すように、連続帯状の被検査物Ｗの品質検査に特化したＸ線検査装置１００は、複数の搬送用ローラ１０２を有する搬送手段１０１を備えている。搬送手段１０１では、被検査物Ｗを複数の搬送用ローラ１０２に掛け回すように取り付けて、取り付けた被検査物Ｗを所定の張力を付与しながら複数の搬送用ローラ１０２を回転させて、それぞれの搬送用ローラ１０２，１０２の間の所定の搬送方向Ｙに搬送する。また、Ｘ線検査装置１００は、搬送手段１０１となる所定位置に配置された一対の搬送用ローラ１０２，１０２の間に配置されたＸ線検査手段１０３を備えている。Ｘ線検査手段１０３は、Ｘ線を照射するＸ線照射手段１０４と、Ｘ線を検出するＸ線検出手段１０５とを備えている。Ｘ線照射手段１０４とＸ線検出手段１０５は、一対の搬送用ローラ１０２，１０２の間の被検査物Ｗを挟んで対向して配置されており、Ｘ線照射手段１０４とＸ線検出手段１０５の間が検査部１０６となる。Ｘ線検査手段１０３では、Ｘ線照射手段１０４から照射されて被検査物Ｗを透過した透過Ｘ線をＸ線検出手段１０５で検出して、そのＸ線透過量に基づいて被検査物Ｗを検査する。

なお、上述したＸ線検査装置１００は、主にＰＴＰ包装機に組み込まれるものである。したがって、図８（ａ）に示すように、連続帯状の被検査物Ｗとしては、ＰＴＰシート１１０の各ポケット部１１３に錠剤１１４などが充填されたものである。図８（ｂ）に示すように、ＰＴＰシート１１０は、錠剤１１４などが充填されるポケット部１１３を有する樹脂製の包装用フィルム１１１と、包装用フィルム１１１にポケット部１１３の開口側を密閉するように取り付けられたアルミニウム製のカバーフィルム１１２とからなる。

ＰＴＰ包装機では、その製造工程中に、ポケット部１１３に錠剤１１４などが充填された後、錠剤１１４などの外観や割れ欠けなどを検査する工程を備えている。上述したＸ線検査装置１００は、このような検査工程のために組み込まれたものである。

また、ＰＴＰ包装機は、検査工程の後に検査済みの被検査物Ｗ（ＰＴＰシート１１０）を所定長さに切断する工程を備えている。例えば、下記特許文献１に開示される切断装置などは、連続帯状の被検査物Ｗを切断するためにＰＴＰ包装機に組み込まれるものとして好適なものである。

特開２００６−２８２２６７号公報

しかしながら、切断装置による被検査物Ｗの切断工程においては、切断時にそれまでの連続搬送を間欠搬送に切り換えるなどしており、そのため、振動が発生するという問題があった。特に連続帯状の被検査物Ｗの場合は全体的に所定の張力を付与しながら搬送するため、その振動が前段の検査工程、すなわち、Ｘ線検査装置１００による検査に影響するようになる。具体的には、Ｘ線検査装置１００では、Ｘ線照射手段１０４とＸ線検出手段１０５の間に形成された検査部１０６において、被検査物Ｗがその厚さ方向（図７の搬送方向Ｙと直交する方向）に振動する。被検査物Ｗがこのように振動すると、検査時にＸ線検出手段１０５と被検査物Ｗの距離が安定しないことから、Ｘ線透過画像に誤差が生じていまい、正しい検査結果が得られない。切断工程の他、複数の搬送用ローラ１０２の配置関係などが正しくない場合などにも振動が発生する。

本発明は、上記状況に鑑みてなされたものであり、Ｘ線照射手段とＸ線検出手段の間の検査部において、Ｘ線検出手段と連続帯状の被検査物の距離が一定となるようにこの被検査物を支持することで、安定した検査結果が得られるＸ線検査装置を提供することを目的としている。

次に、上記の課題を解決するための手段を、実施の形態に対応する図面を参照して説明する。
本発明に係る請求項１記載のＸ線検査装置は、連続帯状の被検査物Ｗを、所定間隔をあけて配置された一対の搬送用ローラ３，３の間で張力を付与しながら搬送する搬送手段２と、
前記一対の搬送用ローラ３，３の間に配置され、該搬送用ローラ３，３の間の前記被検査物Ｗに向けてＸ線を照射するＸ線照射手段５と、
前記一対の搬送用ローラ３，３の間に配置されるとともに該搬送用ローラ３，３の間の前記被検査物Ｗを挟んで前記Ｘ線照射手段５と対向配置され、前記被検査物Ｗを透過した透過Ｘ線を検出するＸ線検出手段６と、
を備え、前記Ｘ線照射手段５と前記Ｘ線検出手段６の間に形成された検査部７にて前記被検査物Ｗの所定の検査領域８を検査するＸ線検査装置１において、
前記検査部７における前記Ｘ線検出手段６と搬送される前記被検査物Ｗの距離が一定となるように、該被検査物Ｗを支持する支持手段１０を備えており、
前記支持手段１０は、
前記被検査物Ｗの一方の面側に設けられ、該被検査物Ｗの前記検査領域８外において吸着口１３ａを前記一方の面に当接させて該被検査物Ｗのその厚さ方向の変位を規制するとともに、該被検査物Ｗの搬送速度と略等速で前記搬送方向Ｙへと移動する吸着手段１３を備えたことを特徴としている。

このような構成によれば、Ｘ線照射手段５とＸ線検出手段６の間に形成された検査部７において、Ｘ線検出手段６と被検査物Ｗの距離が常に一定に保持されるため、Ｘ線透過画像に誤差などが生じなくなる。また、被検査物Ｗは、吸着手段１３によって吸着されて一方の面側へと変位しようとするが、吸着手段１３の吸着口１３ａに当接していることで厚さ方向の変位が規制されるため、その位置で安定してＸ線検出手段６との距離が一定に保持されるようになる。このとき、吸着手段１３が被検査物Ｗの搬送速度と略等速で搬送方向Ｙへと移動するため、被検査物Ｗの搬送に支障が生じることはない。

請求項２記載のＸ線検査装置は、請求項１に記載のＸ線検査装置１において、前記被検査物Ｗの前記一方の面が前記Ｘ線照射手段５と対向する側の面であることを特徴としている。

このような構成によれば、すなわち、吸着手段１３、吸引手段２１及びブロー手段３１がいずれもＸ線照射手段５の側に設けられることになる。Ｘ線検出手段６と被検査物Ｗの間にこのような手段（装置）が設けられないことから、Ｘ線検出手段６を被検査物Ｗに近接させて配置することができる。
請求項３記載のＸ線検査装置は、連続帯状の被検査物Ｗを、所定間隔をあけて配置された一対の搬送用ローラ３の間で張力を付与しながら搬送する搬送手段２と、
前記一対の搬送用ローラ３の間に配置され、該搬送用ローラ３の間の前記被検査物Ｗに向けてＸ線を照射するＸ線照射手段５と、
前記一対の搬送用ローラ３の間に配置されるとともに該搬送用ローラ３の間の前記被検査物Ｗを挟んで前記Ｘ線照射手段５と対向配置され、前記被検査物Ｗを透過した透過Ｘ線を検出するＸ線検出手段６と、
を備え、前記Ｘ線照射手段５と前記Ｘ線検出手段６の間に形成された検査部７にて前記被検査物Ｗの所定の検査領域８を検査するＸ線検査装置１において、
複数の円筒部の吸着口４１ａが前記被検査物Ｗの一方の面側において前記検査領域８外に位置するように前記被検査物Ｗの搬送方向Ｙに沿って列をなして設けられ、前記被検査物Ｗが前記搬送方向Ｙに進行可能となるような吸着力で前記被検査物Ｗを前記吸着口４１ａに吸着して当接させることで、搬送される前記被検査物Ｗと前記Ｘ線検出手段６の前記検査部７における距離が一定となるように前記被検査物Ｗを支持する吸着手段４１を備えたことを特徴とする。
このような構成によれば、被検査物Ｗは、吸着手段４１によって吸着されて一方の面側へと変位しようとするが、吸着手段４１の吸着口４１ａに当接していることで厚さ方向の変位が規制されるため、その位置、すなわち、吸着口４１ａに当接した位置で安定してＸ線検出器６との距離が一定に保持されるようになる。このとき、上述したように、吸着手段４１の吸着力が好適に制御されているため、被検査物Ｗの搬送に支障が生じることはない。

本発明に係る請求項１及び３記載のＸ線検査装置によれば、Ｘ線照射手段とＸ線検出手段の間に形成された検査部におけるＸ線検出手段と被検査物の距離が常に一定に保持され、Ｘ線透過画像に誤差などが生じなくなる。これにより、安定した検査結果を得ることができる。また、いずれも現実的にＸ線検出手段と被検査物の距離を一定に保持することができる。

請求項２記載のＸ線検査装置によれば、Ｘ線検出手段を被検査物に近接させて配置することが可能となり、被検査物がＸ線検出手段のＸ線検出面に近づいていることから、高精度のＸ線透過画像を得ることができる。

第１実施形態を示す正面図である。同実施形態の検査部近傍を示す斜視図である。第２実施形態を示す正面図である。同実施形態の検査部近傍を示す斜視図である。第３実施形態（検査部近傍）を示す正面図（断面図）である。第４実施形態（検査部近傍）を示す正面図（断面図）である。従来のＸ線検査装置を示す正面図である。（ａ）図７のＸ線検査装置にて検査される被検査物を示す斜視図である。（ｂ）（ａ）におけるＡ−Ａ断面図である。

以下、本発明の実施形態を図面を参照して具体的に説明する。
各実施形態（Ｘ線検査装置１）は、連続帯状の被検査物ＷにＸ線を照射して、被検査物Ｗを透過した透過Ｘ線のＸ線透過量に基づいてこの被検査物の品質（外観、割れ欠け、異物混入の有無など）を検査するものである。また、これらは、主にＰＴＰ包装機に組み込まれて、ＰＴＰ包装機における検査工程に使用されるものである。したがって、連続帯状の被検査物Ｗとしては、従来のＸ線検査装置１００（図７参照）と同様に、図８に示すようなＰＴＰシート１１０の各ポケット部１１３に錠剤１１４などが充填されたものである。

まず最初に、図１を参照して各実施形態に共通の全体構成について説明する。
図１に示すように、連続帯状の被検査物Ｗの品質検査に特化したこのＸ線検査装置１は、搬送手段２と、Ｘ線検査手段４とを主な構成要件として備えている。

搬送手段２は、詳細には、ＰＴＰ包装機内の随所に配置された複数の搬送用ローラ３により構成されているが、Ｘ線検査装置１における搬送手段２としては、そのうちの所定位置に設けられた一対の搬送用ローラ３，３が該当する。なお、搬送手段２では、被検査物Ｗを複数の搬送用ローラ３に掛け回すように取り付けて、取り付けた被検査物Ｗを所定の張力を付与しながら複数の搬送用ローラ３を回転させて、それぞれの搬送用ローラ３，３の間の所定の搬送方向（Ｘ線検査装置１における搬送方向は矢線Ｙ方向）に搬送する。

Ｘ線検査手段４は、搬送手段２となる、所定位置の一対の搬送用ローラ３，３の間に配置されており、Ｘ線を照射するＸ線照射手段５と、Ｘ線を検出するＸ線検出手段６とを備えている。Ｘ線照射手段５とＸ線検出手段６は、一対の搬送用ローラ３，３の間の被検査物Ｗを挟んで対向して配置されており、Ｘ線照射手段５とＸ線検出手段６の間がＸ線検査装置１における検査部７となる。Ｘ線検査手段４では、Ｘ線照射手段５から照射されて被検査物Ｗを透過した透過Ｘ線をＸ線検出手段６で検出して、そのＸ線透過量に基づいて被検査物Ｗを検査する。

Ｘ線照射手段となるＸ線発生器５は、金属製の箱内にＸ線を発生させるＸ線管が絶縁油に浸漬されてなり、搬送される被検査物Ｗに向けてＸ線を照射する。また、Ｘ線検出手段となるＸ線検出器６は、金属製の箱内に各種機器が収容されており、この箱のＸ線発生器５と対向する面にはフォトダイオードと、フォトダイオード上に設けられたシンチレータとからなる複数のＸ線検出素子が設けられている。これらのＸ線検出素子が搬送方向Ｙと直交する方向であり、且つ被検査物Ｗの面と平行となる方向に並んでラインセンサ６ａが形成されている。

なお、Ｘ線検査装置１が組み込まれたＰＴＰ包装機では、Ｘ線検査装置１の後段に切断工程に使用される図示しない切断装置などが配設されている。切断工程では、検査工程の後の検査済みの被検査物Ｗ（ＰＴＰシート１１０）を所定長さに切断する。

ここから、本発明の要旨である上述した検査部７近傍における構成を各実施形態ごとに説明する。
「第１実施形態」
図１に示すように、Ｘ線検査装置１（１Ａ）は、検査部７の近傍における被検査物Ｗの一方の面側に支持手段１０を備えている。すなわち、支持手段１０は、被検査物ＷのＸ線発生器５と対向する面側に、このＸ線発生器５と被検査物Ｗの間に介在するように設けられている。

支持手段１０は、検査部７において、Ｘ線検出器６と搬送される被検査物Ｗの距離が一定となるようにこの被検査物Ｗを支持するために設けられたものであり、一対のローラ１１，１１と、ローラ１１，１１に掛け回された循環ベルト１２と、循環ベルト１２のベルト面に突出して設けられた複数の円筒部からなる吸着手段１３とを備えている。吸着手段１３は、その吸着口１３ａから空気を吸い込むことにより被検査物Ｗを吸着口１３ａに吸着させるものである。

図２に示すように、吸着手段１３を構成する複数の円筒部は、循環ベルト１２の循環方向に沿って並んで列をなして設けられるとともに、循環ベルト１２の幅方向に２列となるように設けられている。また、各列の円筒部は、その吸着口１３ａが検査部７における被検査物Ｗの所定の検査領域８外に位置するように設けられている。この実施形態では、被検査物Ｗの搬送方向Ｙと直交する幅方向の中央部を検査領域８としているため、幅方向の両端部が検査領域８外となる。

また、一対のローラ１１，１１は、循環ベルト１２を被検査物Ｗの搬送速度と略等速となるように循環させている。したがって、吸着手段１３は、被検査物Ｗの搬送速度と略等速で搬送方向Ｙに移動する。そのため、検査部７において、吸着手段１３は、被検査物Ｗに吸着口１３ａを当接させて被検査物Ｗを一方の面側からこの吸着口１３ａに吸着させても、互いの速度差により吸着が解除されるなど不具合が生じたり、被検査物Ｗの搬送に支障が生じるたりするようなことはない。

上述した第１実施形態によれば、被検査物Ｗは、吸着手段１３によって吸着されて一方の面側へと変位しようとするが、吸着手段１３の吸着口１３ａに当接していることで厚さ方向の変位が規制されるため、その位置、すなわち、吸着口１３ａに当接した位置で安定してＸ線検出器６との距離が一定に保持されるようになる。このとき、上述したように、吸着手段１３が被検査物Ｗの搬送速度と略等速で搬送方向Ｙへと移動するため、被検査物Ｗの搬送に支障が生じることはない。

そして、Ｘ線発生器５とＸ線検出器６の間に形成された検査部７において、Ｘ線検出器６と被検査物Ｗの距離が常に一定に保持されるため、Ｘ線透過画像に誤差などが生じなくなり、安定した検査結果を得ることができる。

「第２実施形態」
図３に示すように、Ｘ線検査装置１（１Ｂ）は、検査部７の近傍における被検査物Ｗの一方の面側に支持手段２０を備えている。すなわち、上述した第１実施形態と同様、支持手段２０は、被検査物ＷのＸ線発生器５と対向する面側に、このＸ線発生器５と被検査物Ｗの間に介在するように設けられている。なお、第２実施形態において、上述した第１実施形態と同等又は同一の箇所には同一の符号を付し、その説明は省略する。

支持手段２０は、検査部７において、Ｘ線検出器６と搬送される被検査物Ｗの距離が一定となるようにこの被検査物Ｗを支持するために設けられたものであり、被検査物Ｗの一方の面側に設けられ、被検査物Ｗを一方の面側からその厚さ方向に吸引する吸引手段２１と、吸引手段２１と同様に被検査物Ｗの一方の面側に設けられ、吸引手段２１の吸引による被検査物Ｗの厚さ方向への変位を規制する支持部材２３とを備えている。

吸引手段２１は、箱状の本体部２２から突出して設けられた複数の円筒部からなり、その吸引口２１ａから空気を吸い込むことにより被検査物Ｗを吸引口２１ａ側に吸いよせるものである。なお、吸引手段２１は、吸引口２１ａが被検査物Ｗに当接せずに被検査物Ｗから僅かに離れるように設けられている。

図４に示すように、吸引手段２１を構成する複数の円筒部においても、上述した第１実施形態と同様に、被検査物Ｗの搬送方向Ｙに沿って列をなして設けられるとともに、被検査物Ｗの幅方向に２列となるように設けられている。また、各列の円筒部は、その吸引口２１ａが検査部７における被検査物Ｗの所定の検査領域８外に位置するように設けられているが、吸引口２１ａは被検査物Ｗに接触しているわけではないため、吸引口２１ａが被検査物Ｗの所定の検査領域８内に位置するように設けられていてもよい。

支持部材２３は、複数のロッド部材からなり、これらのロッド部材が所定間隔をあけてその長手方向を搬送方向Ｙと直交する方向に向けて配置されてなる。

上述した第２実施形態によれば、被検査物Ｗは、吸引手段２１によって一方の面側へと変位するが、支持手段２３によって一定以上の厚さ方向への変位が規制されるため、その位置、すなわち、支持手段２３に当接した位置で安定してＸ線検出手段との距離が一定に保持されるようになる。

「第３実施形態」
図５に示すように、Ｘ線検査装置１（１Ｃ）は、検査部７の近傍における被検査物Ｗの一方の面側に支持手段３０を構成するブロー手段３１を備え、他方の面側に支持手段３０を構成する支持部材３３を備えている。すなわち、支持手段３０は、被検査物ＷのＸ線発生器５と対向する面側に、このＸ線発生器５と被検査物Ｗの間に介在するようにブロー手段３１が設けられ、また、被検査物ＷのＸ線検出器６と対向する面側に、このＸ線検出器６と被検査物Ｗの間に介在するように支持部材３３が設けられている。なお、図５には検査部７近傍の構成だけを示しているが、Ｘ線検査装置１Ｃにおけるその他の構成は図１又は図３に示した構成と同じである。また、第３実施形態においても、上述した第１及び第２実施形態と同等又は同一の箇所には同一の符号を付し、その説明は省略する。

支持手段３０は、検査部７において、Ｘ線検出器６と搬送される被検査物Ｗの距離が一定となるようにこの被検査物Ｗを支持するために設けられたものであり、被検査物Ｗの一方の面側に設けられ、被検査物Ｗを一方の面側からその厚さ方向にブローするブロー手段３１と、被検査物Ｗの他方の面側に設けられ、ブロー手段３１のブローによる被検査物Ｗの厚さ方向への変位を規制する支持部材３３とを備えている。

ブロー手段３１は、箱状の本体部３２から突出して設けられた複数の円筒部からなり、その吹出口３１ａから被検査物Ｗに向けて空気を吹き付けることにより被検査物Ｗを後述する支持部材３３へと押し付けるものである。なお、ブロー手段３１は、吹出口３１ａが被検査物Ｗから離れるように設けられている。

ブロー手段３１を構成する複数の円筒部においても、上述した第１及び第２実施形態と同様に、被検査物Ｗの搬送方向Ｙに沿って列をなして設けられるとともに、被検査物Ｗの幅方向に２列となるように設けられている。各列の円筒部は、その吹出口３１ａが検査部７における被検査物Ｗの所定の検査領域８外に位置するように設けられているが、吹出口３１ａは被検査物Ｗに接触しているわけではないため、吹出口３１ａが被検査物Ｗの所定の検査領域８内に位置するように設けられていてもよい。

支持部材３３は、上述した第２実施形態と同様に、複数のロッド部材からなり、これらのロッド部材が所定間隔をあけてその長手方向を搬送方向Ｙと直交する方向に向けて配置されてなる。

上述した第３実施形態によれば、被検査物Ｗは、ブロー手段３１によって他方の面側へと変位するが、支持手段３３によって一定以上の厚さ方向への変位が規制されるため、その位置、すなわち、支持手段３３に当接した位置で安定してＸ線検出手段との距離が一定に保持されるようになる。

「第４実施形態」
図６に示すように、Ｘ線検査装置１（１Ｄ）は、検査部７の近傍における被検査物Ｗの一方の面側に支持手段４０を備えている。すなわち、支持手段４０は、被検査物ＷのＸ線発生器５と対向する面側に、このＸ線発生器５と被検査物Ｗの間に介在するように設けられている。なお、図６には検査部７近傍の構成だけを示しているが、Ｘ線検査装置１Ｄにおけるその他の構成は図１又は図３に示した構成と同じである。また、第４実施形態においても、上述した第１、第２及び第３実施形態と同等又は同一の箇所には同一の符号を付し、その説明は省略する。

支持手段４０は、検査部７において、Ｘ線検出器６と搬送される被検査物Ｗの距離が一定となるようにこの被検査物Ｗを支持するために設けられたものであり、被検査物Ｗの一方の面側に設けられ、その吸着口４１ａから空気を吸い込むことにより被検査物Ｗの一方の面側を吸着口４１ａに吸着させるものである。吸着手段４１は、箱状の本体部４２から突出して設けられた複数の円筒部からなり、各吸着口４１ａが被検査物Ｗに当接するように設けられている。

吸着手段４１を構成する複数の円筒部は、上述した第１、第２及び第３実施形態と同様に、被検査物Ｗの搬送方向Ｙに沿って列をなして設けられるとともに、被検査物Ｗの幅方向に２列となるように設けられている。また、各列の円筒部は、その吸着口４１ａが検査部７における被検査物Ｗの所定の検査領域８外に位置するように設けられている。

また、吸着手段４１では、吸着口４１ａに被検査物Ｗを吸着させた状態でもこの被検査物Ｗが搬送方向Ｙに進行可能なようにその吸着力は制御されている。

上述した第４実施形態によれば、被検査物Ｗは、吸着手段４１によって吸着されて一方の面側へと変位しようとするが、吸着手段４１の吸着口４１ａに当接していることで厚さ方向の変位が規制されるため、その位置、すなわち、吸着口４１ａに当接した位置で安定してＸ線検出器６との距離が一定に保持されるようになる。このとき、上述したように、吸着手段４１の吸着力が好適に制御されているため、被検査物Ｗの搬送に支障が生じることはない。

１…Ｘ線検査装置
２…搬送手段
３…搬送用ローラ
５…Ｘ線照射手段（Ｘ線発生器）
６…Ｘ線検出手段（Ｘ線検出器）
７…検査部
８…検査領域
１０，２０，３０…支持手段
１３…吸着手段
１３ａ…吸着口
２１…吸引手段
２１ａ…吸引口
２３…支持部材
３１…ブロー手段
３１ａ…吹出口
３３…支持部材
Ｗ…連続帯状の被検査物
Ｙ…搬送方向

Claims

連続帯状の被検査物（Ｗ）を、所定間隔をあけて配置された一対の搬送用ローラ（３）の間で張力を付与しながら搬送する搬送手段（２）と、
前記一対の搬送用ローラの間に配置され、該搬送用ローラの間の前記被検査物に向けてＸ線を照射するＸ線照射手段（５）と、
前記一対の搬送用ローラの間に配置されるとともに該搬送用ローラの間の前記被検査物を挟んで前記Ｘ線照射手段と対向配置され、前記被検査物を透過した透過Ｘ線を検出するＸ線検出手段（６）と、
を備え、前記Ｘ線照射手段と前記Ｘ線検出手段の間に形成された検査部（７）にて前記被検査物の所定の検査領域（８）を検査するＸ線検査装置（１）において、
前記検査部における前記Ｘ線検出手段と搬送される前記被検査物Ｗの距離が一定となるように、該被検査物を支持する支持手段（１０）を備えており、
前記支持手段（１０）は、
前記被検査物（Ｗ）の一方の面側に設けられ、該被検査物の前記検査領域（８）外において吸着口（１３ａ）を前記一方の面に当接させて該被検査物のその厚さ方向の変位を規制するとともに、該被検査物の搬送速度と略等速で前記搬送方向（Ｙ）へと移動する吸着手段（１３）を備えたことを特徴とするＸ線検査装置。
前記被検査物（Ｗ）の前記一方の面が前記Ｘ線照射手段（５）と対向する側の面であることを特徴とする請求項１に記載のＸ線検査装置。
連続帯状の被検査物（Ｗ）を、所定間隔をあけて配置された一対の搬送用ローラ（３）の間で張力を付与しながら搬送する搬送手段（２）と、
前記一対の搬送用ローラの間に配置され、該搬送用ローラの間の前記被検査物に向けてＸ線を照射するＸ線照射手段（５）と、
前記一対の搬送用ローラの間に配置されるとともに該搬送用ローラの間の前記被検査物を挟んで前記Ｘ線照射手段と対向配置され、前記被検査物を透過した透過Ｘ線を検出するＸ線検出手段（６）と、
を備え、前記Ｘ線照射手段と前記Ｘ線検出手段の間に形成された検査部（７）にて前記被検査物の所定の検査領域（８）を検査するＸ線検査装置（１）において、
複数の円筒部の吸着口（４１ａ）が前記被検査物の一方の面側において前記検査領域外に位置するように前記被検査物の搬送方向（Ｙ）に沿って列をなして設けられ、前記被検査物が前記搬送方向に進行可能となるような吸着力で前記被検査物を前記吸着口に吸着して当接させることで、搬送される前記被検査物と前記Ｘ線検出手段の前記検査部における距離が一定となるように前記被検査物を支持する吸着手段（４１）を備えたことを特徴とするＸ線検査装置。