JP4919115B2 - 放射線検査装置 - Google Patents
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Description
搬送ローラと巻き取りロールによって所定の張力を維持して搬送されるシート状試料と、該シート状試料を挟んで対向して配置され、前記シート状試料の物理的特性を測定する放射線源およびラインセンサと、該ラインセンサの少なくとも一方の側面に近接して配置され、エアーベアリングとして機能するための気体噴出手段を備えた放射線検査装置であって、
前記気体噴出手段は、前記シート状試料の張力変動によって発生する上下方向の搬送振れを軽減するために、気体を噴射する複数の噴射ノズルまたは噴射孔が前記シート状試料の幅方向に複数列並べられ、前記噴射ノズルまたは噴射孔に沿って前記シート状試料が前記ラインセンサに接触しない程度の圧力の複数の吸着手段を設けたことを特徴とする。
前記ラインセンサを前記気体噴出手段の噴射ノズルまたは噴射孔より僅かに低く設置したことを特徴とする。
前記気体噴出手段の噴射ノズルまたは噴射孔からの気体の噴出方向は、上流側はシート状の試料の流れに対して抗力が発生するように傾斜させて設置し、下流側は推力が発生するように上流側のそれとは反対方向に傾斜させて設置したことを特徴とする。
シート状試料の上下方向の搬送振れを測定する変位計を設け、該変位計の測定値を基に前記シート状試料の上下方向の搬送振れを軽減するために、前記気体噴出手段の噴射ノズルまたは噴射孔からの気体の噴出量を制御可能に構成したことを特徴とする。
前記気体噴出手段は、気体の噴出口に庇状の流体ガイドを形成したことを特徴とする。
請求項1〜5によれば、
1.試料の張力により変わってしまう試料と線源の距離が常に一定に保たれ、距離変動による透過線量変動の無い高精度測定が可能である。
2.低張力で、駆動ローラのスパンが長い試料搬送においても、試料の振れ幅を抑えることができる。
3.生産ラインの張力コントロールの精度に因らず安定した測定が可能である。
5.X線ラインセンサの検出部は、エアーパージを行ってゴミの付着、堆積を防いでいるが、気体噴出手段が隣接しているため、専用のエアーパージを行う必要が無い。
6.X線ラインセンサ、気体噴出手段ともに市販の製品がありシステム構成が容易である。
図1において、放射線(X線)源5に対し測定用ラインセンサ6が正対して設置してあり、試料1はX線源5から離れた位置で且つ、ラインセンサ6の近傍に置かれる。この試料を放射線に対してほぼ直角方向(図では水平)に移動してラインセンサ6で検出すれば試料の測定(検査)が可能である。
なお、試料送り速度は生産ラインの搬送ローラ7により制御される。
また、気体の噴出量はベルヌーイの定理によってシート状の試料1を非接触状態を維持しながら吸着するのに適した噴出量と噴出口を持つ噴出口のみによる構造が望ましい。
図2に示す構成によれば、X線ラインセンサ6と気体噴射手段8の位置調整などが不要になるとともに小型化が可能になる。X線ラインセンサ6と気体噴射手段8を一体にした場合、個別の噴射ノズル9をライン状に設置したり、あるいはスリット(図示省略)をエアカーテンの様にして試料1側に噴出しても良い。その場合、単なるスリットではなく、先端で絞って流速を上げれば、エアー噴出量を節約可能である。
このように上下から噴出することで、更に試料の張力変動の影響を受け難くなる。
このような構成によればX線源5から試料に照射するX線の強さを均等にすることができ、X線ラインセンサ6がフラットな場合に必要なX線の強さの補正をする必要がない。
また、図2〜図8では言及していないが、これらの実施例においてもX線ラインセンサの上面は、気体噴射手段の上面より僅かに下がった位置に配置するようにしてもよい。
従って本発明は、上記実施例に限定されることなく、その本質から逸脱しない範囲で更に多くの変更、変形を含むものである。
2 材料ロール
2a 巻き取りロール
3 塗布装置
4 乾燥装置
5 放射線(X線)源
6 X線ラインセンサ
7 搬送ローラ
8 気体噴出手段
9 噴出ノズル
10 変位計
11 計測手段
12 制御器
13 制御弁
14 ひさし状の流体ガイド
15 スリット
16 配管
Claims (5)
- 搬送ローラと巻き取りロールによって所定の張力を維持して搬送されるシート状試料と、該シート状試料を挟んで対向して配置され、前記シート状試料の物理的特性を測定する放射線源およびラインセンサと、該ラインセンサの少なくとも一方の側面に近接して配置され、エアーベアリングとして機能するための気体噴出手段を備えた放射線検査装置であって、
前記気体噴出手段は、前記シート状試料の張力変動によって発生する上下方向の搬送振れを軽減するために、気体を噴射する複数の噴射ノズルまたは噴射孔が前記シート状試料の幅方向に複数列並べられ、前記噴射ノズルまたは噴射孔に沿って前記シート状試料が前記ラインセンサに接触しない程度の圧力の複数の吸着手段を設けたことを特徴とする放射線検査装置。 - 前記ラインセンサを前記気体噴出手段の噴射ノズルまたは噴射孔より僅かに低く設置したことを特徴とする請求項1記載の放射線検査装置。
- 前記気体噴出手段の噴射ノズルまたは噴射孔からの気体の噴出方向は、上流側はシート状の試料の流れに対して抗力が発生するように傾斜させて設置し、下流側は推力が発生するように上流側のそれとは反対方向に傾斜させて設置したことを特徴とする請求項1または2記載の放射線検査装置。
- シート状試料の上下方向の搬送振れを測定する変位計を設け、該変位計の測定値を基に前記シート状試料の上下方向の搬送振れを軽減するために、前記気体噴出手段の噴射ノズルまたは噴射孔からの気体の噴出量を制御可能に構成したことを特徴とする請求項1乃至3のいずれかに記載の放射線検査装置。
- 前記気体噴出手段は、気体の噴出口に庇状の流体ガイドを形成したことを特徴とする請求項1乃至4のいずれかに記載の放射線検査装置。
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